JPS6328046A - カセツト搬送ボツクス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は特に半導体製造において使用されるウェハを収
納するカセット搬送ボックスの改良に関するものである
。

（従来の技術） 通常、全自動的に動作する半導体製造装置等（以下装置
という）では装置に対して、ウェハの入ったカセットを
装着すると、自動的にウェハの処理が行なわれ、処理の
終ったウェハは再び自動的にカセットに収納される。装
置はｌｈ浄室（以下、クリーンルームという）内に置が
れているがＬＳＩ等の集積度の向上と共に装置に要求さ
れるクリーン度も厳しくなり、クリーンルームの建設費
は上昇している。このため装置の中で特にクリーン度を
要求される箇所は、密閉カバーを施し、その内部のみ清
浄度の高い下向き層流空気（以下ダウンフローという）
を流し高いクリーン度を保ち、装置外部のクリーンルー
ム全体は必要最小限のクリーン度とすることによりクリ
ーンルームの建設コストの低減が図られている。また、
カセットはクリーンボックス内に納め、このクリーンボ
ックスを装置のカバーに設けられた装着口に接続した後
、クリーンボックスのカセット出入口を開き、カセット
をカバー内に移しウェハを自動的に処理し、ウェハの処
理が終了すると再びカセットをクリーンボックスへ収納
して次の装置へ運ぶようにしていた。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、このような従来装置にあっては、つぎの
ような問題点がある。すなわち、クリーンボックス内に
清浄な空気の流れがないため長時間の間にはカセットの
出し入れ、蓋の開閉等によりクリーンボックスの内面に
塵埃等の微細異物の付着、堆積が起り、これがウェハ汚
染の原因となる。

本発明は以上の問題点を解決すべくなされたもので、ク
リーンボックス内における塵埃等の微細異物の付着、堆
積を防止し、製造途中におけるウェハを常により高い清
浄度の雰囲気中に置くことのできるカセット搬送ボック
スを提供することを目的とする。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明は上記問題点を解決するためにカセット出入口を
密閉し得る開閉可能な蓋を有し、上記カセット出入口を
介してカセットを出入可能に収納するクリーンボックス
と、このクリーンボックス内の気体を循環する手段と、
この気体循環手段により循環される気体を濾過するフィ
ルタとを具備してなるカセット搬送ボックスとしたもの
である。

（作用） すなわち、本発明は、気体を循環する手段とフィルタに
よりクリーンボックス内に清浄な空気の流れを形成し、
カセットの搬送および待機中も常にウェハ、カセット、
クリーンボックスの内部が清浄な空気の流れを受ける構
造とすることにより微細異物によるウェハ汚染の問題を
解決するものである。

（実施例） 第１図ないし第４図を参照して本発明の一実施例を説明
する。図中１はクリーンボックスであり、このクリーン
ボックス１の一面に設けられたカセットの出入口２には
蓋３が設けられ、クランプ４によりクリーンボックス１
に固定されている。

蓋３はカセット５を載せるためのカセット載置台６を有
し、位置決めのための位置決めピン７が入る穴を宵する
。

クリーンボックス１内の上方にはフィルタ８が設けられ
底部の外面にはブロワ−９が固定され、ブロワ−９の吸
入口９ａはクリーンボックス１の底部中央に開口し、吐
出口９ｂはパイプ１０を通してクリーンボックス１の最
上部に開口している。ブロワ−９はベルト１１を介して
モータ１２により駆動されるようになっておりクリーン
ボックス１内の空気をフィルタ８を通して常に循環させ
る気体循環手段２４を（Ｒ成し、クリーンボックス１の
内面、カセット５およびウェハ２３への微細異物の付着
、堆積を生じさせないようになっている。

クリーンボックス１の底面には４個の車輪１３・・・が
取りつけられ、モータ１４によってキャプスタン１５を
回転させることにより、クリーンボックス１はガイドレ
ール１６，１１３に沿って移動する。

従来例で述べたと同様に、装置の一部を覆ったカバー１
７はクリーンボックス１のための装着口１８ををし、装
着口１８は蓋１９で塞がれている。そして、この蓋１９
を通してクランプバー２０が外部に突き出し、ばね力に
打勝ってクランプ４．４を第１図の状態において右方に
押し、さらに９０’回転してクランプ４，４を外す。

クランプ２１は蓋３を蓋１９に押しつける役目をなし、
第２図に示すクランプ２２．２２はクリーンボックス１
をカバー１７に固定する役目をする。クリーンボックス
１の停止位置等の制御は光電スイッチ等の非接触スイッ
チにより行ない、モータ１２，１４等への給電はガイド
レール１６．１６より行なう。

クリーンボックス１が装着口１８に達して停止するとク
ランプ２２によりクリーンボックス１はカバー１７に対
して固定される。このとき位置決めピン７が蓋３の穴に
入りクリーンボックス１は正確に位置決めされる。

次にクランプバー２０．２０が作動して、クランプ４．
４が外され同時にクランプ２１が９０″回転し蓋３がＭ
２Ｏに対してクランプされる。カセット５および蓋３の
重量は大部分位置決めビン７により支えられる。次に蓋
１９は不図示の駆動装置により第１図の状態において左
方に移動し、カセット５がカバー１７内に移される。

ウェハ２３の処理が終了すると逆の動作でカセット５が
再びクリーンボックス１内に移され蓋３がクランプ４．
４によってクリーンボックス１にクランプされ、クラン
プ２１が外されクリーンボックス１は次の装置へ移動す
ることになる。

なお、上述の一実施例において、クリーンボックス１が
底面に４個の車輪１３を有し、２本のガイドレール１８
．１６に沿って移動する例を示したがクリーンボックス
１の上方に１本のガイドレールを設け、クリーンボック
ス１の上面に２個のローラを取りつけて移動させること
も可能である。なお、周囲の装置などのクリーン度を必
要とする部分は密閉されているので、搬送時の車輪１３
等からの微細異物の発生もあまり問題とならない。従っ
てクリーンボックスの搬送手段は、従来からある種々の
手段が応用できる。

また、ガイドレール１６によりクリーンボックス１をカ
バー１７の装着口１８まで直接搬送することが不都合な
場合には、装着０１８より若干離れた位置まで搬送し、
そこから装着口１８まではロボットハンド等の別の手段
によりクリーンボックス１を運ぶこともできる。このよ
うな場合には、クリーンボックス１をロボットハンド等
により必要時間装着口１８に固定しておくこともできる
ので、第２図に示したクランプ２２は必ずしも必要では
ない。

カセット５内のウェハ２３が必要な処理をすべて終了し
たときはクリーンボックス１からカセット５を取り出し
、別のウェハ２３の入った新たなカセット５をクリーン
ボックス１に収納する必要があるが、これらの操作は既
に述べたように半導体製造装置における場合と全く同様
に行ない得ることは明らかである。

その他、本発明は本発明の要旨を変えない範囲で種々変
形実施可能であることは勿論である。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、カセットがクリ
ーンボックス内に収納されて装置間を自動搬送されてい
る間も常にクリーン度の高い清浄空気の流れの中に置か
れ、またクリーンボックスの内部も常に同じ清浄空気が
循環しているのでクリーンボックス内の塵埃等の微細異
物の侵入、付着、堆積がなく、ウェハを常に清浄に保つ
ことができる。さらに、クリーンボックスの移動装置は
従来のクリーンチューブのような犬山りな清浄空気循環
手段を有する移動装置と異なり、構造は簡単となり、必
要スペースは小さく、通路変更は容易となり、安価であ
るといった種々の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図は横断面
図、第２図は第１図における■−■線に沿う断面図、第
３図は同じくＡ矢視の側面図、第４図は同じ＜　ＩＶ−
ＩＶ線に沿う断面図である。 １・・・クリーンボックス、２・・・カセット出入口、
３・・・蓋、５・・・カセット、８・・・フィルタ、９
・・ブロワ−１９ａ・・・吸入口、９ｂ・・・吐出口、
２３・・・ウェハ、２４・・・気体循環手段。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第３図 第４図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）カセット出入口を密閉し得る開閉可能な蓋を有し
   、上記カセット出入口を介してカセットを出入可能に収
   納するクリーンボックスと、このクリーンボックス内の
   気体を循環する手段と、この気体循環手段により循環さ
   れる気体を濾過するフィルタとを具備してなることを特
   徴とするカセット搬送ボックス。
2. （２）フィルタはクリーンボックスの上部に設けられ、
   気体循環手段は、吸入口をクリーンボックスの底部に臨
   ませるとともに吐出口をパイプを通して上記フィルタの
   上方に臨ませたブロワーからなることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載のカセット搬送ボックス。
3. （３）カセット出入口は半導体製造装置の装着口に接続
   可能に形成され、蓋は半導体製造装置によって開閉可能
   に形成され、該蓋にカセットが着脱可能に支持されてい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１または２項記載
   のカセット搬送ボックス。
4. （４）カセット搬送ボックスは自走式であることを特徴
   とする特許請求の範囲第１、２または３項記載のカセッ
   ト搬送ボックス。