JPH05273234A - Ｍｍｉｃ装置及びｒｆプローブヘッド - Google Patents
Ｍｍｉｃ装置及びｒｆプローブヘッドInfo
- Publication number
- JPH05273234A JPH05273234A JP4100711A JP10071192A JPH05273234A JP H05273234 A JPH05273234 A JP H05273234A JP 4100711 A JP4100711 A JP 4100711A JP 10071192 A JP10071192 A JP 10071192A JP H05273234 A JPH05273234 A JP H05273234A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- input
- probe head
- signal
- output
- mmic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Microwave Amplifiers (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Waveguide Aerials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高周波の測定用信号を用いたオンウエハー測
定を、ＲＦプローブヘッドや被測定装置の入出力部分で
の損失を低減して精度よく行う。 【構成】 ＭＭＩＣ装置１の入力部２及び出力部３を、
誘電体基板１１に導波管部材２ｂを埋め込み、入，出力
側信号線２ａ，３ａをその端部が上記基板の導波管部材
２ｂ内側の部分上に位置するよう配置した導波管構造と
するとともに、上記ＲＦプローブヘッド６の信号入出力
部を導波管７により構成し、該ヘッド６とＭＭＩＣ装置
１の入出力部２，３との接続をそれぞれの導波管部分の
端面を密着させることにより行うようにした。
定を、ＲＦプローブヘッドや被測定装置の入出力部分で
の損失を低減して精度よく行う。 【構成】 ＭＭＩＣ装置１の入力部２及び出力部３を、
誘電体基板１１に導波管部材２ｂを埋め込み、入，出力
側信号線２ａ，３ａをその端部が上記基板の導波管部材
２ｂ内側の部分上に位置するよう配置した導波管構造と
するとともに、上記ＲＦプローブヘッド６の信号入出力
部を導波管７により構成し、該ヘッド６とＭＭＩＣ装置
１の入出力部２，３との接続をそれぞれの導波管部分の
端面を密着させることにより行うようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はＭＭＩＣ装置及びＲＦ
プローブヘッドに関し、特に３０ＧＨｚ以上の準ミリ
波，ミリ波帯で動作するＭＭＩＣ装置の入出力端子の構
造、及びＭＭＩＣ装置の特性測定を行うためのＲＦプロ
ーブヘッドの入出力部の構造に関するものである。
プローブヘッドに関し、特に３０ＧＨｚ以上の準ミリ
波，ミリ波帯で動作するＭＭＩＣ装置の入出力端子の構
造、及びＭＭＩＣ装置の特性測定を行うためのＲＦプロ
ーブヘッドの入出力部の構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図７は従来のＭＭＩＣ（モノリシック・
マイクロ波集積回路）装置及びそのオンウエハー測定を
行うためのＲＦプローブヘッドを説明するための図であ
り、図７(a) はマイクロ波信号を増幅するＭＭＩＣ増幅
器を示す平面図、図７(b) は上記ＲＦプローブヘッドの
外観図であり、また図８は上記ＭＭＩＣ増幅器及びＲＦ
プローブヘッドの入出力部分を拡大して示す図である。
図中、１００はマイクロ波あるいはミリ波信号を増幅す
るＭＭＩＣ装置で、その誘電体基板１０１表面には、マ
イクロ波信号を増幅する素子部１００ａ、マイクロ波入
力を信号入力部１０２から上記素子部１００ａに伝送す
るための入力側信号線１０２ａ、及び上記素子部１００
ａから信号出力部１０３へマイクロ波出力を伝送するた
めの出力側信号線１０３ａが形成されており、上記誘電
体基板１０１の裏面には上記各信号線１０２ａ，１０３
ａとともにマイクロストリップ線路を構成する接地導体
１０４が形成されている。
マイクロ波集積回路）装置及びそのオンウエハー測定を
行うためのＲＦプローブヘッドを説明するための図であ
り、図７(a) はマイクロ波信号を増幅するＭＭＩＣ増幅
器を示す平面図、図７(b) は上記ＲＦプローブヘッドの
外観図であり、また図８は上記ＭＭＩＣ増幅器及びＲＦ
プローブヘッドの入出力部分を拡大して示す図である。
図中、１００はマイクロ波あるいはミリ波信号を増幅す
るＭＭＩＣ装置で、その誘電体基板１０１表面には、マ
イクロ波信号を増幅する素子部１００ａ、マイクロ波入
力を信号入力部１０２から上記素子部１００ａに伝送す
るための入力側信号線１０２ａ、及び上記素子部１００
ａから信号出力部１０３へマイクロ波出力を伝送するた
めの出力側信号線１０３ａが形成されており、上記誘電
体基板１０１の裏面には上記各信号線１０２ａ，１０３
ａとともにマイクロストリップ線路を構成する接地導体
１０４が形成されている。
【０００３】ここで上記信号線１０２ａ，１０３ａの端
部両側には、バイアホール１０１ａを介して接地導体１
０４に接続されたＲＦ測定専用の入力パッド１０２ｂ及
び出力パッド１０３ｂが形成されており、これらのパッ
ド１０２ｂ，１０３ｂ及び上記信号線１０２ａ，１０３
ａはそれぞれ信号入力部１０２及び出力部１０３にて、
マイクロストリップ線路をコプレーナ線路に変換する線
路変換部を構成している。
部両側には、バイアホール１０１ａを介して接地導体１
０４に接続されたＲＦ測定専用の入力パッド１０２ｂ及
び出力パッド１０３ｂが形成されており、これらのパッ
ド１０２ｂ，１０３ｂ及び上記信号線１０２ａ，１０３
ａはそれぞれ信号入力部１０２及び出力部１０３にて、
マイクロストリップ線路をコプレーナ線路に変換する線
路変換部を構成している。
【０００４】また１０６は上記ＭＭＩＣ装置１００の特
性を測定周波数が１００ＧＨｚ前後のミリ波帯で測定す
るためのＲＦプローブヘッドで、その絶縁性フレーム１
０６ａの裏面側には信号線１０７ａとその両側に配置さ
れた接地線１０７ｂとからなるコプレーナ型の伝送線路
が形成されており、上記ＭＭＩＣ装置１００の入力部１
０２あるいは出力部１０３のコプレーナ線路と接続可能
な素子側端子を構成している。また１０８は上記ＲＦプ
ローブヘッドの測定装置側端子で、これは上記フレーム
１０６ａの裏面側のコプレーナ線路をミリ波帯で低損失
の導波管に変換する導波管構造となっている。
性を測定周波数が１００ＧＨｚ前後のミリ波帯で測定す
るためのＲＦプローブヘッドで、その絶縁性フレーム１
０６ａの裏面側には信号線１０７ａとその両側に配置さ
れた接地線１０７ｂとからなるコプレーナ型の伝送線路
が形成されており、上記ＭＭＩＣ装置１００の入力部１
０２あるいは出力部１０３のコプレーナ線路と接続可能
な素子側端子を構成している。また１０８は上記ＲＦプ
ローブヘッドの測定装置側端子で、これは上記フレーム
１０６ａの裏面側のコプレーナ線路をミリ波帯で低損失
の導波管に変換する導波管構造となっている。
【０００５】次に従来のＭＭＩＣ増幅器の特性をウエハ
ー状態で測定する方法について説明する。まず、１つの
ＲＦプローブヘッド１０６を上記ＭＭＩＣ増幅器１００
の入力部１０２に、他のＲＦプローブヘッド（図示せ
ず）を出力部１０３に、ヘッド側と増幅器側のコプレー
ナ線路が接触するよう密着する。そして測定装置（図示
せず）により入力側のＲＦプローブヘッド１０６から１
００ＧＨｚ前後のミリ波帯信号を上記ＭＭＩＣ増幅器１
００に印加し、増幅素子部１００ａにて増幅されたマイ
クロ波信号を出力側のＲＦプローブヘッドから取り出し
て、上記測定装置にてＭＭＩＣ装置１００の特性を測定
する。
ー状態で測定する方法について説明する。まず、１つの
ＲＦプローブヘッド１０６を上記ＭＭＩＣ増幅器１００
の入力部１０２に、他のＲＦプローブヘッド（図示せ
ず）を出力部１０３に、ヘッド側と増幅器側のコプレー
ナ線路が接触するよう密着する。そして測定装置（図示
せず）により入力側のＲＦプローブヘッド１０６から１
００ＧＨｚ前後のミリ波帯信号を上記ＭＭＩＣ増幅器１
００に印加し、増幅素子部１００ａにて増幅されたマイ
クロ波信号を出力側のＲＦプローブヘッドから取り出し
て、上記測定装置にてＭＭＩＣ装置１００の特性を測定
する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが従来のＭＭＩ
Ｃ増幅器及びその特性測定用のＲＦプローブヘッドで
は、それぞれの入出力部分にミリ波帯で損失の大きいコ
プレーナ線路を用いているために、測定精度が悪いとい
う問題点があった。
Ｃ増幅器及びその特性測定用のＲＦプローブヘッドで
は、それぞれの入出力部分にミリ波帯で損失の大きいコ
プレーナ線路を用いているために、測定精度が悪いとい
う問題点があった。
【０００７】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、高周波の測定用信号を用いたオ
ンウエハー測定を、ＲＦプローブヘッドや被測定装置の
信号入出力部分での損失を低減して精度よく行うことが
できるＭＭＩＣ装置及びＲＦプローブヘッドを得ること
を目的としている。
ためになされたもので、高周波の測定用信号を用いたオ
ンウエハー測定を、ＲＦプローブヘッドや被測定装置の
信号入出力部分での損失を低減して精度よく行うことが
できるＭＭＩＣ装置及びＲＦプローブヘッドを得ること
を目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係るＭＭＩＣ
装置は、ＲＦプローブヘッドとの間で特性測定用信号の
受渡しを行うための入出力端子を、高周波信号の伝送が
可能な導波管構造としたものである。
装置は、ＲＦプローブヘッドとの間で特性測定用信号の
受渡しを行うための入出力端子を、高周波信号の伝送が
可能な導波管構造としたものである。
【０００９】この発明に係るＭＭＩＣ装置は、ＲＦプロ
ーブヘッドとの間で特性測定用信号の受渡しを行うため
の入出力端子を、高周波信号の送受信が可能なアンテナ
構造としたものである。
ーブヘッドとの間で特性測定用信号の受渡しを行うため
の入出力端子を、高周波信号の送受信が可能なアンテナ
構造としたものである。
【００１０】この発明に係るＲＦプローブヘッドは、Ｍ
ＭＩＣ装置との間で特性測定用の信号の受渡しを行うた
めの特性測定用入出力部を、高周波信号の伝送が可能な
導波管構造としたものである。
ＭＩＣ装置との間で特性測定用の信号の受渡しを行うた
めの特性測定用入出力部を、高周波信号の伝送が可能な
導波管構造としたものである。
【００１１】この発明に係るＲＦプローブヘッドは、高
周波信号を処理するＭＭＩＣ装置との間で特性測定用信
号の受渡しを行うための入出力部を、高周波信号の送受
信が可能なアンテナ構造としたものである。またこの発
明は上記ＲＦプローブヘッドにおいて、上記ＭＭＩＣ装
置の特性測定を行う測定装置側との入出力部を、高周波
信号の伝送が可能な導波管構造としたものである。
周波信号を処理するＭＭＩＣ装置との間で特性測定用信
号の受渡しを行うための入出力部を、高周波信号の送受
信が可能なアンテナ構造としたものである。またこの発
明は上記ＲＦプローブヘッドにおいて、上記ＭＭＩＣ装
置の特性測定を行う測定装置側との入出力部を、高周波
信号の伝送が可能な導波管構造としたものである。
【００１２】この発明に係るＲＦプローブヘッドは、信
号の入出力部分がマイクロストリップ線路あるいはコプ
レーナ線路で構成されているＭＭＩＣ装置との間で特性
測定用信号の受渡しを行うための入出力部を、高周波信
号の伝送線路形式をマイクロストリップ線路あるいはコ
プレーナ線路から導波管へ変換する線路変換機構を有す
る構造としたものである。
号の入出力部分がマイクロストリップ線路あるいはコプ
レーナ線路で構成されているＭＭＩＣ装置との間で特性
測定用信号の受渡しを行うための入出力部を、高周波信
号の伝送線路形式をマイクロストリップ線路あるいはコ
プレーナ線路から導波管へ変換する線路変換機構を有す
る構造としたものである。
【００１３】
【作用】この発明に係るＭＭＩＣ装置においては、ＲＦ
プローブヘッドとの間で特性測定用信号の受渡しを行う
ための入出力端子を、高周波信号の伝送が可能な導波管
構造あるいは高周波信号の送受信が可能なアンテナ構造
としたから、この入出力端子部分における高周波信号の
ミリ波帯での損失を低減して精度よく特性測定を行うこ
とができる。
プローブヘッドとの間で特性測定用信号の受渡しを行う
ための入出力端子を、高周波信号の伝送が可能な導波管
構造あるいは高周波信号の送受信が可能なアンテナ構造
としたから、この入出力端子部分における高周波信号の
ミリ波帯での損失を低減して精度よく特性測定を行うこ
とができる。
【００１４】この発明に係るＲＦプローブヘッドにおい
ては、ＭＭＩＣ装置との間で特性測定用信号の受渡しを
行うための入出力部を、導波管構造あるいはアンテナ構
造としたから、この入出力部における高周波信号のミリ
波帯での損失を低減して精度よくＭＭＩＣ装置の特性測
定を行うことができる。
ては、ＭＭＩＣ装置との間で特性測定用信号の受渡しを
行うための入出力部を、導波管構造あるいはアンテナ構
造としたから、この入出力部における高周波信号のミリ
波帯での損失を低減して精度よくＭＭＩＣ装置の特性測
定を行うことができる。
【００１５】また上記ＭＭＩＣ装置側との入出力部をア
ンテナ構造としたＲＦプローブヘッドにおいて、測定装
置側の入出力部を導波管構造とすることにより、測定装
置との接続を容易かつ信号減衰を招くことなく行うこと
ができる。
ンテナ構造としたＲＦプローブヘッドにおいて、測定装
置側の入出力部を導波管構造とすることにより、測定装
置との接続を容易かつ信号減衰を招くことなく行うこと
ができる。
【００１６】またこの発明に係るＲＦプローブヘッドに
おいては、信号の入出力部分がマイクロストリップ線路
あるいはコプレーナ線路で構成されているＭＭＩＣ装置
との間で特性測定用信号の受渡しを行うための入出力部
を、高周波信号の伝送線路形式をマイクロストリップ線
路あるいはコプレーナ線路から導波管へ変換する線路変
換機構を有する構造としたので、上記特性測定用信号が
ＭＭＩＣ装置の入，出力端子とヘッドとの間で授受され
た直前，直後はこれが損失の少ない導波管構造の線路を
伝送することとなり、これにより上記測定用信号の損失
が低減されて、ＭＭＩＣ装置の精度の高い特性測定が可
能となる。
おいては、信号の入出力部分がマイクロストリップ線路
あるいはコプレーナ線路で構成されているＭＭＩＣ装置
との間で特性測定用信号の受渡しを行うための入出力部
を、高周波信号の伝送線路形式をマイクロストリップ線
路あるいはコプレーナ線路から導波管へ変換する線路変
換機構を有する構造としたので、上記特性測定用信号が
ＭＭＩＣ装置の入，出力端子とヘッドとの間で授受され
た直前，直後はこれが損失の少ない導波管構造の線路を
伝送することとなり、これにより上記測定用信号の損失
が低減されて、ＭＭＩＣ装置の精度の高い特性測定が可
能となる。
【００１７】
【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。図１は本発明の第１の実施例によるＭＭＩＣ装置及
びそのオンウエハー測定に用いるＲＦプローブヘッドを
説明するための図であり、図１(a) は上記ＭＭＩＣ装置
の平面図、図１(b) は上記ＲＦプローブヘッドの斜視図
であり、図２は上記ＭＭＩＣ増幅器の入出力部分の詳細
な構造及び測定動作を説明するための図である。図にお
いて、１はウエハー状態でＲＦプローブヘッドを用いて
特性の測定が行われるＭＭＩＣ装置で、その誘電体基板
１１表面には、マイクロ波入力を増幅する素子部１ａ、
マイクロ波入力を信号入力部（入力端子）２から上記素
子部１ａに伝送するための入力側信号線２ａ、及び上記
素子部１ａから信号出力部（出力端子）３へマイクロ波
出力を伝送するための出力側信号線３ａが形成されてお
り、上記誘電体基板１１の裏面には上記各信号線２ａ，
３ａとともにマイクロストリップ線路を構成する接地導
体４が形成されている。
る。図１は本発明の第１の実施例によるＭＭＩＣ装置及
びそのオンウエハー測定に用いるＲＦプローブヘッドを
説明するための図であり、図１(a) は上記ＭＭＩＣ装置
の平面図、図１(b) は上記ＲＦプローブヘッドの斜視図
であり、図２は上記ＭＭＩＣ増幅器の入出力部分の詳細
な構造及び測定動作を説明するための図である。図にお
いて、１はウエハー状態でＲＦプローブヘッドを用いて
特性の測定が行われるＭＭＩＣ装置で、その誘電体基板
１１表面には、マイクロ波入力を増幅する素子部１ａ、
マイクロ波入力を信号入力部（入力端子）２から上記素
子部１ａに伝送するための入力側信号線２ａ、及び上記
素子部１ａから信号出力部（出力端子）３へマイクロ波
出力を伝送するための出力側信号線３ａが形成されてお
り、上記誘電体基板１１の裏面には上記各信号線２ａ，
３ａとともにマイクロストリップ線路を構成する接地導
体４が形成されている。
【００１８】そして本実施例では、上記信号入力部２に
は、導波管部材２ｂがその上端面が誘電体基板表面と一
致し、かつ下端面が上記接地導体４とつながるよう該誘
電体基板４中に埋め込まれており、上記誘電体基板４
の、該導波管部材２ｂ内側の中心部には、上記入力側信
号線２ａの始端が位置している。また上記信号出力部３
も上記信号入力部２と同様、誘電体基板中に導波管部材
が埋め込まれ、該部材の中心部分には出力側信号線３ａ
の終端が位置している構造となっている。
は、導波管部材２ｂがその上端面が誘電体基板表面と一
致し、かつ下端面が上記接地導体４とつながるよう該誘
電体基板４中に埋め込まれており、上記誘電体基板４
の、該導波管部材２ｂ内側の中心部には、上記入力側信
号線２ａの始端が位置している。また上記信号出力部３
も上記信号入力部２と同様、誘電体基板中に導波管部材
が埋め込まれ、該部材の中心部分には出力側信号線３ａ
の終端が位置している構造となっている。
【００１９】また６は上記ＭＭＩＣ装置１の特性を測定
周波数が１００ＧＨｚ前後のミリ波帯でオンウエハ測定
するためのＲＦプローブヘッドで、マニピュレータ１４
に螺子１３により取付けられており、このＲＦプローブ
ヘッドは本体部分６ａがマニピュレータ１４に対してウ
エハ表面と平行な方向に可動となっている。またこのＲ
Ｆプローブヘッド６は、上記ＭＭＩＣ装置１との間でマ
イクロ波の授受を行う部分を導波管部材２ｂ，３ｂと断
面形状が同一の導波管７により構成しており、この導波
管７を上記ＭＭＩＣ装置１の入力部２あるいは出力部３
の導波管部材２ｂ，３ｂの端面に密着させることによ
り、ＭＭＩＣ装置１の入，出力部２，３との間で信号の
受渡しができるようになっている。なお、７ａは上記導
波管７の下端部中央に形成された切欠き部で、この導波
管７を上記信号線路２ａの先端と接触することなく上記
導波管部材２ｂと密着可能とするためのものであり、Ｒ
Ｆプローブヘッド６の測定装置側の入出力部は従来例と
同様導波管８により構成されている。
周波数が１００ＧＨｚ前後のミリ波帯でオンウエハ測定
するためのＲＦプローブヘッドで、マニピュレータ１４
に螺子１３により取付けられており、このＲＦプローブ
ヘッドは本体部分６ａがマニピュレータ１４に対してウ
エハ表面と平行な方向に可動となっている。またこのＲ
Ｆプローブヘッド６は、上記ＭＭＩＣ装置１との間でマ
イクロ波の授受を行う部分を導波管部材２ｂ，３ｂと断
面形状が同一の導波管７により構成しており、この導波
管７を上記ＭＭＩＣ装置１の入力部２あるいは出力部３
の導波管部材２ｂ，３ｂの端面に密着させることによ
り、ＭＭＩＣ装置１の入，出力部２，３との間で信号の
受渡しができるようになっている。なお、７ａは上記導
波管７の下端部中央に形成された切欠き部で、この導波
管７を上記信号線路２ａの先端と接触することなく上記
導波管部材２ｂと密着可能とするためのものであり、Ｒ
Ｆプローブヘッド６の測定装置側の入出力部は従来例と
同様導波管８により構成されている。
【００２０】次に動作について説明する。まず、マニピ
ュレータ１４を操作して、上記ウエハー状態のＭＭＩＣ
増幅器１の入力部２に入力側のＲＦプローブヘッド６
を、出力部３に出力側のＲＦプローブヘッド（図示せ
ず）を密着して、入出力部の導波管部材２ｂ端面と、ヘ
ッド側の導波管７の端面とを接触させる。そしてこの状
態で測定装置（図示せず）により入力側のＲＦプローブ
ヘッド６から１００ＧＨｚ前後のミリ波帯信号を上記Ｍ
ＭＩＣ増幅器１に印加し、その素子部１ａで増幅された
増幅マイクロ波信号を出力側のＲＦプローブヘッドから
取り出して、測定装置にてＭＭＩＣ装置の特性を測定す
る。
ュレータ１４を操作して、上記ウエハー状態のＭＭＩＣ
増幅器１の入力部２に入力側のＲＦプローブヘッド６
を、出力部３に出力側のＲＦプローブヘッド（図示せ
ず）を密着して、入出力部の導波管部材２ｂ端面と、ヘ
ッド側の導波管７の端面とを接触させる。そしてこの状
態で測定装置（図示せず）により入力側のＲＦプローブ
ヘッド６から１００ＧＨｚ前後のミリ波帯信号を上記Ｍ
ＭＩＣ増幅器１に印加し、その素子部１ａで増幅された
増幅マイクロ波信号を出力側のＲＦプローブヘッドから
取り出して、測定装置にてＭＭＩＣ装置の特性を測定す
る。
【００２１】このように本実施例では、ＭＭＩＣ装置１
の入力部２及び出力部３では、誘電体基板４に導波管部
材２ｂを埋め込み、信号線２ａ，３ａをその端部が該導
波管部材２ｂ端面の中心部に位置するよう配置して、入
出力部分（入出力端子）を導波管構造とするとともに、
上記ＲＦプローブヘッド６の、ＭＭＩＣ装置１との入出
力部を導波管７により構成し、ヘッド６とＭＭＩＣ装置
１の入出力部２，３との接続をそれぞれの導波管部分の
端面を密着させることにより行うようにしたので、ＭＭ
ＩＣ装置１及びＲＦプローブヘッド６の入出力部分に
は、ミリ波帯で損失の大きいコプレーナ線路が存在しな
くなり、これによりミリ波帯の損失を低減して精度よく
特性測定を行うことができる。
の入力部２及び出力部３では、誘電体基板４に導波管部
材２ｂを埋め込み、信号線２ａ，３ａをその端部が該導
波管部材２ｂ端面の中心部に位置するよう配置して、入
出力部分（入出力端子）を導波管構造とするとともに、
上記ＲＦプローブヘッド６の、ＭＭＩＣ装置１との入出
力部を導波管７により構成し、ヘッド６とＭＭＩＣ装置
１の入出力部２，３との接続をそれぞれの導波管部分の
端面を密着させることにより行うようにしたので、ＭＭ
ＩＣ装置１及びＲＦプローブヘッド６の入出力部分に
は、ミリ波帯で損失の大きいコプレーナ線路が存在しな
くなり、これによりミリ波帯の損失を低減して精度よく
特性測定を行うことができる。
【００２２】図３は本発明の第２の実施例によるＲＦプ
ローブヘッドを説明するための図、図４はその詳細な構
造の説明図で、図４(a) は該ヘッドを下面側からみた斜
視図、図４(b) は図４(a) のIVｂ−IVｂ線断面を示す図
である。
ローブヘッドを説明するための図、図４はその詳細な構
造の説明図で、図４(a) は該ヘッドを下面側からみた斜
視図、図４(b) は図４(a) のIVｂ−IVｂ線断面を示す図
である。
【００２３】この実施例のＲＦプローブヘッド２０は、
従来の図７及び図８に示すＭＭＩＣ装置１００のＲＦ測
定用入，出力部１０２，１０３との間で信号の授受を行
うを入出力部２１に、マイクロ波の伝送線路の形式をマ
イクロ波ストリップ線路から導波管に変換する線路変換
機構を備えたものである。
従来の図７及び図８に示すＭＭＩＣ装置１００のＲＦ測
定用入，出力部１０２，１０３との間で信号の授受を行
うを入出力部２１に、マイクロ波の伝送線路の形式をマ
イクロ波ストリップ線路から導波管に変換する線路変換
機構を備えたものである。
【００２４】すなわち、上記ＲＦプローブヘッド２０本
体は、水平方向の導波管部分２０ａと、その一端にこれ
と一体に形成された垂直方向の導波管部分２０ｂとから
構成されており、上記水平方向の導波管２０ａの下面２
０ｄには、上記ＭＭＩＣ装置１００の入力部１０２の接
地側パッド１０２ｂと接触可能な接地側パッド２３が形
成されており、該接地側パッド２３間に形成された開口
部２０ｃの中央部には、上記信号線１０２ａと接触可能
な信号側パッド２４が配設されている。
体は、水平方向の導波管部分２０ａと、その一端にこれ
と一体に形成された垂直方向の導波管部分２０ｂとから
構成されており、上記水平方向の導波管２０ａの下面２
０ｄには、上記ＭＭＩＣ装置１００の入力部１０２の接
地側パッド１０２ｂと接触可能な接地側パッド２３が形
成されており、該接地側パッド２３間に形成された開口
部２０ｃの中央部には、上記信号線１０２ａと接触可能
な信号側パッド２４が配設されている。
【００２５】また上記信号パッド２４は上記ヘッド本体
の導波管２０ａ内に配置された導電性部材２２の下端２
２ａに支持されており、該導電性部材２２の先端２２ｂ
は導波管部分２０ａの導波管部分２０ｂ側に位置してお
り、ここで上記導電性部材２２は、導波管２０ａの信号
伝送方向に向かって該方向の幅が階段状に広がった側面
形状を有している。このような構成により上記ＲＦプロ
ーブヘッド２０では、マイクロ波信号の伝送線路形式
が、ＭＭＩＣ装置１００の入出力側マイクロストリップ
線路から導波管へ変換されることとなる。
の導波管２０ａ内に配置された導電性部材２２の下端２
２ａに支持されており、該導電性部材２２の先端２２ｂ
は導波管部分２０ａの導波管部分２０ｂ側に位置してお
り、ここで上記導電性部材２２は、導波管２０ａの信号
伝送方向に向かって該方向の幅が階段状に広がった側面
形状を有している。このような構成により上記ＲＦプロ
ーブヘッド２０では、マイクロ波信号の伝送線路形式
が、ＭＭＩＣ装置１００の入出力側マイクロストリップ
線路から導波管へ変換されることとなる。
【００２６】この実施例では、オンウエハーでの特性測
定は図７及び図８に示す従来装置と同様に行うことがで
き、その説明は省略する。
定は図７及び図８に示す従来装置と同様に行うことがで
き、その説明は省略する。
【００２７】このような構成の本実施例では、ＲＦプロ
ーブヘッド２０のＭＭＩＣ装置１００との信号の授受を
行う部分２１に、伝送線路形式をＭＭＩＣ装置１００の
マイクロストリップ線路から導波管に変換する線路変換
機構を備えたので、ＲＦプローブヘッド２０のコプレー
ナ線路部分がなくなり、その分ミリ波帯の損失を低減し
て精度よく特性測定を行うことができる。
ーブヘッド２０のＭＭＩＣ装置１００との信号の授受を
行う部分２１に、伝送線路形式をＭＭＩＣ装置１００の
マイクロストリップ線路から導波管に変換する線路変換
機構を備えたので、ＲＦプローブヘッド２０のコプレー
ナ線路部分がなくなり、その分ミリ波帯の損失を低減し
て精度よく特性測定を行うことができる。
【００２８】なおこの実施例では、ＲＦプローブヘッド
２０の入出力部２１にマイクロストリップ線路から導波
管への線路変換機構を備えた場合について説明したが、
線路変換機構は、高周波信号の伝送線路形式をコプレー
ナ線路から導波管へ変換するものであってもよい。
２０の入出力部２１にマイクロストリップ線路から導波
管への線路変換機構を備えた場合について説明したが、
線路変換機構は、高周波信号の伝送線路形式をコプレー
ナ線路から導波管へ変換するものであってもよい。
【００２９】また図５は本発明の第３の実施例によるＭ
ＭＩＣ装置及びＲＦプローブヘッドを説明するための図
で、図５(a) はＭＭＩＣ装置の構成を示す平面図、図５
(b)はＲＦプローブヘッドの構造を示す斜視図であり、
図６は上記ＭＭＩＣ装置をオンウエハー測定している状
態を示す図である。
ＭＩＣ装置及びＲＦプローブヘッドを説明するための図
で、図５(a) はＭＭＩＣ装置の構成を示す平面図、図５
(b)はＲＦプローブヘッドの構造を示す斜視図であり、
図６は上記ＭＭＩＣ装置をオンウエハー測定している状
態を示す図である。
【００３０】図において、３０は本実施例のＭＭＩＣ装
置で、この装置３０では、上記第１実施例装置の入出力
部に配設された導波管部材２ｂに代えて、ＲＦ測定用の
信号入力部３２には、電波を受信して入力側信号線２ａ
に導入する入力側アンテナ３２ａが、また信号出力部３
３には出力側信号線３ａの信号を送信する出力側アンテ
ナ３３ａが設けられており、上記各アンテナは、その
入，出力側信号線２ａ，３ａの一端に接続され、これと
垂直方向に向けて形成された線路から構成されている。
その他の構成は上記第１実施例のＭＭＩＣ装置１と全く
同一である。
置で、この装置３０では、上記第１実施例装置の入出力
部に配設された導波管部材２ｂに代えて、ＲＦ測定用の
信号入力部３２には、電波を受信して入力側信号線２ａ
に導入する入力側アンテナ３２ａが、また信号出力部３
３には出力側信号線３ａの信号を送信する出力側アンテ
ナ３３ａが設けられており、上記各アンテナは、その
入，出力側信号線２ａ，３ａの一端に接続され、これと
垂直方向に向けて形成された線路から構成されている。
その他の構成は上記第１実施例のＭＭＩＣ装置１と全く
同一である。
【００３１】また３６は本実施例のＲＦプローブヘッド
で、このヘッド３６では、上記第１実施例のヘッド６の
素子側導波管７に代えて、上記ＭＭＩＣ装置３０の入出
力部のアンテナ３２ａ，３３ａとの送受信が可能なアン
テナ部３７を備えており、その他の点は上記第１実施例
のヘッド６と同一である。
で、このヘッド３６では、上記第１実施例のヘッド６の
素子側導波管７に代えて、上記ＭＭＩＣ装置３０の入出
力部のアンテナ３２ａ，３３ａとの送受信が可能なアン
テナ部３７を備えており、その他の点は上記第１実施例
のヘッド６と同一である。
【００３２】このような構成の本実施例では、オンウエ
ハーでの特性測定は以下のように行う。まずＲＦプロー
ブヘッド３６を、上記ＭＭＩＣ装置３０の入力部３２及
び出力部３３に、その入力及び出力側アンテナ３２ａ及
び３３ａとの送受信が可能となる程度に近接させて配置
し、この状態で測定装置（図示せず）から測定用信号を
入力側ＲＦプローブヘッド３６に供給すると、その信号
は導波管３８を通ってアンテナ部３７に伝わり、ここか
ら電波として空中を伝搬して上記ＭＭＩＣ装置３０の入
力部３２のアンテナ３２ａに受信され、さらに入力側信
号線２ａを通って素子部１ａに入力される。そしてここ
で増幅された出力信号は出力側信号線３ａを通って出力
部３３に伝搬し、ここから出力側アンテナ３３ａにより
空中に送信されて出力側ＲＦプローブヘッドのアンテナ
部（図示せず）に受信され、さらに該ＲＦプローブヘッ
ドの導波管（図示せず）を介して測定装置に入力され
る。このようにしてＭＭＩＣ装置３０のオンウエハ測定
が行われる。
ハーでの特性測定は以下のように行う。まずＲＦプロー
ブヘッド３６を、上記ＭＭＩＣ装置３０の入力部３２及
び出力部３３に、その入力及び出力側アンテナ３２ａ及
び３３ａとの送受信が可能となる程度に近接させて配置
し、この状態で測定装置（図示せず）から測定用信号を
入力側ＲＦプローブヘッド３６に供給すると、その信号
は導波管３８を通ってアンテナ部３７に伝わり、ここか
ら電波として空中を伝搬して上記ＭＭＩＣ装置３０の入
力部３２のアンテナ３２ａに受信され、さらに入力側信
号線２ａを通って素子部１ａに入力される。そしてここ
で増幅された出力信号は出力側信号線３ａを通って出力
部３３に伝搬し、ここから出力側アンテナ３３ａにより
空中に送信されて出力側ＲＦプローブヘッドのアンテナ
部（図示せず）に受信され、さらに該ＲＦプローブヘッ
ドの導波管（図示せず）を介して測定装置に入力され
る。このようにしてＭＭＩＣ装置３０のオンウエハ測定
が行われる。
【００３３】このような構成の本実施例では、ＭＭＩＣ
装置３０の特性測定用の入出力部３２，３３にアンテナ
３２ａ，３３ａを設けるとともに、ＲＦプローブヘッド
の信号入出力部にもアンテナ部３７を設け、ＭＭＩＣ装
置３０とヘッド３６との間で信号の授受をそれぞれのア
ンテナを介して行うようにしたので、上記第１実施例と
同様、ＭＭＩＣ装置及びＲＦプローブヘッドの入出力部
分には、ミリ波帯で損失の大きいコプレーナ線路が存在
しなくなり、これによりミリ波帯の損失を低減して精度
よく特性測定を行うことができる効果がある。
装置３０の特性測定用の入出力部３２，３３にアンテナ
３２ａ，３３ａを設けるとともに、ＲＦプローブヘッド
の信号入出力部にもアンテナ部３７を設け、ＭＭＩＣ装
置３０とヘッド３６との間で信号の授受をそれぞれのア
ンテナを介して行うようにしたので、上記第１実施例と
同様、ＭＭＩＣ装置及びＲＦプローブヘッドの入出力部
分には、ミリ波帯で損失の大きいコプレーナ線路が存在
しなくなり、これによりミリ波帯の損失を低減して精度
よく特性測定を行うことができる効果がある。
【００３４】また上記ＲＦプローブヘッド３６の、測定
装置側の入出力部を導波管３８としたので、測定装置と
の接続を容易かつ信号の減衰を招くことなく行うことが
できる効果もある。
装置側の入出力部を導波管３８としたので、測定装置と
の接続を容易かつ信号の減衰を招くことなく行うことが
できる効果もある。
【００３５】
【発明の効果】以上のように本発明に係るＭＭＩＣ装置
によれば、ＲＦプローブヘッドとの間で特性測定用信号
の受渡しを行うための入出力端子を、高周波信号の伝送
が可能な導波管構造あるいは高周波信号の送受信が可能
なアンテナ構造としたので、この入出力端子部分におけ
る高周波信号のミリ波帯での損失を低減して精度よく特
性測定を行うことができる効果がある。
によれば、ＲＦプローブヘッドとの間で特性測定用信号
の受渡しを行うための入出力端子を、高周波信号の伝送
が可能な導波管構造あるいは高周波信号の送受信が可能
なアンテナ構造としたので、この入出力端子部分におけ
る高周波信号のミリ波帯での損失を低減して精度よく特
性測定を行うことができる効果がある。
【００３６】またこの発明に係るＲＦプローブヘッドに
よれば、ＭＭＩＣ装置との間で特性測定用信号の受渡し
を行うための入出力部を、導波管構造あるいはアンテナ
構造としたので、この入出力部における高周波信号のミ
リ波帯での損失を低減して精度よく特性測定を行うこと
ができる効果がある。
よれば、ＭＭＩＣ装置との間で特性測定用信号の受渡し
を行うための入出力部を、導波管構造あるいはアンテナ
構造としたので、この入出力部における高周波信号のミ
リ波帯での損失を低減して精度よく特性測定を行うこと
ができる効果がある。
【００３７】また上記ＭＭＩＣ装置側との入出力部をア
ンテナ構造としたＲＦプローブヘッドにおいて、測定装
置側の入出力部を導波管構造としたので、測定装置との
接続を容易かつ信号の減衰を招くことなく行うことがで
きる効果もある。
ンテナ構造としたＲＦプローブヘッドにおいて、測定装
置側の入出力部を導波管構造としたので、測定装置との
接続を容易かつ信号の減衰を招くことなく行うことがで
きる効果もある。
【００３８】またこの発明に係るＲＦプローブヘッドに
よれば、信号の入出力部分がマイクロストリップ線路あ
るいはコプレーナ線路で構成されているＭＭＩＣ装置と
の間で特性測定用信号の受渡しを行うための入出力部
を、高周波信号の伝送線路形式をマイクロストリップ線
路あるいはコプレーナ線路から導波管へ変換する線路変
換機構を有する構造としたので、上記特性測定用信号が
ＭＭＩＣ装置の入，出力端子からヘッドへ授受された直
前，直後はこれが損失の少ない導波管構造の線路を伝送
することとなり、これにより上記測定用信号の損失が低
減されて、ＭＭＩＣ装置の精度の高い特性測定が可能と
なる効果がある。
よれば、信号の入出力部分がマイクロストリップ線路あ
るいはコプレーナ線路で構成されているＭＭＩＣ装置と
の間で特性測定用信号の受渡しを行うための入出力部
を、高周波信号の伝送線路形式をマイクロストリップ線
路あるいはコプレーナ線路から導波管へ変換する線路変
換機構を有する構造としたので、上記特性測定用信号が
ＭＭＩＣ装置の入，出力端子からヘッドへ授受された直
前，直後はこれが損失の少ない導波管構造の線路を伝送
することとなり、これにより上記測定用信号の損失が低
減されて、ＭＭＩＣ装置の精度の高い特性測定が可能と
なる効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例によるＭＭＩＣ装置及び
ＲＦプローブヘッドを示す図である。
ＲＦプローブヘッドを示す図である。
【図２】上記第１実施例のＭＭＩＣ装置及びＲＦプロー
ブヘッドの詳細な構造を示す図である。
ブヘッドの詳細な構造を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施例によるＲＦプローブヘッ
ド及びＭＭＩＣ装置の入出力部を示す斜視図である。
ド及びＭＭＩＣ装置の入出力部を示す斜視図である。
【図４】上記第２実施例のＲＦプローブヘッドの構造を
詳細に示す図である。
詳細に示す図である。
【図５】本発明の第３の実施例によるＭＭＩＣ装置及び
ＲＦプローブヘッドの構成を示す図である。
ＲＦプローブヘッドの構成を示す図である。
【図６】上記第３実施例のＭＭＩＣ装置の詳細な構造及
びその測定状態を示す図である。
びその測定状態を示す図である。
【図７】従来のＭＭＩＣ装置及びそのＲＦプローブヘッ
ドを示す図である。
ドを示す図である。
【図８】従来のＭＭＩＣ装置及びＲＦプローブヘッドの
詳細な構造を示す図である。
詳細な構造を示す図である。
１，３０，１００ ＭＭＩＣ装置 １ａ 増幅素子部 ２，３２，１０２ 信号入力部 ２ａ，１０２ａ 入力側信号線 ３，３３，１０３ 信号出力部 ３ａ，１０３ａ 出力側信号線 ４，１０４ 接地導体 ６，２０，３６ ＲＦプローブヘッド ７ 素子側導波管 ８ 測定装置側導波管 １１，１０１ 誘電体基板 １３ ネジ １４ マニピュレータ ３２ａ 入力側アンテナ ３３ａ 出力側アンテナ ３７ アンテナ部 ３８ 導波管部 １００ ＭＭＩＣ装置 １０１ａ バイアホール
Claims (6)
- 【請求項１】 ウエハー状態での特性測定がＲＦプロー
ブヘッドを用いて行われる、高周波信号を処理するＭＭ
ＩＣ装置において、 上記ＲＦプローブヘッドとの間で信号の受渡しを行うた
めの入出力端子は、 高周波信号の伝送が可能な導波管構造となっていること
を特徴とするＭＭＩＣ装置。 - 【請求項２】 ウエハー状態での特性測定がＲＦプロー
ブヘッドを用いて行われる、高周波信号を処理するＭＭ
ＩＣ装置において、 上記ＲＦプローブヘッドとの間で信号の受渡しを行うた
めの入出力端子は、 高周波信号の送受信が可能なアンテナ構造となっている
ことを特徴とするＭＭＩＣ装置。 - 【請求項３】 高周波信号を処理するＭＭＩＣ装置の特
性をウエハー状態で測定するためのＲＦプローブヘッド
において、 上記ＭＭＩＣ装置の入出力部分との間で信号の受渡しを
行うための信号入出力部は、 高周波信号の伝送が可能な導波管構造となっていること
を特徴とするＲＦプローブヘッド。 - 【請求項４】 高周波信号を処理するＭＭＩＣ装置の特
性をウエハー状態で測定するためのＲＦプローブヘッド
において、 上記ＭＭＩＣ装置の入出力部分との間で信号の受渡しを
行うための信号入出力部は、 高周波信号の送受信が可能なアンテナ構造となっている
ことを特徴とするＲＦプローブヘッド。 - 【請求項５】 請求項４記載のＲＦプローブヘッドにお
いて、 上記ＭＭＩＣ装置の特性測定を行う測定装置側との入出
力部は、 高周波信号の伝送が可能な導波管構造となっていること
を特徴とするＲＦプローブヘッド。 - 【請求項６】 高周波信号を処理する、信号の入出力部
分がマイクロストリップ線路あるいはコプレーナ線路で
構成されているＭＭＩＣ装置の特性をウエハー状態で測
定するためのＲＦプローブヘッドにおいて、 上記ＭＭＩＣ装置の入出力部分との間で信号の受渡しを
行うための信号入出力部は、 高周波信号の伝送線路の形式を上記マイクロストリップ
線路あるいはコプレーナ線路から導波管へ変換する線路
変換機構を備えていることを特徴とするＲＦプローブヘ
ッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4100711A JPH05273234A (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | Ｍｍｉｃ装置及びｒｆプローブヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4100711A JPH05273234A (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | Ｍｍｉｃ装置及びｒｆプローブヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05273234A true JPH05273234A (ja) | 1993-10-22 |
Family
ID=14281258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4100711A Pending JPH05273234A (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | Ｍｍｉｃ装置及びｒｆプローブヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05273234A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0886337A2 (de) * | 1997-06-17 | 1998-12-23 | Robert Bosch Gmbh | Anordnung zum Ankoppeln eines Rechteckhohlleiters an ein Speisenetzwerk einer planaren Antenne |
| JP2003533882A (ja) * | 2000-05-15 | 2003-11-11 | ザ・ガバナーズ・オブ・ザ・ユニバーシティ・オブ・アルバータ | 集積回路およびウェーハを試験する無線周波数技術構造および方法 |
| WO2006067046A1 (fr) | 2004-12-20 | 2006-06-29 | United Monolithic Semiconductors Sas | Composant electronique miniature pour applications hyperfrequences |
| JP2010011029A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Kyocera Corp | 高周波回路と導波管部との接続構造 |
| WO2011111605A1 (ja) * | 2010-03-09 | 2011-09-15 | 日立化成工業株式会社 | 電磁結合構造、多層伝送線路板、電磁結合構造の製造方法、及び多層伝送線路板の製造方法 |
| WO2018060476A1 (en) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | Ims Connector Systems Gmbh | Antenna element |
| WO2019038236A1 (de) * | 2017-08-24 | 2019-02-28 | Astyx Gmbh | Übergang von einer streifenleitung auf einen hohlleiter |
-
1992
- 1992-03-25 JP JP4100711A patent/JPH05273234A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0886337A3 (de) * | 1997-06-17 | 1999-11-10 | Robert Bosch Gmbh | Anordnung zum Ankoppeln eines Rechteckhohlleiters an ein Speisenetzwerk einer planaren Antenne |
| EP0886337A2 (de) * | 1997-06-17 | 1998-12-23 | Robert Bosch Gmbh | Anordnung zum Ankoppeln eines Rechteckhohlleiters an ein Speisenetzwerk einer planaren Antenne |
| JP4869535B2 (ja) * | 2000-05-15 | 2012-02-08 | スキャニメトリクス インコーポレーティッド | 集積回路およびウェーハを試験する無線周波数技術構造および方法 |
| JP2003533882A (ja) * | 2000-05-15 | 2003-11-11 | ザ・ガバナーズ・オブ・ザ・ユニバーシティ・オブ・アルバータ | 集積回路およびウェーハを試験する無線周波数技術構造および方法 |
| WO2006067046A1 (fr) | 2004-12-20 | 2006-06-29 | United Monolithic Semiconductors Sas | Composant electronique miniature pour applications hyperfrequences |
| EP1825558B1 (fr) * | 2004-12-20 | 2016-06-29 | United Monolithic Semiconductor S.A.S. | Composant electronique miniature pour applications hyperfrequences |
| JP2010011029A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Kyocera Corp | 高周波回路と導波管部との接続構造 |
| JP2011211170A (ja) * | 2010-03-09 | 2011-10-20 | Hitachi Chem Co Ltd | 電磁結合構造、多層伝送線路板、電磁結合構造の製造方法、及び多層伝送線路板の製造方法 |
| WO2011111605A1 (ja) * | 2010-03-09 | 2011-09-15 | 日立化成工業株式会社 | 電磁結合構造、多層伝送線路板、電磁結合構造の製造方法、及び多層伝送線路板の製造方法 |
| WO2018060476A1 (en) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | Ims Connector Systems Gmbh | Antenna element |
| US10971824B2 (en) | 2016-09-30 | 2021-04-06 | Ims Connector Systems Gmbh | Antenna element |
| WO2019038236A1 (de) * | 2017-08-24 | 2019-02-28 | Astyx Gmbh | Übergang von einer streifenleitung auf einen hohlleiter |
| JP2020532190A (ja) * | 2017-08-24 | 2020-11-05 | アスティックス ゲーエムベーハー | ストリップラインから導波管への移行部 |
| US11552379B2 (en) | 2017-08-24 | 2023-01-10 | Cruise Munich Gmbh | Transition from a stripline to a waveguide |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109792102B (zh) | 包括形成无接触接口的至少一个过渡的封装结构 | |
| JPH0634715A (ja) | 高周波帯プローブヘッド | |
| JPH05273234A (ja) | Ｍｍｉｃ装置及びｒｆプローブヘッド | |
| JPH1041714A (ja) | 誘電体線路 | |
| JPH09246816A (ja) | 導波管−マイクロストリップ線路変換器 | |
| JP3356736B2 (ja) | 高周波プローブ | |
| US4728904A (en) | Extra high frequency (EHF) circuit module | |
| JPS61238130A (ja) | パラボラアンテナ用周波数変換器 | |
| JPH06164214A (ja) | マイクロ波回路 | |
| JPS62123813A (ja) | マイクロ波増幅装置 | |
| JPH1174708A (ja) | マイクロストリップ線路／同軸変換器 | |
| CA1263457A (en) | Arrangement for coupling hollow waveguides to a semiconductor component | |
| JP4193844B2 (ja) | 高周波増幅器及び高周波無線通信装置 | |
| JPS6143001A (ja) | マイクロ波受信装置 | |
| JPH0623047Y2 (ja) | マイクロ波回路 | |
| JPH06125210A (ja) | 結合器 | |
| JP3282267B2 (ja) | 導波管入出力パッケージ構造 | |
| JP3042063B2 (ja) | マイクロ波回路 | |
| KR970007045B1 (ko) | 저잡음 주파수 변환장치 | |
| JP2007243420A (ja) | 高周波回路 | |
| JPH04155261A (ja) | 超高周波プローブ針 | |
| JPH11183564A (ja) | テスト・フィクスチャ及びこれを用いる半導体試験装置 | |
| JP2607001Y2 (ja) | 可搬形マイクロ波中継用送信装置および受信装置 | |
| JP2646639B2 (ja) | 導波管型電力分岐合成回路 | |
| JPH0262064A (ja) | セラミックパッケージ |