KR940007510A - 편광 검출기 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 편광 검출기는, 서로 평행하게 배치된 2개의 대향하는 면을 갖는 기판, 회절 소자, 상기 기판의 한면에 형성된 제1 회절 결자, 및 상기 기판의 다른 면에 형성된 제2 회절 격자를 포함하고, 광이 상기 제1 회절격자 상에 입사되며, 상기 제1 및 제2 회절 격자들 각각의 결자 간격이 상기 입사광의 파장과 거의 같은 편광회절소자; 상기 제1 회절 격자의 광 입사측 상에 형성된, 상기 편광 회절 소자에 대해 상기 입사광의 입사 영역을 제한하기 위한 제한 부재; 상기 제1 및 제2 회ㅈ절 격자들을 투과하는 광과 상기 제1 및 제2 회절 격자들에 의해 회절된 광을 서로 다른 빔 스폿으로 각각 집광시키기 위한 집광 렌즈; 및 상기 집광 렌즈에 의해 집광된 2개의 빔 스폿을 각각의 광 세기를 검출하기 위한 한 쌍의 광 검출기 등을 포함한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 제1실시예의 편광 검출기 내의 편광 회절 소자의 주변을 개략적으로 보여주는 평면도,
제2A도는 제1도에 도시돈 편광 회절 소자에 구면파가 입사되는 경우의 동작을 설명하기 위한 애퍼츄어(aperture)의 개략 평면도,
제2B도는 제1도에 도시된 편광 회절 소자에 구면파가 입사되는 경우의 동작을 설명하기 위한 편광 회절 소자으 개략 평며도,
제2C도는 제1도에 도시된 편광 회절 소자에 구면파가 입사되는 경우의 동작을 설명하기 위한 제1 회절 격자 상의 빔 스폿(beam spot)에 대한 개략도,
제3도는 제1도에 도시된 편광 검출기에 있어서의 잡음 레벨과 애퍼츄어 A의 폭 W간의 관계를 보여주는 그래프.
Claims (18)
- 서로 평행한 2개의 대향하는 면을 갖는 기판의 한 면에 형성된 제1 회절 격자, 및 상기 기판의 다른 면에 형성된 제2 회절 격자를 포함하고, 상기 제1 회절 격자 상에 광이 입사되며, 상기 제1 회절 격자 및 상기 제2 회절 격자 각각의 격자 간격이 상기 입사광의 파장과 동일한 편광 회절 소자; 상기 호절 격자의 광 입사측에 형성된, 상기 편량 회절 소자에 대한 입사광의 입사 영역을 제한하기 위한 제한 수단; 상기 제1 회절 격자 및 상기 제2 회절 격자를 투과한 광과 상기 제1 회절 격자 및 상기 제2 회절 격자에 의해 회절된 광을 각각 서로 다른 빔 스폿으로 집광시키기 위한 집광 수단; 및 상기 집광 수단에 의해 집광된 2개의 빔 스폿 각각의 광 세기를 겸출하기 위한 한 쌍의 광검출 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 제1항에 있어서, 상기 제한 수단이 차광 부재로 형성되고, 상기 제1 회절 격자가 형성된 상기 편광 회절소자의 표면 상에서, 상기 차광 부재가 상기 제1 회절 격자의 홈 방향에 대해 수직 방향으로 상기 입사광의 입사폭을 제한 폭으로 제한하는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 제2항에 있어서, 상기 차광 부재가 상기 제1 회절 격자 상에 형성돈 차광막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 제2항에 있어서, 상기 차광 부재가 상기 제1 회절 격자에 의해 회절되고 상기 기판의 다른 면으로부터 반사된 광과 상기 입사광 간의 간섭을 방지하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 제4항에 있어서, 상기 차광 부재가 상기 제1 회절 격자 상에 형성된 차광막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 제2항에 있어서, 상기 편공 회절 소자 기판의 두께가 t0이고, 상기 제1 호절격자에 의한 상기 기판 내에 있어서의 상기 입사광의 회절각이θ2일 때 상기 제한 폭이 4t0·tanθ2이거나 그 이하인 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 제1항에 있어서, 상기 제한 수단이 애퍼츄어로 형성되어, 상기 입사광의 진행 방향에 직교하는 면에 대한 상기 입사광의 폭을 제한 폭으로 제한하는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 제7항에 있어서, 상기 편광 회절 소자의 기판 두께가 t0이고, 상기 입사광의 입사각이θ1이며, 상기 제1 회절격자에 의한 상기 기판 내에 있어서의 상기 입사광의 회절각이θ2일때 상기 제한 폭이 4t0·tanθ2·sin(90˚-θ1)이거나 그 이하인 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 회절 격자의 광 입사측 상에 변환 수단이 형성되고, 이 변환 수단이 상기 입사광을 구면파로 변환시켜 이 구면파를 상기 편광 회절 소자 상에 입사되도록 하는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 제9항에 있어서, 상기 변환 수단이 렌즈 및 애퍼츄어로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 제1항에 있어서, 상기 집광 수단이 상기 편광 회절 소자의 광 입사측 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 제1항에 있어서, 상기 집광 수단이 상기 편광 회절 소자의 광 출사측 상에 제공도는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 서로 평행한 2개의 대향하는 면을 갖는 기판, 이 기판의 한 면에 형성된 제1 회절 격자, 및 상기 기판의 다른 면에 형성된 제2 회절 격자를 포함하고, 상기 제1 회절 격자 상에 과이 입사되며, 상기 제1 회절 격자 및 상기 제2 회절 격자 각각의 격자 간격이 상기 입사광의 파장과 동일한 편광 회절 소자; 상기 제1 회절 격자의 광 입사측 상에 형성된, 상기 입사광을 구면파로 변환시키고 이 구면파를 상기 편광 회절 소자 상에 입사되도록 하는 변환 수단; 상기 제1 회절 격자 및 상기 제2 회절 격자를 투과한 광과 상기 제1 회절 격자 및 상기 제2 회절격자에 의해 회절된 광을 각각 서로 다른 빔 스폿으로 집광시키기 위한 집광 수단; 및 상기 집광 수단에 의해 집광된 2대의 빔 스폿 각각의 광 세기를 검출하기 위한 한 쌍의 광검출 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 제13항에 있어서, 상기 변환 수단이 렌즈 및 애퍼츄어로 구성되는 그룹으로 부터 선택되는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 제13항에 있어서, 상기 집광 렌즈가 상기 편광 회절 소자의 광 입사측 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 제13항에 있어서, 상기 집광 렌즈가 상기 편광 회절 소자의 광 출사측 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 서로 평행한 2개의 대향하는 면을 갖는 기판, 이 기파의 한 면에 형성된 제1 회절 격자, 및 상기 기판의 다른 면에 형성된제2 회절 결자를 포함하고, 상기 제1 회절 격자 상에 광이 입사되며, 상기 제1 회절 격자 및 상기 제2 회절 격자 각각의 격자 간격이 상기 입사광의 파장과 동일하며, 상기 기판의 두께가t0이고 상기 제1 회절 격자에 의한 상기 기판 내에 있어서의 상기 입사광의 회절각이 θ1일 때 상기 제1 회절 격자가 4t0·tanθ2또는 그 이하의 폭으로 상기 제1 회절 격자으 홈 방향에 대해 수직 방향으로 형성되는 편광 회절 소자; 상기 제1 회절 격자 및 상기 제2 회절 격자를 투과한 광과 상기 제1 호절 격자 및 상기 제2 회절 격자에 으해 회절된 광을 각각 서로 다른 빔 스폿으로 집광시키기 위한 집광 수단; 및 상기 집광 수단에 의해 집광된 2개의 빔 스폿 각각의 광 세기를 검출하기 위한 한 쌍의 광검출 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.
- 서로 평행하게 배치된 2개의 대향하는 면을 갖는 기판, 이 기판의 한 면에 형성된 제1 회절 격자, 및 상기 기판의 다른 면에 형성된 제2 회절 격자를 포함하고, 파장이 변동하는 광이 상기 제1 회절 격자 상에 입사되며, 상기 제1 회절 격자 및 상기 제2 회절 격자 각각의 격자 간격이 상기 입사광의 파장과 동일하고, 상기 입사광의 진행 방향에 직교하는 면에 대한 상기 입사광의 폭이 W0이고 상기 입사광의 입사각이θ1이며 상기 제1 회절 격자에 의한 상기 기판 내에 있어서의 상기 입사광의 회절각이θ2일 때 상기 기판이 두께가 W0/｛4tanθ2·sin(90˚-θ1)｝또는 그 이상인 편광 회절 소자; 상기 제1 회절 격자 및 상기 제2 회절 격자를 토과한 광과 상기 제1 회걸 격자 및 상기 제2 회절 격자에 의해 회절된 광을 각각 서로 다른 빔 스폿으로 집광시키기 위한 집광 수단; 및 상기 집광 수단에 의해 집광된 2대의 빔 스폿 각각의 광 세기를 검출하기위한 한 쌍의 광검출 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 편광 검출기.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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