JP4742902B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
このようなX線検査装置は、X線源とX線検出器との間で被測定物を載置するステージを備える。そして、ステージの回転移動や並進移動等で被測定物の位置を調整しながら、透視X線像を撮影している。
また、本発明のX線検査装置においては、前記被測定物の可視光像を撮影する光学カメラを備え、前記マスター画像は、前記光学カメラにより撮影された可視光像に基づいて作成されるようにしてもよい。
このような本発明のX線検査装置によれば、検査する実際の被測定物の外観形状の全体の一度の撮影により、マスター画像を作成することができる。
このような本発明のX線検査装置によれば、検査する実際の被測定物の外観形状の全体を部分に分けて何度か撮影するとともに、撮影した位置を記憶することにより、光学カメラ等の撮影装置を備えなくても、X線画像を縮小して張り合わせることで、マスター画像を作成することができる。
ここで、「所定の位置」とは、任意の位置のことをいい、一方、「所定の領域」とは、透視X線像として撮影される被測定物の一部分のことをいう。
このような本発明のX線検査装置によれば、可視光画像に現在位置情報の画像表示が行われるので、透視X線像を撮影している被測定物の現在の位置を容易に把握することができる。
このような本発明のX線検査装置によれば、第三状態のときには、被測定物の特定の位置のX線画像が順番に画像表示されるので、可視光画像の測定点情報の画像表示を参考にしながら、現在の検査の位置の前の検査の位置や次の検査の位置等が被測定物のどこであるかを容易に把握することができる。
このような本発明のX線検査装置によれば、X線画像の所定の位置をポインタで指定することにより、X線画像の所定の位置がX線画像の中心となるように、被測定物の所定の位置のX線画像が画像表示されるので、被測定物の所定の位置のX線画像をより観察することができる。
また、上記課題を解決するためになされた本発明のX線検査装置は、被測定物を載置するステージと、前記被測定物の所定の領域の透視X線像を撮影するX線検出器と当該X線検出器に向けて透視用X線を照射するX線源とを有するX線測定光学系と、前記ステージを駆動信号に基づいて移動させるステージ駆動機構と、前記ステージを移動させる駆動信号を出力するとともに、前記ステージの位置を記憶する制御を実行する駆動信号発生手段と、入力操作される入力装置と、前記透視X線像に基づいて作成されたX線画像と複数の透視X線像に基づいて作成されたマスター画像と前記入力装置によって操作されるポインタとの画像表示が行われる表示装置とを備えるX線検査装置であって、前記被測定物の測定点を位置決めするための第一状態と、前記測定点とは異なる前記被測定物の任意の位置を検査するための第二状態と、前記被測定物の測定点を検査するための第三状態とを切り替える状態切替手段と、前記第一状態のときには、前記マスター画像の特定の位置が前記ポインタで指定されることにより前記マスター画像の特定の位置に対応する前記被測定物の特定の位置が測定点となり、前記マスター画像の特定の位置に順番を示す内容を含む測定点情報の画像表示を行うティーチング情報記憶制御手段とを備え、前記第三状態のときには、前記ティーチング情報記憶制御手段は、前記測定点情報が画像表示されたマスター画像の特定の位置に対応する前記被測定物の測定点を含む所定の領域の透視X線像が順番に撮影される制御を実行し、前記第三状態の実行中に前記第二状態に切り替えられたときには、前記マスター画像の任意の位置が前記ポインタで指定されることにより、前記駆動信号発生手段は、前記マスター画像の任意の位置に対応する前記被測定物の任意の位置を含む所定の領域の透視X線像が撮影されるように制御を実行するようにしている。
よって、IIが透視用X線を検出することにより蛍光像を形成することになる。さらに、この蛍光像をCCDカメラで撮影することによって、透視用X線の映像信号がコンピュータ20に出力される。
なお、下部板状体14bは、ステージ駆動機構16により、ステージ14面に平行な方向(XY方向)に移動したり、ステージ14面に垂直な方向(Z方向)に昇降移動したりするように、並進移動可能に設けられている。さらに、上部板状体14aは、ステージ駆動機構16により、回転移動可能に設けられている。
よって、ステージ14の位置を移動させることにより、被測定物Sの位置を移動させることになる。
また、CPU21が処理する機能をブロック化して説明すると、X線画像作成手段31と、ポインタ表示制御手段32と、光学カメラ画像作成手段33と、光学カメラ画像表示制御手段34と、ティーチング情報記憶制御手段35と、駆動信号発生手段36と、現在位置情報表示手段37と、状態切替手段38と、割込信号発生手段39とを有する。また、メモリ25は、X線画像記憶領域51と、光学カメラ画像記憶領域43と、文字情報記憶領域52とを有する。
なお、測定点情報24dの画像表示には、検査内容、合否基準等を示す内容が含まれていてもよい。
まず、ステップS101の処理において、第一状態を選択する。次に、ステップS102の処理において、基準の位置(0,0,0,0)にあるステージ14に、基準測定物Ssを載置する。
次に、ステップS103の処理において、光学カメラ18で基準測定物Ssの全体の可視光像が撮影されることにより、可視光画像24bのデータが光学カメラ画像記憶領域43に記憶されるとともに、モニタ画面23aに可視光画像24bの画像表示が行われる。
まず、ステップS201の処理において、第三状態を選択する。次に、ステップS202の処理において、s=0と記憶される。つまり、1個目の被測定物Snを検査することになる。次に、ステップS203の処理において、基準の位置(0,0,0,0)にあるステージ14に、被測定物Snを載置する。このとき、被測定物Snは、基準測定物Ssと対応するように、例えば、産業用ロボット等の搬送手段により同一の位置に配置される。
次に、ステップS205の処理において、文字情報記憶領域52に記憶されているNmax個の測定点情報24dのデータに基づいて、可視光画像24bの特定の位置にNmax個の測定点情報24dの画像表示が行われる。これにより、現在検査を行っている被測定物Snの外観形状の全体を示す可視光画像24bの特定の位置にNmax個の測定点情報24dの画像表示が行われるので、被測定物SnについてNmax個の検査の位置の情報を容易に把握することができる。なお、測定点情報24dの画像表示が行われた可視光画像24bの画像表示は、被測定物Snが除かれるまで、このままの画像表示で行われる。
まず、ステップS301の処理において、第二状態を選択する。次に、ステップS302の処理において、可視光画像24bの所定の位置をポインタ24eで指定する。このとき、可視光画像24bの測定点情報24dの画像表示を参考にしながら、可視光画像24bの適切な所定の位置をポインタ24eで指定することにより、容易に被測定物Sの適切な所定の位置のX線画像24aを観察することができるようになる。
(1)図6は、画像表示された表示装置のモニタ画面の他の一例を示す図である。モニタ画面73aには、X線画像74aとポインタ74eと可視光画像74bとの画像表示が行われている。さらに、可視光画像74b上には、現在位置情報74cと、測定点情報74dとの画像表示が行われている。つまり、上述したX線検査装置1では、測定点を示す測定点情報24dの画像表示を行う例を示したが、このような座標を示す測定点情報74dの画像表示を行うようにしてもよい。
11: X線発生装置(X線源)
12: X線検出器
13: X線測定光学系
14: ステージ
16: ステージ駆動機構
18: 光学カメラ
20: 制御系(コンピュータ)
21: CPU
22: 入力装置
23: 表示装置
25: メモリ
31: X線画像作成手段
33: 光学カメラ画像作成手段
34: 光学カメラ画像表示制御手段
35: ティーチング情報記憶制御手段
43: 光学カメラ画像記憶領域
Claims (4)
- 被測定物を載置するステージと、
前記被測定物の所定の領域の透視X線像を撮影するX線検出器と当該X線検出器に向けて透視用X線を照射するX線源とを有するX線測定光学系と、
前記被測定物の所定の領域を含む被測定物の可視光像を撮影する光学カメラと、
前記ステージを駆動信号に基づいて移動させるステージ駆動機構と、
前記ステージを移動させる駆動信号を出力するとともに、前記ステージの位置を記憶する制御を実行する駆動信号発生手段と、
入力操作される入力装置と、
前記透視X線像に基づいて作成されたX線画像と前記可視光像に基づいて作成された可視光画像と前記入力装置によって操作されるポインタとの画像表示が行われる表示装置とを備えるX線検査装置であって、
前記被測定物の測定点を位置決めするための第一状態と、前記測定点とは異なる前記被測定物の任意の位置を検査するための第二状態と、前記被測定物の測定点を検査するための第三状態とを切り替える状態切替手段と、
前記第一状態のときには、前記可視光画像の特定の位置が前記ポインタで指定されることにより、前記可視光画像の特定の位置に対応する前記被測定物の特定の位置が測定点となり、前記可視光画像の特定の位置に順番を示す内容を含む測定点情報の画像表示を行うティーチング情報記憶制御手段とを備え、
前記第三状態のときには、前記ティーチング情報記憶制御手段は、前記測定点情報が画像表示された可視光画像の特定の位置に対応する前記被測定物の測定点を含む所定の領域の透視X線像が順番に撮影される制御を実行し、
前記第三状態の実行中に前記第二状態に切り替えられたときには、前記可視光画像の任意の位置が前記ポインタで指定されることにより、前記駆動信号発生手段は、前記可視光画像の任意の位置に対応する前記被測定物の任意の位置を含む所定の領域の透視X線像が撮影されるように制御を実行することを特徴とするX線検査装置。 - 前記被測定物の所定の領域を示す可視光画像の所定の範囲に、現在位置情報の画像表示を行う現在位置情報表示手段を備えることを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記駆動信号発生手段は、前記X線画像の任意の位置が前記ポインタで指定されることにより、前記X線画像の任意の位置が前記X線画像の中心となるように、前記X線画像の任意の位置に対応する前記被測定物の任意の位置を含む所定の領域の透視X線像が撮影されるように制御を実行することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のX線検査装置。
- 被測定物を載置するステージと、
前記被測定物の所定の領域の透視X線像を撮影するX線検出器と当該X線検出器に向けて透視用X線を照射するX線源とを有するX線測定光学系と、
前記ステージを駆動信号に基づいて移動させるステージ駆動機構と、
前記ステージを移動させる駆動信号を出力するとともに、前記ステージの位置を記憶する制御を実行する駆動信号発生手段と、
入力操作される入力装置と、
前記透視X線像に基づいて作成されたX線画像と複数の透視X線像に基づいて作成されたマスター画像と前記入力装置によって操作されるポインタとの画像表示が行われる表示装置とを備えるX線検査装置であって、
前記被測定物の測定点を位置決めするための第一状態と、前記測定点とは異なる前記被測定物の任意の位置を検査するための第二状態と、前記被測定物の測定点を検査するための第三状態とを切り替える状態切替手段と、
前記第一状態のときには、前記マスター画像の特定の位置が前記ポインタで指定されることにより前記マスター画像の特定の位置に対応する前記被測定物の特定の位置が測定点となり、前記マスター画像の特定の位置に順番を示す内容を含む測定点情報の画像表示を行うティーチング情報記憶制御手段とを備え、
前記第三状態のときには、前記ティーチング情報記憶制御手段は、前記測定点情報が画像表示されたマスター画像の特定の位置に対応する前記被測定物の測定点を含む所定の領域の透視X線像が順番に撮影される制御を実行し、
前記第三状態の実行中に前記第二状態に切り替えられたときには、前記マスター画像の任意の位置が前記ポインタで指定されることにより、前記駆動信号発生手段は、前記マスター画像の任意の位置に対応する前記被測定物の任意の位置を含む所定の領域の透視X線像が撮影されるように制御を実行することを特徴とするX線検査装置。
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