JPH11189267A - 板状部材収納容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 上蓋と外箱本体との接合部において、シール
溝に嵌合して用いられるシール部材の形状を圧縮力を受
けて容易に変形しやすいものとした板状部材収納容器を
提供する。 【解決手段】 板状部材、若しくは板状部材を収納した
内箱を収容する外箱本体３と、外箱本体３の上部に被せ
られて接合される上蓋４との間が、係止手段により上蓋
４が外箱本体３に向けて押圧された状態を維持し、か
つ、上蓋４と外箱本体３との接合部の全周にわたってそ
れぞれの開口部が対向するように形成されたシール溝５
に配設されているシール部材６を他方のシール溝１８の
対向面で圧縮して密封状態を保つように構成された板状
部材収納容器において、シール部材６が上面及び下面に
圧縮力を受け、非圧縮部に凹溝２１を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の半導体ウェ
ーハ（以下、ウェーハという）、ディスク、若しくは基
盤などの板状部材を保管したり、運搬するのに用いて好
適な、板状部材収納容器に関し、特に、上蓋と外箱本体
との間の接合部における密封構造に用いられるシール部
材に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】板状部材のひとつであるウェーハはシリ
コン等の単結晶インゴットを軸直角方向に薄くスライス
して得られるが、これは薄くて脆く、しかも汚染を極端
に嫌うため、その搬送には充分な配慮が必要である。す
なわち、ウェーハをクリーンな状態で輸送するために、
ウェーハをウェーハ収納インラインバスケット（内箱）
に入れた状態でウェーハ収納容器（輸送用ウェーハ出荷
ボックス）に収納し、これに、上蓋を被せて気密状態に
封じ込め、さらに、ウェーハ収納容器の外部を包装し衝
撃を緩和する緩衝材とともに段ボール梱包して、輸送す
る。このように、ウェーハ収納容器は、一般に、前記内
箱を収納する外箱本体と、外箱本体を封じ込める上蓋と
で構成されており、内部をクリーンな状態に常に保つた
めには、外箱本体と上蓋との接合部分を完全にシールす
る必要がある。そして、このようなウェーハ収納用容器
においては、上蓋を外箱本体に固定することと、簡単な
操作で上蓋の外箱本体への係止を解除することが共に要
求される。

【０００３】そこで、ウェーハなどの板状部材を整然と
収納して搬送することのできる従来の板状部材収納容器
として、たとえば図２ないし図６に示すようなウェーハ
収納容器が提案されており、以下図面を参照して簡単に
説明する。

【０００４】図２の外観斜視図及び図３の分解斜視図に
示すように、ウェーハ収納容器は、外箱１と外箱１内に
収納される内箱２を含んで構成され、一方の外箱１は、
外箱本体３とこの外箱本体３に対して開閉可能な上蓋４
とに分割される。外箱本体３には、平面視がほぼ矩形状
の開口部の全周にわたってコ字状断面のシール溝５が設
けられ、シール部材としてのパッキン６がシール溝５に
嵌合して配設されている。外箱本体３は四隅のコーナー
部に設けられた上下方向の４本の脚部３ａで自立し、対
向する一対の側面の脚部３ａ，３ａ間には本体凹部３ｂ
が設けられ、この凹部を形成する側壁上部にフック・レ
バー部材７が取り付けられると共に、他の対向する側面
には、収納容器を持ち運ぶ時に使用する搬送凹部３ｃが
設けられている。なお、図中の符号８は複数のウェーハ
押さえ溝８ａを備えたウェーハ押さえを示し、上蓋４の
内側に着脱可能に取り付けられており、また、内箱２
は、複数枚のウェーハを整然とした状態で収納するため
に、その上部が開口し、ウェーハ押さえ溝８ａと対向す
る収納溝２ａが内周面に複数設けられたものである。

【０００５】さて、上述したフック・レバー部材７は、
図４及び図５に示されたように、フック部９とレバー部
１０との２部品が回動可能に結合されたものである。ほ
ぼ長方形の板状部材であるフック部９には上部に係合凹
部１１，１１が穿設され、下部に設けられた軸受け部１
２にレバー部１０の連結軸１３が回動可能に軸支されて
いる。一方、レバー部１０は、同じくほぼ長方形の板状
部材に連結軸１３及び取付軸１４の２本の軸が平行に設
けられると共に、下端部の中央付近を一部下方に向けて
延長した指掛け部１５を備えている。取付軸１４は、フ
ック・レバー部材７を外箱本体３に回動自在に支持させ
るための軸で、外箱本体３の対向する側壁のそれぞれに
一対ずつ突設したリブ３ｄ，３ｄの軸穴１６，１６を両
端部がそれぞれ貫通することにより、支持される。

【０００６】そして、平面視がほぼ矩形状の上蓋４に
は、相対向する開口部周縁側壁にそれぞれ一対の係合突
起１７，１７が突設されている。この係合突起１７，１
７は、それぞれがフック部９の係合凹部１１，１１に入
り込んで係止される形状となっており、ここでは係合凹
部１１よりやや小さい矩形状とし、その外周面は外側へ
向けて若干広がる傾斜面にしてある。また、上蓋４の開
口部周縁には、外箱本体３のシール溝５に対向するコ字
状断面のシール溝１８（図５（ｄ）参照）が設けられて
いる。このシール溝１８は、外箱本体３のシール溝５を
形成する両側壁の外側に嵌合するように、その大きさを
設定してある。なお、図２のＡーＡ線に沿う断面である
図６（ａ）に示すように、シール溝１８の底面にはリブ
１９が全周にわたって突設されており、同様に、外箱本
体３のシール溝５においても、対向する底面にリブ２０
を全周にわたって突設してある。

【０００７】以下、上述した係止構造の作用をフック・
レバー部材７による係止操作及び係止解除操作とともに
説明する。図４の断面図は係止状態を示したもので、上
蓋４が外箱本体３の上端開口部に被せされて係止されて
いる状態においては、上蓋４のシール溝が、外箱本体３
のシール溝５の外側に嵌合しており、外箱本体３のシー
ル溝５に配設されたパッキン６をリブ１９，２０間で押
圧することにより、圧縮変形させられたパッキン６のシ
ール作用によって上蓋４と外箱本体３との接合部から収
納容器内への外気の浸入が防止されている。このような
係止状態では、レバー部１０及び指掛け部１５は脚部３
ａ間の本体凹部３ｂに納まっている。

【０００８】図４の係止状態を解除するためには、指掛
け部１５と外箱本体３の側壁との間に指を差し入れ、レ
バー部１０を矢印Ｆの方向へ引けばよい。この時、レバ
ー部１０の下端部を延長した指掛け部１５と、円形のウ
ェーハ形状に合わせて内向きに傾斜する外箱本体３の側
壁との間には、充分な操作スペースが確保されている。
このようにしてレバー部１０を引くと、係止部は図５に
示す（ａ）ないし（ｄ）の順に変化し、係止状態が解除
されて上蓋４を開くことができる。そこで、これを簡単
に説明すると、（ａ）は係止状態にあり、取付軸１４を
支点として回転したレバー部１１の連結軸１３がフック
部９を引き下げ、この結果、係止凹部１１の上面が係止
突起１７を引き下げているのが分かる。（ｂ）はフック
・レバー部材７が取付軸１４を支点として係止位置から
若干解除方向（反時計方向）に回転移動した状態を示し
ており、係止凹部１１の下面が係止突起１７の下面に接
触し始めている。（ｃ）はさらに回転移動した状態を示
しており、レバー部１０の操作により係止凹部１１の下
面が係止突起１７の下面を押し上げるので、接合部で密
着していた上蓋４は、持ち上げられるようにして外箱本
体３からわずかに離れる。このような状態になれば、
（ｄ）に示すように、上箱４を手で容易に持ち上げて開
くことができる。なお、上蓋４を被せて外箱本体３に係
止する場合は、上述した解除操作と逆の順序で操作すれ
ばよく、係合突起１７に係合凹部１１を引っかけた後、
レバー部１０を外箱本体側へ向けて押圧すればよい。

【０００９】このように、上述した係止構造では、レバ
ー部１０を操作するだけで容易に係止及び係止解除の操
作をすることができ、しかも係止解除の操作の中で上蓋
４を持ち上げて密着状態の接合部を切り離すので、特に
容器内外の圧力差があった場合には、接合部の密着が少
しでも解除されることによって圧力差が解消され、上蓋
４を開く作業性が良好であると共に、係止状態では、フ
ック・レバー部材７が上蓋４を引き下げた状態に保持す
るので、温度変化や圧力変化が生じた場合であってもパ
ッキン６に対し適当な圧縮力を維持できるようになり、
良好なシール性を確保できる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した構
成のものでは、図６に示すように、矩形断面のパッキン
６がコ字状断面にした外箱本体３のシール溝５に嵌合し
て取り付けられている。このようなパッキン６は、係止
状態において、シール溝５の底面とこれに対向する上蓋
４のシール溝１８の底面（対向面）との間で上下方向に
圧縮され、リブ１９，２０がそれぞれパッキン６の上面
及び下面に食い込むようにして変形させられる。また、
図６（ｂ）に想像線で示すように、上下方向から圧縮力
Ｐを受けたパッキン６は、上下方向に縮むと同時に側面
方向へ膨出するように変形しようとする。しかし、パッ
キン６はシール溝５に嵌合して取り付けられているの
で、パッキン６の側面とシール溝５の側壁とは接触した
状態になっており、余分な空間がない状況となってい
る。このため、上下方向の圧縮力Ｐを受けたパッキン６
が側面方向へ膨出するように変形しようとしてもシール
溝５の側壁に妨げられ、特に低温時のようにパッキン６
が柔軟性を失って固くなった場合など、パッキン６を充
分に押圧しきれなくなることが考えられ、結果として接
合部を確実にシールできなくなる恐れがある。

【００１１】本発明は、上記従来技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、上蓋と外箱本体との接合部
に用いられるシール部材の形状を工夫することにより、
圧縮力を受けたシール部材が充分にかつ確実に変形でき
るようにして良好なシール性を有する板状部材収納容器
を提供することを目的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、板状部材、若しくは板状部材を収納した内
箱を収容する外箱本体と、前記外箱本体の上部に被せら
れて接合される上蓋との間が、係止手段により前記上蓋
が前記外箱本体に向けて押圧された状態を維持し、か
つ、前記上蓋と前記外箱本体との接合部の全周にわたっ
てそれぞれの開口部が対向するように形成されたシール
溝の一方に配設されているシール部材を他方のシール溝
の対向面で圧縮して密封状態を保つように構成された板
状部材収納容器において、前記シール部材が上面及び下
面に圧縮力を受け、非圧縮部に凹溝を形成したことを特
徴とするものである。

【００１３】また、前記シール部材を矩形断面とし、該
矩形断面の両側面中央領域に凹溝を形成するとよい。

【００１４】以下、本発明の作用について説明する。請
求項１に記載の発明では、シール部材が上面及び下面に
圧縮力を受け、非圧縮部に凹溝を形成したので、シール
部材の非圧縮部とシール溝の壁部との間に間隙が形成さ
れ、この間隙がシール部材膨出の逃げ部となる。

【００１５】特に、上下方向から圧縮される矩形断面に
した場合、非圧縮面となる両側面中央領域に凹溝を設け
ることによって、シール溝の側壁との間に充分な逃げ部
を形成し、しかも、上下からの圧縮に対して膨出変形が
容易になる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。なお、以下に説明する実施形態は、
本発明の数例にすぎず、本発明はその特許請求の範囲を
逸脱しない範囲内において、設計変更等の変形例を含む
ものである。

【００１７】図１は、本発明による板状部材収納容器の
接合部断面を示す図で、実質的には従来技術の説明で示
した図６に対応するものである。すなわち、図１は図３
のＡーＡ断面を示すものであり、この場合、板上部材収
納容器の他の部分の構成は従来技術で説明したものと同
一であるため、重複を避けるためここではその詳細な説
明を省略する。

【００１８】さて、係止状態を示す図１（ａ）において
は、シール部材としてのパッキン６が外箱本体３のシー
ル溝５に嵌合して取り付けられているが、コ字状断面と
したシール溝５に対してほぼ矩形断面のパッキン６が使
用されている。このパッキン６は、下面がシール溝５の
底面に密着し、リブ２０がパッキン６の下面に食い込ん
でいる。一方、パッキン６の上面には、上蓋４のコ字状
断面をしたシール溝１８の底面、すなわち対向面が密着
し、この対向面に設けられたリブ１９が、パッキン６の
上面に食い込んでいる。このように取り付けられている
パッキン６の両側面、すなわち非圧縮部には、その中央
の領域にほぼ矩形断面形状とした凹溝２１がそれぞれ長
手方向へ連続して設けられている。なお、このパッキン
６は、係止状態において実際には後述するように変形す
るのであるが、ここではパッキン６及び凹溝２１自体の
形状を分かりやすく表現するため、上下の面に対するリ
ブ１９，２０の食い込みを除いて、変形のないほぼ自然
状態のパッキン６を図示してある。

【００１９】このような自然状態のパッキン６は、その
両側面において上下の端部付近がシール溝５の側壁に接
触し、凹溝２１が設けられた領域はシール溝５の側壁と
直接接触することなく矩形断面の間隙部２２を形成して
いる。なお、図示を省略した実際の自然状態、すなわち
上蓋４が被せられていない状態のパッキン６は、その上
端部がわずかにシール溝５の上端面より突出し、下面は
リブ２０の上端部に載置されてシール溝５の底面より若
干浮いたような状態になる。

【００２０】以下、上述した構成のパッキン６の作用を
説明する。上蓋４を被せて係止手段による外箱本体３へ
の係止操作をする時、外箱本体３のシール溝５内で自然
状態にあるパッキン６は、その上面に対向するシール溝
１８の底面が接触することにより、上方からの押圧が開
始される。このような押圧力を受けると、パッキン６の
下面がシール溝５の底面に押しつけられ、続いて上下の
面にリブ１９，２０がそれぞれ食い込んでいく。この状
態になると、図１（ｂ）に示すように、パッキン６は上
下方向から圧縮力Ｐを受けるようになり、図中に想像線
で示すように、上下方向が圧縮されて縮むと共に、側面
中央部の領域が凹溝２１によって形成された間隙部２２
へ向けて膨出する。こうしたパッキン６の変形がスムー
ズになされることは、上蓋４の係止操作を容易に実施で
き、しかも、接合部のシールが確実になされることを意
味する。

【００２１】すなわち、パッキン６がシール溝５の側壁
へ向けて膨出変形する際、間隙部２２の存在がパッキン
６に膨出のスペースを提供するので、従来構造のように
シール溝側壁が膨出変形の妨げとなることはなく、特
に、低温時のようにパッキン６の柔軟性が低下したよう
な状況でも、間隙部２２を利用してパッキン６がスムー
ズに変形するので、フック・レバー部７を操作しての係
止操作が容易かつ確実に実施できる。そして、係止手段
による係止操作が確実になされたことにより、外箱本体
３と上蓋４との間の接合部では、パッキン６が確実に圧
縮変形していることによって良好なシール機能を発揮す
るので、容器内外の密封状態が確実で信頼性の高いもの
となる。

【００２２】これまで説明した実施形態では、係止手段
がフック・レバー部材７及び係合凹部１７により構成さ
れていたが、上述した本発明は、上蓋４を外箱本体３へ
向けて押圧した状態に維持する他の構成の係止手段を採
用しているものにも適用可能なことは言うまでもない。
また、上述した本発明は、複数枚の板状部材を収納する
内箱を外箱本体に収容するものに限らず、複数枚の板状
部材を、内箱を介さずに直接外箱本体内に収納するもの
にも適用できる。

【００２３】

【発明の効果】本発明は、以上説明したとおりに構成さ
れているので、以下に記載するような効果を奏する。本
発明では、シール部材となるパッキンの非圧縮部に凹溝
を形成したので、パッキンの非圧縮面とシール溝の壁部
との間に間隙が形成され、この間隙がシール部材膨出の
逃げ部となる。このため、圧縮力を受けたパッキンはシ
ール溝の壁部に妨げられることなくスムーズに変形でき
るので、係止操作が容易になると共に接合部におけるシ
ール機能の信頼性が向上するといった効果を奏する。特
に、上下方向から圧縮される矩形断面とし、非圧縮面と
なる両側面中央領域に凹溝を設けると、コ字状断面のシ
ール溝の側壁との間に充分な逃げ部を形成し、しかも、
上下からの圧縮力を受けて中央部が容易に膨出変形でき
るようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係わる板状部材収納容器の要部を示
す図で、（ａ）は接合部の構成を示す部分断面図、
（ｂ）はパッキンの圧縮変形を説明するための略図であ
る。

【図２】 板状部材収納容器の外観を示す斜視図であ
る。

【図３】 図２の板状部材収納容器の構成を示す分解斜
視図である。

【図４】 係止状態にある従来の板状部材収納容器の断
面図である。

【図５】 係止手段の動作を示す図で、（ａ）は係止状
態を示す要部断面図、（ｂ）はフック部による上蓋の押
し下げが解除された状態を示す要部断面図、（ｃ）はフ
ック部が上蓋を押し上げ始めた状態を示す要部断面図、
（ｄ）は上蓋が開いた状態を示す要部断面図である。

【図６】 （ａ）は図４のＢ部を拡大した断面図、
（ｂ）は従来のパッキンの圧縮変形を説明するための略
図である。

【符号の説明】

１ 外箱 ２ 内箱 ３ 外箱本体 ４ 上蓋 ５，１８ シール溝 ６ パッキン（シール部材） ７ フック・レバー部（係止手
段） １７ 係合凹部（係止手段） １９，２０ リブ ２１ 凹溝 ２２ 間隙部 Ｗ ウェーハ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状部材、若しくは板状部材を収納した
   内箱を収容する外箱本体と、前記外箱本体の上部に被せ
   られて接合される上蓋との間が、係止手段により前記上
   蓋が前記外箱本体に向けて押圧された状態を維持し、か
   つ、前記上蓋と前記外箱本体との接合部の全周にわたっ
   てそれぞれの開口部が対向するように形成されたシール
   溝の一方に配設されているシール部材を他方のシール溝
   の対向面で圧縮して密封状態を保つように構成された板
   状部材収納容器において、 前記シール部材が上面及び下面に圧縮力を受け、非圧縮
   部に凹溝を形成したことを特徴とする板状部材収納容
   器。
2. 【請求項２】 前記シール部材を矩形断面とし、該矩形
   断面の両側面中央領域に凹溝を形成したことを特徴とす
   る請求項１に記載の板状部材収納容器。