JPH0612891U - 半導体製造装置の配管固定構造 - Google Patents
半導体製造装置の配管固定構造Info
- Publication number
- JPH0612891U JPH0612891U JP5616892U JP5616892U JPH0612891U JP H0612891 U JPH0612891 U JP H0612891U JP 5616892 U JP5616892 U JP 5616892U JP 5616892 U JP5616892 U JP 5616892U JP H0612891 U JPH0612891 U JP H0612891U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bolt
- flange
- bolt insertion
- pipe
- semiconductor manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 設置スペースを小さくし、また配管の取り付
け取り外し作業を簡単とする。 【構成】 フランジ3、5のボルト挿通孔8、9の外側
にはボルト挿脱用切欠部10、11が設けられている。
接続用管2に配管4を固定する場合には、両フランジ
3、5を重ね合わせ、両ボルト挿通孔8、9および両ボ
ルト挿脱用切欠部10、11の位置合わせを行なう。次
に、ボルト6の軸部6aの先端にナット7を取り付けた
状態で、ボルト6の軸部6aを両フランジ3、5の外周
側から両ボルト挿脱用切欠部10、11を介して両ボル
ト挿通孔8、9に挿入し、ナット7を締め付ける。この
場合、フランジ3と装置本体1との間にはボルト6の頭
部6bを挿入し得る程度の隙間があればよく、したがっ
て設置スペースを小さくすることができる。また、ナッ
ト7をボルト6の軸部6aから完全に取り外す必要がな
く、したがって配管4の取り付け取り外し作業を簡単と
することができる。
け取り外し作業を簡単とする。 【構成】 フランジ3、5のボルト挿通孔8、9の外側
にはボルト挿脱用切欠部10、11が設けられている。
接続用管2に配管4を固定する場合には、両フランジ
3、5を重ね合わせ、両ボルト挿通孔8、9および両ボ
ルト挿脱用切欠部10、11の位置合わせを行なう。次
に、ボルト6の軸部6aの先端にナット7を取り付けた
状態で、ボルト6の軸部6aを両フランジ3、5の外周
側から両ボルト挿脱用切欠部10、11を介して両ボル
ト挿通孔8、9に挿入し、ナット7を締め付ける。この
場合、フランジ3と装置本体1との間にはボルト6の頭
部6bを挿入し得る程度の隙間があればよく、したがっ
て設置スペースを小さくすることができる。また、ナッ
ト7をボルト6の軸部6aから完全に取り外す必要がな
く、したがって配管4の取り付け取り外し作業を簡単と
することができる。
Description
【0001】
この考案は半導体製造装置の配管固定構造に関する。
【0002】
半導体製造装置には、装置本体(チャンバ)内を真空にしたり、装置本体内に 供給されたガスや液体を排出したりするために、装置本体の下部に配管を接続し たものがある。このような半導体製造装置では、図2(A)に示すように、装置 本体1の下面に設けられた接続用管2のフランジ3に配管4のフランジ5をボル ト6およびナット7を用いて固定している。この場合、フランジ3、5は、図2 (B)に示すように、複数のボルト挿通孔8、9が同一円周上に等間隔的に設け られた構造となっている。そして、接続用管2のフランジ3に配管4のフランジ 5を固定する場合には、フランジ3にフランジ5を重ね合わせ、ボルト挿通孔8 に対してボルト挿通孔9の位置合わせを行なった後、ボルト6の軸部6aを下側 からだと落下するので上側からボルト挿通孔8、9に挿入し、ボルト挿通孔9か ら突出したボルト6の軸部6aにナット7を取り付けて締め付けている。一方、 取り外す場合には、ナット7を緩めてボルト6の軸部6aから取り外した後、ボ ルト6をボルト挿通孔8、9から引き抜いている。
【0003】
しかしながら、従来のこのような半導体製造装置の配管固定構造では、フラン ジ3の上方に装置本体1があるので、ボルト6の軸部6aをボルト挿通孔8、9 に入れたり出したりするために、フランジ3と装置本体1との間にボルト6の長 さ以上の隙間を設ける必要があり、したがって設置スペースが大きくなるばかり でなく、狭い空間に設置する場合には設計上の制約を受けるという問題があった 。また、フランジ3からフランジ5を取り外す場合、ナット7をボルト6の軸部 6aから完全に取り外す必要があるので、配管4の取り付け取り外し作業が面倒 であるという問題があった。 この考案の目的は、設置スペースを小さくすることができ、また配管の取り付 け取り外し作業を簡単とすることのできる半導体製造装置の配管固定構造を提供 することにある。
【0004】
この考案は、半導体製造装置本体に設けられた接続用管のフランジに配管のフ ランジをボルトおよびナットを用いて固定した半導体製造装置の配管固定構造に おいて、前記両フランジのボルト挿通孔を外周側に開放して外周側からのボルト 挿脱を可能となしたものである。
【0005】
この考案によれば、接続用管のフランジに配管のフランジを固定する場合に、 両フランジを重ね合わせ、両ボルト挿通孔の位置合わせを行なうと、ボルトの軸 部の先端にナットを取り付けた状態で、ボルトの軸部をフランジの外周側から挿 入することができ、またナットをボルトの軸部から完全に取り外す必要がなく、 したがって設置スペースを小さくすることができ、また配管の取り付け取り外し 作業を簡単とすることができる。
【0006】
図1(A)はこの考案の一実施例における半導体製造装置の配管固定構造の要 部を示したものである。この図において、図2(A)と同一名称部分には同一の 符号を付し、その説明を適宜省略する。この実施例におけるフランジ3、5は、 図1(B)に示すように、複数のボルト挿通孔8、9が同一円周上に等間隔的に 設けられ、さらにボルト挿通孔8、9の外周側にボルト挿通孔8、9を外周側に 開放するボルト挿脱用切欠部10、11が設けられた構造となっている。
【0007】 次に、この実施例において、接続用管2のフランジ3に配管4のフランジ5を 固定する場合について説明する。この場合には、まず、フランジ3にフランジ5 を重ね合わせ、ボルト挿通孔8およびボルト挿脱用切欠部10に対してボルト挿 通孔9およびボルト挿脱用切欠部11の位置合わせを行なう。次に、ボルト6の 軸部6aの先端にナット7を取り付けた状態で、ボルト6の頭部6bをフランジ 3と装置本体1との間に挿入しながら、ボルト6の軸部6aを両フランジ3、5 の外周側から両ボルト挿脱用切欠部10、11を介して両ボルト挿通孔8、9に 挿入する。次に、ボルト6の軸部6aの先端に取り付けたナット7を締め付ける と、接続用管2のフランジ3に配管4のフランジ5が固定される。一方、取り外 す場合には、ナット7を適宜に緩めるだけでボルト6の軸部6aの先端に取り付 けたままとし、そしてボルト6の軸部6aを両ボルト挿通孔8、9から両ボルト 挿脱用切欠部10、11を介して両フランジ3、5の外周側に引き出すと、接続 用管2のフランジ3から配管4のフランジ5を取り外すことができる。
【0008】 このように、この半導体製造装置の配管固定構造では、ボルト6の軸部6aの 先端にナット7を取り付けた状態で、ボルト6の軸部6aを両フランジ3、5の 外周側から両ボルト挿脱用切欠部10、11を介して両ボルト挿通孔8、9に挿 入しているので、フランジ3と装置本体1との間にボルト6の頭部6bを挿入し 得る程度の隙間があればよく、したがって設置スペースを小さくすることができ 、狭い空間に設置する場合も設計上の制約をあまり受けないようにすることがで きる。また、ナット7をボルト6の軸部6aから完全に取り外す必要がなく、し たがって配管4の取り付け取り外し作業を簡単とすることができる。
【0009】
以上説明したように、この考案によれば、ボルトの軸部の先端にナットを取り 付けた状態で、ボルトの軸部をフランジの外周側からボルト挿通孔に挿入するこ とができるので、設置スペースを小さくすることができ、したがって狭い空間に 設置する場合も設計上の制約をあまり受けないようにすることができ、またナッ トをボルトの軸部から完全に取り外す必要がなく、したがって配管の取り付け取 り外し作業を簡単とすることができる。
【図1】(A)はこの考案の一実施例における半導体製
造装置の配管固定構造の要部の正面図、(B)はそのフ
ランジの平面図。
造装置の配管固定構造の要部の正面図、(B)はそのフ
ランジの平面図。
【図2】(A)は従来の半導体製造装置の配管固定構造
の一部の正面図、(B)はそのフランジの平面図。
の一部の正面図、(B)はそのフランジの平面図。
1 装置本体 2 接続用管 3 フランジ 4 配管 5 フランジ 6 ボルト 7 ナット 8、9 ボルト挿通孔 10、11 ボルト挿脱用切欠部
Claims (1)
- 【請求項1】 半導体製造装置本体に設けられた接続用
管のフランジに配管のフランジをボルトおよびナットを
用いて固定した半導体製造装置の配管固定構造におい
て、 前記両フランジのボルト挿通孔を外周側に開放して外周
側からのボルト挿脱を可能となしたことを特徴とする半
導体製造装置の配管固定構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5616892U JPH0612891U (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 半導体製造装置の配管固定構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5616892U JPH0612891U (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 半導体製造装置の配管固定構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0612891U true JPH0612891U (ja) | 1994-02-18 |
Family
ID=13019572
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5616892U Pending JPH0612891U (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 半導体製造装置の配管固定構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0612891U (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005095841A1 (ja) * | 2004-04-02 | 2005-10-13 | Calsonic Kansei Corporation | 配管接続構造 |
WO2006073242A1 (en) * | 2005-01-04 | 2006-07-13 | Jeong Ja Kim | Flange |
JP2010203601A (ja) * | 2009-02-06 | 2010-09-16 | Ck Metals Co Ltd | フランジ構造及び管継手 |
JP2019190560A (ja) * | 2018-04-24 | 2019-10-31 | コスモ工機株式会社 | フランジ補強具の装着方法及びそれに用いる装着工具 |
JP2020112249A (ja) * | 2019-01-16 | 2020-07-27 | コスモ工機株式会社 | 漏洩防止装置 |
KR102496394B1 (ko) * | 2022-11-29 | 2023-02-06 | (주)한결테크닉스 | 플랜지와 소켓 기능을 겸비한 지하수 관정용 양수 파이프의 이음매 어셈블리 |
-
1992
- 1992-07-20 JP JP5616892U patent/JPH0612891U/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005095841A1 (ja) * | 2004-04-02 | 2005-10-13 | Calsonic Kansei Corporation | 配管接続構造 |
WO2006073242A1 (en) * | 2005-01-04 | 2006-07-13 | Jeong Ja Kim | Flange |
JP4665177B2 (ja) * | 2005-01-04 | 2011-04-06 | ナップ カンパニー リミテッド | フランジ |
JP2010203601A (ja) * | 2009-02-06 | 2010-09-16 | Ck Metals Co Ltd | フランジ構造及び管継手 |
JP4571696B2 (ja) * | 2009-02-06 | 2010-10-27 | シーケー金属株式会社 | フランジ構造及び管継手 |
JP2019190560A (ja) * | 2018-04-24 | 2019-10-31 | コスモ工機株式会社 | フランジ補強具の装着方法及びそれに用いる装着工具 |
JP2020112249A (ja) * | 2019-01-16 | 2020-07-27 | コスモ工機株式会社 | 漏洩防止装置 |
KR102496394B1 (ko) * | 2022-11-29 | 2023-02-06 | (주)한결테크닉스 | 플랜지와 소켓 기능을 겸비한 지하수 관정용 양수 파이프의 이음매 어셈블리 |
WO2024117645A1 (ko) * | 2022-11-29 | 2024-06-06 | (주)한결테크닉스 | 플랜지와 소켓 기능을 겸비한 지하수 관정용 양수 파이프의 이음매 어셈블리 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0612891U (ja) | 半導体製造装置の配管固定構造 | |
JPS6372990A (ja) | パイプの横方向接続装置とその方法 | |
JP2001032978A (ja) | 管継手構造 | |
JP2000136890A (ja) | 接続用フランジ | |
JPH0634079A (ja) | 建屋取付用管継手 | |
JPH0221078A (ja) | 空気抜装置 | |
JPH08128570A (ja) | ガス配管接続装置 | |
JPH07332552A (ja) | 管継手の接続方法 | |
JP2603263Y2 (ja) | リプレイスネジ構造 | |
JPH0350255Y2 (ja) | ||
JPH025177Y2 (ja) | ||
JP2543569Y2 (ja) | 密閉式開閉蓋付排水器具 | |
JPH0612890U (ja) | 半導体製造装置の真空ポンプ固定構造 | |
JPH10311470A (ja) | 配管接続用フランジ間へのパッキン位置決め方法及び装置 | |
JP2001108167A (ja) | ポリエチレン管と鋼管との接続用継手 | |
JPH0129347Y2 (ja) | ||
JPH0338531Y2 (ja) | ||
JP3061379U (ja) | Ns直管用セッティングバンド | |
KR200383996Y1 (ko) | 오일 제거 필터용 가이드 베인의 고정수단 | |
JPH0438205Y2 (ja) | ||
JP2542777Y2 (ja) | ストレーナの取付構造 | |
JPH0239110Y2 (ja) | ||
JP2592908Y2 (ja) | 分岐管用継手 | |
KR200340616Y1 (ko) | 인류클램프용 접속관 | |
JPS5923912Y2 (ja) | パイプ接続構造 |