JPH06103276B2 - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
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- JPH06103276B2 JPH06103276B2 JP2271714A JP27171490A JPH06103276B2 JP H06103276 B2 JPH06103276 B2 JP H06103276B2 JP 2271714 A JP2271714 A JP 2271714A JP 27171490 A JP27171490 A JP 27171490A JP H06103276 B2 JPH06103276 B2 JP H06103276B2
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- G06T7/0006—Industrial image inspection using a design-rule based approach
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- G—PHYSICS
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- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
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- G06T2207/30124—Fabrics; Textile; Paper
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は物体の表面検査装置に関する。
近年産業分野で、部品の人の目視による検査に代わっ
て、ビデオカメラと電子処理機を利用した自動検査装置
を設定することが増えてきた。被検査物としては、原材
料、素材、半製品、完成品等があり、その表面上の欠
陥、例えば外形、寸法等の相異、或は傷等を検出する表
面検査装置が種々提案され実用化されている。
て、ビデオカメラと電子処理機を利用した自動検査装置
を設定することが増えてきた。被検査物としては、原材
料、素材、半製品、完成品等があり、その表面上の欠
陥、例えば外形、寸法等の相異、或は傷等を検出する表
面検査装置が種々提案され実用化されている。
従来の物体の表面検査装置は、被検査物に対して照明光
を照射し、被検査物の透過光若しくは反射光をビデオカ
メラで捕えて画像信号に変換し、その信号をコンピュー
タ等により構成された電子処理機により処理解析して欠
陥を検出するものである。
を照射し、被検査物の透過光若しくは反射光をビデオカ
メラで捕えて画像信号に変換し、その信号をコンピュー
タ等により構成された電子処理機により処理解析して欠
陥を検出するものである。
この場合、ビデオカメラが捕えたアナログ信号である画
像信号は、電子処理をやり易くする為に、A/Dコンバー
タの使用等によりデジタル信号に変換されるのが一般的
である。又、画像の明暗の度合い、即ちグレイスケール
について全部のデータを処理することは、膨大なデータ
量を処理することになって装置が複雑になり、多大な処
理時間を要して実用的ではない。
像信号は、電子処理をやり易くする為に、A/Dコンバー
タの使用等によりデジタル信号に変換されるのが一般的
である。又、画像の明暗の度合い、即ちグレイスケール
について全部のデータを処理することは、膨大なデータ
量を処理することになって装置が複雑になり、多大な処
理時間を要して実用的ではない。
そこで現在使用されている検査装置は、画像の明暗を閾
値で切って２値に分け、処理の簡易化を計ることにより
実用化された装置が大半である。或はグレースケールの
数段階の限定された数に絞ってデジタル化し、処理を行
っている装置も散見される。
値で切って２値に分け、処理の簡易化を計ることにより
実用化された装置が大半である。或はグレースケールの
数段階の限定された数に絞ってデジタル化し、処理を行
っている装置も散見される。
例えば被検査物の表面にある傷を検出しようとする場
合、色々の問題に突き当たる。被検査物については、金
属板、金属条やガラス、プラスチックの容器、或は紙、
プラスチックのロール状素材等色々あるが、その表面か
ら、傷だけを抽出して検出することが仲々難しい。それ
は、テレビカメラで被検査物を撮影した場合、傷が明暗
の変化として捕えられるのみならず、被検査物の素材の
ざらついた表面や欠陥ではないとしたい僅少な皺や、薄
汚れ等も、同時に明暗の変化として捕えられ、傷との区
別がつかない事がその一つである。
合、色々の問題に突き当たる。被検査物については、金
属板、金属条やガラス、プラスチックの容器、或は紙、
プラスチックのロール状素材等色々あるが、その表面か
ら、傷だけを抽出して検出することが仲々難しい。それ
は、テレビカメラで被検査物を撮影した場合、傷が明暗
の変化として捕えられるのみならず、被検査物の素材の
ざらついた表面や欠陥ではないとしたい僅少な皺や、薄
汚れ等も、同時に明暗の変化として捕えられ、傷との区
別がつかない事がその一つである。
これらの表面のざらつきや、皺や、薄汚れ等は、ビデオ
カメラにとっては言わば画面の中の“ノイズ”であると
言う事ができ、このようなノイズの中から欠陥である傷
のみを簡単に抽出して検出する事が難しく課題となって
いた。
カメラにとっては言わば画面の中の“ノイズ”であると
言う事ができ、このようなノイズの中から欠陥である傷
のみを簡単に抽出して検出する事が難しく課題となって
いた。
前述のような課題を解決する為に色々な方法がとられ
る。そのうちの有効な手段の一つとして、画面を多数の
小さな領域に区分し、夫々の小区域内の明暗の変化を測
定し、予め定められた値以上の変化があった場合に、そ
こに欠陥があると判定する方法がある。
る。そのうちの有効な手段の一つとして、画面を多数の
小さな領域に区分し、夫々の小区域内の明暗の変化を測
定し、予め定められた値以上の変化があった場合に、そ
こに欠陥があると判定する方法がある。
ノイズ的な明暗変化の部分は、夫々の小区域内では数が
少なく、傷のある区域内では明暗の変化がある部分が多
いので、傷とノイズとを区別して判別することがより容
易である。区分する区域の大きさは、判別すべき傷の大
きさによって適宜定めれば良い事は勿論である。
少なく、傷のある区域内では明暗の変化がある部分が多
いので、傷とノイズとを区別して判別することがより容
易である。区分する区域の大きさは、判別すべき傷の大
きさによって適宜定めれば良い事は勿論である。
しかしながらこのような画面を多数の小領域に区分して
欠陥の検査を行う方法は大変有効な手段ではあるが、画
面全体にわたって小さな区域で走査しながら判別処理を
繰り返さなくてはならないので、画面全体について判定
を行うには多大な処理時間を要する。
欠陥の検査を行う方法は大変有効な手段ではあるが、画
面全体にわたって小さな区域で走査しながら判別処理を
繰り返さなくてはならないので、画面全体について判定
を行うには多大な処理時間を要する。
本発明によれば、照明装置より被検査物に対して照明光
を照射し、その透過光又は反射光をビデオカメラで捕
え、ビデオカメラが出力する画像信号を電子処理機によ
り画像処理し、被検査物の欠陥を検出する検査装置にお
いて、ビデオカメラ（10）よりの画像信号の中から、明
暗のコントラストが予め定められた値以上になる画像信
号を画像信号抽出手段（13）により抽出し、該画像信号
をA/D変換器（14）によりデジタル信号に変換し、該デ
ジタル信号をメモリ（16）に記憶すると共に、画像の水
平又は垂直方向に対する全デジタル信号のヒストグラム
をヒストグラム作成手段（18）により作成し、上記ヒス
トグラム信号を低域フィルタ（19）に供給しその高域周
波数成分を除去して波形信号を形成し、該波形信号の予
め定められた閾値を越える波形信号を信号抽出手段（2
0）により選択し、該選択された波形信号について、画
像の垂直又は水平方向に対する中心線を垂直又は水平位
置設定手段（21）により求め、画像の画面に対して、傷
が選別出来る程度の予め定められた大きさを有する小さ
いウインドをウインド設定手段（22）により設定し、選
択された波形信号より得た画像の垂直又は水平方向の中
心線を上記ウインドの中心が一致して通過するように、
デジタル信号が記憶されているメモリに対して、上記の
ウインドで画面を垂直にウインドアドレス設定手段（2
3）により走査し、上記のウインドにより上記メモリを
走査した際、ウインドの中に予め定められた値以上のデ
ジタル信号の数量が多いか又はデジタル信号の塊の面積
が大きい時等に傷等の欠陥が有ると判定手段（24）によ
り判定するようになした表面検査装置が得られる。
を照射し、その透過光又は反射光をビデオカメラで捕
え、ビデオカメラが出力する画像信号を電子処理機によ
り画像処理し、被検査物の欠陥を検出する検査装置にお
いて、ビデオカメラ（10）よりの画像信号の中から、明
暗のコントラストが予め定められた値以上になる画像信
号を画像信号抽出手段（13）により抽出し、該画像信号
をA/D変換器（14）によりデジタル信号に変換し、該デ
ジタル信号をメモリ（16）に記憶すると共に、画像の水
平又は垂直方向に対する全デジタル信号のヒストグラム
をヒストグラム作成手段（18）により作成し、上記ヒス
トグラム信号を低域フィルタ（19）に供給しその高域周
波数成分を除去して波形信号を形成し、該波形信号の予
め定められた閾値を越える波形信号を信号抽出手段（2
0）により選択し、該選択された波形信号について、画
像の垂直又は水平方向に対する中心線を垂直又は水平位
置設定手段（21）により求め、画像の画面に対して、傷
が選別出来る程度の予め定められた大きさを有する小さ
いウインドをウインド設定手段（22）により設定し、選
択された波形信号より得た画像の垂直又は水平方向の中
心線を上記ウインドの中心が一致して通過するように、
デジタル信号が記憶されているメモリに対して、上記の
ウインドで画面を垂直にウインドアドレス設定手段（2
3）により走査し、上記のウインドにより上記メモリを
走査した際、ウインドの中に予め定められた値以上のデ
ジタル信号の数量が多いか又はデジタル信号の塊の面積
が大きい時等に傷等の欠陥が有ると判定手段（24）によ
り判定するようになした表面検査装置が得られる。
以下、図面を参照して本発明を説明する。
第１図Ａ乃至Ｅを参照して、本発明の原理を説明する。
本発明においては、先ず、被検査物の表面の画像を示す
ビデオカメラの画面の中の明暗の変化がある部分をデジ
タル信号に変換する。それには、予め定められた閾値に
よって、画面中の明暗の変化のある部分のアナログ画像
信号を２値化してデジタル信号に変換しても良いし、明
暗の部分のアナログ信号を微分処理によって明暗の境界
を波形化し同様に２値化してデジタル信号にしても良
い。このデジタル信号は、全画面にわたってメモリに記
憶しておく。
ビデオカメラの画面の中の明暗の変化がある部分をデジ
タル信号に変換する。それには、予め定められた閾値に
よって、画面中の明暗の変化のある部分のアナログ画像
信号を２値化してデジタル信号に変換しても良いし、明
暗の部分のアナログ信号を微分処理によって明暗の境界
を波形化し同様に２値化してデジタル信号にしても良
い。このデジタル信号は、全画面にわたってメモリに記
憶しておく。
第１図Ａは、デジタル信号を記憶しているメモリのビデ
オカメラの画面に対応するエリア又は画面（１）の中
に、点在している上記のデジタル信号を黒点で示したも
のである。画面（１）の中に粗く点在している黒点
（２）は、前述のごとく被検査物の表面における欠陥以
外の、例えばざらつきや、薄い汚れ等の影響による明暗
差がデジタル信号に変換されたもので、欠陥の判定に邪
魔になる所謂ノイズ状のものである。
オカメラの画面に対応するエリア又は画面（１）の中
に、点在している上記のデジタル信号を黒点で示したも
のである。画面（１）の中に粗く点在している黒点
（２）は、前述のごとく被検査物の表面における欠陥以
外の、例えばざらつきや、薄い汚れ等の影響による明暗
差がデジタル信号に変換されたもので、欠陥の判定に邪
魔になる所謂ノイズ状のものである。
一方画面（１）の中の密な黒点（３）及び（3A）は、ノ
イズではない検出すべき傷等の欠陥に対応するデジタル
信号であり、ここには、多くの黒点が集合している。こ
れを他のノイズと区別して検出しなければならない。
イズではない検出すべき傷等の欠陥に対応するデジタル
信号であり、ここには、多くの黒点が集合している。こ
れを他のノイズと区別して検出しなければならない。
第１図Ｂは、画面（１）のＸ−Ｘ′線上、即ち１走査線
上におけるデジタル信号を示すもので、これより、この
デジタル信号をそのまま検出したのでは、傷とノイズと
の区別がつけられない事がわかるであろう。しかし、第
１図Ａに示すごとく画面（１）を小区画で区分し（この
例では、縦4,横６に区画してある）、夫々の小区画内で
の黒点の数を調べる事により、ノイズと傷とを容易に判
別出来ることは明白であろう。
上におけるデジタル信号を示すもので、これより、この
デジタル信号をそのまま検出したのでは、傷とノイズと
の区別がつけられない事がわかるであろう。しかし、第
１図Ａに示すごとく画面（１）を小区画で区分し（この
例では、縦4,横６に区画してある）、夫々の小区画内で
の黒点の数を調べる事により、ノイズと傷とを容易に判
別出来ることは明白であろう。
本発明においては、先ず画面（１）の水平方向のデジタ
ル信号（黒点）のヒストグラムを、画面（１）の全垂直
方向に亘って作成する。このヒストグラムは、画面
（１）の水平方向に対して現れる全デジタル信号の分布
状態を示すものである。第１図Ｃは、このヒストグラム
を図示したものである。
ル信号（黒点）のヒストグラムを、画面（１）の全垂直
方向に亘って作成する。このヒストグラムは、画面
（１）の水平方向に対して現れる全デジタル信号の分布
状態を示すものである。第１図Ｃは、このヒストグラム
を図示したものである。
次に、第１図Ｃに示すデジタル信号より作られたヒスト
グラムを低減フィルタにかけて、その高域の周波数成分
を取除き、これを波形信号にする。第１図Ｄは、デジタ
ル信号が変換されたこの波形信号を示したものである。
グラムを低減フィルタにかけて、その高域の周波数成分
を取除き、これを波形信号にする。第１図Ｄは、デジタ
ル信号が変換されたこの波形信号を示したものである。
この第１図Ｄに示す波形信号を、欠陥を汚れ等のノイズ
より区別するため、予め定められた閾値（TH）により切
り、閾値を越える波形信号の部分の位置を求め、その位
置に於ける画像に対する垂直方向の中心線（CN）を求め
る。第１図Ｄの場合、波形信号の閾値（TH）を越える部
分は２個所なので、上記中心線は（CN1），（CN2）とな
る。尚、デジタル信号により作られたヒストグラムをフ
ィルタにより波形信号に整波した理由は、デジタル信号
の塊の中心線を求め易いようにする為である。又、上記
により求められた中心線（CN）の数は、ヒストグラムに
おけるデジタル信号の分布状態や、閾値の定め方によっ
て異なることは勿論である。
より区別するため、予め定められた閾値（TH）により切
り、閾値を越える波形信号の部分の位置を求め、その位
置に於ける画像に対する垂直方向の中心線（CN）を求め
る。第１図Ｄの場合、波形信号の閾値（TH）を越える部
分は２個所なので、上記中心線は（CN1），（CN2）とな
る。尚、デジタル信号により作られたヒストグラムをフ
ィルタにより波形信号に整波した理由は、デジタル信号
の塊の中心線を求め易いようにする為である。又、上記
により求められた中心線（CN）の数は、ヒストグラムに
おけるデジタル信号の分布状態や、閾値の定め方によっ
て異なることは勿論である。
第１図Ｅに示すごとく、デジタル信号を記憶しているメ
モリの画面（１）の例えば上方から下方に向かって、予
め定められた小区画のウインド（６）を中心線（CN）に
沿って動かして画面（１）の走査を行い、ウインド
（６）中に予め定められた数量以上のデジタル信号があ
った場合に、又はデジタル信号の塊の面積が大きい時等
に、異常もしくは欠陥有りと判定する。ウインド（６）
は、大きさを一定に設定された単一のものである。
モリの画面（１）の例えば上方から下方に向かって、予
め定められた小区画のウインド（６）を中心線（CN）に
沿って動かして画面（１）の走査を行い、ウインド
（６）中に予め定められた数量以上のデジタル信号があ
った場合に、又はデジタル信号の塊の面積が大きい時等
に、異常もしくは欠陥有りと判定する。ウインド（６）
は、大きさを一定に設定された単一のものである。
第２図は、上述した本発明の原理を実施する一例をブロ
ックで示したものである。第２図の例においては、ビデ
オカメラ（10）が捕えた被検査物（図示せず）の画像信
号（ａ）を前置増幅機（11）に供給する。前置増幅機
（11）は、増幅された画像信号（ｂ）を画像信号抽出器
（13）と同期信号分離器（12）とに供給する。画像信号
抽出器（13）は、閾値設定器（13A）により予め定めら
れた閾値（TH1）を越える画像信号の部分を、抽出信号
（ｃ）として作成する。画像信号抽出器（13）は、例え
ばコンパレータで、上記の閾値（TH1）に基づき、特定
の画像信号（ｃ）を抽出する。この抽出された画像信号
（ｃ）をA/D変換器（14）に供給して、デジタル信号
（ｄ）に変換する。A/D変換器（14）よりの変換された
デジタル信号（ｄ）を、転換スイッチ（15）の固定接点
（Ｘ）及び可動接点（Ａ）を通してメモリ（16）に供給
する。
ックで示したものである。第２図の例においては、ビデ
オカメラ（10）が捕えた被検査物（図示せず）の画像信
号（ａ）を前置増幅機（11）に供給する。前置増幅機
（11）は、増幅された画像信号（ｂ）を画像信号抽出器
（13）と同期信号分離器（12）とに供給する。画像信号
抽出器（13）は、閾値設定器（13A）により予め定めら
れた閾値（TH1）を越える画像信号の部分を、抽出信号
（ｃ）として作成する。画像信号抽出器（13）は、例え
ばコンパレータで、上記の閾値（TH1）に基づき、特定
の画像信号（ｃ）を抽出する。この抽出された画像信号
（ｃ）をA/D変換器（14）に供給して、デジタル信号
（ｄ）に変換する。A/D変換器（14）よりの変換された
デジタル信号（ｄ）を、転換スイッチ（15）の固定接点
（Ｘ）及び可動接点（Ａ）を通してメモリ（16）に供給
する。
同期信号分離器（12）は、垂直同期信号分離器（12v）
と水平同期信号分離器（12h）とよりなり、ビデオカメ
ラ（10）が捕えて増幅された画像信号（ｂ）から、垂直
同期信号（ｖ）と水平同期信号（ｈ）とを夫々分離す
る。これ等垂直及び水平同期信号（ｖ）及び（ｈ）を画
像アドレス発生器（17）に供給する。画像アドレス発生
器（17）はアドレス信号（ｅ）を発生する。このアドレ
ス信号（ｅ）を、転換スイッチ（15A）の固定接点
（Ｘ′）及び可動接片（Ａ）を通してメモリ（16）に与
え、ビデオカメラ（10）が捕えた画像信号（ａ）に同期
してそのデジタル信号（ｄ）を記憶するように、メモリ
（16）の垂直及び水平アドレスを制御する。
と水平同期信号分離器（12h）とよりなり、ビデオカメ
ラ（10）が捕えて増幅された画像信号（ｂ）から、垂直
同期信号（ｖ）と水平同期信号（ｈ）とを夫々分離す
る。これ等垂直及び水平同期信号（ｖ）及び（ｈ）を画
像アドレス発生器（17）に供給する。画像アドレス発生
器（17）はアドレス信号（ｅ）を発生する。このアドレ
ス信号（ｅ）を、転換スイッチ（15A）の固定接点
（Ｘ′）及び可動接片（Ａ）を通してメモリ（16）に与
え、ビデオカメラ（10）が捕えた画像信号（ａ）に同期
してそのデジタル信号（ｄ）を記憶するように、メモリ
（16）の垂直及び水平アドレスを制御する。
一方、デジタル変換器（14）から出力されたデジタル信
号（ｄ）を、水平ヒストグラム作成器（18）に供給し、
デジタル信号（ｄ）の水平ヒストグラム信号（ｆ）を作
り（第１図Ｃ参照）、これを低域フィルタ（19）に供給
して波形信号（ｇ）を得る。（第１図Ｄ参照）。同時
に、前述の垂直同期信号（ｖ）と水平同期信号（ｈ）を
水平ヒストグラム作成器（18）及び低域フィルタ（19）
に夫々供給し、正しくヒストグラム信号（ｆ）及び波形
信号（ｇ）を作成する。
号（ｄ）を、水平ヒストグラム作成器（18）に供給し、
デジタル信号（ｄ）の水平ヒストグラム信号（ｆ）を作
り（第１図Ｃ参照）、これを低域フィルタ（19）に供給
して波形信号（ｇ）を得る。（第１図Ｄ参照）。同時
に、前述の垂直同期信号（ｖ）と水平同期信号（ｈ）を
水平ヒストグラム作成器（18）及び低域フィルタ（19）
に夫々供給し、正しくヒストグラム信号（ｆ）及び波形
信号（ｇ）を作成する。
この波形信号（ｇ）を、信号抽出器（20）に供給し、こ
れにより、波形信号（ｇ）から、閾値設定器（20A）に
おいて予め定められた閾値（TH2）を越える信号（ｉ）
を抽出する（第１図Ｄ参照）。この信号（ｉ）を、垂直
位置設定器（21）に供給し、この信号（ｉ）の波形信号
（ｇ）の画像に対する垂直方向の中心点を求める。垂直
位置設定器（21）に対しても、垂直同期信号（ｖ）と水
平同期信号（ｈ）とを供給し、画面上の正しい位置に上
記の中心点が設定されるように制御し、垂直位置信号
（ｊ）を出力する。
れにより、波形信号（ｇ）から、閾値設定器（20A）に
おいて予め定められた閾値（TH2）を越える信号（ｉ）
を抽出する（第１図Ｄ参照）。この信号（ｉ）を、垂直
位置設定器（21）に供給し、この信号（ｉ）の波形信号
（ｇ）の画像に対する垂直方向の中心点を求める。垂直
位置設定器（21）に対しても、垂直同期信号（ｖ）と水
平同期信号（ｈ）とを供給し、画面上の正しい位置に上
記の中心点が設定されるように制御し、垂直位置信号
（ｊ）を出力する。
（22）はウインド設定器であり、検出を希望する傷がそ
の中に含まれる程度の小さい寸法のウインドを設定する
ウインド設定信号（ｋ）を発生する。（23）はウインド
アドレス発生器であり、垂直位置信号（ｊ）と、ウイン
ド設定信号（ｋ）と、垂直及び水平同期信号（ｖ）及び
（ｈ）とを受け、ウインドが定められた垂直走査位置
で、メモリ（16）に記憶されているデジタル信号（ｄ）
を垂直に走査するようなウインドアドレス信号（ｌ）
を、転換スイッチ（15A）の他方の固定接点（Ｙ′）に
出力する。スイッチ（15）及び（15A）は連動するもの
とし、固定接点（Ｘ）及び（Ｘ′）はメモリ（16）の信
号取入れモードとし、それ等の他の固定接点（Ｙ）及び
（Ｙ′）は、判定モードとする。
の中に含まれる程度の小さい寸法のウインドを設定する
ウインド設定信号（ｋ）を発生する。（23）はウインド
アドレス発生器であり、垂直位置信号（ｊ）と、ウイン
ド設定信号（ｋ）と、垂直及び水平同期信号（ｖ）及び
（ｈ）とを受け、ウインドが定められた垂直走査位置
で、メモリ（16）に記憶されているデジタル信号（ｄ）
を垂直に走査するようなウインドアドレス信号（ｌ）
を、転換スイッチ（15A）の他方の固定接点（Ｙ′）に
出力する。スイッチ（15）及び（15A）は連動するもの
とし、固定接点（Ｘ）及び（Ｘ′）はメモリ（16）の信
号取入れモードとし、それ等の他の固定接点（Ｙ）及び
（Ｙ′）は、判定モードとする。
このようにして、スイッチ（15）及び（15A）をメモリ
（16）の信号取入れモードにしておいて、全画像のデジ
タル信号（ｄ）をメモリ（16）に記憶しておき、スイッ
チ（15）及び（15A）を判定モードに転換し、第１図Ｅ
に示したごとき動作でウインドを特定垂直方向位置のみ
走査し、その結果を判定回路（24）により判定し、傷
（３），（3A）を検出する。
（16）の信号取入れモードにしておいて、全画像のデジ
タル信号（ｄ）をメモリ（16）に記憶しておき、スイッ
チ（15）及び（15A）を判定モードに転換し、第１図Ｅ
に示したごとき動作でウインドを特定垂直方向位置のみ
走査し、その結果を判定回路（24）により判定し、傷
（３），（3A）を検出する。
以上は、水平ヒストグラムを求めて動作させた場合の例
について説明したが、水平ヒストグラムの代わりに垂直
ヒストグラムを求め、ウインドを水平に走査せしめても
同様な動作と効果が得られることは明らかであろう。こ
の場合には、水平ヒストグラム作成器（18）を垂直ヒス
トグラム作成器になし、垂直位置設定器（21）を水平位
置設定器に変更すれば良いだけの事であり、特に重ねて
詳細な説明をすることを省略する。
について説明したが、水平ヒストグラムの代わりに垂直
ヒストグラムを求め、ウインドを水平に走査せしめても
同様な動作と効果が得られることは明らかであろう。こ
の場合には、水平ヒストグラム作成器（18）を垂直ヒス
トグラム作成器になし、垂直位置設定器（21）を水平位
置設定器に変更すれば良いだけの事であり、特に重ねて
詳細な説明をすることを省略する。
更にまた、第３図は本発明の他の実施例のブロック図で
ある。第３図において、第２図と同一符号は互いに同一
部分を示すものとする。第３図の例が第２図の例と異な
る点は、第３図の例では水平と垂直の２組のヒストグラ
ムを同時に作成している事である。
ある。第３図において、第２図と同一符号は互いに同一
部分を示すものとする。第３図の例が第２図の例と異な
る点は、第３図の例では水平と垂直の２組のヒストグラ
ムを同時に作成している事である。
このため、第３図の例に於いては、第２図の例に、垂直
ヒストグラム作成器（18B）、低域フィルタ（19B）、信
号抽出器（20B）、及び閾値設定器（20C）を併設したも
のである。
ヒストグラム作成器（18B）、低域フィルタ（19B）、信
号抽出器（20B）、及び閾値設定器（20C）を併設したも
のである。
第３図の例が第２図の例と動作上異なる点は、第３図の
例では、第２図の例の垂直位置設定器（21）が、水平位
置と垂直位置とで同時に制御を行う水平、垂直位置設定
器（21B）となり、ウインドアドレス設定器（23）は、
水平位置と垂直位置との交差する点にアドレスするよう
なウインドアドレス信号を発生する点である。
例では、第２図の例の垂直位置設定器（21）が、水平位
置と垂直位置とで同時に制御を行う水平、垂直位置設定
器（21B）となり、ウインドアドレス設定器（23）は、
水平位置と垂直位置との交差する点にアドレスするよう
なウインドアドレス信号を発生する点である。
第４図はこの状態を図示したもので、図において水平の
ヒストグラムより得た垂直方向の中心線（CN1）及び（C
N2）と、垂直のヒストグラムより得た水平方向の中心線
（CN3）及び（CN4）のそれぞれの交点にウインド（６）
を順次設定して判定を行う。この方法によれば、ウイン
ドの走査は行わずに単にウインドを上記の交点に順次移
動させて判定を行うのみであるので、総合判定の処理時
間が極めて少なくて済む特徴がある。
ヒストグラムより得た垂直方向の中心線（CN1）及び（C
N2）と、垂直のヒストグラムより得た水平方向の中心線
（CN3）及び（CN4）のそれぞれの交点にウインド（６）
を順次設定して判定を行う。この方法によれば、ウイン
ドの走査は行わずに単にウインドを上記の交点に順次移
動させて判定を行うのみであるので、総合判定の処理時
間が極めて少なくて済む特徴がある。
第３図のブロックの他の部分の説明については、第２図
における場合と全く同様な動作であるので説明を省略す
る。
における場合と全く同様な動作であるので説明を省略す
る。
尚、ブロックダイアグラムによって本発明の動作を説明
したが、いずれの場合もコンピュータ処理によって本発
明を実施することが一般的であり、ソフトウエアのプロ
グラミングにより、上述のごとき本発明の動作をなさし
める事は当業者にとって容易である事は明らかであろ
う。
したが、いずれの場合もコンピュータ処理によって本発
明を実施することが一般的であり、ソフトウエアのプロ
グラミングにより、上述のごとき本発明の動作をなさし
める事は当業者にとって容易である事は明らかであろ
う。
又、ウインドの形は矩形にとらわれることなく、判別の
目的によっては特殊な形状にしても良く、ウインド内の
判定処理も抽出信号の数量を計測したり抽出信号の塊ま
り具合或は形状等を基準にして判定するなど、検出目的
により自由に設定して良いことは勿論である。
目的によっては特殊な形状にしても良く、ウインド内の
判定処理も抽出信号の数量を計測したり抽出信号の塊ま
り具合或は形状等を基準にして判定するなど、検出目的
により自由に設定して良いことは勿論である。
本発明は、このような従来の方法の処理時間の上での欠
陥を排除し、画面上のウインド処理を独自な方法により
極めて高速に行なえるようになし、高速な生産ライン上
でこのような装置を使用する事を可能にした効果は極め
て大なるものがある。又、特に複雑な構成を必要とする
事なく、簡便に装置を製作し得るものである事も大きな
特徴である。
陥を排除し、画面上のウインド処理を独自な方法により
極めて高速に行なえるようになし、高速な生産ライン上
でこのような装置を使用する事を可能にした効果は極め
て大なるものがある。又、特に複雑な構成を必要とする
事なく、簡便に装置を製作し得るものである事も大きな
特徴である。
第１図は本発明の原理説明用の略線図、第２及び第３図
は夫々本発明の実施例を示すブロック図、第４図は第３
図の例の動作説明用の略線図である。 図に於て、（10）はビデオカメラ、（12）は同期信号分
離器、（13），（20）は信号抽出器、（14）はA/D変換
器、（15），（15A）は転換スイッチ、（16）はメモ
リ、（17）はアドレス発生器、（18），（18B）は水平
及び垂直ヒストグラム設定器、（19），（19B）は低域
フィルタ、（20），（20B）は信号抽出器、（20A），
（20C）は閾値設定器、（21B）は水平垂直位置設定器、
（22）はウインド設定器、（23）はウインドアドレス発
生器、（24）は判定回路を夫々示す。
は夫々本発明の実施例を示すブロック図、第４図は第３
図の例の動作説明用の略線図である。 図に於て、（10）はビデオカメラ、（12）は同期信号分
離器、（13），（20）は信号抽出器、（14）はA/D変換
器、（15），（15A）は転換スイッチ、（16）はメモ
リ、（17）はアドレス発生器、（18），（18B）は水平
及び垂直ヒストグラム設定器、（19），（19B）は低域
フィルタ、（20），（20B）は信号抽出器、（20A），
（20C）は閾値設定器、（21B）は水平垂直位置設定器、
（22）はウインド設定器、（23）はウインドアドレス発
生器、（24）は判定回路を夫々示す。
Claims (2)
- 【請求項１】照明装置より被検査物に対して照明光を照
射し、その透過光又は反射光をビデオカメラで捕え、ビ
デオカメラが出力する画像信号を電子処理機により画像
処理し、被検査物の欠陥を検出する検査装置において、 ビデオカメラよりの画像信号の中から、明暗のコントラ
ストが予め定められた値以上になる画像信号を画像信号
抽出手段により抽出し、該画像信号をA/D変換器により
デジタル信号に変換し、 該デジタル信号をメモリに記憶すると共に、画像の水平
又は垂直方向に対する全デジタル信号のヒストグラムを
ヒストグラム作成手段により作成し、 上記ヒストグラム信号を低域フィルタに供給しその高域
周波数成分を除去して波形信号を形成し、 該波形信号の予め定められた閾値を越える波形信号を信
号抽出手段により選択し、 該選択された波形信号について、画像の垂直又は水平方
向に対する中心線を垂直又は水平位置設定手段により求
め、 画像の画面に対して、傷が選別出来る程度の予め定めら
れた大きさを有する小さいウインドをウインド設定手段
により設定し、 選択された波形信号より得た画像の垂直又は水平方向の
中心線を上記ウインドの中心が一致して通過するよう
に、デジタル信号が記憶されているメモリに対して、上
記のウインドで画面を垂直にウインドアドレス設定手段
により走査し、 上記のウインドにより上記メモリを走査した際、ウイン
ドの中に予め定められた値以上のデジタル信号の数量が
多いか又はデジタル信号の塊の面積が大きい時等に傷等
の欠陥が有ると判定手段により判定するようになしたこ
とを特徴とする表面検査装置。 - 【請求項２】照明装置より被検査物に対して照明光を照
射し、その透過光又は反射光をビデオカメラで捕え、ビ
デオカメラが出力する画像信号を電子処理機により画像
処理し、被検査物の欠陥を検出する検査装置において、 ビデオカメラよりの画像信号の中から、明暗のコントラ
ストが予め定められた値以上になる画像信号を画像信号
抽出手段により抽出し、該画像信号をA/D変換器により
デジタル信号に変換し、 該デジタル信号をメモリに記憶すると共に、画像の水平
及び垂直方向に対する全デジタル信号のヒストグラムを
夫々ヒストグラム作成手段により作成し、 上記水平及び垂直方向のヒストグラム信号を低域フィル
タに供給しその高域周波数成分を除去して水平及び垂直
方向の波形信号を形成し、 該２個の波形信号の予め定められた閾値を越える波形信
号を信号抽出手段により選択し、 該選択された２個の波形信号について、画像の垂直及び
水平方向に対する中心線を夫々垂直及び水平位置設定手
段により求め、 画像の画面に対して、傷が選別出来る程度の予め定めら
れた大きさを有する小さいウインドをウインド設定手段
により設定し、 選択された２個の波形信号より得た画像の垂直及び水平
方向の中心線が交差する位置を求め、上記ウインドの中
心が上記交差する位置に一致するようになし、 上記のウインド中に予め定められた値以上のデジタル信
号の数量が多いか又はデジタル信号の塊の面積が大きい
時等に傷等の欠陥が有ると判定手段により判定するよう
になしたことを特徴とする表面検査装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2271714A JPH06103276B2 (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | 表面検査装置 |
| GB9120957A GB2248935A (en) | 1990-10-09 | 1991-10-02 | Surface inspection device |
| AU85629/91A AU8562991A (en) | 1990-10-09 | 1991-10-07 | Surface inspection device |
| CA 2052905 CA2052905A1 (en) | 1990-10-09 | 1991-10-07 | Surface inspection device |
| DE19914133315 DE4133315A1 (de) | 1990-10-09 | 1991-10-08 | Vorrichtung zur pruefung einer oberflaeche |
| FR9112422A FR2667686A1 (fr) | 1990-10-09 | 1991-10-09 | Dispositif de controle de surface. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2271714A JPH06103276B2 (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04147045A JPH04147045A (ja) | 1992-05-20 |
| JPH06103276B2 true JPH06103276B2 (ja) | 1994-12-14 |
Family
ID=17503821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2271714A Expired - Lifetime JPH06103276B2 (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | 表面検査装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06103276B2 (ja) |
| AU (1) | AU8562991A (ja) |
| CA (1) | CA2052905A1 (ja) |
| DE (1) | DE4133315A1 (ja) |
| FR (1) | FR2667686A1 (ja) |
| GB (1) | GB2248935A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4415004A1 (de) * | 1993-04-30 | 1994-11-03 | Univ Schiller Jena | Anordnung und Verfahren zur Charakterisierung von Oberflächen und zur Charakterisierung und Klassifizierung von Oberflächendefekten und oberflächennahen Defekten sowie von Inhomogenitäten im Volumen transparenter Medien |
| DE4322870C1 (de) * | 1993-07-09 | 1994-09-29 | Tuchenhagen Otto Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Beurteilung des Erfolges von Reinigungsprozeduren an verschmutzten Oberflächen |
| AUPN800796A0 (en) * | 1996-02-09 | 1996-03-07 | Unisearch Limited | Visual inspection system for leather hide |
| GB2349214B (en) * | 1996-07-18 | 2000-12-20 | Speedfam Ipec Corp | Methods and apparatus for the in-process detection of workpieces |
| FI110343B (fi) | 1999-02-25 | 2002-12-31 | Honeywell Oy | Paperikoneen ratakatkojen monitorointijärjestelmä |
| JP2011196730A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Fujikura Ltd | 線材表面探傷装置及び線材表面探傷方法 |
| CN101984346A (zh) * | 2010-10-19 | 2011-03-09 | 浙江大学 | 基于低通滤波的水果表面缺陷检测方法 |
| CN108337448B (zh) * | 2018-04-12 | 2020-09-25 | Oppo广东移动通信有限公司 | 高动态范围图像获取方法、装置、终端设备及存储介质 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2937245A1 (de) * | 1978-09-18 | 1980-03-27 | Eastman Kodak Co | Vorrichtung zum pruefen von langgestrecktem werkstoff |
| DE3028942A1 (de) * | 1980-07-30 | 1982-02-18 | Krones Ag Hermann Kronseder Maschinenfabrik, 8402 Neutraubling | Verfahren und inspektionsgeraet zum inspizieren eines gegenstandes, insbesondere einer flasche |
| US4519041A (en) * | 1982-05-03 | 1985-05-21 | Honeywell Inc. | Real time automated inspection |
| JPS60159637A (ja) * | 1984-01-31 | 1985-08-21 | Kirin Brewery Co Ltd | 欠陥検出方法および装置 |
| JPS62279931A (ja) * | 1986-05-29 | 1987-12-04 | レンゴ−株式会社 | 片面段ボ−ルの不良検出装置 |
| DE3620146A1 (de) * | 1986-06-14 | 1987-12-17 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zum pruefen von bauteilen aus transparentem material auf oberflaechenfehler und einschluesse |
| JPH01239439A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | 表面検査装置 |
| DE3819183A1 (de) * | 1988-06-06 | 1989-12-07 | Sick Optik Elektronik Erwin | Verfahren zur fehlererkennung bei laufenden materialbahnen |
-
1990
- 1990-10-09 JP JP2271714A patent/JPH06103276B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-10-02 GB GB9120957A patent/GB2248935A/en not_active Withdrawn
- 1991-10-07 AU AU85629/91A patent/AU8562991A/en not_active Abandoned
- 1991-10-07 CA CA 2052905 patent/CA2052905A1/en not_active Abandoned
- 1991-10-08 DE DE19914133315 patent/DE4133315A1/de not_active Ceased
- 1991-10-09 FR FR9112422A patent/FR2667686A1/fr active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04147045A (ja) | 1992-05-20 |
| AU8562991A (en) | 1992-04-16 |
| DE4133315A1 (de) | 1992-04-16 |
| GB9120957D0 (en) | 1991-11-13 |
| GB2248935A (en) | 1992-04-22 |
| CA2052905A1 (en) | 1992-04-10 |
| FR2667686A1 (fr) | 1992-04-10 |
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