JPH06134526A - ステンレススチール配管の曲げ加工方法及び装置 - Google Patents
ステンレススチール配管の曲げ加工方法及び装置Info
- Publication number
- JPH06134526A JPH06134526A JP28903192A JP28903192A JPH06134526A JP H06134526 A JPH06134526 A JP H06134526A JP 28903192 A JP28903192 A JP 28903192A JP 28903192 A JP28903192 A JP 28903192A JP H06134526 A JPH06134526 A JP H06134526A
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- JP
- Japan
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- bending
- bent
- piping
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- Bending Of Plates, Rods, And Pipes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 パーティクルの原因となるクラックの発生を
防止しながら小さな曲率半径で配管を曲げ加工すること
ができるステンレススチール配管の曲げ加工方法及び装
置を提供する。 【構成】 配管の曲げ加工部分を１００〜４００℃に加
熱しながら曲げ加工する。曲げ加工装置は、ヒーター１
７を有する内型１３と外型１４とを備えており、曲げ加
工を行う配管Ｐを係止部１６に係止させて外型１４と内
型１３との間にセットし、外型１４を内型１３の外周に
沿って回動させることにより、配管Ｐの曲げ加工を行
う。
防止しながら小さな曲率半径で配管を曲げ加工すること
ができるステンレススチール配管の曲げ加工方法及び装
置を提供する。 【構成】 配管の曲げ加工部分を１００〜４００℃に加
熱しながら曲げ加工する。曲げ加工装置は、ヒーター１
７を有する内型１３と外型１４とを備えており、曲げ加
工を行う配管Ｐを係止部１６に係止させて外型１４と内
型１３との間にセットし、外型１４を内型１３の外周に
沿って回動させることにより、配管Ｐの曲げ加工を行
う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ステンレススチール配
管の曲げ加工方法及び装置に関し、詳しくは、半導体薄
膜製造装置に用いるステンレススチール（ＳＵＳ）配管
のように、曲げ加工する際に発生するパーティクルが装
置性能に影響を及ぼすものに用いられる配管を、特に小
さな曲率半径で曲げ加工する方法及び装置に関する。
管の曲げ加工方法及び装置に関し、詳しくは、半導体薄
膜製造装置に用いるステンレススチール（ＳＵＳ）配管
のように、曲げ加工する際に発生するパーティクルが装
置性能に影響を及ぼすものに用いられる配管を、特に小
さな曲率半径で曲げ加工する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】一般
に、配管を曲げ加工すると、配管の内面にクラックを生
じるが、半導体薄膜製造装置においては、使用するＳＵ
Ｓ配管の曲げ加工部分のクラックが原因で発生するパー
ティクルが、該配管内を流れる流体に同伴されて薄膜を
形成する成長室内に侵入し、製造する薄膜の品質に悪影
響を与えてしまうことがあった。このようなＳＵＳ配管
の曲げ加工が原因で生じるパーティクルは、曲げ加工後
に十分な時間をかけてパージを行うことにより減少させ
ることが可能ではあるが、そのためには、相当な量のパ
ージガスと時間とを費やさなければならない。
に、配管を曲げ加工すると、配管の内面にクラックを生
じるが、半導体薄膜製造装置においては、使用するＳＵ
Ｓ配管の曲げ加工部分のクラックが原因で発生するパー
ティクルが、該配管内を流れる流体に同伴されて薄膜を
形成する成長室内に侵入し、製造する薄膜の品質に悪影
響を与えてしまうことがあった。このようなＳＵＳ配管
の曲げ加工が原因で生じるパーティクルは、曲げ加工後
に十分な時間をかけてパージを行うことにより減少させ
ることが可能ではあるが、そのためには、相当な量のパ
ージガスと時間とを費やさなければならない。
【０００３】なお、内面を電界研磨した管（ＥＰ管）を
用いると、通常のブライト・アニール管（ＢＡ管）を用
いた場合より、曲げ加工時のパーティクルを減らせる
が、それでも無視し得ないパーティクルが発生するだけ
でなく、ＥＰ管はＢＡ管より高価なのでＥＰ管を用いる
とコストが上昇してしまう不都合がある。
用いると、通常のブライト・アニール管（ＢＡ管）を用
いた場合より、曲げ加工時のパーティクルを減らせる
が、それでも無視し得ないパーティクルが発生するだけ
でなく、ＥＰ管はＢＡ管より高価なのでＥＰ管を用いる
とコストが上昇してしまう不都合がある。
【０００４】また、曲げ加工部分の曲率半径を大きくす
ればパーティクル発生量が少なくなり、例えば曲率半径
が配管径の３倍のものに比べて、曲率半径を配管径の１
０倍にすると、パーティクル発生量が約１／１０になる
ことが知られており、パーティクルを発生させずにＳＵ
Ｓ配管を曲げ加工する一手段として、曲げ加工部分の曲
率半径を配管径の１０倍程度にすることが行われてい
る。
ればパーティクル発生量が少なくなり、例えば曲率半径
が配管径の３倍のものに比べて、曲率半径を配管径の１
０倍にすると、パーティクル発生量が約１／１０になる
ことが知られており、パーティクルを発生させずにＳＵ
Ｓ配管を曲げ加工する一手段として、曲げ加工部分の曲
率半径を配管径の１０倍程度にすることが行われてい
る。
【０００５】しかしながら、配管の曲げ加工部分の曲率
半径を大きくすると、通常用いられる曲率半径が３倍の
ものに比べて配管の曲げ部分の長さが大幅に長くなるた
め、複雑な装置の場合は、大きな配管スペースが必要と
なり、装置全体の大型化を招く不都合があった。
半径を大きくすると、通常用いられる曲率半径が３倍の
ものに比べて配管の曲げ部分の長さが大幅に長くなるた
め、複雑な装置の場合は、大きな配管スペースが必要と
なり、装置全体の大型化を招く不都合があった。
【０００６】一方、曲げ加工部に曲り部材（エルボ）を
用いれば、小さな曲率半径で配管の曲り部分を形成する
ことができ、ほとんどパーティクルを発生させることも
ないが、このように、別に形成したエルボを用いる場合
は、多数のエルボを用意し、これの両端を溶接するため
の手間とコストがかかり、装置の高価格化を招くことに
なる。
用いれば、小さな曲率半径で配管の曲り部分を形成する
ことができ、ほとんどパーティクルを発生させることも
ないが、このように、別に形成したエルボを用いる場合
は、多数のエルボを用意し、これの両端を溶接するため
の手間とコストがかかり、装置の高価格化を招くことに
なる。
【０００７】そこで本発明は、パーティクルの原因とな
るクラックの発生を防止しながら小さな曲率半径で配管
を曲げ加工することができるＳＵＳ配管の曲げ加工方法
及び装置を提供することを目的としている。
るクラックの発生を防止しながら小さな曲率半径で配管
を曲げ加工することができるＳＵＳ配管の曲げ加工方法
及び装置を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明の配管の曲げ加工方法は、配管の曲げ加工
部分を１００〜４００℃に加熱しながら曲げ加工するこ
とを特徴とするものであり、また、本発明の配管の曲げ
加工装置は、配管の曲げ加工部分の内径に対応した外径
を有する内型と、該内型との間に配管径に相当する距離
を保って内型外周に沿って回動する外型と、曲げ加工開
始側の配管を係止する係止部とを備えるとともに、前記
内型及び外型に、曲げ加工する配管を１００〜４００℃
に加熱するヒーターを配設したことを特徴としている。
ため、本発明の配管の曲げ加工方法は、配管の曲げ加工
部分を１００〜４００℃に加熱しながら曲げ加工するこ
とを特徴とするものであり、また、本発明の配管の曲げ
加工装置は、配管の曲げ加工部分の内径に対応した外径
を有する内型と、該内型との間に配管径に相当する距離
を保って内型外周に沿って回動する外型と、曲げ加工開
始側の配管を係止する係止部とを備えるとともに、前記
内型及び外型に、曲げ加工する配管を１００〜４００℃
に加熱するヒーターを配設したことを特徴としている。
【０００９】
【作 用】配管の曲げ加工部に熱を加えることにより塑
性加工が円滑に行われ、配管内面のクラック発生量が減
り、クラック部から発生するパーティクル量が減る。こ
のときＳＵＳ配管の加熱温度は、ステンレススチールを
円滑に塑性加工することができる最低温度が１００℃で
あり、４００℃以上に加熱すると表面が酸化されてしま
う。
性加工が円滑に行われ、配管内面のクラック発生量が減
り、クラック部から発生するパーティクル量が減る。こ
のときＳＵＳ配管の加熱温度は、ステンレススチールを
円滑に塑性加工することができる最低温度が１００℃で
あり、４００℃以上に加熱すると表面が酸化されてしま
う。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を、図面を参照しながら、さら
に詳細に説明する。図１乃至図３は、１／４ＳＵＳＢＡ
配管を、それぞれ２３０℃，１４０℃，室温で、曲率半
径を直径の３倍（Ｒ＝３Ｄ）として曲げ加工したときの
管内面のクラックＣの発生状態を示すもので、図１に示
す２３０℃に加熱して曲げ加工したときの内面のクラッ
ク量は、図３に示す室温で曲げ加工したときの内面のク
ラック量に比べてはるかに少ないことが判る。
に詳細に説明する。図１乃至図３は、１／４ＳＵＳＢＡ
配管を、それぞれ２３０℃，１４０℃，室温で、曲率半
径を直径の３倍（Ｒ＝３Ｄ）として曲げ加工したときの
管内面のクラックＣの発生状態を示すもので、図１に示
す２３０℃に加熱して曲げ加工したときの内面のクラッ
ク量は、図３に示す室温で曲げ加工したときの内面のク
ラック量に比べてはるかに少ないことが判る。
【００１１】図４は、上記配管を同様に曲げ加工したと
きのパーティクルの発生数を測定したもので、室温で曲
げ加工したものは、曲げ加工時に大量のパーティクルが
発生し、また、曲げ加工後に衝撃を与えたときにも大量
のパーティクルが発生することが判る。
きのパーティクルの発生数を測定したもので、室温で曲
げ加工したものは、曲げ加工時に大量のパーティクルが
発生し、また、曲げ加工後に衝撃を与えたときにも大量
のパーティクルが発生することが判る。
【００１２】図５は、発生するパーティクルの粒径分布
を示すもので、室温で曲げ加工したものは、各粒径のパ
ーティクルが一様に発生しており、しかも大気中のパー
ティクル成分とは明らかに異なっている。一方、２３０
℃，１４０℃で曲げ加工したものは、各粒径のパーティ
クルが一様に発生しているが、発生量は大幅に低減して
いることが判る。なお、図５は、ＢＡ管についての実験
結果を示すものであるが、ＥＰ管についても大幅なパー
ティクル低減効果が認められた。
を示すもので、室温で曲げ加工したものは、各粒径のパ
ーティクルが一様に発生しており、しかも大気中のパー
ティクル成分とは明らかに異なっている。一方、２３０
℃，１４０℃で曲げ加工したものは、各粒径のパーティ
クルが一様に発生しているが、発生量は大幅に低減して
いることが判る。なお、図５は、ＢＡ管についての実験
結果を示すものであるが、ＥＰ管についても大幅なパー
ティクル低減効果が認められた。
【００１３】図６は、上記のようにＳＵＳ配管の曲げ加
工部分を加熱しながら曲げ加工するための装置の一実施
例を示すもので、特に半導体薄膜製造装置に多く用いら
れる小口径のＳＵＳ配管を曲げ加工する際に好適なもの
である。
工部分を加熱しながら曲げ加工するための装置の一実施
例を示すもので、特に半導体薄膜製造装置に多く用いら
れる小口径のＳＵＳ配管を曲げ加工する際に好適なもの
である。
【００１４】この曲げ加工装置１０は、２本の柄１１，
１２の先端部に、それぞれ配管の曲げ加工部分の内側に
位置する内型１３と外側に位置する外型１４とを設けた
もので、一方の柄１１に設けられた内型１３は、その外
周面が配管Ｐの曲げ加工部分の内径に対応した外径を有
する円弧状に形成されており、他方の柄１２に設けられ
た外型１４は、前記内型１３の中心に回動可能に設けら
れたレバー１５を介して、内型１３の周囲を、その間に
配管Ｐの直径に相当する距離を保って回動するように形
成されている。また、一方の柄１１の先端には、配管Ｐ
を曲げ加工する際に、配管Ｐの直線部を係止する係止部
１６が設けられている。
１２の先端部に、それぞれ配管の曲げ加工部分の内側に
位置する内型１３と外側に位置する外型１４とを設けた
もので、一方の柄１１に設けられた内型１３は、その外
周面が配管Ｐの曲げ加工部分の内径に対応した外径を有
する円弧状に形成されており、他方の柄１２に設けられ
た外型１４は、前記内型１３の中心に回動可能に設けら
れたレバー１５を介して、内型１３の周囲を、その間に
配管Ｐの直径に相当する距離を保って回動するように形
成されている。また、一方の柄１１の先端には、配管Ｐ
を曲げ加工する際に、配管Ｐの直線部を係止する係止部
１６が設けられている。
【００１５】そして、上記両型１３，１４には、曲げ加
工する配管を１００〜４００℃に加熱するためのヒータ
ー１７が設けられている。なお、このヒーター１７は、
図示しない配線を介して電源部に接続されている。ま
た、両型１３，１４あるいは両柄１１，１２には、ヒー
ター１７の熱ロスを低減するための断熱構造を採用する
ことが好ましい。
工する配管を１００〜４００℃に加熱するためのヒータ
ー１７が設けられている。なお、このヒーター１７は、
図示しない配線を介して電源部に接続されている。ま
た、両型１３，１４あるいは両柄１１，１２には、ヒー
ター１７の熱ロスを低減するための断熱構造を採用する
ことが好ましい。
【００１６】この曲げ加工装置１０を用いてＳＵＳ配管
Ｐの曲げ加工を行うには、まず、必要に応じて予熱を行
った配管Ｐを、前記両柄１１，１２を開いた状態の内型
１３と外型１４との間に挿入するとともに、曲げ加工開
始側の配管Ｐを柄１１先端の係止部１６に係止する。そ
して、ヒーター１７による配管Ｐの加熱状態を確認した
後、両柄１１，１２を図に想像線で示すように閉じてい
くと、相対的に外型１４が内型１３の周囲に沿って回動
し、両型１３，１４に挟まれた配管Ｐが内型１３の外径
に略対応した曲率半径に曲げ加工される。
Ｐの曲げ加工を行うには、まず、必要に応じて予熱を行
った配管Ｐを、前記両柄１１，１２を開いた状態の内型
１３と外型１４との間に挿入するとともに、曲げ加工開
始側の配管Ｐを柄１１先端の係止部１６に係止する。そ
して、ヒーター１７による配管Ｐの加熱状態を確認した
後、両柄１１，１２を図に想像線で示すように閉じてい
くと、相対的に外型１４が内型１３の周囲に沿って回動
し、両型１３，１４に挟まれた配管Ｐが内型１３の外径
に略対応した曲率半径に曲げ加工される。
【００１７】このように、本実施例に示す装置を用いる
ことにより、配管Ｐを加熱しながらの曲げ加工を容易に
行うことができ、前述のように、パーティクルがほとん
ど発生しない曲げ加工を極めて容易に行うことができ
る。
ことにより、配管Ｐを加熱しながらの曲げ加工を容易に
行うことができ、前述のように、パーティクルがほとん
ど発生しない曲げ加工を極めて容易に行うことができ
る。
【００１８】なお、前記本発明方法は、上記曲げ加工装
置を用いなくても実施することが可能であり、例えば、
一般に用いられている配管曲げ加工機に所定温度に加熱
した配管をセットし、温度が下がらない間に曲げ加工を
行うようにすればよい。
置を用いなくても実施することが可能であり、例えば、
一般に用いられている配管曲げ加工機に所定温度に加熱
した配管をセットし、温度が下がらない間に曲げ加工を
行うようにすればよい。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
簡単な操作でパーティクルの発生を抑えた小さな曲率半
径の曲げ加工が可能になり、半導体薄膜形成装置等、複
雑な装置のＳＵＳ配管を安価に提供することができる。
簡単な操作でパーティクルの発生を抑えた小さな曲率半
径の曲げ加工が可能になり、半導体薄膜形成装置等、複
雑な装置のＳＵＳ配管を安価に提供することができる。
【図１】２３０℃に加熱しながら曲げ加工を行ったＳＵ
Ｓ配管内面の状態を示す図である。
Ｓ配管内面の状態を示す図である。
【図２】１４０℃に加熱しながら曲げ加工を行ったＳＵ
Ｓ配管内面の状態を示す図である。
Ｓ配管内面の状態を示す図である。
【図３】室温で曲げ加工を行ったＳＵＳ配管内面の状態
を示す図である。
を示す図である。
【図４】各温度で曲げ加工したときのパーティクル発生
数を示す図である。
数を示す図である。
【図５】発生するパーティクルの粒径分布を示す図であ
る。
る。
【図６】本発明の曲げ加工装置の一実施例を示す正面図
である。
である。
１０…曲げ加工装置、１３…内型、１４…外型、１６…
係止部、１７…ヒーター
係止部、１７…ヒーター
Claims (2)
- 【請求項１】 ステンレススチール配管を曲げ加工する
にあたり、該配管の曲げ加工部分を１００〜４００℃に
加熱しながら曲げ加工することを特徴とするステンレス
スチール配管の曲げ加工方法。 - 【請求項２】 ステンレススチール配管を曲げ加工する
装置であって、該配管の曲げ加工部分の内径に対応した
外径を有する内型と、該内型との間に配管径に相当する
距離を保って内型外周に沿って回動する外型と、曲げ加
工開始側の配管を係止する係止部とを備えるとともに、
前記内型及び外型に、曲げ加工する配管を１００〜４０
０℃に加熱するヒーターを配設したことを特徴とするス
テンレススチール配管の曲げ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28903192A JPH06134526A (ja) | 1992-10-27 | 1992-10-27 | ステンレススチール配管の曲げ加工方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28903192A JPH06134526A (ja) | 1992-10-27 | 1992-10-27 | ステンレススチール配管の曲げ加工方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06134526A true JPH06134526A (ja) | 1994-05-17 |
Family
ID=17737935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28903192A Pending JPH06134526A (ja) | 1992-10-27 | 1992-10-27 | ステンレススチール配管の曲げ加工方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06134526A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104907372A (zh) * | 2015-05-27 | 2015-09-16 | 德清铭泰户外用品有限公司 | 双边电热管材折弯机 |
| CN104942098A (zh) * | 2015-05-26 | 2015-09-30 | 德清铭泰户外用品有限公司 | 手动双边电热管材折弯机 |
| CN104942099A (zh) * | 2015-05-26 | 2015-09-30 | 德清铭泰户外用品有限公司 | 单边电热管材折弯机 |
| CN104942100A (zh) * | 2015-05-26 | 2015-09-30 | 德清铭泰户外用品有限公司 | 手动单边电热管材折弯机 |
| CN108262411A (zh) * | 2017-11-23 | 2018-07-10 | 湖北江山专用汽车有限公司 | 一种汽车侧护栏支撑筋的辅助成形装置 |
-
1992
- 1992-10-27 JP JP28903192A patent/JPH06134526A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104942098A (zh) * | 2015-05-26 | 2015-09-30 | 德清铭泰户外用品有限公司 | 手动双边电热管材折弯机 |
| CN104942099A (zh) * | 2015-05-26 | 2015-09-30 | 德清铭泰户外用品有限公司 | 单边电热管材折弯机 |
| CN104942100A (zh) * | 2015-05-26 | 2015-09-30 | 德清铭泰户外用品有限公司 | 手动单边电热管材折弯机 |
| CN104907372A (zh) * | 2015-05-27 | 2015-09-16 | 德清铭泰户外用品有限公司 | 双边电热管材折弯机 |
| CN108262411A (zh) * | 2017-11-23 | 2018-07-10 | 湖北江山专用汽车有限公司 | 一种汽车侧护栏支撑筋的辅助成形装置 |
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