JPH0613681B2 - 感圧接着性シ−ト - Google Patents

感圧接着性シ−ト

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JPH0613681B2
JPH0613681B2 JP18753586A JP18753586A JPH0613681B2 JP H0613681 B2 JPH0613681 B2 JP H0613681B2 JP 18753586 A JP18753586 A JP 18753586A JP 18753586 A JP18753586 A JP 18753586A JP H0613681 B2 JPH0613681 B2 JP H0613681B2
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pressure
sensitive adhesive
adhesive sheet
resin
acid ester
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秀雄 黒田
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Bando Chemical Industries Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は感圧接着性シートに関し、詳しくは、紫外線照
射によつて接着力が低減されると共に、糊移りしない感
圧接着性シートに関する。
従来の技術 一般に、基材シート上に感圧接着剤を塗布してなる感圧
接着性シート又は粘着シートは、一般家庭及び産業にお
いて種々の用途に使用されているが、近年、感圧接着性
シートの要求特性が多様且つ多岐にわたり、用途に応じ
て種々の機能性が要求されるに至つている。
例えば、集積回路の製作に際して、シリコンウエハーを
所定の寸法に裁断する、即ち、ダイシングを行なつてダ
イスを得るためには、所謂ダイシングフイルムと呼ばれ
る感圧接着性シート上にシリコンウエハーを載置し、ダ
イシングフイルム上に感圧接着固定し、裁断した後、こ
れをダイシングフイルムからピツクアツプ、即ち、剥離
して取り上げる。従つて、シリコンウエハーを正確にダ
イシングするためには、ダイシング時にはダイシングフ
イルムがシリコンウエハーに対して強い接着力を有し、
一方、得られたダイスをダイシングフイルムからピツク
アツプするに際しては、ダイシングフイルムはその接着
力が弱いことが必要である。何ら制限されるものではな
いが、例えば、シリコンウエハーのダイシングに際して
は、ダイシングフイルムは100〜500g/25mm程
度又はこれ以上の接着力を有し、一方、ダイスのピツク
アツプに際しては、ダイシングフイルムは約20〜50
g/25mm程度又はこれ以下の接着力を有することが望
ましいといわれている。
しかし、このように、被着面に適用後に、必要に応じ
て、その接着力を低減させ得る感圧接着性シートは、未
だ知られていない。
他方、例えば、一般に接着剤の分野において、光重合性
オリゴマー、光重合性モノマー、光重合開始剤及びその
他の添加剤からなる紫外線架橋性接着剤が既に知られて
おり、これは無溶剤型、一液型の接着剤であり、速硬化
性であって、加熱を要しない等の点ですぐれているが、
この接着剤においては、紫外線照射は、本来、接着剤に
所要の接着力を発現させるために行なわれる。
発明が解決しようとする問題点 本発明者らは、当初は強い接着力を有し、必要に応じて
その接着力を低減し得る感圧接着性シートのための接着
剤組成物を得るために鋭意研究した結果、予期しないこ
とに、弾性重合体と紫外線架橋性アクリル酸エステルと
光重合開始剤とを主成分として含有する感圧接着剤組成
物に紫外線を照射するとき、その接着力が著しく低減す
ることを見出し、更に、紫外線を透過し得る基材樹脂シ
ート上にかかる感圧接着剤組成物の層を形成して、感圧
接着性シートとするとき、かかる感圧接着性シートは、
所要の被着面に適用した後、上記基材樹脂シート側から
紫外線を照射することによつて、その接着力が著しく低
減するので、被着面から容易に剥離することができるこ
とを見出した。
しかしながら、他方、上記のような感圧接着性シートを
ダイシングフイルムとして用いて、これに半導体ウエハ
ーを接着固定するに際して、ダイシングフイルムとウエ
ハーとの間に空気が入り込んで、気泡が形成されると
き、ダイシングフイルムの裏面に紫外線を照射した後、
ダイシングフイルムから剥離したダイスに感圧接着剤組
成物が残存し、所謂糊残りする。その理由は、必ずしも
明らかではないが、気泡の周縁においてウエハーに接触
する感圧性接着剤組成物中の紫外線架橋性アクリル酸エ
ステルがダイシングフイルムに紫外線を照射した後も、
気泡(酸素)のために、十分な硬化反応が阻害され、接
着剤組成物が尚、十分な接着力を保持しており、その結
果として、ウエハーに糊移りして、糊残りが生じるする
ものとみられ、同時に、ウエハーをダイシングした後、
ダイスをダイシングフイルムから剥離する際に、尚、大
きい剥離力を必要とすることとなる。
このように、ダイスに糊残りが生じるときは、ダイスに
導線を接続することが困難となつたり、或いはダイス加
工後のチツプからの熱拡散性が悪くなり、半導体デバイ
スの信頼性を低下させ、また、故障させる原因となる。
そこで、本発明者らは、かかる問題を解決するために鋭
意研究した結果、光増感剤として、特にアミノ基を有す
るアクリル酸エステル又はメタアクリル酸エステル(以
下、(メタ)アクリル酸エステルと記載する。)を上記
のような感圧性接着剤組成物に配合するとき、かかる感
圧性接着剤組成物の層を有する感圧接着性シートと被着
体との間に気泡が形成されても、接着性シートの裏面か
ら紫外線を照射することによつて、感圧性接着シートは
気泡の影響を何ら受けず、その接着力が均一に著しく低
減され得ることを見出して本発明に至つたものである。
従つて、本発明は、紫外線を照射しないときは強い接着
力を有し、これに紫外線を照射することにより、接着力
を著しく低減させることができ、且つ、被着体に糊残り
しない感圧接着性シートを提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段 本発明の紫外線照射によつて接着力を低減し得る感圧接
着性シートは、紫外線を透過させ得る基材樹脂シート上
に (a)弾性重合体、 (b)紫外線架橋性アクリル酸エステル、 (c)重合開始剤、及び (d)光増感剤としてアミノ基を有する(メタ)アクリル
酸エステル を含有する感圧接着剤の層が形成されていることを特徴
とする。
従来、種々の感圧接着剤組成物が、例えば「接着ハンド
ブツク(第2版)」(日本接着協会編集、日刊工業新聞
社発行、1980年)第398〜414頁に記載されている
ように知られているが、代表的な感圧接着剤組成物は弾
性重合体を主成分とし、これに相溶性の良好な粘着付与
剤や可塑剤、更には、必要に応じて充填剤、老化防止
剤、着色剤等を均一に混合してなる混合物である。本発
明においては、かかる弾性重合体として、特に、飽和共
重合ポリエステル樹脂、ポリアクリル酸エステル及びア
クリル酸エステルの共重合体を好ましく用いることがで
きる。
先ず、飽和共重合ポリエステル樹脂は、例えば、「工業
材料」第25巻第11号第101〜106頁に記載され
ているように、通常、異なる2種以上の飽和2価カルボ
ン酸と飽和2価アルコールとを重縮合させて得られるガ
ラス転移点の比較的低い飽和共重合樹脂であり、通常、
飽和2価カルボン酸として、芳香族2価カルボン酸と脂
肪族2価カルボン酸とが併用され、飽和2価アルコール
として脂肪族又は脂環式2価アルコール、即ち、グリコ
ールが用いられる。特に、本発明においては、芳香族2
価カルボン酸/脂肪族2価カルボン酸モル比が80/2
0乃至20/80、好ましくは70/30乃至50/5
0である飽和2価カルボン酸混合物とグリコールとを等
モルにて重縮合させて得られる飽和共重合ポリエステル
樹脂が好ましく用いられる。本発明においては、芳香族
2価カルボン酸としてテレフタル酸、脂肪族多価カルボ
ン酸としてセバシン酸、アジピン酸、グリコールとして
エチレングリコール、1,4-ブタンオール、プロピレング
リコール等を用いて得られる飽和共重合ポリエステル樹
脂が好ましく用いられる。尚、必要に応じて、飽和共重
合ポリエステル樹脂の製造においては、カルボン酸成分
として3価以上の飽和多価カルボン酸や、3価以上の多
価アルコールが一部併用されてもよい。
また、ポリアクリル酸エステル又はアクリル酸の共重合
体としては、従来よりアクリル系粘着剤として知られて
いる粘着剤において、主成分である弾性重合体として用
いられている任意のものを含む。アクリル系粘着剤にお
いて弾性重合体として用いられている重合体は、通常、
実質的にアクリル酸エステル共重合体である。この共重
合体は、通常、粘着性を有せしめるために低いガラス転
移点を有する重合体を形成するアクリル酸エチル、アク
リル酸ブチル、アクリル酸−2−エチルヘキシル等のア
クリル酸アルキルエステルを主モノマーとし、凝集性を
有せしめるために高いガラス転移点を有する硬い重合体
を形成するコモノマー、例えば、酢酸ビニル、アクリロ
ニトリル、スチレン、アクリル酸メチル、メタクリル酸
メチル等、及び架橋性や接着性の改良のためにカルボン
酸基、水酸基、アミド基、グリシジル基、ヒドロキシル
メチル基等の官能基を有する単量体、例えば、アクリル
酸、メタクリル酸、イタコン酸、ヒドロキシルエチルメ
タクリレート、ヒドロキシルプロピルメタクリレート、
アクリルアミド、グリシジルメタクリレート等のモノマ
ーを共重合させてなる共重合体である。
本発明において用いる紫外線架橋性アクリル酸エステル
は、紫外線の照射によつて架橋するオリゴマー又はモノ
マーとしてのアクリル酸エステル又はメタクリル酸エス
テルをいい、分子内に少なくとも2つのアクリロイル基
又はメタクリロイル基を有する。具体的には、かかるオ
リゴマーとしては、例えばオリゴエステルアクリレート
等を、また、モノマーとしては、例えば、1,6-ヘキサン
ジオールジアクリレート、トリメチロールプロパントリ
アクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等の
多価アルコールとアクリル酸のエステル、或いは1,6-ヘ
キサンジオールジメタクリレート、トリメチロールプロ
パントリメタクリレート、テトラメチロールメタンテト
ラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタ
クリレート等の多価アルコールとメタクリル酸のエステ
ル等を挙げることができる。
本発明において、感圧接着剤組成物は、前記弾性重合体
100重量部について、上記紫外線架橋性アクリル酸エ
ステルを15〜200重量部、好ましくは50〜150
重量部の範囲にて含有する。弾性重合体100重量部に
ついて、上記紫外線架橋性アクリル酸エステルが15重
量部よりも少ないときは、得られる接着剤組成物に紫外
線を照射しても、その接着力が実質的に変化せず、一
方、200重量部を越えるときは、紫外線照射によつ
て、その接着力を低減させることはできるが、例えば、
シリコンウエハーのダイシング後のダイスのピツクアツ
プ時に、ダイスに接着剤が残留することがあり、好まし
くないからである。
本発明において用いる感圧接着剤組成物は、更に重合開
始剤を含有し、必要に応じて重合禁止剤を含有する。重
合開始剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸エステルの紫
外線照射による架橋を促進するために用いられる。この
ような重合開始剤は、一般に、紫外線架橋重合の技術分
野においてよく知られており、本発明においては、従来
より一般に知られている重合開始剤を用いることができ
る。かかる重合開始剤の具体例として、例えば、ベンゾ
インメチルエーテル、ベンゾイルインプロピルエーテル
等のベンゾインアルキルエーテル類や、ベンゾイン、ベ
ンジル、ベンゾフエノン等の芳香族オキシケトン類や芳
香族ケトン類、更には、ベンジルジメチルケタール、ポ
リビニルベンゾフエノン等を挙げることができるが、こ
れらに限定されるものではない。
重合禁止剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸エステルが
紫外線照射によらず、例えば、熱によつて重合すること
を防止するために、必要に応じて添加されるもので、か
かる重合禁止剤としても、従来より知られている通常の
重合禁止剤を用いることができる。このような重合禁止
剤としては、例えば、ピクリン酸、フエノール、ハイド
ロキノン、ハイドルキノンモノメチルエーテル等を用い
ることができる。
上記重合開始剤及び重合禁止剤の配合量は、紫外線架橋
重合の技術分野において一般に使用されているところに
従えばよく、例えば、重合開始剤は、前記紫外線架橋性
アクリル酸エステル100重量部について1〜20重量
部、重合禁止剤は必要に応じて0.1〜1重量部の範囲
で用いられる。
本発明において用いる感圧接着剤組成物は、光増感剤と
して、アミノ基を有する(メタ)アクリル酸エステルを
含有する。光増感剤は、一般に、単独では紫外線の照射
によつても活性化しないが、光重合開始剤と共に併用す
るとき、紫外線架橋性化合物のゲル化時間を短縮する機
能を有するものとして定義されるが、特に、本発明にお
いては、前記した感圧接着剤組成物が上記した光増感剤
を含有するとき、例えば、半導体ウエハーのダイシング
において、得られるダイスに糊残りが生じない。
特に、本発明においては、かかる光増感剤として、一般
式 CH2=CRCOOCH2CH2NR′2 又は 一般式 (但し、Rは水素又はメチル基を示し、R′はアルキル
基又はアルケニル基を示す。) で表わされる(メタ)アクリル酸エステルが好ましく用
いられる。R′としては、特に、低級アルキル基、例え
ば、メチル基が好ましい。従つて、例えば、N,N-ジメチ
ルアミノエチルアクリレートやN-メチルアミノビスエチ
ルアクリレートが好ましく用いられる。
光増感剤は、本発明においては、通常、光架橋性アクリ
ル酸エステル100重量部について1〜100重量部の
範囲で用いられる。配合量が余りに少ないときは、被着
体への糊残りが尚生じ、他方、余りに多量に配合して
も、その効果が飽和するからである。
本発明において用いる感圧接着剤組成物は、好ましく
は、更に粘着付与剤を含有する。特に、用いる弾性重合
体が飽和共重合ポリエステル樹脂である場合は、この粘
着付与剤を併用することが好ましい。用い得る粘着付与
剤は特に制限されず、従来より一般に粘着剤の製造にお
いて用いられているものが適宜に用いられる。このよう
な粘着付与剤として、例えば、キシレン樹脂、ロジンや
重合ロジン、水添ロジン、ロジンエステル等の変性ロジ
ン系樹脂、テルペン樹脂、テルペンフエノール樹脂、ロ
ジンフエノール樹脂等のテルペン系樹脂、脂肪族系、芳
香族系及び脂環式系石油樹脂、クマロン樹脂、スチレン
系樹脂、アルキルフエノール樹脂等を挙げることができ
る。粘着付与剤は、飽和共重合ポリエステル樹脂100
重量部について、通常、10〜200重量部の範囲で用
いられる。粘着付与剤の配合量が余りに少ないときは、
接着力又は粘着力が不十分であり、他方、多すぎるとき
は、得られる接着剤組成物に紫外線を照射した後の接着
力の低下幅が小さく、また、かかる接着剤組成物をダイ
シングフイルムに適用した場合、シリコンウエハーのダ
イシング後のダイスのピツクアツプ時に、ダイスに粘着
付与剤が残留することがあり、好ましくないからであ
る。
本発明において用いる感圧接着剤組成物は、好ましく
は、上記した配合量にて弾性重合体、紫外線架橋性アク
リル酸エステル、重合開始剤及び光増感剤を、必要に応
じて粘着付与剤、重合禁止剤、充填剤、老化防止剤、着
色剤等と共に、これらを溶解する適宜の有機溶剤、例え
ば、芳香族炭化水素、ケトン類、又はこれらの混合物に
溶解することによつて、均一な溶液組成物として得るこ
とができる。溶剤としては、例えば、具体的にはトルエ
ンとメチルエチルケトンとの混合溶剤が好ましく用いら
れるが、しかし、これに限定されるものではない。ま
た、接着剤組成物における弾性重合体の含有量は、用途
等に応じて適宜に選ばれるが、通常、10〜50重量%
の範囲である。しかし、これに限定されるものではな
い。
特に、弾性重合体及び粘着付与剤は、通常、溶液の形態
にて市販されており、これらを使用することが便利であ
るので、例えば、これらの溶液を混合し、これに紫外線
架橋性アクリル酸エステル、重合開始剤及び光増感剤、
更に必要に応じて、その他の添加混合し、均一に溶解す
ればよい。
本発明による感圧接着性シートは、上記のような感圧接
着剤組成物の層を紫外線を透過し得る基材樹脂シート上
に常法に従つて形成することによつて得ることができ
る。
上記基材樹脂シートとしては、紫外線を透過し得る限り
は、特に制限されることなく、種々の樹脂シートを用い
ることができるが、通常は、透明乃至半透明の合成樹脂
シートが用いられる。例えば、塩化ビニル樹脂、塩化ビ
ニル−塩化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニル−酢酸
ビニル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニリデン、ポリオレフ
イン、ポリビニルアルコール、ポリアミド、ポリエステ
ル、ポリカーボネート、アセチルセルロース等からなる
樹脂シートが好適に用いられる。
上記した種々の基材樹脂シートのなかでも、可塑剤を含
有するポリ塩化ビニル又は塩化ビニルの共重合体からな
る樹脂シートは、柔軟であり、更に、廉価でもあるの
で、本発明の方法において特に好適に用いることができ
る。また、塩化ビニル樹脂シート以外にも、可塑剤を含
有する基材シートとして、好適に用いる得るものもあ
る。例えば、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体樹
脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体樹脂、塩化ビニル
−アクリル酸エステル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニリデ
ン、アセチルセルロース等を挙げることができる。
ここに、上記可塑剤は、特に制限されるものではない
が、例えば、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレー
ト、ジデシルフタレート、ジトリデシルフタレート、ブ
チルベンジルフタレート等のフタル酸ジエステル、トリ
クレジルホスフエート、トリオクチルホスフエート、ト
リフエニルホスフエート、2-エチルヘキシルジフエニル
ホスフエート、クレジルジフエニルホスフエート等のリ
ン酸エステル、ジオクチルアジペート、ジオクチルセバ
ケート、ジオクチルアゼレート、アセチルクエン酸トリ
−2-エチルヘキシル等の脂肪酸ジエステル、ポリプロピ
レンアジペート、ポリプロピレンセバケート等のポリエ
ステル系可塑剤、エポキシ化大豆油等のエポキシ系可塑
剤、塩素化パラフイン、塩素化脂肪酸エステル等の塩素
系可塑剤等を挙げることができる。
しかしながら、このように、感圧接着性シートの基材樹
脂シートとして、可塑剤を含有する樹脂シートを用いる
場合は、この樹脂シートから可塑剤が感圧接着剤組成物
中に移行し、また、通常、可塑剤と紫外線架橋性アクリ
ル酸エステルとは相溶性がよいために、感圧接着剤組成
物に含まれる紫外線架橋性アクリル酸エステルが樹脂シ
ート中に移行し、このような相互移行によつて、ダイシ
ングフイルムの紫外線照射後の接着力の低減効果が著し
く減少する場合がある。
従つて、本発明においては、基材樹脂シートとして、可
塑剤を含有する樹脂シートを用いる場合は、この基材樹
脂シートと感圧接着剤組成物の層との間に紫外線の透過
を妨げないが、可塑剤及び紫外線架橋性アクリル酸エス
テルを共に透過させない樹脂層からなるバリヤー層を介
在させることが好ましい。
即ち、このバリヤー層は、紫外線の透過は何ら妨げない
が、基材樹脂シートに含まれている可塑剤が感圧接着剤
組成物中に移行するのを阻止すると共に、感圧接着剤組
成物に含まれている紫外線架橋性アクリル酸エステルが
基材樹脂シートに移行するのを阻止し、このようにし
て、基材樹脂シートに含まれている可塑剤をこの基材中
に保持し、感圧接着剤組成物に含まれている紫外線架橋
性アクリル酸エステルを接着剤組成物中に保持して、感
圧接着性シートの紫外線照射による接着力の経時的な低
下を防止する。
前記バリヤー層としては、ポリエチレン、ポリプロピレ
ン等のポリ−α−オレフイン、ポリエチレンテレフタレ
ート等のポリアルキレンテレフタレートのフイルムや、
樹脂塗膜、例えば、変性ポリアクリル樹脂等の樹脂塗膜
層が好適に用いられる。従つて、バリヤー層は、基材樹
脂シート上に前記例示した樹脂からなるフイルムを圧着
し、又はこの樹脂の溶融液を塗布して冷却し、若しくは
上記樹脂の溶液を塗布し、乾燥することによつて、形成
することができる。また、例えば、変性ポリアクリル樹
脂溶液を塗布し、必要に応じて加熱乾燥させて、塗膜を
形成させることによつても、バリヤー層を得ることがで
きる。
上記変性ポリアクリル樹脂としては、従来、種々のもの
が知られているが、本発明においては、一般に、耐溶剤
性にすぐれ、従つて、紫外線架橋性アクリル酸エステル
や基材樹脂シートに含まれる可塑剤に溶解、膨潤しない
アルキド変性ポリアクリル樹脂や、熱硬化型ポリアクリ
ル樹脂が好適である。熱硬化ポリアクリル樹脂として
は、例えば、酸型、水酸基型、エポキシ型、アミド型等
が好適に用いられる。
しかし、本発明においては、バリヤー層は、前述したよ
うに、感圧接着剤組成物に含まれる紫外線架橋性アクリ
ル酸エステル及び基材樹脂シートに含まれる可塑剤を実
質的に透過させない限りは、特に、その素材において制
限されるものではないことは容易に理解されるところで
あつて、本発明において用いられる個々の具体的な紫外
線架橋性アクリル酸エステル及び可塑剤に応じて選択さ
れる。
従つて、本発明による感圧接着性シートは、例えば、基
材樹脂シート上に上記バリヤー層を積層し、この上に上
述したような感圧接着剤組成物の溶液を基材シート上に
塗布し、乾燥することによつて得ることができる。
前述したように、本発明による感圧接着性シートは、半
導体ウエハーのダイシングにおいてダイシングフイルム
として好適に用いることができるが、特に、本発明によ
る感圧接着性シートは、被着体との間に気泡が生成して
も、紫外線照射後に被着体に糊残りが生じないので、こ
の感圧接着性シートをダイシングフイルムとして用い
て、これに半導体ウエハーを接着固定するに際しては、
その雰囲気は開放又は密閉された空気であつてよい。し
かし、例えば、窒素やヘリウム、アルゴン等のような不
活性気体下又は真空下にダイシングフイルムに半導体ウ
エハーを接着固定してもよいのは、勿論である。
本発明による感圧接着シートを所要の被着面に適用した
後に、これに紫外線を照射する手段及び照射する方法は
特に制限されず、紫外線硬化性樹脂塗料や紫外線硬化性
接着剤の技術分野において、従来より通常に行なわれて
いる手段及び方法によることができる。例えば、照射手
段として、キセノンランプ、低圧、中圧、高圧或いは超
高圧水銀灯灯のような紫外線源を使用し、数秒乃至数
分、照射すればよい。
発明の効果 以上のように、本発明による感圧接着性シートは、紫外
線を透過させ得る基材樹脂シート上に弾性重合体と紫外
線架橋性アクリル酸エステルと重合開始剤とアミノ基を
有する光増感剤を主成分として含有する感圧接着剤の層
が形成されており、ここに、上記感圧接着剤組成物は、
その理由は必ずしも明らかではないが、紫外線の照射に
よつてその接着力を著しく低減するので、かかる感圧接
着性シートを被着面に適用した後、上記基材樹脂シート
側から紫外線を照射することによつて、この感圧接着性
シートを被着面から容易に剥離することができる。
しかも、本発明による感圧接着性シートは、大気中にお
いて、感圧接着性シートと被着体との間に気泡が形成さ
れても、紫外線照射後に被着体を感圧接着性シートから
剥離したとき、被着体に糊残りがないので、紫外線照射
によつて、常に糊残りなしにその接着力を低減させるこ
とができる。
従つて、本発明による感圧接着性シートは、例えば、前
述したように、シリコンウエハーのダイシング用フイル
ムとして好適に用いることができ、且つ、性能の信頼性
の高いダイスを安定して得ることができる。
実施例 以下に、実施例を示すが、本発明はこの実施例に限定さ
れるものではない。また、実施例中、部とあるのは重量
部を示す。
離型紙上に第1表に示す配合の感圧接着剤を塗布し、1
20℃で1分間乾燥し、感圧接着剤の層を固形分として
10μm厚みに形成した。
ここに、弾性重合体として飽和共重合ポリエステル樹脂
を用いる場合は、テレフタル酸/セバシン酸モル比70
/30の飽和2価カルボン酸混合物とエチレングリコー
ルとを等モルにて重縮合させて得られるガラス転移点約
10℃の樹脂を用いた。
また、ポリアクリル酸エステル又はアクリル酸エステル
の共重合体を弾性重合体として用いる場合は、ポリアク
リル酸エステル又はアクリル酸エステルの共重合体を含
むアクリル系粘着剤溶液(三洋化成工業(株)ポリシツ
ク610SA、ポリアクリル酸エステル又はアクリル酸エス
テル共重合体含有量約40重量%)100重量部に第1
表に示す量にて光架橋性アクリル酸エステル、重合開始
剤、光増感剤等を溶解して、感圧接着剤組成物を調製し
た。
この感圧接着剤組成物を離型紙上に塗布し、120℃で
1分間乾燥し、感圧接着剤の層を固形分として10μm
厚みに形成した。
次に、平均重合度1300のポリ塩化ビニル100部、
可塑剤としてジオクチルフタレート又はポリエステル系
可塑剤35部及び適宜量の安定剤からなる塩化ビニル樹
脂組成物から成形した厚み0.1mmのシート上に変性ア
クリル樹脂を塗布し、乾燥して、バリヤー層を形成した
後、この基材樹脂シートのバリヤー層の表面に上記感圧
接着剤層を重ねて貼り合わせて、本発明による感圧接着
性シートを得た。
比較のために、光増感剤としてのアミノ基を有するアク
リル酸エステルを含まない感圧接着剤組成物を用いて、
同様にして、感圧接着性シートを得た。
このようにして得たそれぞれの感圧接着性シートについ
て、離型紙を剥離した後、次のようにして、種々の条件
下における接着力を測定した。
紫外線照射前の接着力 感圧接着性シートを幅25mm、長さ100mmに裁断して
試験片とし、その間に気泡を形成させないようにして、
これを被着体としてのステンレス板上に重ね、3kgロー
ラにて5回往復して押圧密着させ、室温で20分間放置
した後、シヨツパーにて引張速度300mm/分にて18
0゜剥離試験を行なつた。
紫外線照射後の接着力 感圧接着性シートをステンレス板上に重ねる際に、強制
的に試験片とステンレス板との間に気泡を残存させ、塩
化ビニル樹脂シート側から主波長365mμ、120W
/cmにて紫外線を7秒間照射した後、試験片をステンレ
ス板から剥離し、目視及び50倍顕微鏡にてステンレス
板への糊残りの有無を観察した。
また、上記の同様にして、感圧性接着シートをステンレ
ス板に重ねる際に、幅25mm、長さ10mmの試験片を得
ることができる程度に十分に大きい気泡をシートとステ
ンレス板との間に強制的に残存させ、塩化ビニル樹脂シ
ート側から主波長365μm、120W/cmにて紫外線
を7秒間照射した。
次いで、感圧接着性シートを幅25mm、長さ100mmに
裁断して試験片とし、その間に気泡を形成させないよう
にして、ステンレス板上に重ね、3kgローラにて5回往
復して押圧密着させ、室温で20分間放置した後、シヨ
ツパーにて引張速度300mm/分にて180゜剥離試験
を行なつた。
結果を第1表に示す。
本発明の感圧接着性シートによれば、これを被着体に接
着させる際に、その間に気泡が形成されても、紫外線を
照射した後、被着体を剥離したとき、被着体に糊残りが
生じない。また、その結果、紫外線照射後の接着力は、
紫外線照射前に比較して、著しく低減されている。従つ
て、本発明の感圧接着性シートによれば、適当な配合設
計によつて、当初数百g/25mmの接着力を有せしめ、
紫外線照射後は数十g/25mm程度にまで接着力を 減少させることができるので、前述したように、シリコ
ンウエハーのダイシングに好適に用いることができる。
これに対して、比較例の感圧接着性シートによれば、こ
れを被着体に接着させる際に、その間に気泡が形成され
たときは、紫外線に照射した後、被着体を剥離したと
き、被着体に糊残りが生じていると共に、紫外線照射後
の接着力が尚高い。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】紫外線を透過させ得る基材樹脂シート上に (a)弾性重合体、 (b)紫外線架橋性アクリル酸エステル、 (c)重合開始剤、及び (d)光増感剤としてアミノ基を有する(メタ)アクリル
    酸エステル を含有する感圧接着剤の層が形成されていることを特徴
    とする紫外線照射によつて接着力を低減し得る感圧接着
    性シート。
  2. 【請求項2】弾性重合体が飽和共重合ポリエステル樹脂
    であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の感
    圧接着性シート。
  3. 【請求項3】弾性重合体がポリアクリル酸エステル又は
    アクリル酸エステルの共重合体であることを特徴とする
    特許請求の範囲第1項記載の感圧接着性シート。
  4. 【請求項4】感圧接着剤が粘着付与剤を含有することを
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載の感圧接着性シー
    ト。
  5. 【請求項5】基材樹脂シートが可塑剤を含有し、且つ、
    紫外線を透過させ得る樹脂シートであつて、この樹脂シ
    ート上に、 (a)弾性重合体、 (b)紫外線架橋性アクリル酸エステル、 (c)重合開始剤、及び (d)光増感剤としてアミノ基を有する(メタ)アクリル
    酸エステル を含有する感圧接着剤の層が、上記可塑剤及び紫外線架
    橋性アクリル酸エステルを透過させないが、紫外線を透
    過させる樹脂層を介して形成されていることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の感圧接着性シート。
  6. 【請求項6】基材樹脂シートがポリ塩化ビニル又は塩化
    ビニルの共重合体からなることを特徴とする特許請求の
    範囲第5項記載の感圧接着性シート。
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