JPH026051Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は半導体製造工場などの清浄空気雰囲
気で物品を製造し、搬送する工場における物品搬
送装置に関する。

従来の技術 半導体部品、医薬品や医療機器などの超高精度
が要求される物品の製造は、無塵、無菌の清浄空
気雰囲気内での作業が、益々必要不可欠の条件と
なつている。特に、半導体製造産業界において
は、超LSI化時代への突入で、半導体製造工場の
作業室は超清浄空気雰囲気が要求されている。

このような要求は、作業室を天井から床へのク
リーンエアー〔清浄空気〕のダウンフローによつ
て清浄空気雰囲気に維持し、作業室内や、同じ階
の複数の作業空間の物品搬送を無人搬送車などを
使つて無人で行うことで実現され、このような水
平方向の物品搬送システムは物品汚染防止に相当
な成果が期待できている。しかし、工場の立地条
件の問題などから、１つの建造物内に多層階にわ
たり作業室を設け、各作業室をクリーエアーのダ
ウンフローで清浄空気雰囲気に保つと共に、各階
の作業室間で物品を上下に搬送するようにした工
場での、上下方向の物品搬送システムにおいて
は、物品汚染防止対策が未だ不十分であるという
問題が残されている。

例えば、各階の作業室間での無人の物品搬送シ
ステムはエレベータ方式を利用したものが一般的
で、その基本構造例を第５図を参照して説明す
る。第５図において、A₁，A₂，…は各階の作業
室で、図面では５階までを例示する。Ｂは各作業
室A₁〜A₅を上下に貫通する物品搬送室〔エレベ
ータ室〕、１は物品搬送室Ｂ内を上下動する搬送
ボツクス〔エレベータ〕、２は搬送ボツクス１を
上下動させる懸垂駆動機などのボツクス駆動系で
ある。各作業室A₁〜A₅には天井から床にクリー
ンエアー３をダウンフローさせて清浄空気雰囲気
に保つクリーンユニツト４，４…が装備され、ま
た物品搬送室Ｂにも同様なクリーンユニツト４′
が装備される。各作業室A₁〜A₅と物品搬送室Ｂ
は仕切壁に設けた物品出入口５，５…で通じてお
り、この物品出入口５，５…は物品搬送室Ｂの側
に上下に開閉可能に設置した外扉６，６…で、平
常時は閉じられている。搬送ボツクス１は物品７
を収納するもので、前面に上下に開閉する内扉８
を、上部に物品収納室にクリーンエアーをダウン
フローするクリーンユニツト９を有する。

物品７を収納した搬送ボツクス１は内扉８を閉
じて、物品搬送室Ｂを上下動し、所望の階、例え
ば３階の作業室A₃の物品出入口５の手前定位置
で停止すると、この物品出入口５の外扉６と、搬
送ボツクス１の内扉８が開き、搬送ボツクス１内
の物品７が作業室A₃内に移される。また、必要
に応じ作業室A₃から搬送ボツクス１内に別の物
品７が搬入されると、両扉６，８が閉じ、搬送ボ
ツクス１が上昇又は下降する〔実願昭60―14388
号〕。

考案が解決しようとする問題点 上記の物品クリーン搬送システムにおいて、各
作業室A₁〜A₅は天井から床までの距離が比較的
小さくて、クリーンエアーのダウンフローによる
室内の空気清浄度は極めて高く維持できるが、物
品搬送室Ｂは上下に長くて、クリーンエアーのダ
ウンフローによる空気清浄効果は薄く、而も物品
搬送室Ｂにはボツクス駆動系２のワイヤなどの金
属屑や油屑などを飛散させる発塵源が数多く存在
しているので、物品搬送室Ｂの空気清浄度は高く
期待されていない。そこで、この汚染空気雰囲気
にある物品搬送室Ｂを上下動する搬送ボツクス１
にクリーンユニツト９を設けて自浄機能を持た
せ、物品搬送室Ｂの汚染空気から搬送ボツクス１
内の物品７を保護するようにしている。ところ
が、搬送ボツクス１を、例えば作業室A₃の物品
出入口５の手前定位置に停止させ、両扉６，８を
開いて物品７の受け渡しを行う際に、物品出入口
５と搬送ボツクス１との隙間から、物品搬送室Ｂ
の汚染空気が作業室A₃内や、搬送ボツクス１内
に流入して、この時に物品７が汚染されることが
ある。

この問題を解決するものとして、作業室と搬送
ボツクス間の物品受け渡し時に、作業室の物品出
入口と、搬送ボツクスとの間の空間を物品搬送室
から一時的に遮断するシール手段を、搬送ボツク
ス側に設けたものが提案されている。例えば、上
記搬送ボツクス１に対して、第６図乃至第８図に
示す動きをするシール手段１０が付設される。こ
のシール手段１０は搬送ボツクス１の物品出し入
れ用開口１１の周辺部に装着されて、軸方向に伸
縮するもので、例えば第９図に示すように、開口
１１の周辺部に一端が固定された２重筒状の蛇腹
状シール材１２，１２′と、シール材１２，１
２′の先端に固定されたロ字状のパツキン材１３
と、搬送ボツクス１の下部に固定されてシール材
１２，１２′を軸方向に伸縮させるエアーシリン
ダなどのシール駆動源１４で構成される。尚、第
６図乃至第８図における、１５は外扉６の開閉駆
動機構、１６は内扉８の開閉駆動機構である。

上記シール手段１０は次の作用をする。第６図
に示すように、搬送ボツクス１が、例えば作業室
A₃の物品出入口５の手前定位置に停止すると、
先ずシール駆動源１４が作動してシール材１２，
１２′を伸ばし、第７図に示すように、パツキン
材１３を物品出入口５の周辺部に押し付けて密着
させる。これによつて、物品出入口５と搬送ボツ
クス１の間の物品出入用空間ｍがシール材１２，
１２′によつて、物品搬送室Ｂから遮断される。
次に、第８図に示すように、内外両扉６，８を開
いて物品７の受け渡しを行う。この物品受け渡し
が完了すると、両扉６，８が閉じられ、その後シ
ール材１２，１２′がパツキン材１３と共に搬送
ボツクス側に縮められて、搬送ボツクス１が上昇
又は下降する。

このように、シール手段１０は物品受け渡しの
際に、物品出入用空間ｍを物品搬送室Ｂの汚染空
気から遮断して、物品７の汚染を防止する。とこ
ろが、この物品汚染防止対策には、次のような不
備な点があつた。即ち、第６図の状態の時、閉じ
た外扉６と内扉８の間の局所空間ｍは、物品搬送
室Ｂの汚染空気雰囲気にあり、この状態で第７図
に示すように、シール材１２，１２′を伸ばすと、
局所空間ｍは汚染空気を閉じ込めた空間となる。
そのため、両扉６，８を開くと、局所空間ｍの汚
染空気が物品７を汚染する可能性があつた。この
ような可能性は僅かであるが、超LSIの製造工場
のような超清浄空気雰囲気内での製造が要求され
る物品製造工場においては、僅かの物品汚染の可
能性も品質や歩留まりに大きな影響を与え、上述
可能性を皆無にする新技術の出現が要望されてい
る。

問題点を解決するための手段 本考案は上記要望に鑑みてなされたもので、清
浄空気雰囲気に維持された作業室と、この作業室
に扉で開閉される物品出入口で通じる物品搬送室
と、この物品搬送室内を移動し、前記物品出入口
の手前定位置にて作業室との間で物品の受け渡し
が行われる物品収納搬送用搬送ボツクスとを備
え、前記搬送ボツクスは前記物品出入口の手前定
位置に在る時に、物品出入口周縁部との隙間を遮
断する軸方向伸縮自在の筒状シール手段を有する
ものである物品搬送装置において、前記搬送ボツ
クスに、前記シール手段が前記物品出入口周縁部
まで伸張した時に、シール手段と物品出入口の扉
及び搬送ボツクスで囲まれた空間の空気を吸引し
て作業室内の清浄空気を導入するバキユーム手段
を付設したことにより、上記従来問題点を解決す
るようにしたものである。

作 用 上記本考案における搬送ボツクスに付設された
バキユーム手段は、物品受け渡しの状態にある作
業室と搬送ボツクス間に在つて、搬送ボツクスか
ら伸張したシール手段で囲まれた空間の空気が汚
染空気であつても、これを系外に吸引して、作業
室の清浄空気に入れ替える作用をし、従つて、こ
の空気入れ替え後に、物品出入口の扉を開いて物
品受け渡しの作業を始めれば、物品は汚染空気に
触れることが無くなる。

実施例 本考案の一実施例を第１図乃至第４図に基づ
き、以下説明する。尚、この実施例は第６図乃至
第８図の物品搬送装置に適用したもので、第１図
乃至第４図において第６図乃至第８図と同一のも
のには同一参照符号を付す。

第１図乃至第４図は示す実施例の従来装置との
相違点は、搬送ボツクス１にクリーンユニツト９
を真空引きの用力源として利用したバキユーム手
段１７を付設したことである。ここで第１図は外
扉６が開く前の状態、第３図はその部分を拡大し
て示すものである。また第２図は外扉６が少しだ
け開いたときの動作状態、第４図はその部分を拡
大して示すものである。この構成において、バキ
ユーム手段１７における、１８，１８…はシール
手段１０の外側シール材１２と内側シール材１
２′を貫通して外部に導出されたフルキシブルな
パイプで、これはロ字状シール材１２，１２′の
例えば上下左右の計４箇所に設置される。１９は
４本の搬送室１８，１８…の外側端部に連結され
た中継管で、搬送ボツクス１の上部に固定され
る。２０は中継管１９を介してパイプ１８，１８
…に連結され連通するダクトで、略中央部に内部
空気流路を適宜遮断する電磁弁等のバルブ２１を
有する。ダクト２０の非パイプ側の先端開口は、
搬送ボツクス１のクリーンユニツト９の空気取入
口の一部に設定される。

尚、クリーンユニツト９は、フアン２２と、こ
れを回転させるフアン駆動源２３、及びエアーフ
イルタ２４を具え、フアン２２の回転で空気取入
口２５から物品搬送室Ｂの空気を吸引して、エア
ーフイルタ２４で除塵し、クリーンエアーにし
て、搬送ボツクス１内にダウンフローするもので
ある。また、このクリーンユニツト９は、図示し
ないが、搬送ボツクス１内をダウンフローしたク
リーンエアーを循環させて吸引するものであつて
もよい。

バキユーム手段１７のバルブ２１は平常時は閉
状態にあり、第２図の状態の時にだけ所定時間開
く。即ち、搬送ボツクス１が、例えば作業室A₃
の物品出入口５の手前定位置で停止〔第１図の状
態〕し、シール手段１０のシール材１２，１２′
を伸ばしてパツキン材１３を物品出入口５の周辺
部に密着させてから、第２図に示すように外扉６
が少しだけ開いた時に、バルブ２１は全開する。
すると外扉６、シール材１２，１２′、内扉８で
囲まれた局所空間ｍの空気〔汚染空気〕が内側シ
ール材１２′の４箇所より突出するパイプ１８，
１８…で吸引されて、ダクト２０からクリーンユ
ニツト９に吸引される。このパイプ１８，１８…
の空気吸引に応じて、少し開いた外扉６と物品出
入口５との隙間から、作業室A₃の洗浄空気が局
所空間ｍに流入する。従つて、局所空間ｍの空気
は急速に清浄空気に入れ替わり、この空気入れ替
えが十分に行われる時間でもつて、バルブ２１を
タイマコントロール等で自動的に閉じる。その
後、外扉６を全開し、内扉８を開いて、作業室
A₃と搬送ボツクス１間の物品受け渡し作業を行
う。この時、局所空間ｍは洗浄空気に入れ替わつ
ているので、物品７が汚染される心配はほぼ皆無
となる。

尚、本考案は上記実施例に限らず、搬送ボツク
ス前面のシール手段にリング状の風船を使用した
ものにも同様に適用できる。また、バキユーム手
段は、シール手段のシール材にバキユームパイプ
を貫通させるものに限らず、シール手段を避けて
バキユームパイプを配置することも可能である。

考案の詳細な説明 本考案によれば、搬送ボツクスの通る物品搬送
室の空気の洗浄度が悪くても、搬送ボツクスと作
業室の間の物品受け渡しの直前で、搬送ボツクス
と作業室の間のシール手段で仕切られた物品出入
用空間の空気がバキユーム手段にて清浄化される
ので、物品受け渡し時の物品汚染問題が解決さ
れ、超LSIなどの超高清浄空気雰囲気下での製造
や搬送が要求される物品の搬送装置として、好適
なものが提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本考案に係る物品搬送装置
の一実施例を示す各動作状態での要部側断面図、
第３図は第１図の部分拡大図、第４図は第２図の
部分拡大図である。第５図は物品上下搬送システ
ムにおける従来の物品搬送装置の概略側断面図、
第６図乃至第８図は本考案の前提となる物品搬送
装置の各動作状態での要部側断面図、第９図は第
６図の一部の拡大図である。 A₁〜A₅……作業室、Ｂ……物品搬送室、１…
…搬送ボツクス、５……物品出入口、６……扉
（外扉）、７……物品、１０……シール手段、１７
……バキユーム手段。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 清浄空気雰囲気に維持された作業室と、この作
   業室に扉で開閉される物品出入口で通じる物品搬
   送室と、この物品搬送室内を移動し、前記物品出
   入口の手前定位置にて作業室との間で物品の受け
   渡しが行われる物品収納搬送用搬送ボツクスとを
   備え、前記搬送ボツクスは前記物品出入口の手前
   定位置に在る時に、物品出入口周縁部との隙間を
   遮断する軸方向伸縮自在の筒状シール手段を有す
   るものである物品搬送装置において、 前記搬送ボツクスに、前記シール手段が前記物
   品出入口周縁部まで伸張した時に、シール手段と
   物品出入口の扉及び搬送ボツクスで囲まれた空間
   の空気を吸引して作業室内の清浄空気を導入する
   バキユーム手段を付設したことを特徴とする物品
   搬送装置。