JPS5953500B2 - Ｘ線透視検査装置 - Google Patents
Ｘ線透視検査装置Info
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- JPS5953500B2 JPS5953500B2 JP53067277A JP6727778A JPS5953500B2 JP S5953500 B2 JPS5953500 B2 JP S5953500B2 JP 53067277 A JP53067277 A JP 53067277A JP 6727778 A JP6727778 A JP 6727778A JP S5953500 B2 JPS5953500 B2 JP S5953500B2
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
- G01N23/043—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using fluoroscopic examination, with visual observation or video transmission of fluoroscopic images
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明はＸ線透視検査装置に係り、とくに被検査物の透
視像と外観とを１台のビデオモニタで観察できるように
したＸ線透視検査装置に関する。
視像と外観とを１台のビデオモニタで観察できるように
したＸ線透視検査装置に関する。
ＩＣなどの電子部品の微細部分を透視検査する場合、Ｘ
線の領域にまで感度のある撮像管を使用したテレビカメ
ラで直接、Ｘ線透視像を撮像管ターゲットに入力して電
気信号に変換する方式をとる。この場合、撮像管のビー
ム走査エリアとビデオモニタの画面エリアとの比で相対
的に拡大されフた映像が得られ、拡大率の大きい拡大透
視が可能となるので、ＩＣのウェハーのボンディングの
状態や微小部品の構造の検査に有効である。しかし、微
小部品の部分的拡大像がビデオモニタに拡大されて表示
されるため、被検査物のどの部分を検査しているのかが
わかりにくいという欠点がある。これに対処するため従
来は、第１図に示すような方法がとられていた。
線の領域にまで感度のある撮像管を使用したテレビカメ
ラで直接、Ｘ線透視像を撮像管ターゲットに入力して電
気信号に変換する方式をとる。この場合、撮像管のビー
ム走査エリアとビデオモニタの画面エリアとの比で相対
的に拡大されフた映像が得られ、拡大率の大きい拡大透
視が可能となるので、ＩＣのウェハーのボンディングの
状態や微小部品の構造の検査に有効である。しかし、微
小部品の部分的拡大像がビデオモニタに拡大されて表示
されるため、被検査物のどの部分を検査しているのかが
わかりにくいという欠点がある。これに対処するため従
来は、第１図に示すような方法がとられていた。
即ち、Ｘ線管１から放射されたＸ線は、Ｘ−Ｙテーブル
３に載置された被ｊ検査物２を透過しテレビカメラ４へ
入力される。撮像管５で電気信号に変換されたＸ線透視
像はビデオモニタ６で映像として表示される。このとき
被検査物の外観を撮像するため、工業用テレビカメラ２
Ｌビデオモニタ２２などを別に設け、こ門の外観像とＸ
線透視像とを比較観察しながら検査していた。しかしな
がらこの方法は、工業用テレビカメラが斜め方向からし
か撮像できないため、ピットを合わせるのに別の工夫を
要すると共に、映像が見にくい欠点がある。さらに、検
査員は２フ台のビデオモニタを見る必要があるため検査
しにくいという難点があつた。本発明は従来の方法の欠
点を解消することを目的とするもので、本発明では、Ｘ
線源と被検査物との間にＸ線を透過し可視光線を反射す
るハーフ５ミラーを設け、Ｘ線透視像はＸ線テレビカメ
ラで、ハーフミラーで反射された外観は工業用テレビカ
メラでそれぞれ撮像し、Ｘ線テレビカメラの同期信号発
生部からの同期信号により同期したＸ線テレビカメラお
よび工業用テレビカメラそれぞれからのビデオ信号を信
号加工手段で適宜加工してビデオモニタに送り、１台の
ビデオモニタでＸ線透視像と外観とを同時にまたは切換
えて表示できるように構成して所期の目的を達成した。
３に載置された被ｊ検査物２を透過しテレビカメラ４へ
入力される。撮像管５で電気信号に変換されたＸ線透視
像はビデオモニタ６で映像として表示される。このとき
被検査物の外観を撮像するため、工業用テレビカメラ２
Ｌビデオモニタ２２などを別に設け、こ門の外観像とＸ
線透視像とを比較観察しながら検査していた。しかしな
がらこの方法は、工業用テレビカメラが斜め方向からし
か撮像できないため、ピットを合わせるのに別の工夫を
要すると共に、映像が見にくい欠点がある。さらに、検
査員は２フ台のビデオモニタを見る必要があるため検査
しにくいという難点があつた。本発明は従来の方法の欠
点を解消することを目的とするもので、本発明では、Ｘ
線源と被検査物との間にＸ線を透過し可視光線を反射す
るハーフ５ミラーを設け、Ｘ線透視像はＸ線テレビカメ
ラで、ハーフミラーで反射された外観は工業用テレビカ
メラでそれぞれ撮像し、Ｘ線テレビカメラの同期信号発
生部からの同期信号により同期したＸ線テレビカメラお
よび工業用テレビカメラそれぞれからのビデオ信号を信
号加工手段で適宜加工してビデオモニタに送り、１台の
ビデオモニタでＸ線透視像と外観とを同時にまたは切換
えて表示できるように構成して所期の目的を達成した。
以下図面を参照して本発明の一実施例を説明する。第２
図、第３図はそれぞれ本発明に係るＸ線透視検査装置の
一実施例の構成図およびプロツク図で、図において、Ｘ
線管などのＸ線源１とＸ一Ｙテーブル３に載置された被
検査物２との間に、Ｘ線を透過し被検査物からの可視光
を反射するハーフミラー７を反射面を被検査物に対向さ
せ所望角度傾斜させて設ける。このハーフミラー７は、
Ｘ線吸収が少なく且つ、可視光の反射率の高いもの、例
えばアルミ蒸着ミラーなどである。Ｘ−Ｙテーブル３の
下方にＸ線の領域にまで感度のある撮像管５を具えたＸ
線テレビカメラ４を設ける。また、前記ハーフミラー７
の反射光を受光する位置に工業用テレビカメラ８を設け
る。さらに信号加工手段としてミキサー９およびビデオ
モニタ６を適宜の場所に設け、前記Ｘ線テレビカメラ４
および工業用テレビカメラ８とミキサー９との間および
ミキサー９とビデオモニタ６との間をそれぞへ憚号線で
接続する。上述のハーフミラー７、Ｘ；線テレビカメラ
４、工業用テレビカメラ８、ミキサー９およびビデオモ
ニタ６は表示装置を構成する。つぎに第３図のプロツク
図をも参照しながら本実施例の作用および効果につき説
明する。
図、第３図はそれぞれ本発明に係るＸ線透視検査装置の
一実施例の構成図およびプロツク図で、図において、Ｘ
線管などのＸ線源１とＸ一Ｙテーブル３に載置された被
検査物２との間に、Ｘ線を透過し被検査物からの可視光
を反射するハーフミラー７を反射面を被検査物に対向さ
せ所望角度傾斜させて設ける。このハーフミラー７は、
Ｘ線吸収が少なく且つ、可視光の反射率の高いもの、例
えばアルミ蒸着ミラーなどである。Ｘ−Ｙテーブル３の
下方にＸ線の領域にまで感度のある撮像管５を具えたＸ
線テレビカメラ４を設ける。また、前記ハーフミラー７
の反射光を受光する位置に工業用テレビカメラ８を設け
る。さらに信号加工手段としてミキサー９およびビデオ
モニタ６を適宜の場所に設け、前記Ｘ線テレビカメラ４
および工業用テレビカメラ８とミキサー９との間および
ミキサー９とビデオモニタ６との間をそれぞへ憚号線で
接続する。上述のハーフミラー７、Ｘ；線テレビカメラ
４、工業用テレビカメラ８、ミキサー９およびビデオモ
ニタ６は表示装置を構成する。つぎに第３図のプロツク
図をも参照しながら本実施例の作用および効果につき説
明する。
Ｘ−Ｙテーブル３を動かして被検査物２の検査部位をＸ
線源１からのＸ線ビームに合わせる。
線源１からのＸ線ビームに合わせる。
Ｘ線はハーフミラー７を透過し、被検査物２の検査部位
を透過して、そのＸ線透視像がＸ線テレビカメラ１へ入
力される。Ｘ線テレビカメラ１の同期５信号発生部４ａ
は同期信号をＸ線テレビの撮像部４ｂおよび工業用テレ
ビカメラ８に送り、各テレビカメラの偏向を制御して、
同期したビデオ信号を発生させる。ハーフミラー７で反
射された被検査物２の外観像は工業用テレビカメラ８に
入力される。Ｘ線テレビカメラ４および工業用テレビカ
メラ８からの互に同期したビデオ信号はミキサー９に送
られる。前記の各信号はミキサー９で混合されてビデオ
モニタ６に表示される。即ち、Ｘ線透視像と被検査物の
外観像の混合または外観がスーパーで表わされた映像が
ビデオモニタ６に表示される。ビデオモニタに例えば十
字線を設けておくことにより、検査部位が容易に確認で
き、１台のモニタで検査部位のＸ線透視像と被検査物の
外観像とが表示されるので、検査がやり易くなり、検査
能率が向上する。また、ハーフミラー７の設置により、
被検査物を直角に見た外観像が得られるので、映像が見
やすくなると共に、ピット合せに特別の工夫を必要とし
ない。なお、上述の実施例では、ミキサーでＸ線透視像
と外観像とを混合して表示するようにしたが、信号加工
手段として切換器を設け、上記の映像を任意に切換えて
単独に表示するようにすることもできる。
を透過して、そのＸ線透視像がＸ線テレビカメラ１へ入
力される。Ｘ線テレビカメラ１の同期５信号発生部４ａ
は同期信号をＸ線テレビの撮像部４ｂおよび工業用テレ
ビカメラ８に送り、各テレビカメラの偏向を制御して、
同期したビデオ信号を発生させる。ハーフミラー７で反
射された被検査物２の外観像は工業用テレビカメラ８に
入力される。Ｘ線テレビカメラ４および工業用テレビカ
メラ８からの互に同期したビデオ信号はミキサー９に送
られる。前記の各信号はミキサー９で混合されてビデオ
モニタ６に表示される。即ち、Ｘ線透視像と被検査物の
外観像の混合または外観がスーパーで表わされた映像が
ビデオモニタ６に表示される。ビデオモニタに例えば十
字線を設けておくことにより、検査部位が容易に確認で
き、１台のモニタで検査部位のＸ線透視像と被検査物の
外観像とが表示されるので、検査がやり易くなり、検査
能率が向上する。また、ハーフミラー７の設置により、
被検査物を直角に見た外観像が得られるので、映像が見
やすくなると共に、ピット合せに特別の工夫を必要とし
ない。なお、上述の実施例では、ミキサーでＸ線透視像
と外観像とを混合して表示するようにしたが、信号加工
手段として切換器を設け、上記の映像を任意に切換えて
単独に表示するようにすることもできる。
さらに、例えば１０秒ごとに１秒間外観を表示するなど
、定期的に切換を行ないながら表示するようにしてもよ
い。以上詳述したように、本発明によれば、Ｘ線を透過
し可視光線を反射するハーフミラーを設けたことにより
、被検査物のＸ線透視像と被検査物を直角に見た外観像
とが、１台のビデオモニタで所望の映像形態で観察でき
るので、電子部品などのＸ線透視検査の能率向上ならび
に検査員の疲労軽減に寄与することが大きい。
、定期的に切換を行ないながら表示するようにしてもよ
い。以上詳述したように、本発明によれば、Ｘ線を透過
し可視光線を反射するハーフミラーを設けたことにより
、被検査物のＸ線透視像と被検査物を直角に見た外観像
とが、１台のビデオモニタで所望の映像形態で観察でき
るので、電子部品などのＸ線透視検査の能率向上ならび
に検査員の疲労軽減に寄与することが大きい。
第１図はＸ線透視検査装置の従来例を示す構成図、第２
図および第３図はそれぞれ本発明に係るＸ線透視検査装
置の一実施例の構成図およびブロツク図である。 １・・・・・・Ｘ線源、２・・・・・・被検査物、４・
・・・・・Ｘ線テレビカメラ、４ａ・・・・・・同期信
号発生部、６・・・・・・ビデオモニタ、７・・・・・
・ハーフミラー、８・・・・・・工業用テレビカメラ、
９・・・・・・信号加工手段。
図および第３図はそれぞれ本発明に係るＸ線透視検査装
置の一実施例の構成図およびブロツク図である。 １・・・・・・Ｘ線源、２・・・・・・被検査物、４・
・・・・・Ｘ線テレビカメラ、４ａ・・・・・・同期信
号発生部、６・・・・・・ビデオモニタ、７・・・・・
・ハーフミラー、８・・・・・・工業用テレビカメラ、
９・・・・・・信号加工手段。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ Ｘ線源からのＸ線による被検査物の透視像をＸ線テ
レビカメラで撮像しビデオモニタで観察するものにおい
て、Ｘ線源と被検査物との間にＸ線を透過し可視光を反
射する如く設けられたハーフミラーと、このハーフミラ
ーで反射された被検査物の外観を撮像する工業用テレビ
カメラと、前記Ｘ線テレビカメラの同期信号発生部から
の同期信号により同期した前記Ｘ線テレビカメラおよび
工業用テレビカメラそれぞれからのビデオ信号を加工し
てビデオモニタに送る信号加工手段と、この信号加工手
段からの信号により被検査物の透視像およびまたは外観
を表示するビデオモニタとより成る表示装置を具備した
ことを特徴とするＸ線透視検査装置。 ２ 信号加工手段をミキサーで構成し、被検査物の透視
像と外観とを同時にビデオモニタで表示することを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のＸ線透視検査装置。 ３ 信号加工手段を切換器で構成し、被検査物の透視像
と外観とを適宜切換えてビデオモニタで表示することを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のＸ線透視検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53067277A JPS5953500B2 (ja) | 1978-06-06 | 1978-06-06 | Ｘ線透視検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53067277A JPS5953500B2 (ja) | 1978-06-06 | 1978-06-06 | Ｘ線透視検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54158984A JPS54158984A (en) | 1979-12-15 |
| JPS5953500B2 true JPS5953500B2 (ja) | 1984-12-25 |
Family
ID=13340303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53067277A Expired JPS5953500B2 (ja) | 1978-06-06 | 1978-06-06 | Ｘ線透視検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5953500B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05322803A (ja) * | 1992-05-15 | 1993-12-07 | Sony Corp | Ｘ線位置合わせ確認方法、ｘ線位置合わせ確認・位置合わせ方法、及びｘ線検査装置 |
| JPH06281598A (ja) * | 1991-07-26 | 1994-10-07 | Motoronikusu:Kk | 多層ワークのｘ線画像と光学系画像の同時映し出し装 置及びその方法 |
| WO2014061461A1 (ja) * | 2012-10-17 | 2014-04-24 | 株式会社システムスクエア | 包装体の検査装置 |
| JP2018128401A (ja) * | 2017-02-10 | 2018-08-16 | 東芝Ｉｔコントロールシステム株式会社 | Ｘ線透視検査装置 |
Families Citing this family (20)
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|---|---|---|---|---|
| JPS58118732A (ja) * | 1982-01-08 | 1983-07-14 | 株式会社東芝 | Ｘ線診断装置 |
| JPS59130706U (ja) * | 1983-02-21 | 1984-09-01 | 有限会社友信開発 | 医療用ｘ線透視装置 |
| US4995068A (en) * | 1989-10-02 | 1991-02-19 | S&S Inficon, Inc. | Radiation therapy imaging apparatus |
| JP2830214B2 (ja) * | 1989-11-18 | 1998-12-02 | 株式会社島津製作所 | 試料像表示装置 |
| US5590170A (en) * | 1993-04-12 | 1996-12-31 | Glenbrook Technologies | X-ray inspection system |
| DE69606365T2 (de) * | 1995-03-21 | 2000-08-24 | Koninkl Philips Electronics Nv | Bildaufnahmevorrichtung |
| JP3896641B2 (ja) * | 1997-07-17 | 2007-03-22 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線透視撮影装置 |
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| US6009145A (en) * | 1998-02-11 | 1999-12-28 | Glenbrook Technologies Inc. | Ball grid array re-work assembly with X-ray inspection system |
| DE10049103B4 (de) * | 1999-09-30 | 2005-01-27 | Siemens Corp. Research, Inc. | Vorrichtung zur Überlagerung von Röntgen- und Videobildern |
| US6229873B1 (en) * | 1999-09-30 | 2001-05-08 | Siemens Corporate Research, Inc | Method for aligning an apparatus for superimposing X-ray and video images |
| US6473489B2 (en) * | 1999-09-30 | 2002-10-29 | Siemens Corporate Research, Inc | Apparatus for superimposition of X-ray and video images |
| JP4087727B2 (ja) * | 2003-03-19 | 2008-05-21 | 富士フイルム株式会社 | 放射線撮像システム |
| JP4123373B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2008-07-23 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線透視装置 |
| WO2007005636A2 (en) * | 2005-06-30 | 2007-01-11 | Controlled Semiconductor, Inc. | Semiconductor failure analysis tool |
| JP4665774B2 (ja) * | 2006-01-23 | 2011-04-06 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線検査装置 |
| JP5209935B2 (ja) | 2007-10-23 | 2013-06-12 | キヤノン株式会社 | Ｘ線撮影装置、ｘ線撮影装置の制御方法、プログラム及び記憶媒体 |
| JP2009131323A (ja) | 2007-11-28 | 2009-06-18 | Canon Inc | 撮像装置 |
| CN102499703A (zh) * | 2011-11-01 | 2012-06-20 | 盖伯晴 | C型臂x线透视机及专用摄像机构 |
| CN104718447B (zh) | 2013-10-03 | 2017-07-28 | 世高株式会社 | 包装体的检查装置 |
-
1978
- 1978-06-06 JP JP53067277A patent/JPS5953500B2/ja not_active Expired
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06281598A (ja) * | 1991-07-26 | 1994-10-07 | Motoronikusu:Kk | 多層ワークのｘ線画像と光学系画像の同時映し出し装 置及びその方法 |
| JPH05322803A (ja) * | 1992-05-15 | 1993-12-07 | Sony Corp | Ｘ線位置合わせ確認方法、ｘ線位置合わせ確認・位置合わせ方法、及びｘ線検査装置 |
| WO2014061461A1 (ja) * | 2012-10-17 | 2014-04-24 | 株式会社システムスクエア | 包装体の検査装置 |
| JP5720029B2 (ja) * | 2012-10-17 | 2015-05-20 | 株式会社 システムスクエア | 包装体の検査装置 |
| JPWO2014061461A1 (ja) * | 2012-10-17 | 2016-09-05 | 株式会社 システムスクエア | 包装体の検査装置 |
| JP2018128401A (ja) * | 2017-02-10 | 2018-08-16 | 東芝Ｉｔコントロールシステム株式会社 | Ｘ線透視検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54158984A (en) | 1979-12-15 |
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