JPH06110017A - 偏光検出装置 - Google Patents
偏光検出装置Info
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- JPH06110017A JPH06110017A JP4258424A JP25842492A JPH06110017A JP H06110017 A JPH06110017 A JP H06110017A JP 4258424 A JP4258424 A JP 4258424A JP 25842492 A JP25842492 A JP 25842492A JP H06110017 A JPH06110017 A JP H06110017A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J4/00—Measuring polarisation of light
- G01J4/04—Polarimeters using electric detection means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
- G02B27/283—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining
-
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- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1809—Diffraction gratings with pitch less than or comparable to the wavelength
-
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- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1814—Diffraction gratings structurally combined with one or more further optical elements, e.g. lenses, mirrors, prisms or other diffraction gratings
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- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 信号ノイズ成分の原因となる偏光回折素子上
での光束の干渉現象を抑制し、ノイズ成分の少ない良質
な信号を検出する。 【構成】 偏光回折素子10への光束の入射領域を制限
することにより、入射光束Lのうち、第1の回折格子1
2で回折され、且つ第2の回折格子13が形成された面
で反射された光束L2と、入射光束Lとが干渉すること
を抑制する。又、偏光回折素子10への入射光束Lを球
面波にすることにより、上記干渉に起因する、光検出器
へ集光される光の強度の変動が小さくなる。偏光回折素
子10における第1の回折格子12の形成幅を制限する
こと、及び基板11の厚みtを所定の幅より厚くするこ
とでも、干渉を抑制したり、あるいは干渉による光強度
の変動を抑制する。
での光束の干渉現象を抑制し、ノイズ成分の少ない良質
な信号を検出する。 【構成】 偏光回折素子10への光束の入射領域を制限
することにより、入射光束Lのうち、第1の回折格子1
2で回折され、且つ第2の回折格子13が形成された面
で反射された光束L2と、入射光束Lとが干渉すること
を抑制する。又、偏光回折素子10への入射光束Lを球
面波にすることにより、上記干渉に起因する、光検出器
へ集光される光の強度の変動が小さくなる。偏光回折素
子10における第1の回折格子12の形成幅を制限する
こと、及び基板11の厚みtを所定の幅より厚くするこ
とでも、干渉を抑制したり、あるいは干渉による光強度
の変動を抑制する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ピックアップ等に用
いられる偏光検出装置、詳しくは、入射光束を異なる偏
光成分の光束に分離する偏光回折素子を備えた偏光検出
装置に関する。
いられる偏光検出装置、詳しくは、入射光束を異なる偏
光成分の光束に分離する偏光回折素子を備えた偏光検出
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図8に、偏光回折素子100の断面図を
示す。この偏光回折素子100は、ガラス等の透明な基
板101の一方の表面に、斜線で示すような回折格子1
02を備えている。この回折格子102の格子間隔は、
使用する光の波長程度に形成されている。すなわち回折
格子102が、例えばフォトレジストからなり、例えば
その厚さが1μm、格子間隔が0.5μmに設定されて
いる。このような回折格子102は2光束干渉法等によ
り形成される。
示す。この偏光回折素子100は、ガラス等の透明な基
板101の一方の表面に、斜線で示すような回折格子1
02を備えている。この回折格子102の格子間隔は、
使用する光の波長程度に形成されている。すなわち回折
格子102が、例えばフォトレジストからなり、例えば
その厚さが1μm、格子間隔が0.5μmに設定されて
いる。このような回折格子102は2光束干渉法等によ
り形成される。
【0003】上述のように、回折格子102の格子間隔
を光の波長程度にまで小さくすると、いわゆる偏光特性
を有することが知られている(K.Yokomori、
“Dielectric surfacerelief
gratings with high diffr
action efficiency”,Applie
d Optics Vol.23,No.14,pp2
303,1984参照)。この偏光特性について説明す
る。
を光の波長程度にまで小さくすると、いわゆる偏光特性
を有することが知られている(K.Yokomori、
“Dielectric surfacerelief
gratings with high diffr
action efficiency”,Applie
d Optics Vol.23,No.14,pp2
303,1984参照)。この偏光特性について説明す
る。
【0004】上記構造を有する偏光回折素子100の回
折格子102は、入射光束Lのうち、図8に矢印で示す
ように、偏光方向が紙面内で平行な方向であるP偏光成
分Lpをほぼ100%透過させる一方、偏光方向が紙面
に対して垂直な方向であるS偏光成分Lsをほぼ100
%回折する。
折格子102は、入射光束Lのうち、図8に矢印で示す
ように、偏光方向が紙面内で平行な方向であるP偏光成
分Lpをほぼ100%透過させる一方、偏光方向が紙面
に対して垂直な方向であるS偏光成分Lsをほぼ100
%回折する。
【0005】このような偏光回折素子100に、例えば
波長が、0.8μmの光Lが入射すると、P偏光成分L
pは0次回折光Laとして回折格子102を透過し、1次
回折光Lbとして回折されることはほとんどない。一
方、入射光束Lのうち、S偏光成分Lsは1次回折光Lb
として回折格子102により回折され、0次回折光La
として透過することはほとんどない。
波長が、0.8μmの光Lが入射すると、P偏光成分L
pは0次回折光Laとして回折格子102を透過し、1次
回折光Lbとして回折されることはほとんどない。一
方、入射光束Lのうち、S偏光成分Lsは1次回折光Lb
として回折格子102により回折され、0次回折光La
として透過することはほとんどない。
【0006】上述ような偏光特性を利用した光磁気用光
ピックアップに用いられた偏光回折素子として、特開平
2−259702の偏光回折素子及び特開平4−051
577の偏光検出装置等がある。これらの偏光回折素子
は、入射光束の波長変動の影響、光検出器を含む偏光検
出装置を構成する場合の配置、あるいは、P、S偏光成
分の分離度の向上等を考慮した構成になっている。
ピックアップに用いられた偏光回折素子として、特開平
2−259702の偏光回折素子及び特開平4−051
577の偏光検出装置等がある。これらの偏光回折素子
は、入射光束の波長変動の影響、光検出器を含む偏光検
出装置を構成する場合の配置、あるいは、P、S偏光成
分の分離度の向上等を考慮した構成になっている。
【0007】図9に、上記偏光回折素子の一例を示す。
この偏光回折素子110は、ガラス等からなる透明かつ
平板状の基板111を備え、基板111の両面にそれぞ
れ第1の回折格子112及び第2の回折格子113が設
けられている。第1の回折格子112の格子間隔D1及
び第2の回折格子113の格子間隔D2はともに入射光
束Lの波長λ程度に設定されるとともに、いずれも格子
方向が、紙面と直交する方向と一致している。
この偏光回折素子110は、ガラス等からなる透明かつ
平板状の基板111を備え、基板111の両面にそれぞ
れ第1の回折格子112及び第2の回折格子113が設
けられている。第1の回折格子112の格子間隔D1及
び第2の回折格子113の格子間隔D2はともに入射光
束Lの波長λ程度に設定されるとともに、いずれも格子
方向が、紙面と直交する方向と一致している。
【0008】図10に、第1の回折格子112及び第2
の回折格子113の断面形状を示す。図示するように、
第1の回折格子112及び第2の回折格子113は、そ
れぞれ等しい格子間隔D1、D2で形成された複数の正弦
波状の凸部112a、113aを有している。ここで格
子間隔D1とD2とでは、D2のほうがD1より少し大きめ
に設定されている。このような第1の回折格子112及
び第2の回折格子113は、例えば基板111にエッチ
ングを施すことによりレリーフ型回折格子として作製さ
れる。
の回折格子113の断面形状を示す。図示するように、
第1の回折格子112及び第2の回折格子113は、そ
れぞれ等しい格子間隔D1、D2で形成された複数の正弦
波状の凸部112a、113aを有している。ここで格
子間隔D1とD2とでは、D2のほうがD1より少し大きめ
に設定されている。このような第1の回折格子112及
び第2の回折格子113は、例えば基板111にエッチ
ングを施すことによりレリーフ型回折格子として作製さ
れる。
【0009】上記構造を有する偏光回折素子110にお
ける動作を説明する。
ける動作を説明する。
【0010】第1の回折格子112及び第2の回折格子
113は、入射光束Lのうち、その電界が紙面内で上下
の方向に振動するP偏光成分Lpをほぼ100%透過す
る一方、その電界が紙面と直交する方向に振動するS偏
光成分Lsをほぼ100%回折する。格子間隔D2のほう
がD1より大きいので、この偏光回折素子110の第1
の回折格子112が形成されている面から所定の波長の
光Lを入射した場合に、図9に矢印で示すように、第1
の回折格子112及び第2の回折格子113をともに透
過した光束Lcと第1の回折格子112及び第2の回折
格子113でともに回折した光束Ldとは、互いに離れ
る方向に角度差αを有するように偏光回折素子110か
ら出射する。
113は、入射光束Lのうち、その電界が紙面内で上下
の方向に振動するP偏光成分Lpをほぼ100%透過す
る一方、その電界が紙面と直交する方向に振動するS偏
光成分Lsをほぼ100%回折する。格子間隔D2のほう
がD1より大きいので、この偏光回折素子110の第1
の回折格子112が形成されている面から所定の波長の
光Lを入射した場合に、図9に矢印で示すように、第1
の回折格子112及び第2の回折格子113をともに透
過した光束Lcと第1の回折格子112及び第2の回折
格子113でともに回折した光束Ldとは、互いに離れ
る方向に角度差αを有するように偏光回折素子110か
ら出射する。
【0011】このとき、入射光束Lが第1の回折格子1
12に入射角θ1で入射し、ここで入射光束LのうちS
偏光成分Lsが、基板111の法線方向に対しθ2をなす
方向へ回折され、更に第2の回折格子113により上記
法線方向に対し角度θ3をなす方向に回折されて偏光回
折素子110から出射するとすると、上記角度差αはθ
1−θ3で表される。また、角度θ1、θ2、θ3の関係は
次式を満たしている。
12に入射角θ1で入射し、ここで入射光束LのうちS
偏光成分Lsが、基板111の法線方向に対しθ2をなす
方向へ回折され、更に第2の回折格子113により上記
法線方向に対し角度θ3をなす方向に回折されて偏光回
折素子110から出射するとすると、上記角度差αはθ
1−θ3で表される。また、角度θ1、θ2、θ3の関係は
次式を満たしている。
【0012】
【数1】
【0013】図11に、この様な動作をする偏光回折素
子110を備えた偏光検出装置を模式的に表す正面図を
示す。この偏光検出装置は、上記偏光回折素子110
と、偏光回折素子110から出射する光を集光する集光
レンズ120と、集光レンズ120によって集光された
光の強度を検出する1対の光検出器130a、130b
とを備えている。この1対の光検出器130a、130
bは1つのパッケージ130内に配置されている。
子110を備えた偏光検出装置を模式的に表す正面図を
示す。この偏光検出装置は、上記偏光回折素子110
と、偏光回折素子110から出射する光を集光する集光
レンズ120と、集光レンズ120によって集光された
光の強度を検出する1対の光検出器130a、130b
とを備えている。この1対の光検出器130a、130
bは1つのパッケージ130内に配置されている。
【0014】上記構成を有する偏光検出装置において
は、情報信号が入射光束Lとして偏光回折素子110に
与えられ、偏光回折素子110によって上述のように入
射光束LがP偏光成分LpとS偏光成分Lsとに分離され
て出射する。この出射光束が集光レンズ120によっ
て、それぞれ異なる光検出器130a、130b上に集
光され、光検出器130a、130bによって光信号が
電気信号に変換される。
は、情報信号が入射光束Lとして偏光回折素子110に
与えられ、偏光回折素子110によって上述のように入
射光束LがP偏光成分LpとS偏光成分Lsとに分離され
て出射する。この出射光束が集光レンズ120によっ
て、それぞれ異なる光検出器130a、130b上に集
光され、光検出器130a、130bによって光信号が
電気信号に変換される。
【0015】上記偏光回折素子110では、第1の回折
格子112の格子間隔D1と第2の回折格子113の格
子間隔D2との差はごくわずかであるため、入射光束L
の波長変動によって生じる図8に示す角度差αの変動が
小さく、光検出器130a、130b上での集光スポッ
トの位置ずれを抑制する効果がある。
格子112の格子間隔D1と第2の回折格子113の格
子間隔D2との差はごくわずかであるため、入射光束L
の波長変動によって生じる図8に示す角度差αの変動が
小さく、光検出器130a、130b上での集光スポッ
トの位置ずれを抑制する効果がある。
【0016】上記偏光検出装置を光ピックアップに組み
込むことで光ピックアップの小型・軽量化を実現してい
る。
込むことで光ピックアップの小型・軽量化を実現してい
る。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】上記偏光検出装置で
は、入射光束Lと偏光回折素子110内部で発生する反
射光束とが干渉をおこす。このため、偏光回折格子11
0からの光の強度が変動し、光検出器130a、130
bによって再生される信号のノイズとなり、信号の品質
を劣化させてしまうという問題がある。
は、入射光束Lと偏光回折素子110内部で発生する反
射光束とが干渉をおこす。このため、偏光回折格子11
0からの光の強度が変動し、光検出器130a、130
bによって再生される信号のノイズとなり、信号の品質
を劣化させてしまうという問題がある。
【0018】この問題について以下に詳しく説明する。
【0019】図12(a)に、上記偏光回折素子110
の断面図を示し、図12(b)に、第1の回折格子11
2面上におけるビームスポットの形状を示す。図12
(a)に示すように、偏光回折素子110への入射光束
LのS偏光成分Lsは、第1の回折格子112で回折し
て、1次回折光L1となる。この1次回折光L1は、第2
の回折格子113で再び1次回折して偏光回折格子11
0から出射する光L3と共に、第2の回折格子113の
面で反射する反射光束L2を発生する。そのため、第1
の回折格子112面上では、図12(b)に示すよう
に、入射光束LのS偏光成分Lsと反射光束L2との2つ
のビームスポットができ、両スポットの重なる部分の光
Liが干渉をおこす。この干渉した光Liのうち、図12
(a)に示すように、第1の回折格子112で反射され
た光Li1が第2の回折格子113で1次回折されて、光
Li2となり、本来のS偏光成分をもつ光Lsと共に、図
示しない光検出器130bを照射する。
の断面図を示し、図12(b)に、第1の回折格子11
2面上におけるビームスポットの形状を示す。図12
(a)に示すように、偏光回折素子110への入射光束
LのS偏光成分Lsは、第1の回折格子112で回折し
て、1次回折光L1となる。この1次回折光L1は、第2
の回折格子113で再び1次回折して偏光回折格子11
0から出射する光L3と共に、第2の回折格子113の
面で反射する反射光束L2を発生する。そのため、第1
の回折格子112面上では、図12(b)に示すよう
に、入射光束LのS偏光成分Lsと反射光束L2との2つ
のビームスポットができ、両スポットの重なる部分の光
Liが干渉をおこす。この干渉した光Liのうち、図12
(a)に示すように、第1の回折格子112で反射され
た光Li1が第2の回折格子113で1次回折されて、光
Li2となり、本来のS偏光成分をもつ光Lsと共に、図
示しない光検出器130bを照射する。
【0020】このように、偏光回折格子110内で干渉
して光検出器130b方向に向かう干渉光Liの光強度
は、第1の回折格子112上での反射光束L2と入射光
束LのS偏光成分Lsとの位相差によって決まる。この
位相差は、入射光束Lの光源であるレーザの発振波長に
依存する。しかし、レーザの発振波長は変動しているの
で、上記位相差も変動し、結果として干渉光Liの光強
度も変動する。この光強度の変動が結果的に、偏光回折
格子110を通して伝送される情報信号にノイズとして
あらわれ、信号の品質の劣化をおこしている。ここで、
レーザの発振波長が変動するのは、半導体レーザが一般
に戻り光に弱いので、光ピックアップに採用する場合に
は、戻り光を抑制するためにレーザ駆動電流に高周波電
流を重畳させているからである。
して光検出器130b方向に向かう干渉光Liの光強度
は、第1の回折格子112上での反射光束L2と入射光
束LのS偏光成分Lsとの位相差によって決まる。この
位相差は、入射光束Lの光源であるレーザの発振波長に
依存する。しかし、レーザの発振波長は変動しているの
で、上記位相差も変動し、結果として干渉光Liの光強
度も変動する。この光強度の変動が結果的に、偏光回折
格子110を通して伝送される情報信号にノイズとして
あらわれ、信号の品質の劣化をおこしている。ここで、
レーザの発振波長が変動するのは、半導体レーザが一般
に戻り光に弱いので、光ピックアップに採用する場合に
は、戻り光を抑制するためにレーザ駆動電流に高周波電
流を重畳させているからである。
【0021】なお、入射光束LのP偏光成分Lpの場合
は、第2の回折格子113へ0次回折光及び1次回折光
L1の入射角が、ともに35°前後とすれば、図13に
示すようにほとんど反射光束が発生しないため、上記の
ような問題は起こらない。
は、第2の回折格子113へ0次回折光及び1次回折光
L1の入射角が、ともに35°前後とすれば、図13に
示すようにほとんど反射光束が発生しないため、上記の
ような問題は起こらない。
【0022】本発明は、上記従来技術の問題点を解決す
るためになされたものであり、入射光束と入射光束の回
折反射光束とが干渉することを抑制することにより、ま
たは、干渉の影響をなくすことにより、光源に印加する
レーザ駆動電流に高周波電流を重畳させても、ノイズ成
分の少ない良質な情報信号を検出することのできる偏光
検出装置を提供することを目的とする。
るためになされたものであり、入射光束と入射光束の回
折反射光束とが干渉することを抑制することにより、ま
たは、干渉の影響をなくすことにより、光源に印加する
レーザ駆動電流に高周波電流を重畳させても、ノイズ成
分の少ない良質な情報信号を検出することのできる偏光
検出装置を提供することを目的とする。
【0023】
【課題を解決するための手段】本発明の偏光検出装置
は、対向する平行な2面を有する基板と、該基板の一方
の面に形成された第1の回折格子と、他方の面に形成さ
れた第2の回折格子とを有し、該第1の回折格子側から
波長が変動する光束が入射され、該第1の回折格子及び
該第2の回折格子の各々の格子間隔が入射光束の波長と
ほぼ同一である偏光回折素子と、該第1の回折格子の光
束入射側に形成され、該入射光束の該偏光回折素子への
入射領域を制限する制限手段及び該入射光束を球面波に
して該偏光回折素子へ入射させる変換手段のうち少なく
とも一方の手段と、該偏向回折素子の光入射側若しくは
光出射側に配され、該第1の回折格子及び該第2の回折
格子をともに透過する光束と、該第1の回折格子及び該
第2の回折格子でともに回折される光束とを各々異なる
ビームスポットに集光させる集光レンズと、該集光レン
ズで集光された2つのビームスポットの光強度をそれぞ
れ検出する1対の光検出器とを備えており、そのことに
よって、上記目的が達成される。
は、対向する平行な2面を有する基板と、該基板の一方
の面に形成された第1の回折格子と、他方の面に形成さ
れた第2の回折格子とを有し、該第1の回折格子側から
波長が変動する光束が入射され、該第1の回折格子及び
該第2の回折格子の各々の格子間隔が入射光束の波長と
ほぼ同一である偏光回折素子と、該第1の回折格子の光
束入射側に形成され、該入射光束の該偏光回折素子への
入射領域を制限する制限手段及び該入射光束を球面波に
して該偏光回折素子へ入射させる変換手段のうち少なく
とも一方の手段と、該偏向回折素子の光入射側若しくは
光出射側に配され、該第1の回折格子及び該第2の回折
格子をともに透過する光束と、該第1の回折格子及び該
第2の回折格子でともに回折される光束とを各々異なる
ビームスポットに集光させる集光レンズと、該集光レン
ズで集光された2つのビームスポットの光強度をそれぞ
れ検出する1対の光検出器とを備えており、そのことに
よって、上記目的が達成される。
【0024】前記制限手段が遮光部材からなり、該遮光
部材が該第1の回折格子の形成された面上において該第
1の回折格子の格子方向とは垂直な方向の該入射光束の
入射幅を制限してもよい。
部材が該第1の回折格子の形成された面上において該第
1の回折格子の格子方向とは垂直な方向の該入射光束の
入射幅を制限してもよい。
【0025】前記遮光部材が、前記第1の回折格子で回
折され、且つ前記他方の面で反射された光束と該入射光
束との干渉を抑制してもよい。
折され、且つ前記他方の面で反射された光束と該入射光
束との干渉を抑制してもよい。
【0026】前記入射幅が、前記偏光回折素子の基板の
厚みをt0とし、前記第1の回折格子での該基板内にお
ける前記入射光束の回折角をθ2としたときに、4t0・
tanθ2以下であってもよい。
厚みをt0とし、前記第1の回折格子での該基板内にお
ける前記入射光束の回折角をθ2としたときに、4t0・
tanθ2以下であってもよい。
【0027】前記制限手段が絞りからなり、該絞りが前
記入射光束の進行方向に直交する面上における該入射光
束の幅を制限してもよい。
記入射光束の進行方向に直交する面上における該入射光
束の幅を制限してもよい。
【0028】前記入射光束の幅が、前記偏光回折素子の
基板の厚みをt0とし、前記入射光束の入射角をθ1と
し、前記第1の回折格子での該基板内における該入射光
束の回折角をθ2としたときに、4t0・tanθ2・S
in(90°−θ1)以下であってもよい。
基板の厚みをt0とし、前記入射光束の入射角をθ1と
し、前記第1の回折格子での該基板内における該入射光
束の回折角をθ2としたときに、4t0・tanθ2・S
in(90°−θ1)以下であってもよい。
【0029】前記遮光部材が、前記第1の回折格子上に
形成された遮光膜からなっていてもよい。
形成された遮光膜からなっていてもよい。
【0030】前記変換手段が、レンズ及び絞りの何れか
一方であってもい。
一方であってもい。
【0031】本発明の偏向検出装置は、対向する平行な
2面を有する基板と、該基板の一方の面に形成された第
1の回折格子と、他方の面に形成された第2の回折格子
とを有し、該第1の回折格子側から波長が変動する光束
が入射され、該第1の回折格子及び該第2の回折格子の
各々の格子間隔が入射光束の波長とほぼ同一であり、更
に、該基板の厚みをt0とし、該第1の回折格子での該
基板内における該入射光束の回折角をθ2としたとき
に、該第1の回折格子の格子方向に対して垂直方向に4
t0・tanθ2以下の幅で、該第1の回折格子が形成さ
れている偏光回折素子と、該偏向回折素子の光入射側若
しくは光出射側に配され、該第1の回折格子及び該第2
の回折格子をともに透過する光束と、該第1の回折格子
及び該第2の回折格子でともに回折される光束とを各々
異なるビームスポットに集光させる集光レンズと、該集
光レンズで集光された2つのビームスポットの光強度を
それぞれ検出する1対の光検出器とを備えており、その
ことによって、上記目的が達成される。
2面を有する基板と、該基板の一方の面に形成された第
1の回折格子と、他方の面に形成された第2の回折格子
とを有し、該第1の回折格子側から波長が変動する光束
が入射され、該第1の回折格子及び該第2の回折格子の
各々の格子間隔が入射光束の波長とほぼ同一であり、更
に、該基板の厚みをt0とし、該第1の回折格子での該
基板内における該入射光束の回折角をθ2としたとき
に、該第1の回折格子の格子方向に対して垂直方向に4
t0・tanθ2以下の幅で、該第1の回折格子が形成さ
れている偏光回折素子と、該偏向回折素子の光入射側若
しくは光出射側に配され、該第1の回折格子及び該第2
の回折格子をともに透過する光束と、該第1の回折格子
及び該第2の回折格子でともに回折される光束とを各々
異なるビームスポットに集光させる集光レンズと、該集
光レンズで集光された2つのビームスポットの光強度を
それぞれ検出する1対の光検出器とを備えており、その
ことによって、上記目的が達成される。
【0032】本発明の偏向検出装置は、対向する平行な
2面を有する基板と、該基板の一方の面に形成された第
1の回折格子と、他方の面に形成された第2の回折格子
とを有し、該第1の回折格子側から波長が変動する光束
が入射され、該第1の回折格子及び該第2の回折格子の
各々の格子間隔が入射光束の波長とほぼ同一であり、更
に、該入射光束の進行方向に直交する面上における該入
射光束の幅をW、該入射光束の入射角をθ1、該第1の
回折格子での該基板内における該入射光束の回折角をθ
2としたときに、該基板の厚みが、W/{4tanθ2・
Sin(90°−θ1)}以上である偏光回折素子と、
該偏向回折素子の光入射側若しくは光出射側に配され、
該第1の回折格子及び該第2の回折格子をともに透過す
る光束と、該第1の回折格子及び該第2の回折格子でと
もに回折される光束とを各々異なるビームスポットに集
光させる集光レンズと、該集光レンズで集光された2つ
のビームスポットの光強度をそれぞれ検出する1対の光
検出器とを備えており、そのことによって、上記目的が
達成される。
2面を有する基板と、該基板の一方の面に形成された第
1の回折格子と、他方の面に形成された第2の回折格子
とを有し、該第1の回折格子側から波長が変動する光束
が入射され、該第1の回折格子及び該第2の回折格子の
各々の格子間隔が入射光束の波長とほぼ同一であり、更
に、該入射光束の進行方向に直交する面上における該入
射光束の幅をW、該入射光束の入射角をθ1、該第1の
回折格子での該基板内における該入射光束の回折角をθ
2としたときに、該基板の厚みが、W/{4tanθ2・
Sin(90°−θ1)}以上である偏光回折素子と、
該偏向回折素子の光入射側若しくは光出射側に配され、
該第1の回折格子及び該第2の回折格子をともに透過す
る光束と、該第1の回折格子及び該第2の回折格子でと
もに回折される光束とを各々異なるビームスポットに集
光させる集光レンズと、該集光レンズで集光された2つ
のビームスポットの光強度をそれぞれ検出する1対の光
検出器とを備えており、そのことによって、上記目的が
達成される。
【0033】
【作用】本発明の偏光検出装置では、偏光回折素子への
光束の入射領域を制限することにより、入射光束のう
ち、第1の回折格子で回折され、且つ第2の回折格子が
形成された面で反射された光束と、入射光束とが干渉す
ることを抑制する。
光束の入射領域を制限することにより、入射光束のう
ち、第1の回折格子で回折され、且つ第2の回折格子が
形成された面で反射された光束と、入射光束とが干渉す
ることを抑制する。
【0034】又、偏光回折素子への入射光束を球面波に
することにより、上記干渉に起因する、光検出器へ集光
される光の強度の変動が小さくなる。
することにより、上記干渉に起因する、光検出器へ集光
される光の強度の変動が小さくなる。
【0035】偏光回折素子における第1の回折格子の形
成幅を制限すること、及び基板の厚みを所定の幅より厚
くすることでも、干渉を抑制したり、あるいは干渉によ
る光強度の変動を抑制する。
成幅を制限すること、及び基板の厚みを所定の幅より厚
くすることでも、干渉を抑制したり、あるいは干渉によ
る光強度の変動を抑制する。
【0036】
【実施例】本発明を実施例について以下に説明する。
【0037】<第1実施例>図1に、第1実施例の偏光
検出装置における偏光回折素子部分を模式的に表す正面
図を示す。この偏光検出装置は、図9に示す偏光回折素
子110と同様の構成を有する偏光回折素子10の光入
射側である第1の回折格子12側に、入射光束Lの入射
領域を制限するアパーチャAを備えている。このアパー
チャAは、偏光回折素子10に入射する入射光束Lの紙
面上下方向の幅がWとなるように制限している。
検出装置における偏光回折素子部分を模式的に表す正面
図を示す。この偏光検出装置は、図9に示す偏光回折素
子110と同様の構成を有する偏光回折素子10の光入
射側である第1の回折格子12側に、入射光束Lの入射
領域を制限するアパーチャAを備えている。このアパー
チャAは、偏光回折素子10に入射する入射光束Lの紙
面上下方向の幅がWとなるように制限している。
【0038】この幅Wは以下の計算により導出される。
偏光回折素子10内で光が干渉しないようにするには、
図1より、紙面上部側の入射光束Lの1次回折光L1の
うち第2の回折格子13で反射する反射光束L2が到達
する第1の回折格子12側の点Pの位置に、入射光束L
がなければよいことがわかる。従って、
偏光回折素子10内で光が干渉しないようにするには、
図1より、紙面上部側の入射光束Lの1次回折光L1の
うち第2の回折格子13で反射する反射光束L2が到達
する第1の回折格子12側の点Pの位置に、入射光束L
がなければよいことがわかる。従って、
【0039】
【数2】
【0040】を満たすように幅Wを設定すれば、偏光回
折素子10内で光の干渉は全くなくなる。
折素子10内で光の干渉は全くなくなる。
【0041】上記構成を有する偏光検出装置において
は、光源に印加するレーザ駆動電流に高周波電流を重畳
させても、入射光束Lの波長の変動によって偏光回折素
子10のS偏光成分の出射光束の変動が生じないので、
図示しない光検出器における信号のノイズレベルを低減
することが出来る。
は、光源に印加するレーザ駆動電流に高周波電流を重畳
させても、入射光束Lの波長の変動によって偏光回折素
子10のS偏光成分の出射光束の変動が生じないので、
図示しない光検出器における信号のノイズレベルを低減
することが出来る。
【0042】実用レベルでは、後述するように、上記数
2により定まる幅Wの最大値の2倍程度の幅でも充分に
ノイズレベルを低減することが出来る。即ち、
2により定まる幅Wの最大値の2倍程度の幅でも充分に
ノイズレベルを低減することが出来る。即ち、
【0043】
【数3】
【0044】を満たすように幅Wに設定しても同様の効
果を得ることが出来る。
果を得ることが出来る。
【0045】ここで、幅Wの幅に2倍程度の余裕を持た
せても問題が解決される理由を実験結果と共に説明す
る。
せても問題が解決される理由を実験結果と共に説明す
る。
【0046】図2(a)に示すように、平面波である入
射光束L0に対してアパーチャAにより開口制限を施し
た場合に、アパーチャAの開口部aを通過する入射光束
Lは、開口部aで回折をおこし、結果として入射光束L
は球面波に近くなる。その効果は開口部aの幅Wが小さ
くなるほど大きくなる。つまり、本実施例のように(図
1参照)、入射光束L0をアパーチャAで開口制限をし
た場合は、偏光回折素子10への入射光束Lであるアパ
ーチャAからの出射光束は球面波となる。そのため、図
2(b)に示すように、偏光回折素子10への入射光束
L及び回折反射光束L2はともに球面波となる。その結
果、入射光束L及び回折反射光束L2の干渉部Liでは、
図2(c)に示すように、球面波と球面波との干渉でで
きる縞模様が生成される。入射光束L及び回折反射光束
L2が球面波に近くなる程、干渉部Liで観測される縞模
様の縞数は増加する。即ち、アパーチャAの開口部aの
幅Wが小さくなる程、干渉部Liの縞数が増える。縞数
が少ない場合は、入射光束Lの波長が変動したときに、
干渉部Liでの光強度の変動が大きいが、縞数が多い場
合は、入射光束Liの波長が変動しても、単に縞の位置
が変動するのみで干渉部Liの光強度自体の変動は小さ
くなる。その結果、図示しない光検出器によって得られ
る信号のノイズ量も入射光束Lが平面波の場合に比べて
小さくなる。
射光束L0に対してアパーチャAにより開口制限を施し
た場合に、アパーチャAの開口部aを通過する入射光束
Lは、開口部aで回折をおこし、結果として入射光束L
は球面波に近くなる。その効果は開口部aの幅Wが小さ
くなるほど大きくなる。つまり、本実施例のように(図
1参照)、入射光束L0をアパーチャAで開口制限をし
た場合は、偏光回折素子10への入射光束Lであるアパ
ーチャAからの出射光束は球面波となる。そのため、図
2(b)に示すように、偏光回折素子10への入射光束
L及び回折反射光束L2はともに球面波となる。その結
果、入射光束L及び回折反射光束L2の干渉部Liでは、
図2(c)に示すように、球面波と球面波との干渉でで
きる縞模様が生成される。入射光束L及び回折反射光束
L2が球面波に近くなる程、干渉部Liで観測される縞模
様の縞数は増加する。即ち、アパーチャAの開口部aの
幅Wが小さくなる程、干渉部Liの縞数が増える。縞数
が少ない場合は、入射光束Lの波長が変動したときに、
干渉部Liでの光強度の変動が大きいが、縞数が多い場
合は、入射光束Liの波長が変動しても、単に縞の位置
が変動するのみで干渉部Liの光強度自体の変動は小さ
くなる。その結果、図示しない光検出器によって得られ
る信号のノイズ量も入射光束Lが平面波の場合に比べて
小さくなる。
【0047】上記現象を示す実験をした結果を具体的数
値をあげて説明する。図3にその実験結果例を示す。こ
れは、開口部aの形状が円形であるアパーチャAにより
入射光束Lの径Wを3〜1.5mmに変化させたときの
光検出器からの信号のノイズレベルを測定した結果であ
る。この実験では、入射光束波長λ=780nmとし、
基板11の厚さ1mm、屈折率n=1.454、偏光回
折素子10に対する光入射角をθ1=58°で第1の回
折格子12による基板11内回折角θ2=35.68°
である偏光回折素子10を使用した。ノイズレベルのN
は、入射光束を発振するレーザに高周波駆動電流をかけ
ずに発振波長が一定になるよう制御したときのノイズレ
ベルを示す。
値をあげて説明する。図3にその実験結果例を示す。こ
れは、開口部aの形状が円形であるアパーチャAにより
入射光束Lの径Wを3〜1.5mmに変化させたときの
光検出器からの信号のノイズレベルを測定した結果であ
る。この実験では、入射光束波長λ=780nmとし、
基板11の厚さ1mm、屈折率n=1.454、偏光回
折素子10に対する光入射角をθ1=58°で第1の回
折格子12による基板11内回折角θ2=35.68°
である偏光回折素子10を使用した。ノイズレベルのN
は、入射光束を発振するレーザに高周波駆動電流をかけ
ずに発振波長が一定になるよう制御したときのノイズレ
ベルを示す。
【0048】上記条件下で、数2より理論上、偏光回折
素子内での干渉による信号のノイズがなくなるアパーチ
ャ径W0は、
素子内での干渉による信号のノイズがなくなるアパーチ
ャ径W0は、
【0049】
【数4】
【0050】となり、図中破線で示すように、信号のノ
イズレベルはアパーチャ径Wが0.76mmでノイズレ
ベルNに達するような曲線を描くことが予想される。
イズレベルはアパーチャ径Wが0.76mmでノイズレ
ベルNに達するような曲線を描くことが予想される。
【0051】しかし、図中に実線で示すように、実測に
よるとアパーチャ径Wが約1.5mmでほぼ干渉による
ノイズがなくなった。即ち、数4で求めた理論上、信号
のノイズがなくなるアパーチャ径W0の2倍程度の大き
さのアパーチャ径Wで、十分にノイスレベルが低減され
ることがわかる。
よるとアパーチャ径Wが約1.5mmでほぼ干渉による
ノイズがなくなった。即ち、数4で求めた理論上、信号
のノイズがなくなるアパーチャ径W0の2倍程度の大き
さのアパーチャ径Wで、十分にノイスレベルが低減され
ることがわかる。
【0052】上記実験結果を考慮すると、図4(a)及
び(b)に示すように、偏光回折素子10への入射光束
Lをレンズ40によって球面波光に変換してやる構成を
取ることにより、入射光束Lの入射領域をを制限するこ
となく、ノイズ成分が十分に低減された信号を検出する
ことが可能となる。もちろん、入射光束Lを球面波に
し、且つ入射領域を制限してもよい。尚、図4(b)の
構成にすれば、図11に示すように、光検出器130
a、130b上に集光させるための集光レンズ120を
設ける必要はない。
び(b)に示すように、偏光回折素子10への入射光束
Lをレンズ40によって球面波光に変換してやる構成を
取ることにより、入射光束Lの入射領域をを制限するこ
となく、ノイズ成分が十分に低減された信号を検出する
ことが可能となる。もちろん、入射光束Lを球面波に
し、且つ入射領域を制限してもよい。尚、図4(b)の
構成にすれば、図11に示すように、光検出器130
a、130b上に集光させるための集光レンズ120を
設ける必要はない。
【0053】本実施例において、図5(a)〜(c)に
示すように、アパーチャAの開口部aの形状は、スリッ
ト形、楕円形、あるいは円形等でもよく、紙面垂直方向
に径Wの開口部aが存在すれば、特に限定されるもので
はない。但し、スリット形の開口部aは作製は容易であ
るが、光検出器における集光スポットの形状はよくな
い。最も前記集光スポットの形状をよくするには、図5
(c)に示すアパーチャAの開口部aのように、入射光
束Lの断面形状を真円とすることが望ましい。
示すように、アパーチャAの開口部aの形状は、スリッ
ト形、楕円形、あるいは円形等でもよく、紙面垂直方向
に径Wの開口部aが存在すれば、特に限定されるもので
はない。但し、スリット形の開口部aは作製は容易であ
るが、光検出器における集光スポットの形状はよくな
い。最も前記集光スポットの形状をよくするには、図5
(c)に示すアパーチャAの開口部aのように、入射光
束Lの断面形状を真円とすることが望ましい。
【0054】<第2実施例>図6に、第2実施例の偏光
検出装置の概略を表す正面図を示す。この偏光検出装置
では、図9に示す偏光回折素子110と同様の構成を有
する偏光回折素子10の第1の回折格子12の光入射側
に、入射光束Lの入射領域を制限する遮光シールSが貼
られている。この遮光シールSには、第1の回折格子1
2の格子方向に対して垂直方向に幅mを持つ開口部が設
けられており、この開口部からのみ偏光回折素子10に
光束が入射するように構成されている。
検出装置の概略を表す正面図を示す。この偏光検出装置
では、図9に示す偏光回折素子110と同様の構成を有
する偏光回折素子10の第1の回折格子12の光入射側
に、入射光束Lの入射領域を制限する遮光シールSが貼
られている。この遮光シールSには、第1の回折格子1
2の格子方向に対して垂直方向に幅mを持つ開口部が設
けられており、この開口部からのみ偏光回折素子10に
光束が入射するように構成されている。
【0055】この幅mは以下の計算により導出される。
偏光回折素子10内で光束が干渉しないようにするに
は、第1実施例と同様にして、
偏光回折素子10内で光束が干渉しないようにするに
は、第1実施例と同様にして、
【0056】
【数5】
【0057】を満たすように幅mを設定すれよい。
【0058】上記構成を有する偏光検出装置において
も、第1実施例と同様の効果が得られる。
も、第1実施例と同様の効果が得られる。
【0059】但し、この場合も図4に示すように偏向回
折素子10の光入射側にレンズを配置する構成で偏向検
出装置を実現する場合には、偏光回折素子10への入射
光束Lは球面波に近いので、上述したように、上記数5
により定まる幅mの最大値の2倍程度の幅でも、光の干
渉の影響をなくすことが出来る。即ち、
折素子10の光入射側にレンズを配置する構成で偏向検
出装置を実現する場合には、偏光回折素子10への入射
光束Lは球面波に近いので、上述したように、上記数5
により定まる幅mの最大値の2倍程度の幅でも、光の干
渉の影響をなくすことが出来る。即ち、
【0060】
【数6】
【0061】を満たすように幅mを設定してもよい。
【0062】遮光シールSの開口部の形状も、第1の回
折格子12の格子方向に対して垂直方向の幅が幅mに設
定されているものであれば、スリット形、楕円形、ある
いは円形等でもよく、特に限定されるものではない。
折格子12の格子方向に対して垂直方向の幅が幅mに設
定されているものであれば、スリット形、楕円形、ある
いは円形等でもよく、特に限定されるものではない。
【0063】更に、その遮光部材はシールに限定するも
のでもなく、例えば光透過防止コーティングを偏光回折
素子10の入射側表面に施しても、遮光シールSの場合
と同様の効果が得られる。あるいは、図7に示すよう
に、第1の回折格子12を基板10上に入射光束Lの到
達する範囲より小さく、即ち上記幅mで形成することに
より、第1の回折格子12内に回折反射光束L2が到達
しないようにしてもよい。この場合も、入射光が球面波
に近い場合は、幅mは数6に準じる。
のでもなく、例えば光透過防止コーティングを偏光回折
素子10の入射側表面に施しても、遮光シールSの場合
と同様の効果が得られる。あるいは、図7に示すよう
に、第1の回折格子12を基板10上に入射光束Lの到
達する範囲より小さく、即ち上記幅mで形成することに
より、第1の回折格子12内に回折反射光束L2が到達
しないようにしてもよい。この場合も、入射光が球面波
に近い場合は、幅mは数6に準じる。
【0064】<第3実施例>第3実施例の偏光検出装置
では、上記実施例のように遮光シールS、あるいはアパ
ーチャAなどで入射光束を制限せずに、図1又は図6に
示す偏光回折素子10の設計を変えることで偏光回折格
子10内での光の干渉をなくす。
では、上記実施例のように遮光シールS、あるいはアパ
ーチャAなどで入射光束を制限せずに、図1又は図6に
示す偏光回折素子10の設計を変えることで偏光回折格
子10内での光の干渉をなくす。
【0065】偏光回折素子10の設計方法を説明する。
偏光回折素子10の光入射側にある第1の回折格子12
に入射する入射光束の紙面上下方向の幅をW0とする
と、偏光回折素子内での光の干渉を全くなくすために
は、偏光回折素子10を構成する基板11の厚みtは、
偏光回折素子10の光入射側にある第1の回折格子12
に入射する入射光束の紙面上下方向の幅をW0とする
と、偏光回折素子内での光の干渉を全くなくすために
は、偏光回折素子10を構成する基板11の厚みtは、
【0066】
【数7】
【0067】を満たせばよい。但し、入射光が球面波に
近い場合には、上記他の実施例と同様に、
近い場合には、上記他の実施例と同様に、
【0068】
【数8】
【0069】を満たす厚みtでよい。
【0070】本実施例では、偏光回折格子10への光の
入射領域を制限せずに、上記他の実施例と同様の効果を
得ることが出来る。
入射領域を制限せずに、上記他の実施例と同様の効果を
得ることが出来る。
【0071】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の偏光検出装置によれば、入射光束と入射光束の回折反
射光束とが干渉することを抑制できるため、あるいは、
前記干渉の影響を排除できるため、レーザ光の波長変動
に伴い光検出器上で光強度が変動することがなく、ノイ
ズ成分の少ない良質な情報信号を検出することが出来
る。
の偏光検出装置によれば、入射光束と入射光束の回折反
射光束とが干渉することを抑制できるため、あるいは、
前記干渉の影響を排除できるため、レーザ光の波長変動
に伴い光検出器上で光強度が変動することがなく、ノイ
ズ成分の少ない良質な情報信号を検出することが出来
る。
【図1】第1実施例の偏光検出装置における偏光回折素
子周辺を模式的に示す正面図である。
子周辺を模式的に示す正面図である。
【図2】図1に示す偏光回折素子へ球面波が入射した場
合の動作を説明するための模式図であり、(a)はアパ
ーチャの正面図、(b)は偏光回折素子の正面図、
(c)は第1の回折格子におけるビームスポットを示す
図である。
合の動作を説明するための模式図であり、(a)はアパ
ーチャの正面図、(b)は偏光回折素子の正面図、
(c)は第1の回折格子におけるビームスポットを示す
図である。
【図3】図1に示す偏光検出装置におけるアパーチャ幅
Wとノイズレベルとの関係図である。
Wとノイズレベルとの関係図である。
【図4】第1実施例の応用例であり、偏光回折素子周辺
を模式的に示す正面図である。
を模式的に示す正面図である。
【図5】図1に示す偏光検出装置に用いられるアパーチ
ャの開口部の形状を表す図である。
ャの開口部の形状を表す図である。
【図6】第2実施例の偏光検出装置における偏光回折素
子周辺を模式的に示す正面図である。
子周辺を模式的に示す正面図である。
【図7】第2実施例の応用例であり、偏光回折素子を模
式的に示す正面図である。
式的に示す正面図である。
【図8】偏光特性を有する従来の偏光回折素子の正面図
である。
である。
【図9】従来の偏光検出装置に用いられる偏光回折素子
の正面図である。
の正面図である。
【図10】図9に示す偏光回折素子の回折格子の断面図
である。
である。
【図11】図9に示す偏光回折素子を用いた従来の偏光
回折装置を模式的に示す正面図である。
回折装置を模式的に示す正面図である。
【図12】図9に示す偏光回折素子における光の動作を
説明するための模式図であり、(a)は偏光回折素子の
正面図であり、(b)は第1の回折格子におけるビーム
スポットを示す図である。
説明するための模式図であり、(a)は偏光回折素子の
正面図であり、(b)は第1の回折格子におけるビーム
スポットを示す図である。
【図13】偏光特性を有する偏光回折素子における光入
射角と反射率との関係図である。
射角と反射率との関係図である。
10 偏光回光素子 11 基板 12 第1の回折格子 13 第2の回折格子 40 レンズ A アパーチャ S 遮光シール L 入射光束 L2 回折反射光束 Li 干渉部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 倉田 幸夫 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内
Claims (10)
- 【請求項1】 対向する平行な2面を有する基板と、該
基板の一方の面に形成された第1の回折格子と、他方の
面に形成された第2の回折格子とを有し、該第1の回折
格子側から波長が変動する光束が入射され、該第1の回
折格子及び該第2の回折格子の各々の格子間隔が入射光
束の波長とほぼ同一である偏光回折素子と、 該第1の回折格子の光束入射側に形成され、該入射光束
の該偏光回折素子への入射領域を制限する制限手段及び
該入射光束を球面波にして該偏光回折素子へ入射させる
変換手段のうち少なくとも一方の手段と、 該偏向回折素子の光入射側若しくは光出射側に配され、
該第1の回折格子及び該第2の回折格子をともに透過す
る光束と、該第1の回折格子及び該第2の回折格子でと
もに回折される光束とを各々異なるビームスポットに集
光させる集光レンズと、 該集光レンズで集光された2つのビームスポットの光強
度をそれぞれ検出する1対の光検出器とを備えた偏光検
出装置。 - 【請求項2】 前記制限手段が遮光部材からなり、該遮
光部材が該第1の回折格子の形成された面上において該
第1の回折格子の格子方向とは垂直な方向の該入射光束
の入射幅を制限する請求項1に記載の偏光検出装置。 - 【請求項3】 前記遮光部材が、前記第1の回折格子で
回折され、且つ前記他方の面で反射された光束と該入射
光束との干渉を抑制する請求項2に記載の偏光検出装
置。 - 【請求項4】 前記入射幅が、前記偏光回折素子の基板
の厚みをt0とし、前記第1の回折格子での該基板内に
おける前記入射光束の回折角をθ2としたときに、4t0
・tanθ2以下である請求項2に記載の偏光検出装
置。 - 【請求項5】 前記制限手段が絞りからなり、該絞りが
前記入射光束の進行方向に直交する面上における該入射
光束の幅を制限する請求項1に記載の偏光検出装置。 - 【請求項6】 前記入射光束の幅が、前記偏光回折素子
の基板の厚みをt0とし、前記入射光束の入射角をθ1と
し、前記第1の回折格子での該基板内における該入射光
束の回折角をθ2としたときに、4t0・tanθ2・S
in(90°−θ1)以下である請求項5に記載の偏光
検出装置。 - 【請求項7】 前記遮光部材が、前記第1の回折格子上
に形成された遮光膜からなる請求項2又は3に記載の偏
光検出装置。 - 【請求項8】 前記変換手段が、レンズ及び絞りの何れ
か一方である請求項1に記載の偏光検出装置。 - 【請求項9】 対向する平行な2面を有する基板と、該
基板の一方の面に形成された第1の回折格子と、他方の
面に形成された第2の回折格子とを有し、該第1の回折
格子側から波長が変動する光束が入射され、該第1の回
折格子及び該第2の回折格子の各々の格子間隔が入射光
束の波長とほぼ同一であり、更に、該基板の厚みをt0
とし、該第1の回折格子での該基板内における該入射光
束の回折角をθ2としたときに、該第1の回折格子の格
子方向に対して垂直方向に4t0・tanθ2以下の幅
で、該第1の回折格子が形成されている偏光回折素子
と、 該偏向回折素子の光入射側若しくは光出射側に配され、
該第1の回折格子及び該第2の回折格子をともに透過す
る光束と、該第1の回折格子及び該第2の回折格子でと
もに回折される光束とを各々異なるビームスポットに集
光させる集光レンズと、 該集光レンズで集光された2つのビームスポットの光強
度をそれぞれ検出する1対の光検出器とを備えた偏光検
出装置。 - 【請求項10】 対向する平行な2面を有する基板と、
該基板の一方の面に形成された第1の回折格子と、他方
の面に形成された第2の回折格子とを有し、該第1の回
折格子側から波長が変動する光束が入射され、該第1の
回折格子及び該第2の回折格子の各々の格子間隔が入射
光束の波長とほぼ同一であり、更に、該入射光束の進行
方向に直交する面上における該入射光束の幅をW、該入
射光束の入射角をθ1、該第1の回折格子での該基板内
における該入射光束の回折角をθ2としたときに、該基
板の厚みが、W/{4tanθ2・Sin(90°−
θ1)}以上である偏光回折素子と、 該偏向回折素子の光入射側若しくは光出射側に配され、
該第1の回折格子及び該第2の回折格子をともに透過す
る光束と、該第1の回折格子及び該第2の回折格子でと
もに回折される光束とを各々異なるビームスポットに集
光させる集光レンズと、 該集光レンズで集光された2つのビームスポットの光強
度をそれぞれ検出する1対の光検出器とを備えた偏光検
出装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4258424A JP2810281B2 (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | 偏光検出装置 |
DE69326406T DE69326406T2 (de) | 1992-09-28 | 1993-07-20 | Polarisationsdetektor |
CA002100897A CA2100897C (en) | 1992-09-28 | 1993-07-20 | Polarization detector |
EP93305687A EP0592075B1 (en) | 1992-09-28 | 1993-07-20 | A polarization detector |
US08/093,920 US5473470A (en) | 1992-09-28 | 1993-07-21 | Polarization detector |
KR1019930014085A KR0133497B1 (ko) | 1992-09-28 | 1993-07-24 | 편광 검출기 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4258424A JP2810281B2 (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | 偏光検出装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06110017A true JPH06110017A (ja) | 1994-04-22 |
JP2810281B2 JP2810281B2 (ja) | 1998-10-15 |
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ID=17320027
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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---|---|
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EP (1) | EP0592075B1 (ja) |
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KR (1) | KR0133497B1 (ja) |
CA (1) | CA2100897C (ja) |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011191787A (ja) * | 2011-06-09 | 2011-09-29 | Asahi Glass Co Ltd | アイソレータおよび電圧可変アッテネータ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CA2235922A1 (en) * | 1995-10-26 | 1997-05-01 | Trustees Of Boston University | Polarization sensitive photodetectors and detector arrays |
DE10359752B4 (de) * | 2003-12-19 | 2015-04-02 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Anordnung zur spektralselektiven Strahlführung in optischen Geräten |
WO2006008666A1 (en) * | 2004-07-13 | 2006-01-26 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Polarizing device |
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DE3212809C2 (de) * | 1982-04-06 | 1984-12-20 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Meßeinrichtung für die Stabilisierung von Lasern |
US5013107A (en) * | 1988-09-15 | 1991-05-07 | Biles Jonathan R | Polarization selective holographic optical element |
US5029154A (en) * | 1988-11-21 | 1991-07-02 | Ricoh Company, Ltd. | Optical reproducing apparatus |
US5085496A (en) * | 1989-03-31 | 1992-02-04 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical element and optical pickup device comprising it |
JPH02259702A (ja) * | 1989-03-31 | 1990-10-22 | Sharp Corp | 偏光回折素子 |
US5101389A (en) * | 1989-08-04 | 1992-03-31 | Ricoh Company, Ltd. | Optical information recording/reproducing apparatus |
CA2043978C (en) * | 1990-06-13 | 1999-08-10 | Yoshio Yoshida | Polarization diffraction element and polarization detector employing the same |
US5272550A (en) * | 1991-10-11 | 1993-12-21 | International Business Machines Corporation | Hologram system |
-
1992
- 1992-09-28 JP JP4258424A patent/JP2810281B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-07-20 EP EP93305687A patent/EP0592075B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-07-20 CA CA002100897A patent/CA2100897C/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-07-20 DE DE69326406T patent/DE69326406T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-07-21 US US08/093,920 patent/US5473470A/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-07-24 KR KR1019930014085A patent/KR0133497B1/ko not_active IP Right Cessation
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2011191787A (ja) * | 2011-06-09 | 2011-09-29 | Asahi Glass Co Ltd | アイソレータおよび電圧可変アッテネータ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5473470A (en) | 1995-12-05 |
JP2810281B2 (ja) | 1998-10-15 |
CA2100897C (en) | 1999-07-06 |
EP0592075B1 (en) | 1999-09-15 |
EP0592075A1 (en) | 1994-04-13 |
DE69326406T2 (de) | 2000-02-03 |
KR0133497B1 (ko) | 1998-04-23 |
CA2100897A1 (en) | 1994-03-29 |
DE69326406D1 (de) | 1999-10-21 |
KR940007510A (ko) | 1994-04-27 |
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