JPH11208765A - 板状部材収納容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 上蓋と外箱本体との接合部でシール溝どうし
を嵌合させる際の位置合わせを容易にし、作業性を向上
させた板状部材収納容器を提供する。 【解決手段】 板上部材を収容した内箱を収容する外箱
本体３と、外箱本体３の上部に被せられて接合される上
蓋４との間が、係止手段により上蓋４が外箱本体３に向
けて押圧された状態を維持し、かつ、接合部の全周にわ
たってそれぞれの開口部が対向するように形成されたシ
ール溝５に配設されているシール部材６を外側に被せる
ように嵌合させた他方のシール溝１８の対向面で圧縮し
て密封状態を保つように構成された板上部材収納容器に
おいて、シール溝５，１８をそれぞれの開口部が対向す
る断面コ字状とし、シール部材６を配設した一方のシー
ル溝５の外側に嵌合する他方のシール溝１８に、側壁頂
部１８ａから突出しかつシール溝１８の内側から外側へ
向けて広がる傾斜断面のガイド２１を設けてある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の半導体ウェ
ーハ（以下、ウェーハという）、ディスク、若しくは基
盤などの板状部材を保管したり、運搬するのに用いて好
適な、板状部材収納容器に関し、特に、上蓋と外箱本体
との間の接合部の構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】板状部材のひとつであるウェーハはシリ
コン等の単結晶インゴットを軸直角方向に薄くスライス
して得られるが、これは薄くて脆く、しかも汚染を極端
に嫌うため、その搬送には充分な配慮が必要である。す
なわち、ウェーハをクリーンな状態で輸送するために、
ウェーハをウェーハ収納インラインバスケット（内箱）
に入れた状態でウェーハ収納容器（輸送用ウェーハ出荷
ボックス）に収納し、これに、上蓋を被せて気密状態に
封じ込め、さらに、ウェーハ収納容器の外部を包装し衝
撃を緩和する緩衝材とともに段ボール梱包して、輸送す
る。このように、ウェーハ収納容器は、一般に、前記内
箱を収納する外箱本体と、外箱本体を封じ込める上蓋と
で構成されており、内部をクリーンな状態に常に保つた
めには、外箱本体と上蓋との接合部分を完全にシールす
る必要がある。そして、このようなウェーハ収納用容器
においては、上蓋を外箱本体に固定することと、簡単な
操作で上蓋の外箱本体への係止を解除することが共に要
求される。

【０００３】そこで、ウェーハなどの板状部材を整然と
収納して搬送することのできる従来の板状部材収納容器
として、たとえば図７ないし図１１に示すようなウェー
ハ収納容器が提案されており、以下図面を参照して簡単
に説明する。

【０００４】図７の外観斜視図及び図８の分解斜視図に
示すように、ウェーハ収納容器は、外箱１と外箱１内に
収納される内箱２を含んで構成され、一方の外箱１は、
外箱本体３とこの外箱本体３に対して開閉可能な上蓋４
とに分割される。外箱本体３には、平面視がほぼ矩形状
の開口部の全周にわたってコ字状断面のシール溝５が設
けられ、シール部材としてのパッキン６がシール溝５に
嵌合して配設されている。外箱本体３は四隅のコーナー
部に設けられた上下方向の４本の脚部３ａで自立し、対
向する一対の側面の脚部３ａ，３ａ間には本体凹部３ｂ
が設けられ、この凹部を形成する側壁上部にフック・レ
バー部材７が取り付けられると共に、他の対向する側面
には、収納容器を持ち運ぶ時に使用する搬送凹部３ｃが
設けられている。なお、図中の符号８は複数のウェーハ
押さえ溝８ａを備えたウェーハ押さえを示し、上蓋４の
内側に着脱可能に取り付けられており、また、内箱２
は、複数枚のウェーハを整然とした状態で収納するため
に、その上部が開口し、ウェーハ押さえ溝８ａと対向す
る収納溝２ａが内周面に複数設けられたものである。

【０００５】さて、上述したフック・レバー部材７は、
図９及び図１０に示されたように、フック部９とレバー
部１０との２部品が回動可能に結合されたものである。
ほぼ長方形の板状部材であるフック部９には上部に係合
凹部１１，１１が穿設され、下部に設けられた軸受け部
１２にレバー部１０の連結軸１３が回動可能に軸支され
ている。一方、レバー部１０は、同じくほぼ長方形の板
状部材に連結軸１３及び取付軸１４の２本の軸が平行に
設けられると共に、下端部の中央付近を一部下方に向け
て延長した指掛け部１５を備えている。取付軸１４は、
フック・レバー部材７を外箱本体３に回動自在に支持さ
せるための軸で、外箱本体３の対向する側壁のそれぞれ
に一対ずつ突設したリブ３ｄ，３ｄの軸穴１６，１６を
両端部がそれぞれ貫通することにより、支持される。

【０００６】そして、平面視がほぼ矩形状の上蓋４に
は、相対向する開口部周縁側壁にそれぞれ一対の係合突
起１７，１７が突設されている。この係合突起１７，１
７は、それぞれがフック部９の係合凹部１１，１１に入
り込んで係止される形状となっており、ここでは係合凹
部１１よりやや小さい矩形状とし、その外周面は外側へ
向けて若干広がる傾斜面にしてある。また、上蓋４の開
口部周縁には、外箱本体３のシール溝５に対向するコ字
状断面のシール溝１８（図１０（ｄ）参照）が設けられ
ている。このシール溝１８は、外箱本体３のシール溝５
を形成する両側壁の外側に嵌合するように、その大きさ
を設定してある。なお、シール溝１８の底面にはリブ１
９が全周にわたって突設されており、同様に、外箱本体
３のシール溝５においても、対向する底面にリブ２０を
全周にわたって突設してある（図１１参照）。

【０００７】以下、上述した係止構造の作用をフック・
レバー部材７による係止操作及び係止解除操作とともに
説明する。図９の断面図は係止状態を示したもので、上
蓋４が外箱本体３の上端開口部に被せられて係止されて
いる状態においては、上蓋４のシール溝が、外箱本体３
のシール溝５の外側に嵌合しており、外箱本体３のシー
ル溝５に配設されたパッキン６をリブ１９，２０間で押
圧することにより、圧縮変形させられたパッキン６のシ
ール作用によって上蓋４と外箱本体３との接合部から収
納容器内への外気の浸入が防止されている。このような
係止状態では、レバー部１０及び指掛け部１５は脚部３
ａ間の本体凹部３ｂに納まっている。

【０００８】図９の係止状態を解除するためには、指掛
け部１５と外箱本体３の側壁との間に指を差し入れ、レ
バー部１０を矢印Ｆの方向へ引けばよい。この時、レバ
ー部１０の下端部を延長した指掛け部１５と、円形のウ
ェーハ形状に合わせて内向きに傾斜する外箱本体３の側
壁との間には、充分な操作スペースが確保されている。
このようにしてレバー部１０を引くと、係止部は図１０
に示す（ａ）ないし（ｄ）の順に変化し、係止状態が解
除されて上蓋４を開くことができる。そこで、これを簡
単に説明すると、（ａ）は係止状態にあり、取付軸１４
を支点として回転したレバー部１１の連結軸１３がフッ
ク部９を引き下げ、この結果、係止凹部１１の上面が係
止突起１７を引き下げているのが分かる。（ｂ）はフッ
ク・レバー部材７が取付軸１４を支点として係止位置か
ら若干解除方向（反時計方向）に回転移動した状態を示
しており、係止凹部１１の下面が係止突起１７の下面に
接触し始めている。（ｃ）はさらに回転移動した状態を
示しており、レバー部１０の操作により係止凹部１１の
下面が係止突起１７の下面を押し上げるので、接合部で
密着していた上蓋４は、持ち上げられるようにして外箱
本体３からわずかに離れる。このような状態になれば、
（ｄ）に示すように、上箱４を手で容易に持ち上げて開
くことができる。なお、上蓋４を被せて外箱本体３に係
止する場合は、上述した解除操作と逆の順序で操作すれ
ばよく、係合突起１７に係合凹部１１を引っかけた後、
レバー部１０を外箱本体側へ向けて押圧すればよい。

【０００９】このように、上述した係止構造では、レバ
ー部１０を操作するだけで容易に係止及び係止解除の操
作をすることができ、しかも係止解除の操作の中で上蓋
４を持ち上げて密着状態の接合部を切り離すので、特に
容器内外の圧力差があった場合には、接合部の密着が少
しでも解除されることによって圧力差が解消され、上蓋
４を開く作業性が良好であると共に、係止状態では、フ
ック・レバー部材７が上蓋４を引き下げた状態に保持す
るので、温度変化や圧力変化が生じた場合であってもパ
ッキン６に対し適当な圧縮力を維持できるようになり、
良好なシール性を確保できる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した構
成のものでは、上蓋４を外箱本体３に係止する際、上蓋
４のシール溝１８を外箱本体３のシール溝５の外側に被
せるように嵌合させる必要がある。しかし、密封構造を
なす接合部のシール溝５，１８間にはほとんど隙間が生
じないようになっているため、上蓋４を被せる際、外箱
本体３のシール溝５に対する位置決めが困難である。特
に、従来のシール溝１８は、図１１の拡大断面図に示さ
れているように、側壁頂部１８ａが平坦で同一の高さに
なっているため、角部が外箱本体側の側壁頂部５ａと干
渉してスムーズな嵌合を妨げることがある。また、外箱
本体３のフック嵌合面においては剛性が低くなりがちで
あり、シール溝１８近傍の側壁にわずかな変形が生じる
ことでさらに位置決めが困難になる恐れがある。

【００１１】本発明は、上記従来技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、上蓋と外箱本体との接合部
において、双方のシール溝を容易に位置決めしてスムー
ズに嵌合できるようにし、係止操作時の操作性を向上さ
せた板状部材収納容器を提供することを目的としてい
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、板上部材、若しくは板上部材を収容した内
箱を収容する外箱本体と、前記外箱本体の上部に被せら
れて接合される上蓋との間が、係止手段により前記上蓋
が前記外箱本体に向けて押圧された状態を維持し、か
つ、前記上蓋と前記外箱本体との接合部の全周にわたっ
てそれぞれの開口部が対向するように形成されたシール
溝の一方に配設されているシール部材を外側に被せるよ
うに嵌合させた他方のシール溝の対向面で圧縮して密封
状態を保つように構成された板上部材収納容器におい
て、前記シール溝をそれぞれの開口部が対向する断面コ
字状の側壁及び底面で形成し、前記シール部材を配設し
た一方のシール溝の外側に嵌合する他方のシール溝に、
側壁頂部から突出しかつシール溝の内側から外側へ向け
て広がる傾斜断面のガイドを設けたことを特徴とするも
のである。

【００１３】そして、前記上蓋と前記外箱本体との接合
部を平面視でほぼ矩形状に形成し、前記ガイドを前記矩
形のほぼ直線状の部分に設けるのが好ましい。

【００１４】また、前記シール部材を前記外箱本体のシ
ール溝に配設し、前記上蓋のシール溝を前記外箱本体シ
ール溝の外側に被せるように嵌合させて前記シール部材
を圧縮し、前記ガイドを前記上蓋のシール溝側壁頂部に
設けるのが好ましく、さらにこの場合には、前記ガイド
を、前記シール溝を形成している断面コ字状の内側及び
外側の両側壁頂部のうち、内側の側壁頂部に設ければよ
い。

【００１５】以下、本発明の作用について説明する。請
求項１に記載の発明では、シール溝をそれぞれの開口部
が対向する断面コ字状とし、シール部材を配設した一方
のシール溝の外側に嵌合する他方のシール溝に、側壁頂
部から突出しかつシール溝の内側から外側へ向けて広が
る傾斜断面のガイドを設けたので、嵌合させる側のシー
ル溝はその先端開口部が広がり、シール溝の開口部では
先端部が最も広くなる。

【００１６】請求項２に記載の発明では、平面視が矩形
状の接合部に対し、ほぼ直線状の部分に上記ガイドを設
けるようにしたので、比較的剛性の低い領域において、
嵌合させる側のシール溝はその先端開口部が最も広がる
ことになる。

【００１７】また、シール部材が外箱本体のシール溝に
配設され、上蓋のシール溝を外箱本体シール溝の外側に
被せるように嵌合させてシール部材を圧縮する板状部材
収納容器においては、ガイドを上蓋のシール溝側壁頂部
に設けることで嵌合させる側の先端開口部が最も広が
る。この場合、シール溝を形成している断面コ字状の内
側及び外側の両側壁頂部のうち、内側の側壁頂部にのみ
ガイドを設けるだけで簡単に先端開口部を広げることが
できる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。なお、以下に説明する実施形態は、
本発明の数例にすぎず、本発明はその特許請求の範囲を
逸脱しない範囲内において、設計変更等の変形例を含む
ものである。

【００１９】図１は、本発明による板状部材収納容器の
接合部断面を示す図で、実質的には従来技術の説明で示
した図１１に対応するものである。すなわち、図１は図
７のＣーＣ断面を示すものであり、この場合、上蓋４を
除く板上部材収納容器の他の部分の構成は従来技術で説
明したものと同一であり、従って、重複を避けるためこ
こでは同一部分に同じ符号を付して示し、その詳細な説
明を省略する。

【００２０】さて、係止状態を示す図１においては、シ
ール部材としてのパッキン６が外箱本体３のコ字状断面
としたシール溝５に取り付けられ、上蓋４のコ字状断面
をしたシール溝１８が、シール溝５及びパッキン６の上
面及び左右側面の３面を覆うように被せられて、シール
溝５の外側に嵌合されている。この状態では、パッキン
６がシール溝５の底面とこれに対向するシール溝１８の
底面（対向面）との間で圧縮され、両底面がパッキン６
の上下の面に密着すると共に、両底面に突設されたリブ
１９，２０がそれぞれパッキン６の上下の面に食い込ん
で接合部の密封を維持している。

【００２１】このような接合部を構成する上蓋４のシー
ル溝１８に対し、図２ないし図６に示すように、その内
側、すなわち上蓋４の中心側の側壁に、側壁頂部１８ａ
より突出するガイド２１を設けてある。図２は上蓋４を
内側（容器内部側）から見た平面図、図３は図２の半断
面正面図、図４は図２の半断面側面図であって、ここに
図示したガイド２１は、係止手段を構成する係合突起１
７と同様に、矩形の辺部に相当する相対向する１組のほ
ぼ直線状の部分（以下直線部と呼ぶ）にそれぞれ突設さ
れている。また、このガイド２１は、上述した直線部の
中央の部分に設けられており、その突出部の断面形状を
三角形とすることで、シール溝１８の内側（リブ１９が
突設されたシール溝１８の中心部側）から外側（上蓋４
の中心方向）へ向けて広がる傾斜断面１８ａを形成して
いる。すなわち、ガイド２１が設けられているシール溝
１８の開口部は、先端部が最も広い幅を有し、この先端
部から側壁頂部１８ａに向けて徐々に開口幅が狭まるよ
うになっている。また、ガイド２１の先端部断面形状は
Ｒの方が好ましい。

【００２２】以下、上述した構成のガイド２１の作用を
説明する。上蓋４を外箱本体３に係止するには、最初に
上蓋４を外箱本体３に被せることになるが、この時、外
箱本体３のシール溝５と上蓋４のシール溝１８とを位置
合わせする必要がある。この位置合わせは目視によって
なされるが、両方のシール溝５，１８はほとんど隙間の
ない状態で嵌合するため、わずかな位置ずれがあっても
側壁頂部どうしが干渉し合ってなかなか嵌合できないこ
とがある。しかし、上述したガイド部２１は、上蓋４を
被せる際に、側壁頂部１８ａより突出している分だけ早
く、その先端部が最初に外箱本体３の側壁頂部５ａに当
接する。このため、シール溝１８はその開口部が最も広
い部分で位置決めされることとなり、多少のずれがあっ
ても広い先端部がいったん嵌合すれば、あとは傾斜面２
１ａがガイドとなって補正するので、容易に位置決めし
て所定の位置に上蓋４を被せることができる。また、こ
のような位置ずれは、上蓋４の変形によっても生じる
が、比較的剛性の低い直線部に特にガイド２１を設けた
ことで、多少の変形が生じた場合であってもガイド２１
の補正作用によって容易に位置決めして所定の位置に上
蓋４を被せることができる。

【００２３】これまで説明した実施形態では、係止手段
がフック・レバー部材７及び係合突起１７により構成さ
れていたが、上述した本発明は、上蓋４を外箱本体３へ
向けて押圧した状態に維持する他の構成の係止手段を採
用しているものにも適用可能なことは言うまでもない。
また、上述した本発明は、複数枚の板状部材を収納する
内箱を外箱本体に収容するものに限らず、複数枚の板状
部材を、内箱を介さずに直接外箱本体内に収納するもの
にも適用できる。

【００２４】

【発明の効果】上述した本発明によれば、傾斜断面のガ
イドを設けたことによって嵌合させる側のシール溝はそ
の先端開口部が広がり、シール溝の開口部では先端部が
最も広くなるので、多少の位置ずれがあっても広い開口
部が嵌合を容易にし、先端部が嵌合した後は傾斜面がガ
イドとなって位置補正するので、上蓋を外箱本体の所定
の位置に被せる作業を容易にする効果を奏する。また、
最も剛性が低くなりがちの矩形直線部にガイドを設けた
ので、多少の変形が生じた状態でも広い開口部が嵌合を
容易にし、先端部が嵌合した後は傾斜面がガイドとなっ
て位置補正するので、上蓋を外箱本体の所定の位置に被
せる作業を容易にする効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係わる板状部材収納容器の接合部を
示す要部断面図である。

【図２】 本発明に係わる板状部材収納容器の上蓋を内
側から見た平面図である。

【図３】 図２の半断面正面図である

【図４】 図２の半断面側面図である。

【図５】 図２のＡーＡ線に沿う断面図である。

【図６】 図２のＢーＢ線に沿う断面図である。

【図７】 板上部材収納容器の外観を示す斜視図であ
る。

【図８】 図８の板状部材収納容器の構成を示す分解斜
視図である。

【図９】 係止状態にある従来の板状部材収納容器の断
面図である。

【図１０】 係止手段の動作を示す図で、（ａ）は係止
状態を示す要部断面図、（ｂ）はフック部による上蓋の
押し下げが解除された状態を示す要部断面図、（ｃ）は
フック部が上蓋を押し上げ始めた状態を示す要部断面
図、（ｄ）は上蓋が開いた状態を示す要部断面図であ
る。

【図１１】 図９のＤ部を拡大した断面図である。

【符号の説明】

１ 外箱 ２ 内箱 ３ 外箱本体 ４ 上蓋 ５，１８ シール溝 ５ａ，１８ａ 側壁頂部 ６ パッキン（シール部材） ７ フック・レバー部材（係止手
段） １１ 係合凹部 １７ 係合突起（係止手段） １９，２０ リブ ２１ ガイド ２１ａ 傾斜面 Ｗ ウェーハ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板上部材、若しくは板上部材を収容した
   内箱を収容する外箱本体と、前記外箱本体の上部に被せ
   られて接合される上蓋との間が、係止手段により前記上
   蓋が前記外箱本体に向けて押圧された状態を維持し、か
   つ、前記上蓋と前記外箱本体との接合部の全周にわたっ
   てそれぞれの開口部が対向するように形成されたシール
   溝の一方に配設されているシール部材を外側に被せるよ
   うに嵌合させた他方のシール溝の対向面で圧縮して密封
   状態を保つように構成された板上部材収納容器におい
   て、 前記シール溝をそれぞれの開口部が対向する断面コ字状
   の側壁及び底面で形成し、前記シール部材を配設した一
   方のシール溝の外側に嵌合する他方のシール溝に、側壁
   頂部から突出しかつシール溝の内側から外側へ向けて広
   がる傾斜断面のガイドを設けたことを特徴とする板上部
   材収納容器。
2. 【請求項２】前記上蓋と前記外箱本体との接合部を平面
   視でほぼ矩形状に形成し、前記ガイドを前記矩形のほぼ
   直線状の部分に設けたことを特徴とする請求項１に記載
   の板状部材収納容器。
3. 【請求項３】前記シール部材を前記外箱本体のシール溝
   に配設し、前記上蓋のシール溝を前記外箱本体シール溝
   の外側に被せるように嵌合させて前記シール部材を圧縮
   し、前記ガイドを前記上蓋のシール溝側壁頂部に設けた
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の板状部
   材収納容器。
4. 【請求項４】前記ガイドを、前記シール溝を形成してい
   る断面コ字状の内側及び外側の両側壁頂部のうち、内側
   の側壁頂部に設けたことを特徴とする請求項３に記載の
   板状部材収納容器。