JP2015202463A - 被洗浄物の洗浄方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】被洗浄物の洗浄液による浸漬洗浄、蒸気洗浄、乾燥等の洗浄作業を、簡易な手段で精密に行うことを可能とする。【解決手段】被洗浄物8の蒸気洗浄又は液洗浄を洗浄室3内で行った後、この洗浄室3と連通する乾燥室4に被洗浄物8を移送して洗浄室3と乾燥室4との連通を遮断する。次に、乾燥室4に接続した減圧機構18を作動して乾燥室4内で被洗浄物8の減圧乾燥を行う。この減圧乾燥後に乾燥室4に接続した制御弁20を開放して乾燥室4内に外気を導入し、乾燥室4内の被洗浄物8に気体を流動接触させ、被洗浄物の表面に付着している微粒子を物理的に除去する。【選択図】図1

Description

本発明は被洗浄物の洗浄方法に係るもので、被洗浄物の洗浄液による浸漬洗浄、蒸気洗浄、乾燥等の洗浄作業を、簡易な手段で精密に行うことを可能にしようとするものである。
従来より、被洗浄物の洗浄方法として、特許文献1に示すごとく、洗浄液による浸漬洗浄、蒸気洗浄、乾燥等の如く一つの被洗浄物に異なる洗浄作業を加えることが一般的に行われている。この方式は被洗浄物に付着した汚染物質を異なる手段で除去することができるため有効なものである。
特開平05ー78876号公報
しかしながら、特許文献1に記載の発明では、被洗浄物に付着した油分や比較的大きな粒径の粒子を除去するには有効なものである。しかし、被洗浄物に付着している微粒子を除去するには有効なものではなかった。被洗浄物に付着していた無機質の微粒子やホコリ等は、通常の洗浄作業で被洗浄物から分離しても洗浄作業中に再付着し易いものとなっている。
そこで本発明は、上述の如き課題を解決しようとするものであって、被洗浄物に付着する微粒子を簡易な構成により有効に除去することを可能にしようとするものである。
本願発明は、被洗浄物の洗浄方法にかかるもので、被洗浄物の蒸気洗浄又は液洗浄を洗浄室内で行った後、この洗浄室と連通する乾燥室に被洗浄物を移送して洗浄室と乾燥室との連通を遮断し、乾燥室に接続した減圧機構を作動して乾燥室内で被洗浄物の減圧乾燥を行い、この減圧乾燥後に乾燥室に接続した制御弁を開放して乾燥室内に外気を連続的に又は断続的に繰り返して導入し、乾燥室内の被洗浄物に気体を流動接触させるものである。
また、洗浄室と乾燥室との間には、中央部を被洗浄物の出入口とした仕切鍔を突出形成し、この仕切鍔の洗浄室側に、被洗浄物を載置する為の載置体を上下動可能に配置するとともに載置体の乾燥室方向への移動時に、外周部の上面を仕切鍔の下面に接触し、洗浄室と乾燥室を遮断可能としたものであっても良い。
また、乾燥室内への外気の連続的な導入は、制御弁を開放するとともに減圧機構を、乾燥のための減圧作動時から継続して連続的に作動することにより外気を導入するものであっても良い。
また、乾燥室内への外気の断続的導入は、制御弁を開放するとともに減圧機構の作動を停止し、乾燥室内を大気圧に戻した後に、減圧機構を再作動することにより外気を導入するものであっても良い。
また、乾燥室内への外気の断続的導入は、制御弁を開放するとともに減圧機構の作動を停止し、乾燥室内を大気圧に戻した後に、制御弁を閉止し減圧機構を再作動することにより乾燥室を減圧した後、制御弁を開放し外気を導入することを繰り返すものであっても良い。
また、乾燥室で流動気体と接触することにより冷却された被洗浄物を、洗浄室に再度導入して洗浄蒸気と接触し、被洗浄物の精密蒸気洗浄を行うものであっても良い。
また、乾燥室に導入する外気は、清浄化フイルターを介して導入するものであっても良い。
また、乾燥室に導入する外気は、冷却機構を介して導入するものであっても良い。
また、洗浄液は、塩素系溶剤、フッ素系溶剤、臭素系溶剤、フッ素系液、アルコール類、揮発性溶剤、炭化水素系溶剤、シリコーン系溶剤、テルペン系溶剤、水系溶剤の一種又は複数種を選択的に使用するものであっても良い。
本発明は上述の如く構成したものであって、被洗浄物の蒸気洗浄又は液洗浄を洗浄室内で行った後、この洗浄室と連通する乾燥室に被洗浄物を移送して洗浄室と乾燥室との連通を遮断し、減圧機構を作動して乾燥室内で被洗浄物の減圧乾燥を行う事で、従来の洗浄工程は完了していた。この状態では、被洗浄物の表面に洗浄液中に混入していた微粒子が再付着したままとなる。本発明では、上記の減圧乾燥後に乾燥室に接続した制御弁を開放し、乾燥室内に外気を導入し、乾燥室内の被洗浄物に気体を流動接触させることにより、被洗浄物の表面に付着している微粒子を物理的に除去することが可能となる。
また、蒸気洗浄や液洗浄によって高温化している被洗浄物に、気体を流動接触させることにより冷却することが可能となり、洗浄を完了した被洗浄物を乾燥室から取り出す等の後作業を容易に行うことができる。また、気体を流動接触させることにより被洗浄物を冷却することができるから、必要に応じて溶剤蒸気と再度接触させ、再度の蒸気洗浄を行うことも可能となり、被洗浄物の精密洗浄を可能とする。
また、上述のごとき技術効果を、従来の蒸気洗浄、真空乾燥装置に備えられた機構によって実現出来るから、特別の機構を必要とせずに廉価に高度の精密洗浄を可能とすることができるものである。
本発明の実施例を図面において詳細に説明すると、(1)は被洗浄物の洗浄槽で、上端を蓋体(2)で密閉被覆するとともに内部を上下に2分し、下部を洗浄室(3)とし上部を乾燥室(4)としている。この洗浄室(3)には、塩素系溶剤、フッ素系溶剤、臭素系溶剤、フッ素系液、アルコール類、揮発性溶剤、炭化水素系溶剤、シリコーン系溶剤、テルペン系溶剤、水系溶剤等の一種又は複数種を選択的に使用した洗浄液(5)を充填し、ヒータ、スチーム等の加熱源(6)と温度センサー(7)を配置する事により、洗浄液(5)の加熱を可能としている。また、この洗浄室(3)と乾燥室(4)との間には、中央部を被洗浄物(8)の出入口(10)とした仕切鍔(11)を、下面にパッキン(12)設けて突出形成している。そして、この仕切鍔(11)の下面側の洗浄室(3)内に、被洗浄物(8)を載置する為の載置体(13)を適宜の昇降機構により上下動可能に配置している。この載置体(13)の乾燥室(4)方向への移動時に外周部の上面を仕切鍔(11)の下面に接触し、洗浄室(3)と乾燥室(4)を遮断可能としている。
また洗浄室(3)には、第1開閉弁(14)を介して洗浄液(5)のプールタンク(15)を接続し、このプールタンク(15)に凝縮器(16)を接続している。また、乾燥室(4)には第2開閉弁(17)を介して前記の凝縮器(16)を接続し、この凝縮器(16)にバキュームポンプ、エゼクター等の減圧機構(18)を接続している。また、乾燥室(4)には前記の第2開閉弁(17)とは別個に、乾燥室(4)への外気の導入を制御する制御弁(20)を設けている。この制御弁(20)は、外気を直接導入するものであっても良いし、一定の処理機構(21)を介して外気を導入するものであっても良い。この処理機構(21)は、外気を清浄化して導入するためのフイルターであっても良いし、被洗浄物(8)の冷却を促進するための冷却器であっても良い。又これらを適宜組み合わせたものであっても良い。また、外気は洗浄槽(1)の外部に存在する大気のみを必ずしも意味するものではなく、窒素ガス、アルゴンガス等を含むものであって、乾燥室(4)に外部から導入するものであっても良い。
上述の如く構成した実施例1に於いて、被洗浄物(8)の洗浄を行うには、昇降機構により図2に示す如く、載置体(13)を上昇して載置体(13)の外周上面を仕切鍔(11)の下面に密着し、洗浄室(3)と乾燥室(4)の連通を遮断する。この遮断により洗浄室(3)の揮発した洗浄液(5)の蒸気が乾燥室(4)に流入することがない。次に洗浄槽(1)の蓋体(2)を開放し、人手または前記の昇降機構とは別個の昇降機構により、被洗浄物(8)を乾燥室(4)内に挿入して載置体(13)の上面に載置する。次に洗浄槽(1)の蓋体(2)を密閉し、図1に示す如く、載置体(13)を洗浄液(5)中まで下降して被洗浄物(8)を洗浄液(5)に浸漬し、洗浄液(5)により被洗浄物(8)の液洗浄を行う。
この液洗浄の完了後に載置体(13)を上昇し、図2に示す如く被洗浄物(8)を出入口(10)から乾燥室(4)内に挿入するとともに、載置体(13)の外周上面を仕切鍔(11)の下面に密着し、洗浄室(3)と乾燥室(4)の連通を遮断する。この遮断により洗浄室(3)の洗浄液(5)の揮発蒸気が乾燥室(4)に流入することはない。この状態で第2開閉弁(17)を開放し減圧機構(18)を作動すれば、乾燥室(4)内は減圧され、被洗浄物(8)に付着した溶剤の沸点が低下し揮発されて被洗浄物(8)の乾燥が行われる。
また、乾燥室(4)での被洗浄物(8)の乾燥が完了したら、乾燥室(4)内へ外気の連続的な導入を行う。この外気の連続的な導入は、制御弁(20)を開放するとともに減圧機構(18)を、乾燥のための減圧作動時から継続して連続的に作動することにより行うものである。この外気の連続的導入により、乾燥室(4)内に気体の流動が生じ被洗浄物(8)と接触するから、被洗浄物(8)の表面に残留又は再付着している微粒子を除去することが可能となる。洗浄作業前に被洗浄物(8)の表面に付着していた油分や液体は、浸漬洗浄よって除去されているから、被洗浄物(8)の表面に残留または再付着している微粒子は、乾燥室(4)内に生じる気体の流動によって容易に除去される。また、外気の導入口、導出口を複数設ければ、被洗浄物(8)の表面に広く複雑な気体の流動を生じさせることができるから、微粒子の除去を更に効率的に行う事が出来る。
また、乾燥室(4)内への外気の導入は、前記の制御弁(20)を開放するとともに減圧機構(18)を、乾燥のための減圧作動時から継続して連続的に作動することにより行うものであっても良いが、他の方法では乾燥室(4)内への外気の導入を断続的に行うものとしても良い。例えば、乾燥室(4)内への外気の断続的導入は、制御弁(20)を開放するとともに減圧機構(18)の作動を停止し、乾燥室(4)内を大気圧に戻した後に、減圧機構(18)を再作動することにより外気を導入するものである。また、他の方法では、乾燥室(4)内への外気の断続的導入は、制御弁(20)を開放するとともに減圧機構(18)の作動を停止し、乾燥室(4)内を大気圧に戻した後に、制御弁(20)を閉止し減圧機構(18)を再作動することにより乾燥室(4)を減圧した後、制御弁(20)を開放し外気を導入することを繰り返すものである。
減圧機構(18)を、減圧乾燥工程時から連続的に作動することにより外気を導入するものであれば、乾燥後の微粒子の除去作業を、乾燥工程と連続して行う事が出来、作業効率が良いものと成る。また、制御弁(20)を開放するとともに減圧機構(18)の作動を停止し、乾燥室(4)内を大気圧に戻した後に、減圧機構(18)を再作動することにより外気を導入するものとすれば、減圧機構(18)を、減圧乾燥工程時から連続的に作動する場合に比較し、乾燥室(4)内に多くの乱気流を発生させ、被洗浄物(8)と外気との接触を効率よく行い、微粒子の除去作業を良好に行う事が出来る。
また、外気の導入を処理機構(21)を介して行えば、作業目的に合わせた加工を外気に加えることが可能となる。例えば処理機構(21)をフイルターとすれば、外気を浄化して導入し被洗浄物(8)と接触することができるから、高度の精密洗浄を可能とすることができる。また、処理機構(21)を冷却器とすれば、外気を冷却して導入することができるから、被洗浄物(8)の冷却効果を高め、次工程への被洗浄物(8)の移送を熱に妨げられることなく迅速に行う事ができる。また、処理機構(21)に上記の複数の構成を併用することも勿論可能である。例えば、冷却器で冷却した外気をフイルターで濾過した後に被洗浄物(8)に接触させることも可能となる。
上記の実施例1に於いては、被洗浄物(8)を洗浄液(5)に浸漬する液洗浄を行った後に、この被洗浄物(8)を減圧乾燥し、流動する外気と接触して表面に付着した微粒子を除去する洗浄方法としている。これに対し、本実施例2に於いては図3、図4に示す如く被洗浄物(8)を洗浄蒸気(22)と接触させる蒸気洗浄を行った後に、この被洗浄物(8)を減圧乾燥し、流動する外気と接触して表面に付着した微粒子を除去する洗浄方法としている。この洗浄方法は、昇降機構により図4に示す如く、載置体(13)を上昇して載置体(13)の外周上面を仕切鍔(11)の下面に密着し、洗浄蒸気(22)を発生させている洗浄室(3)と、乾燥室(4)の連通を遮断する。この遮断により洗浄室(3)内に発生している洗浄蒸気(22)が乾燥室(4)に流入することがない。次に洗浄槽(1)の蓋体(2)を開放し、人手または前記の昇降機構又は別個の昇降機構により、被洗浄物(8)を乾燥室(4)内に挿入して載置体(13)の上面に載置する。次に洗浄槽(1)の蓋体(2)を密閉し、図3に示す如く、載置体(13)を洗浄室(3)内に下降して、被洗浄物(8)を洗浄蒸気(22)に接触させ、被洗浄物(8)の表面で洗浄蒸気(22)を凝縮させることにより被洗浄物(8)の蒸気洗浄を行う。
この蒸気洗浄の完了後に載置体(13)を上昇し、図4に示す如く被洗浄物(8)を出入口(10)から乾燥室(4)内に挿入するとともに、載置体(13)の外周上面を仕切鍔(11)の下面に密着し、洗浄室(3)と乾燥室(4)の連通を遮断する。この遮断により洗浄室(3)の洗浄蒸気(22)が乾燥室(4)に流入することはない。この状態で第2開閉弁(17)を開放し減圧機構(18)を作動すれば、乾燥室(4)内は減圧され、被洗浄物(8)に付着した溶剤の沸点が低下し揮発されて被洗浄物(8)の乾燥が行われる。また、減圧によって減圧機構(18)に吸引された洗浄蒸気(22)は、凝縮器(16)で凝縮液化しプールタンク(15)に収納される。このプールタンク(15)の洗浄液(5)は、洗浄室(3)の洗浄液(5)の消耗に伴い補給される。
乾燥室(4)での被洗浄物(8)の乾燥が完了したら、制御弁(20)を開放し外気を導入すれば、乾燥室(4)内に気体の流動が生じ被洗浄物(8)と接触するから、被洗浄物(8)の表面に残留付着している微粒子を除去することが可能となる。洗浄作業前に被洗浄物(8)の表面に付着していた油分や液体は、蒸気洗浄によって除去されているから、被洗浄物(8)の表面に残留または再付着している微粒子は、乾燥室(4)内に生じる気体の流動によって容易に除去される。また、外気の導入口、導出口を複数設ければ、被洗浄物(8)の表面に広く気体の流動を生じさせることができるから、微粒子の除去を更に効率的に行う事が出来る。また、乾燥室(4)内への外気の導入方法は、実施例1の場合と同様におこなうことができる。
また、外気の導入を処理機構(21)を介して行えば、作業目的に合わせた加工を外気に加えることが可能となる事も実施例1の場合と同様である。また、処理機構(21)を冷却器とし、この冷却器を介して導入した外気や、常温の外気との接触により冷却した被洗浄物(8)を、洗浄蒸気(22)と再度接触して蒸気洗浄することも可能となり、再度の蒸気洗浄により1回の蒸気洗浄に比較し高度の精密洗浄が可能となる。
実施例1の被洗浄物の浸漬洗浄状態を示す概念図。 実施例1の被洗浄物の乾燥状態を示す概念図。 実施例2の被洗浄物の蒸気洗浄状態を示す概念図。 実施例2の被洗浄物の乾燥状態を示す概念図。
3 洗浄室
4 乾燥室
5 洗浄液
8 被洗浄物
10 出入口
11 仕切鍔
13 載置体
18 減圧機構
20 制御弁
本発明は被洗浄物の洗浄方法に係るもので、被洗浄物の洗浄液による浸漬洗浄、蒸気洗
浄、乾燥等の洗浄作業を、簡易な手段で精密に行うことを可能にしようとするものである
従来より、被洗浄物の洗浄方法として、特許文献1に示すごとく、洗浄液による浸漬洗
浄、蒸気洗浄、乾燥等の如く一つの被洗浄物に異なる洗浄作業を加えることが一般的に行
われている。この方式は被洗浄物に付着した汚染物質を異なる手段で除去することができ
るため有効なものである。
特開平05ー78876号公報
しかしながら、特許文献1に記載の発明では、被洗浄物に付着した油分や比較的大きな
粒径の粒子を除去するには有効なものである。しかし、被洗浄物に付着している微粒子を
除去するには有効なものではなかった。被洗浄物に付着していた無機質の微粒子やホコリ
等は、通常の洗浄作業で被洗浄物から分離しても洗浄作業中に再付着し易いものとなって
いる。
そこで本発明は、上述の如き課題を解決しようとするものであって、被洗浄物に付着す
る微粒子を簡易な構成により有効に除去することを可能にしようとするものである。
本願発明は、被洗浄物の洗浄方法にかかるもので、被洗浄物の蒸気洗浄又は液洗浄を洗
浄室内で行った後、この洗浄室と連通する乾燥室に被洗浄物を移送して洗浄室と乾燥室と
の連通を遮断し、乾燥室に接続した減圧機構を作動して乾燥室内で被洗浄物の減圧乾燥を
行い、この減圧乾燥後に乾燥室に接続した制御弁を開放して乾燥室内に清浄化フイルターを介して外気を連続的に又は断続的に繰り返して導入し、乾燥室内の被洗浄物に気体を流動接触させるものである。
また、洗浄室と乾燥室との間には、中央部を被洗浄物の出入口とした仕切鍔を突出形成
し、この仕切鍔の洗浄室側に、被洗浄物を載置する為の載置体を上下動可能に配置すると
ともに載置体の乾燥室方向への移動時に、外周部の上面を仕切鍔の下面に接触し、洗浄室
と乾燥室を遮断可能としたものであっても良い。
また、乾燥室内への外気の連続的な導入は、制御弁を開放するとともに減圧機構を、乾
燥のための減圧作動時から継続して連続的に作動することにより外気を導入するものであ
っても良い。
また、乾燥室内への外気の断続的導入は、制御弁を開放するとともに減圧機構の作動を
停止し、乾燥室内を大気圧に戻した後に、減圧機構を再作動することにより外気を導入す
るものであっても良い。
また、乾燥室内への外気の断続的導入は、制御弁を開放するとともに減圧機構の作動を
停止し、乾燥室内を大気圧に戻した後に、制御弁を閉止し減圧機構を再作動することによ
り乾燥室を減圧した後、制御弁を開放し外気を導入することを繰り返すものであっても良
い。
また、乾燥室で流動気体と接触することにより冷却された被洗浄物を、洗浄室に再度導
入して洗浄蒸気と接触し、被洗浄物の精密蒸気洗浄を行うものであっても良い。
また、乾燥室に導入する外気は、冷却機構を介して導入するものであっても良い。
また、洗浄液は、塩素系溶剤、フッ素系溶剤、臭素系溶剤、フッ素系液、アルコール類
、揮発性溶剤、炭化水素系溶剤、シリコーン系溶剤、テルペン系溶剤、水系溶剤の一種又
は複数種を選択的に使用するものであっても良い。
本発明は上述の如く構成したものであって、被洗浄物の蒸気洗浄又は液洗浄を洗浄室内
で行った後、この洗浄室と連通する乾燥室に被洗浄物を移送して洗浄室と乾燥室との連通
を遮断し、減圧機構を作動して乾燥室内で被洗浄物の減圧乾燥を行う事で、従来の洗浄工
程は完了していた。この状態では、被洗浄物の表面に洗浄液中に混入していた微粒子が再
付着したままとなる。本発明では、上記の減圧乾燥後に乾燥室に接続した制御弁を開放し
、乾燥室内に外気を導入し、乾燥室内の被洗浄物に気体を流動接触させることにより、被
洗浄物の表面に付着している微粒子を物理的に除去することが可能となる。
また、蒸気洗浄や液洗浄によって高温化している被洗浄物に、気体を流動接触させるこ
とにより冷却することが可能となり、洗浄を完了した被洗浄物を乾燥室から取り出す等の
後作業を容易に行うことができる。また、気体を流動接触させることにより被洗浄物を冷
却することができるから、必要に応じて溶剤蒸気と再度接触させ、再度の蒸気洗浄を行う
ことも可能となり、被洗浄物の精密洗浄を可能とする。
また、上述のごとき技術効果を、従来の蒸気洗浄、真空乾燥装置に備えられた機構によ
って実現出来るから、特別の機構を必要とせずに廉価に高度の精密洗浄を可能とすること
ができるものである。
本発明の実施例を図面において詳細に説明すると、(1)は被洗浄物の洗浄槽で、上端を
蓋体(2)で密閉被覆するとともに内部を上下に2分し、下部を洗浄室(3)とし上部を乾燥
室(4)としている。この洗浄室(3)には、塩素系溶剤、フッ素系溶剤、臭素系溶剤、フッ
素系液、アルコール類、揮発性溶剤、炭化水素系溶剤、シリコーン系溶剤、テルペン系溶
剤、水系溶剤等の一種又は複数種を選択的に使用した洗浄液(5)を充填し、ヒータ、スチ
ーム等の加熱源(6)と温度センサー(7)を配置する事により、洗浄液(5)の加熱を可能と
している。また、この洗浄室(3)と乾燥室(4)との間には、中央部を被洗浄物(8)の出入
口(10)とした仕切鍔(11)を、下面にパッキン(12)設けて突出形成している。そして
、この仕切鍔(11)の下面側の洗浄室(3)内に、被洗浄物(8)を載置する為の載置体(1
3)を適宜の昇降機構により上下動可能に配置している。この載置体(13)の乾燥室(4)
方向への移動時に外周部の上面を仕切鍔(11)の下面に接触し、洗浄室(3)と乾燥室(4)
を遮断可能としている。
また洗浄室(3)には、第1開閉弁(14)を介して洗浄液(5)のプールタンク(15)を接
続し、このプールタンク(15)に凝縮器(16)を接続している。また、乾燥室(4)には第
2開閉弁(17)を介して前記の凝縮器(16)を接続し、この凝縮器(16)にバキュームポ
ンプ、エゼクター等の減圧機構(18)を接続している。また、乾燥室(4)には前記の第2
開閉弁(17)とは別個に、乾燥室(4)への外気の導入を制御する制御弁(20)を設けてい
る。この制御弁(20)は、外気を清浄化して導入するための清浄化フィルター(21)を介して外気を導入するものである。また、清浄化フィルター(21)は、被洗浄物(8)の冷却を促進するための冷却器と組み合わせたものであっても良い。また、外気は洗浄槽(1)の外部に存在する大気のみを必ずしも意味するものではなく、窒素ガス、アルゴンガス等を含むものであって、乾燥室(4)に外部から導入するものであっても良い。
上述の如く構成した実施例1に於いて、被洗浄物(8)の洗浄を行うには、昇降機構によ
り図2に示す如く、載置体(13)を上昇して載置体(13)の外周上面を仕切鍔(11)の下
面に密着し、洗浄室(3)と乾燥室(4)の連通を遮断する。この遮断により洗浄室(3)の揮
発した洗浄液(5)の蒸気が乾燥室(4)に流入することがない。次に洗浄槽(1)の蓋体(2)
を開放し、人手または前記の昇降機構とは別個の昇降機構により、被洗浄物(8)を乾燥室
(4)内に挿入して載置体(13)の上面に載置する。次に洗浄槽(1)の蓋体(2)を密閉し、
図1に示す如く、載置体(13)を洗浄液(5)中まで下降して被洗浄物(8)を洗浄液(5)に
浸漬し、洗浄液(5)により被洗浄物(8)の液洗浄を行う。
この液洗浄の完了後に載置体(13)を上昇し、図2に示す如く被洗浄物(8)を出入口(
10)から乾燥室(4)内に挿入するとともに、載置体(13)の外周上面を仕切鍔(11)の
下面に密着し、洗浄室(3)と乾燥室(4)の連通を遮断する。この遮断により洗浄室(3)の
洗浄液(5)の揮発蒸気が乾燥室(4)に流入することはない。この状態で第2開閉弁(17)
を開放し減圧機構(18)を作動すれば、乾燥室(4)内は減圧され、被洗浄物(8)に付着し
た溶剤の沸点が低下し揮発されて被洗浄物(8)の乾燥が行われる。
また、乾燥室(4)での被洗浄物(8)の乾燥が完了したら、乾燥室(4)内へ外気の連続的
な導入を行う。この外気の連続的な導入は、制御弁(20)を開放するとともに減圧機構(
18)を、乾燥のための減圧作動時から継続して連続的に作動することにより行うもので
ある。この外気の連続的導入により、乾燥室(4)内に気体の流動が生じ被洗浄物(8)と接
触するから、被洗浄物(8)の表面に残留又は再付着している微粒子を除去することが可能
となる。洗浄作業前に被洗浄物(8)の表面に付着していた油分や液体は、浸漬洗浄よって
除去されているから、被洗浄物(8)の表面に残留または再付着している微粒子は、乾燥室
(4)内に生じる気体の流動によって容易に除去される。また、外気の導入口、導出口を複
数設ければ、被洗浄物(8)の表面に広く複雑な気体の流動を生じさせることができるから
、微粒子の除去を更に効率的に行う事が出来る。
また、乾燥室(4)内への外気の導入は、前記の制御弁(20)を開放するとともに減圧機
構(18)を、乾燥のための減圧作動時から継続して連続的に作動することにより行うもの
であっても良いが、他の方法では乾燥室(4)内への外気の導入を断続的に行うものとして
も良い。例えば、乾燥室(4)内への外気の断続的導入は、制御弁(20)を開放するととも
に減圧機構(18)の作動を停止し、乾燥室(4)内を大気圧に戻した後に、減圧機構(18)
を再作動することにより外気を導入するものである。また、他の方法では、乾燥室(4)内
への外気の断続的導入は、制御弁(20)を開放するとともに減圧機構(18)の作動を停止
し、乾燥室(4)内を大気圧に戻した後に、制御弁(20)を閉止し減圧機構(18)を再作動
することにより乾燥室(4)を減圧した後、制御弁(20)を開放し外気を導入することを繰
り返すものである。
減圧機構(18)を、減圧乾燥工程時から連続的に作動することにより外気を導入するも
のであれば、乾燥後の微粒子の除去作業を、乾燥工程と連続して行う事が出来、作業効率
が良いものと成る。また、制御弁(20)を開放するとともに減圧機構(18)の作動を停止
し、乾燥室(4)内を大気圧に戻した後に、減圧機構(18)を再作動することにより外気を
導入するものとすれば、減圧機構(18)を、減圧乾燥工程時から連続的に作動する場合に
比較し、乾燥室(4)内に多くの乱気流を発生させ、被洗浄物(8)と外気との接触を効率よ
く行い、微粒子の除去作業を良好に行う事が出来る。
また、外気の導入を清浄化フィルター(21)を介して行えば、外気を浄化して導入し被洗浄物(8)と接触することができるから、高度の精密洗浄を可能とすることができる。また、清浄化フィルター(21)に冷却機構を組み合わせれば、外気を冷却して導入することができるから、被洗浄物(8)の冷却効果を高め、次工程への被洗浄物(8)の移送を熱に妨げられることなく迅速に行う事ができる。
上記の実施例1に於いては、被洗浄物(8)を洗浄液(5)に浸漬する液洗浄を行った後に
、この被洗浄物(8)を減圧乾燥し、流動する外気と接触して表面に付着した微粒子を除去
する洗浄方法としている。これに対し、本実施例2に於いては図3、図4に示す如く被洗
浄物(8)を洗浄蒸気(22)と接触させる蒸気洗浄を行った後に、この被洗浄物(8)を減圧
乾燥し、流動する外気と接触して表面に付着した微粒子を除去する洗浄方法としている。
この洗浄方法は、昇降機構により図4に示す如く、載置体(13)を上昇して載置体(13)
の外周上面を仕切鍔(11)の下面に密着し、洗浄蒸気(22)を発生させている洗浄室(3)
と、乾燥室(4)の連通を遮断する。この遮断により洗浄室(3)内に発生している洗浄蒸気
(22)が乾燥室(4)に流入することがない。次に洗浄槽(1)の蓋体(2)を開放し、人手ま
たは前記の昇降機構又は別個の昇降機構により、被洗浄物(8)を乾燥室(4)内に挿入して
載置体(13)の上面に載置する。次に洗浄槽(1)の蓋体(2)を密閉し、図3に示す如く、
載置体(13)を洗浄室(3)内に下降して、被洗浄物(8)を洗浄蒸気(22)に接触させ、被
洗浄物(8)の表面で洗浄蒸気(22)を凝縮させることにより被洗浄物(8)の蒸気洗浄を行
う。
この蒸気洗浄の完了後に載置体(13)を上昇し、図4に示す如く被洗浄物(8)を出入口
(10)から乾燥室(4)内に挿入するとともに、載置体(13)の外周上面を仕切鍔(11)の
下面に密着し、洗浄室(3)と乾燥室(4)の連通を遮断する。この遮断により洗浄室(3)の
洗浄蒸気(22)が乾燥室(4)に流入することはない。この状態で第2開閉弁(17)を開放
し減圧機構(18)を作動すれば、乾燥室(4)内は減圧され、被洗浄物(8)に付着した溶剤
の沸点が低下し揮発されて被洗浄物(8)の乾燥が行われる。また、減圧によって減圧機構
(18)に吸引された洗浄蒸気(22)は、凝縮器(16)で凝縮液化しプールタンク(15)に
収納される。このプールタンク(15)の洗浄液(5)は、洗浄室(3)の洗浄液(5)の消耗に
伴い補給される。
乾燥室(4)での被洗浄物(8)の乾燥が完了したら、制御弁(20)を開放し外気を導入す
れば、乾燥室(4)内に気体の流動が生じ被洗浄物(8)と接触するから、被洗浄物(8)の表
面に残留付着している微粒子を除去することが可能となる。洗浄作業前に被洗浄物(8)の
表面に付着していた油分や液体は、蒸気洗浄によって除去されているから、被洗浄物(8)
の表面に残留または再付着している微粒子は、乾燥室(4)内に生じる気体の流動によって
容易に除去される。また、外気の導入口、導出口を複数設ければ、被洗浄物(8)の表面に
広く気体の流動を生じさせることができるから、微粒子の除去を更に効率的に行う事が出
来る。また、乾燥室(4)内への外気の導入方法は、実施例1の場合と同様におこなうこと
ができる。
また、外気の導入を清浄化フィルター(21)を介して行えば、外気を浄化して導入し被洗浄物(8)と接触することができるから、高度の精密洗浄を可能とすることができる事も実施例1の場合と同様である。また、清浄化フィルター(21)に冷却機構を組み合わせれば、外気との接触により冷却した被洗浄物(8)を、洗浄蒸気(22)と再度接触して蒸気洗浄することも可能となり、再度の蒸気洗浄により1回の蒸気洗浄に比較し高度の精密洗浄が可能となる。
実施例1の被洗浄物の浸漬洗浄状態を示す概念図。 実施例1の被洗浄物の乾燥状態を示す概念図。 実施例2の被洗浄物の蒸気洗浄状態を示す概念図。 実施例2の被洗浄物の乾燥状態を示す概念図。
3 洗浄室
4 乾燥室
5 洗浄液
8 被洗浄物
10 出入口
11 仕切鍔
13 載置体
18 減圧機構
20 制御弁
21 清浄化フィルター

Claims (9)

  1. 被洗浄物の蒸気洗浄又は液洗浄を洗浄室内で行った後、この洗浄室と連通する乾燥室に被洗浄物を移送して洗浄室と乾燥室との連通を遮断し、乾燥室に接続した減圧機構を作動して乾燥室内で被洗浄物の減圧乾燥を行い、この減圧乾燥後に乾燥室に接続した制御弁を開放して乾燥室内に外気を連続的に又は断続的に繰り返して導入し、乾燥室内の被洗浄物に気体を流動接触させることを特徴とする被洗浄物の洗浄方法。
  2. 洗浄室と乾燥室との間には、中央部を被洗浄物の出入口とした仕切鍔を突出形成し、この仕切鍔の洗浄室側に、被洗浄物を載置する為の載置体を上下動可能に配置するとともに載置体の乾燥室方向への移動時に、外周部の上面を仕切鍔の下面に接触し、洗浄室と乾燥室を遮断可能としたことを特徴とする請求項1の被洗浄物の洗浄方法。
  3. 乾燥室内への外気の連続的な導入は、制御弁を開放するとともに減圧機構を、乾燥のための減圧作動時から継続して連続的に作動することにより外気を導入するものであることを特徴とする請求項1の被洗浄物の洗浄方法。
  4. 乾燥室内への外気の断続的導入は、制御弁を開放するとともに減圧機構の作動を停止し、乾燥室内を大気圧に戻した後に、減圧機構を再作動することにより外気を導入するものであることを特徴とする請求項1の被洗浄物の洗浄方法。
  5. 乾燥室内への外気の断続的導入は、制御弁を開放するとともに減圧機構の作動を停止し、乾燥室内を大気圧に戻した後に、制御弁を閉止し減圧機構を再作動することにより乾燥室を減圧した後、制御弁を開放し外気を導入することを繰り返すものであることを特徴とする請求項1の被洗浄物の洗浄方法。
  6. 乾燥室で流動気体と接触することにより冷却された被洗浄物を、洗浄室に再度導入して洗浄蒸気と接触し、被洗浄物の精密蒸気洗浄を行うことを特徴とする請求項1の被洗浄物の洗浄方法。
  7. 乾燥室に導入する外気は、清浄化フイルターを介して導入するものであることを特徴とする請求項1の被洗浄物の洗浄方法。
  8. 乾燥室に導入する外気は、冷却機構を介して導入するものであることを特徴とする請求項1の被洗浄物の洗浄方法。
  9. 洗浄液は、塩素系溶剤、フッ素系溶剤、臭素系溶剤、フッ素系液、アルコール類、揮発性溶剤、炭化水素系溶剤、シリコーン系溶剤、テルペン系溶剤、水系溶剤の一種又は複数種を選択的に使用することを特徴とする請求項1に記載の被洗浄物の洗浄方法。
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