JPH055640B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、たとえば半導体装置の製造等に用い
られる無塵室において製造部品等の搬送を行う無
塵室用搬送ロボツトに関する。

（従来の技術） たとえば、超LSI等の半導体装置の製造を行う
無塵室では、フイルタを透過させて清浄化した清
浄空気を上方から下方へ向けて層流状態にて流下
させて循環し、塵の除去が行われている。

このような無塵室内では、人体が大きな発塵源
となるため、その内部においては無人化が図られ
ており、例えば半導体ウエハ等の製造部品の搬送
に、無塵室用の搬送ロボツトを使用することが考
えられている。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、無塵室用搬送ロボツトには、発
塵源となる移動用駆動部、作業用駆動部等が必要
であり、このような駆動部からの塵により、搬送
物または無塵室内の他の物品等を汚す等の問題が
生じる。

本発明はかかる問題に対処してなされたもの
で、搬送物収容部に収容された搬送物を清浄に保
つことができるとともに、無塵室内の他の物品等
を塵で汚すことのない無塵室用搬送ロボツトを提
供しようとするものである。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） すなわち本発明の無塵室用搬送ロボツトは、天
井部から床部へ流下する清浄空気流が形成された
無塵室内で使用される無塵室用搬送ロボツトにお
いて、清浄空気を被収容物に供給する空気清浄フ
イルタと空気送出フアンが設けられ外部より高圧
に保たれた搬送物収容部と、この搬送物収容部よ
り下方に形成された空間であつてその底部に配設
された空気排出フアンにより外部より低圧に保た
れた空間内に配置された移動用駆動部および作業
用駆動部とを備えたことを特徴とする。

（作用） 本発明の無塵室用搬送ロボツトでは、搬送物収
容部に、空気清浄フイルタと空気送出フアンによ
つて清浄化空気流が形成され、この清浄化空気流
によつて、搬送物収容部内が外部より高圧に保た
れる。したがつて、この搬送物収容部に外部から
塵埃が入り込むことがなく、搬送物収容部内が清
浄雰囲気に保たれるので、内部に収容された半導
体ウエハ等の被収容物に塵埃が付着することを防
止しつつ搬送することができる。

また、上記搬送物収容部の下部には、底部に配
設された空気排出フアンにより外部より低圧に保
たれた空間が形成されており、この空間内に、車
輪等を駆動させるための移動用駆動部、作業用ア
ーム等を駆動する作業用駆動部が配置されてい
る。したがつて、これらの駆動部から発生した塵
埃が外部に飛散することを防止することができ、
また、万一塵埃が外部に漏洩したとしても、搬送
物収容部の下部にこれらの駆動部が配置されてい
るので、クリーンルーム内のダウンフローの作用
により、この漏洩した塵埃がクリーンルーム外に
直ちに排出され、搬送物収容部内の搬送物やクリ
ーンルーム内の他の物品に付着することを防止で
きる。

（実施例） 以下本発明の詳細を図面に示す一実施例につい
て説明する。

図は、本発明の一実施例の無塵室用搬送ロボツ
トとして無塵室内で半導体ウエハを搬送するため
の無塵室用搬送ロボツトを示すもので、この実施
例の無塵室用搬送ロボツトでは、半導体ウエハを
収容する搬送物収容部１が最上部へ配置されてお
り、その下部に配置された搬送ロボツト本体２内
には、半導体ウエハの積み下しを行う作業用アー
ム３と、この作業用アーム３を駆動するための作
業用駆動部４と、作業場所間を移動するための車
輪５を回転する移動用駆動部６とが配置されてい
る。

また、搬送物収容部１は、その上部を円錐形状
とされ、上方から下方へ流下する無塵室内の空気
流を乱さない形状とされており、その内部へフイ
ルタ７を介して清浄空気を送るフアン８が配置さ
れ、清浄空気により搬送物収容部１内部を外部よ
り高圧に保つ。

そして、搬送ロボツト本体２の底部には、フイ
ルタ９を介して搬送ロボツト本体２内の空気を外
部下方へ排出するフアン１０が配置されており、
搬送ロボツト本体２内は外部より低圧に保たれて
いる。

上記構成のこの実施例の無塵室用搬送ロボツト
では、上方から下方へ向けて流れる清浄空気流を
形成された無塵室内を移動し、作業用アーム３で
半導体ウエハを搬送物収容部１内に収容または搬
送物収容部１内から取出して半導体ウエハの搬送
を行う。

このとき、発塵源となる移動用駆動部６、作業
用駆動部４は、外部より低圧に保たれた搬送ロボ
ツト本体２内に収容されており、ここで発生した
塵が外部へ飛散しにくいよう構成されている。そ
して、万一ここで発生した塵が外部へ飛散した場
合でも、搬送物収容部１は、搬送ロボツト本体２
の上部に配置されており、上方から下方へ向けて
流れる無塵室内の清浄空気により、この塵は下方
へ運ばれ、搬送物収容部１内の半導体ウエハおよ
び無塵室内の他の物品を汚すことはない。

［発明の効果］ 上述のように本発明の無塵室用搬送ロボツトで
は、搬送物収容部内に、空気清浄フイルタと空気
送出フアンによつて清浄化空気流が形成され、外
部より高圧に保たれるので、搬送物収容部に外部
から塵埃が入り込むことがなく、搬送物収容部内
が清浄雰囲気に保たれ、内部に収容された半導体
ウエハ等の被収容物に塵埃が付着することを防止
することができる。

また、上記搬送物収容部の下部の空気排出フア
ンにより外部より低圧に保たれた空間内に、移動
用駆動部および作業用駆動部が配置されているの
で、これらの駆動部から発生した塵埃が外部に飛
散することを防止することができ、また、万一塵
埃が外部に漏洩したとしても、クリーンルーム内
のダウンフローの作用により、この漏洩した塵埃
が直ちにクリーンルーム外に排出され、搬送物等
に付着することを防止できる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例の無塵室用搬送ロボツト
の構成を示す縦断面図である。 １……搬送物収容部、２……搬送ロボツト本
体、４……作業用駆動部、６……移動用駆動部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 天井部から床部へ流下する清浄空気流が形成
   された無塵室内で使用される無塵室用搬送ロボツ
   トにおいて、 清浄空気を被収容物に供給する空気清浄フイル
   タと空気送出フアンが設けられ外部より高圧に保
   たれた搬送物収容部と、この搬送物収容部より下
   方に形成された空間であつてその底部に配設され
   た空気排出フアンにより外部より低圧に保たれた
   空間内に配置された移動用駆動部および作業用駆
   動部とを備えたことを特徴とする無塵室用搬送ロ
   ボツト。