JPH05272952A - X線テレビジョン透視装置 - Google Patents
X線テレビジョン透視装置Info
- Publication number
- JPH05272952A JPH05272952A JP4101938A JP10193892A JPH05272952A JP H05272952 A JPH05272952 A JP H05272952A JP 4101938 A JP4101938 A JP 4101938A JP 10193892 A JP10193892 A JP 10193892A JP H05272952 A JPH05272952 A JP H05272952A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- ray
- inspection
- fluoroscopic
- personal computer
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- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 画面に映し出された映像に基いて検査を行な
うような場合に、ミスのない、確実な検査を行なうこと
ができるようにする。 【構成】 X線透視像の上に、検査箇所を指示するポイ
ンタ30、或いは検査箇所以外を覆うマスクを重畳表示
する。
うような場合に、ミスのない、確実な検査を行なうこと
ができるようにする。 【構成】 X線透視像の上に、検査箇所を指示するポイ
ンタ30、或いは検査箇所以外を覆うマスクを重畳表示
する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、工業製品等の内部を検
査する際に使用されるX線テレビジョン透視装置に関す
る。
査する際に使用されるX線テレビジョン透視装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】アルミダイキャスト内部の巣等の欠陥や
ICパッケージ内のワイヤボンディング不良等の非破壊
検査には、X線テレビジョン透視装置が有用である。X
線テレビジョン透視装置は製造工程のライン内に置かれ
て全数検査される場合もあり、オフラインによる抜き取
り検査の為に使用される場合もあるが、いずれにせよ、
検査対象は常に同一であるか、或いは種類が限られてい
る。そのため、X線テレビジョン透視装置では、被検物
の一定の部位のX線透視像をテレビカメラでモニタ画面
上に映し出し、検査者はこの画面を見ながら所定の検査
基準に従って、画面内に現われている1個或いは複数の
検査箇所の良否を判断するという検査方法をとってい
た。
ICパッケージ内のワイヤボンディング不良等の非破壊
検査には、X線テレビジョン透視装置が有用である。X
線テレビジョン透視装置は製造工程のライン内に置かれ
て全数検査される場合もあり、オフラインによる抜き取
り検査の為に使用される場合もあるが、いずれにせよ、
検査対象は常に同一であるか、或いは種類が限られてい
る。そのため、X線テレビジョン透視装置では、被検物
の一定の部位のX線透視像をテレビカメラでモニタ画面
上に映し出し、検査者はこの画面を見ながら所定の検査
基準に従って、画面内に現われている1個或いは複数の
検査箇所の良否を判断するという検査方法をとってい
た。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の検査方法で
は、所定の検査基準のマニュアルがあったとしても、実
際に検査を行なう段階では検査者の記憶によって各箇所
の検査を行なうことになるため、画面内に多数の検査箇
所が存在する場合、検査箇所の見落しが生じ得る。ま
た、接触の有無等の単純な判断ではなく、巣の大きさの
許容範囲が検査部位毎に異なるといったような複雑な判
断を行なわねばならない検査の場合には、判断ミスも生
じ得る。
は、所定の検査基準のマニュアルがあったとしても、実
際に検査を行なう段階では検査者の記憶によって各箇所
の検査を行なうことになるため、画面内に多数の検査箇
所が存在する場合、検査箇所の見落しが生じ得る。ま
た、接触の有無等の単純な判断ではなく、巣の大きさの
許容範囲が検査部位毎に異なるといったような複雑な判
断を行なわねばならない検査の場合には、判断ミスも生
じ得る。
【0004】本発明はこのような課題を解決するために
成されたものであり、その目的とするところは、画面に
映し出された映像に基いて検査を行なうような場合に、
ミスのない、確実な検査を行なうことができるX線テレ
ビジョン透視装置を提供することにある。
成されたものであり、その目的とするところは、画面に
映し出された映像に基いて検査を行なうような場合に、
ミスのない、確実な検査を行なうことができるX線テレ
ビジョン透視装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明では、透視対象物のX線透視像をモニ
タ装置の画面上に表示するX線テレビジョン透視装置に
おいて、 a)対象物を透過したX線の像を撮影し、透視X線像の
映像信号を出力するテレビジョンカメラと、 b)画面内の予め定められた部分に上記透視X線像に対
応する表示を含む画像の信号を出力する第2画像出力手
段と、 c)テレビジョンカメラの出力する透視X線像の上に第
2画像出力手段の出力する画像を重畳した画像の映像信
号をモニタ装置に出力する画像重畳手段と、 を備えることを特徴としている。
に成された本発明では、透視対象物のX線透視像をモニ
タ装置の画面上に表示するX線テレビジョン透視装置に
おいて、 a)対象物を透過したX線の像を撮影し、透視X線像の
映像信号を出力するテレビジョンカメラと、 b)画面内の予め定められた部分に上記透視X線像に対
応する表示を含む画像の信号を出力する第2画像出力手
段と、 c)テレビジョンカメラの出力する透視X線像の上に第
2画像出力手段の出力する画像を重畳した画像の映像信
号をモニタ装置に出力する画像重畳手段と、 を備えることを特徴としている。
【0006】
【作用】透視対象物の透視箇所が予め定まっている場
合、テレビジョンカメラにより撮影される透視X線像の
中では、透視対象物の各部分の位置は一定となってい
る。そのため第2画像出力手段は、その各部分の位置に
関する所与の情報を基に、所定の部分に透視X線像に対
応する表示を有する画像(第2画像)を作成する。この
第2画像は、例えば透視対象物の所定の部分を指示する
ポインタ、所定箇所以外の部分を覆うマスク、透視X線
像に関連するメッセージ、等とすることができる。画像
重畳手段は、テレビジョンカメラ及び第2画像出力手段
からの信号を基にX線透視像の上に第2画像を重畳した
画像を作成し、その映像信号をモニタ装置に出力する。
これによりモニタ画面上では、透視X線像の上に、それ
に関連した情報が、関連した部分に適切に表示されるた
め、透視X線像がより理解しやすくなる。
合、テレビジョンカメラにより撮影される透視X線像の
中では、透視対象物の各部分の位置は一定となってい
る。そのため第2画像出力手段は、その各部分の位置に
関する所与の情報を基に、所定の部分に透視X線像に対
応する表示を有する画像(第2画像)を作成する。この
第2画像は、例えば透視対象物の所定の部分を指示する
ポインタ、所定箇所以外の部分を覆うマスク、透視X線
像に関連するメッセージ、等とすることができる。画像
重畳手段は、テレビジョンカメラ及び第2画像出力手段
からの信号を基にX線透視像の上に第2画像を重畳した
画像を作成し、その映像信号をモニタ装置に出力する。
これによりモニタ画面上では、透視X線像の上に、それ
に関連した情報が、関連した部分に適切に表示されるた
め、透視X線像がより理解しやすくなる。
【0007】
【実施例】本発明を実施したX線透視検査システムの全
体の構成を図4に示す。本実施例は、外形上は通常のX
線テレビジョン透視装置にパーソナルコンピュータ(パ
ソコン)を接続したものとなっているが、後述するよう
に、パソコンの内部にはスーパーインポーズボードが組
み込まれている。まず、通常のX線テレビジョン透視装
置の構成及び作用を簡単に説明する。X線管10から発
射されたX線は被検物11を透過した後、イメージ管1
2の投影面に被検物11の透視像を投影する。この透視
像はテレビカメラ13により撮影され、その映像信号が
X線テレビジョン透視装置のコンソール部14にある画
像強調装置15に送られる。画像強調装置15では、透
視画像にノイズ除去処理、輪郭強調処理等の画像処理を
施した後、映像信号をモニタ(CRT)16に送る。こ
れにより、被検物11の透視像がモニタ16の画面上に
表示される。
体の構成を図4に示す。本実施例は、外形上は通常のX
線テレビジョン透視装置にパーソナルコンピュータ(パ
ソコン)を接続したものとなっているが、後述するよう
に、パソコンの内部にはスーパーインポーズボードが組
み込まれている。まず、通常のX線テレビジョン透視装
置の構成及び作用を簡単に説明する。X線管10から発
射されたX線は被検物11を透過した後、イメージ管1
2の投影面に被検物11の透視像を投影する。この透視
像はテレビカメラ13により撮影され、その映像信号が
X線テレビジョン透視装置のコンソール部14にある画
像強調装置15に送られる。画像強調装置15では、透
視画像にノイズ除去処理、輪郭強調処理等の画像処理を
施した後、映像信号をモニタ(CRT)16に送る。こ
れにより、被検物11の透視像がモニタ16の画面上に
表示される。
【0008】コンソール部14にはX線操作部17が備
えられており、検査者はこのX線操作部17により被検
物11の種類に応じて最適なX線条件を設定し、X線装
置部18の制御部19を介してX線管10の管電圧、管
電流等を制御する。また、コンソール部14にはマニピ
ュレータ操作部20も備えられており、検査者はこのマ
ニピュレータ操作部20を用いて被検物11を載置した
ステージ21を上下、左右、前後、回転、揺動の各自由
度で移動させることにより、被検物11の任意の箇所の
透視像を任意の大きさでモニタ16の画面上に映し出す
ことができるようになっている。以上が通常のX線テレ
ビジョン透視装置の部分の構成及び作用である。
えられており、検査者はこのX線操作部17により被検
物11の種類に応じて最適なX線条件を設定し、X線装
置部18の制御部19を介してX線管10の管電圧、管
電流等を制御する。また、コンソール部14にはマニピ
ュレータ操作部20も備えられており、検査者はこのマ
ニピュレータ操作部20を用いて被検物11を載置した
ステージ21を上下、左右、前後、回転、揺動の各自由
度で移動させることにより、被検物11の任意の箇所の
透視像を任意の大きさでモニタ16の画面上に映し出す
ことができるようになっている。以上が通常のX線テレ
ビジョン透視装置の部分の構成及び作用である。
【0009】本実施例はこのX線テレビジョン装置に、
第2画像出力手段としてパソコン25を、映像重畳手段
としてパソコン25の周辺機器の一つであるスーパーイ
ンポーズボード26を付加して、X線透視検査システム
を構成したものである。本X線透視検査システムの主要
部の構成を図1に示す。本実施例では、スーパーインポ
ーズボード26はパソコン25の拡張スロットに差し込
むことによりパソコン25と接続され、パソコン25の
制御下に入るとともに、パソコン25からスーパーイン
ポーズ用画像信号を受ける。スーパーインポーズボード
26のビデオ信号入力端子にはコンソール部14の画像
強調装置15の出力端子を、また、重畳映像信号出力端
子にはモニタ16を接続する。なお、画像強調装置15
を通さずに、テレビカメラ13からの映像信号を直接ス
ーパーインポーズボード26に接続してもよい。パソコ
ン25とコンソール部14のマニピュレータ操作部20
とはシリアル又はパラレルの信号線で接続する。
第2画像出力手段としてパソコン25を、映像重畳手段
としてパソコン25の周辺機器の一つであるスーパーイ
ンポーズボード26を付加して、X線透視検査システム
を構成したものである。本X線透視検査システムの主要
部の構成を図1に示す。本実施例では、スーパーインポ
ーズボード26はパソコン25の拡張スロットに差し込
むことによりパソコン25と接続され、パソコン25の
制御下に入るとともに、パソコン25からスーパーイン
ポーズ用画像信号を受ける。スーパーインポーズボード
26のビデオ信号入力端子にはコンソール部14の画像
強調装置15の出力端子を、また、重畳映像信号出力端
子にはモニタ16を接続する。なお、画像強調装置15
を通さずに、テレビカメラ13からの映像信号を直接ス
ーパーインポーズボード26に接続してもよい。パソコ
ン25とコンソール部14のマニピュレータ操作部20
とはシリアル又はパラレルの信号線で接続する。
【0010】パソコン25の(内部又は外部)記憶装置
(図示せず)には、被検物11の種類毎のリスト、及
び、各被検物11の検査部位に関するデータが記憶され
ている。その他に、後述するように、検査の際に検査者
に対して知らせる必要のあるメッセージデータ等を記憶
させておくこともできる。
(図示せず)には、被検物11の種類毎のリスト、及
び、各被検物11の検査部位に関するデータが記憶され
ている。その他に、後述するように、検査の際に検査者
に対して知らせる必要のあるメッセージデータ等を記憶
させておくこともできる。
【0011】このような構成を有する本実施例のX線透
視検査装置により、例えばICパッケージの検査を行な
う場合の手順及びパソコン25が行なう処理を図3のフ
ローチャートにより説明する。検査を始める前に、検査
者はまず、パソコン25のキーボードから被検物11の
種類を特定する番号を入力する(ステップS1)。この
番号の入力はマニピュレータ操作部20に備えられてい
るキーボードで行なってパソコン側に転送するようにし
てもよい。
視検査装置により、例えばICパッケージの検査を行な
う場合の手順及びパソコン25が行なう処理を図3のフ
ローチャートにより説明する。検査を始める前に、検査
者はまず、パソコン25のキーボードから被検物11の
種類を特定する番号を入力する(ステップS1)。この
番号の入力はマニピュレータ操作部20に備えられてい
るキーボードで行なってパソコン側に転送するようにし
てもよい。
【0012】被検物の種類の番号を受けたパソコン25
のCPUは、内部又は外部記憶装置から、その被検物の
検査箇所に関するデータを読み出す(ステップS2)。
以上で、この種類の被検物に関する透視X線検査の準備
が整う。その後、検査者が1個の被検物11をX線装置
部18の所定のステージに置き、X線装置部18の扉を
閉めた後、検査開始ボタンを押す(ステップS3)。こ
の検査開始信号を受けたとき、パソコン25のCPUは
ステップS2で読み出した検査部位のデータに基づき、
マニピュレータ操作部20に対して位置信号を送出し
て、被検物11を所定の位置に置くようにする。これに
より、イメージ管12の投影面には被検物11の所定の
部位のX線透視像が所定の大きさで投影され、その映像
が前記接続によりテレビカメラ13及び画像強調装置1
5を通してスーパーインポーズボード26に入力され
る。
のCPUは、内部又は外部記憶装置から、その被検物の
検査箇所に関するデータを読み出す(ステップS2)。
以上で、この種類の被検物に関する透視X線検査の準備
が整う。その後、検査者が1個の被検物11をX線装置
部18の所定のステージに置き、X線装置部18の扉を
閉めた後、検査開始ボタンを押す(ステップS3)。こ
の検査開始信号を受けたとき、パソコン25のCPUは
ステップS2で読み出した検査部位のデータに基づき、
マニピュレータ操作部20に対して位置信号を送出し
て、被検物11を所定の位置に置くようにする。これに
より、イメージ管12の投影面には被検物11の所定の
部位のX線透視像が所定の大きさで投影され、その映像
が前記接続によりテレビカメラ13及び画像強調装置1
5を通してスーパーインポーズボード26に入力され
る。
【0013】一方、パソコン25のCPUはその検査部
位における検査箇所のデータを内部又は外部記憶装置か
ら読み出し、その検査箇所に対応する位置にマークを表
示させた画像(第2画像)を内部で作成し、グラフィッ
クメモリに記憶させる。このグラフィックメモリ内の第
2画像のデータはスーパーインポーズボード26に出力
される。スーパーインポーズボード26は、パソコン2
5からの第2画像の画像データを画像強調装置15から
のX線透視像の映像信号(NTSC信号)の中に埋め込
み、X線透視像の上に第2画像を重畳した画像の映像信
号(NTSC信号)を作成する。この映像信号はモニタ
16に送られ、その画面上に重畳画像が表示される。
位における検査箇所のデータを内部又は外部記憶装置か
ら読み出し、その検査箇所に対応する位置にマークを表
示させた画像(第2画像)を内部で作成し、グラフィッ
クメモリに記憶させる。このグラフィックメモリ内の第
2画像のデータはスーパーインポーズボード26に出力
される。スーパーインポーズボード26は、パソコン2
5からの第2画像の画像データを画像強調装置15から
のX線透視像の映像信号(NTSC信号)の中に埋め込
み、X線透視像の上に第2画像を重畳した画像の映像信
号(NTSC信号)を作成する。この映像信号はモニタ
16に送られ、その画面上に重畳画像が表示される。
【0014】例えばICパッケージ内のリード線の接続
状態を検査する場合、検査すべきリード線接続箇所に対
応する第2画像に、検査箇所を指示するためのポインタ
を表示する。この第2画像がスーパーインポーズボード
26によりX線透視像の上に重畳表示されると、図2
(a)に示すように、所定の検査すべき箇所がモニタ1
6画面上でポインタ30により明瞭に指示されるように
なる(ステップS4)。これにより、不慣れな検査者で
あっても、検査すべき箇所を見逃すことなく、確実に検
査を行なうことができるようになる。
状態を検査する場合、検査すべきリード線接続箇所に対
応する第2画像に、検査箇所を指示するためのポインタ
を表示する。この第2画像がスーパーインポーズボード
26によりX線透視像の上に重畳表示されると、図2
(a)に示すように、所定の検査すべき箇所がモニタ1
6画面上でポインタ30により明瞭に指示されるように
なる(ステップS4)。これにより、不慣れな検査者で
あっても、検査すべき箇所を見逃すことなく、確実に検
査を行なうことができるようになる。
【0015】ポインタ30により指示された箇所をチェ
ックし、その箇所が良好、或いは不良、のいずれである
かを判断すると、検査者はコンソール部14のマニピュ
レータ操作部20或いはパソコン25のキーボードの
「良」又は「不良」ボタンを押す(ステップS5)。こ
の判定信号は後の統計的品質管理の基礎データとするた
めに、パソコン25の記憶装置に記憶される(ステップ
S6)。このようにして1箇所の検査が終了すると、パ
ソコン25はその被検物11の全ての検査箇所の検査が
終了したか否かを判断し(ステップS7)、未だ終了し
ていない場合にはポインタ30を次の検査箇所に移動さ
せ(図2(b))、ステップS4に戻って上記処理を繰
り返す。なおここで必要があれば、ステージ21を移動
させてその検査箇所が画面内に入るようにし、ポインタ
を表示すべき位置の座標もそれに応じて変換する。
ックし、その箇所が良好、或いは不良、のいずれである
かを判断すると、検査者はコンソール部14のマニピュ
レータ操作部20或いはパソコン25のキーボードの
「良」又は「不良」ボタンを押す(ステップS5)。こ
の判定信号は後の統計的品質管理の基礎データとするた
めに、パソコン25の記憶装置に記憶される(ステップ
S6)。このようにして1箇所の検査が終了すると、パ
ソコン25はその被検物11の全ての検査箇所の検査が
終了したか否かを判断し(ステップS7)、未だ終了し
ていない場合にはポインタ30を次の検査箇所に移動さ
せ(図2(b))、ステップS4に戻って上記処理を繰
り返す。なおここで必要があれば、ステージ21を移動
させてその検査箇所が画面内に入るようにし、ポインタ
を表示すべき位置の座標もそれに応じて変換する。
【0016】ステップS7でその被検物11の全ての検
査箇所の検査が終了している場合にはステップS8に進
み、この種類の被検物の検査すべきものはすべて検査し
終わったか否かを判断する(ステップS8)。未だ検査
すべき被検物11が残っている場合にはステップS3に
戻って検査者が被検物11をX線装置部18のステージ
21上にセッティングするのを待つ。以上が本システム
による検査の手順である。
査箇所の検査が終了している場合にはステップS8に進
み、この種類の被検物の検査すべきものはすべて検査し
終わったか否かを判断する(ステップS8)。未だ検査
すべき被検物11が残っている場合にはステップS3に
戻って検査者が被検物11をX線装置部18のステージ
21上にセッティングするのを待つ。以上が本システム
による検査の手順である。
【0017】なお、検査箇所が一定である場合にはパソ
コン25がマニピュレータ操作部20を制御する必要は
なく、パソコン側でも常に一定の画面を第2画面として
スーパーインポーズボード26に出力すればよい。ま
た、スーパーインポーズボード26に出力する第2画像
としては、図2(c)に示すように、検査箇所31以外
の部分をマスクするようなものとしてもよい。これによ
り、検査者は検査箇所のチェックに、より集中すること
ができるようになり、検査効率が向上する。さらに図2
(d)に示すように、第2画面に検査時に必要なメッセ
ージ32(例えば、その検査箇所における更に詳しい検
査項目や注意事項等)を表示するようにしてもよい。
コン25がマニピュレータ操作部20を制御する必要は
なく、パソコン側でも常に一定の画面を第2画面として
スーパーインポーズボード26に出力すればよい。ま
た、スーパーインポーズボード26に出力する第2画像
としては、図2(c)に示すように、検査箇所31以外
の部分をマスクするようなものとしてもよい。これによ
り、検査者は検査箇所のチェックに、より集中すること
ができるようになり、検査効率が向上する。さらに図2
(d)に示すように、第2画面に検査時に必要なメッセ
ージ32(例えば、その検査箇所における更に詳しい検
査項目や注意事項等)を表示するようにしてもよい。
【0018】
【発明の効果】本発明に係るX線テレビジョン透視装置
では、第2画像出力手段の作成する画像(第2画像)を
種々に変更することにより、透視X線像の所定の箇所を
ポインタにより指示したり、必要な箇所以外の部分をマ
スクしたり、参考となるメッセージを表示したりと、様
々な方法で使用することができるようになる。このた
め、例えば工業製品の検査システムに使用した場合に
は、非熟練者であっても、ミスのない、確実な検査が迅
速に行なえるようになる。
では、第2画像出力手段の作成する画像(第2画像)を
種々に変更することにより、透視X線像の所定の箇所を
ポインタにより指示したり、必要な箇所以外の部分をマ
スクしたり、参考となるメッセージを表示したりと、様
々な方法で使用することができるようになる。このた
め、例えば工業製品の検査システムに使用した場合に
は、非熟練者であっても、ミスのない、確実な検査が迅
速に行なえるようになる。
【図1】 本発明の一実施例であるX線透視検査システ
ムの制御部分の構成図。
ムの制御部分の構成図。
【図2】 モニタ画面への表示の例を示す正面図。
【図3】 実施例のX線透視検査システムによる検査の
手順を示すフローチャート。
手順を示すフローチャート。
【図4】 実施例のX線透視検査システムのシステム構
成図。
成図。
10…X線管 11…被検物 13…テレビカメラ 15…画像強調
装置 16…モニタ 25…パソコン 26…スーパーインポーズボード
装置 16…モニタ 25…パソコン 26…スーパーインポーズボード
Claims (1)
- 【請求項1】 透視対象物のX線透視像をモニタ装置の
画面上に表示するX線テレビジョン透視装置において、 a)対象物を透過したX線の像を撮影し、透視X線像の
映像信号を出力するテレビジョンカメラと、 b)画面内の予め定められた部分に上記透視X線像に対
応する表示を含む画像の信号を出力する第2画像出力手
段と、 c)テレビジョンカメラの出力する透視X線像の上に第
2画像出力手段の出力する画像を重畳した画像の映像信
号をモニタ装置に出力する画像重畳手段と、 を備えることを特徴とするX線テレビジョン透視装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4101938A JP2660310B2 (ja) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | X線テレビジョン透視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4101938A JP2660310B2 (ja) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | X線テレビジョン透視装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05272952A true JPH05272952A (ja) | 1993-10-22 |
JP2660310B2 JP2660310B2 (ja) | 1997-10-08 |
Family
ID=14313851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4101938A Expired - Lifetime JP2660310B2 (ja) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | X線テレビジョン透視装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2660310B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2008032754A (ja) * | 2007-10-25 | 2008-02-14 | Toshiba It & Control Systems Corp | X線透視検査装置 |
Citations (8)
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