JPH02236682A - 自動検査装置 - Google Patents
自動検査装置Info
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- JPH02236682A JPH02236682A JP1058166A JP5816689A JPH02236682A JP H02236682 A JPH02236682 A JP H02236682A JP 1058166 A JP1058166 A JP 1058166A JP 5816689 A JP5816689 A JP 5816689A JP H02236682 A JPH02236682 A JP H02236682A
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- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 description 24
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
《産業上の利用分野》
本発明は自動検査装置に関し、特に、印劉配線板の電子
部品の実装状態の良否の判定等に好適の自動検査装置に
関する。
部品の実装状態の良否の判定等に好適の自動検査装置に
関する。
《従来の技術》
近時、各種電子機器では印刷配線板が採用されている。
この印刷配線板においては、基板自動挿入機及び自動装
着機等の自動機械を使用することにより、抵抗器及びコ
ンデンサ等の電子部品が基板に実装されている。電子部
品の実装状態はテレビカメラで撮影され、コンピュータ
による画像処理が行われてその良否が判断される。
着機等の自動機械を使用することにより、抵抗器及びコ
ンデンサ等の電子部品が基板に実装されている。電子部
品の実装状態はテレビカメラで撮影され、コンピュータ
による画像処理が行われてその良否が判断される。
第3図はこのような電子部品の実装状態の良否を自動的
゜に判定することができる従来の自動検査装置を示すブ
ロック図であり、第4図はその動作を説明するためのフ
ローチャートである。
゜に判定することができる従来の自動検査装置を示すブ
ロック図であり、第4図はその動作を説明するためのフ
ローチャートである。
先ず、被検査物(電子部品が実装された印刷配線板》1
をX−Yテーブル2上に載置する。このX−Yテーブル
2の上方に固定されたテレビカメラ3により印刷配線板
1の電子部品の実装状態が搬彰される。画像分解能はテ
レビカメラ3に取り付1プる光学レンズ4の拡大率によ
り決定され、画像分解能を向上させるために光学レンズ
4の拡大率を大きくすると、&! !1 ?JA野が狭
くなってしまう。
をX−Yテーブル2上に載置する。このX−Yテーブル
2の上方に固定されたテレビカメラ3により印刷配線板
1の電子部品の実装状態が搬彰される。画像分解能はテ
レビカメラ3に取り付1プる光学レンズ4の拡大率によ
り決定され、画像分解能を向上させるために光学レンズ
4の拡大率を大きくすると、&! !1 ?JA野が狭
くなってしまう。
そこで、印刷配線板1の電子部品の実装状態を検査する
場合のように、比較的検査範囲が広く且つ微細な部分を
検査する必要があるときには、光学レンズ4として拡大
率が大きいものを使用し、テレビカメラ3の搬影視点を
移動させることにより印刷配線板1の全域を劃Iるよう
にしている。
場合のように、比較的検査範囲が広く且つ微細な部分を
検査する必要があるときには、光学レンズ4として拡大
率が大きいものを使用し、テレビカメラ3の搬影視点を
移動させることにより印刷配線板1の全域を劃Iるよう
にしている。
第3図では、X−Yテーブル2を移動させて印刷配線板
1の各部位を順次撥影ずるJzうにしでいる。
1の各部位を順次撥影ずるJzうにしでいる。
X−Yテーブル2はX−Yテーブル制御装置5により移
動が制御され、X−Yテーブル制御装置5は主制御装置
6により制御される。
動が制御され、X−Yテーブル制御装置5は主制御装置
6により制御される。
第4図のステップS1において、主制御装置6は、印刷
配線板1の検査しようとする部位(検査部位)を示す検
査部位番号Iを1に初期化する。
配線板1の検査しようとする部位(検査部位)を示す検
査部位番号Iを1に初期化する。
次に、ステップS2において、主制御装置2tま検査部
位番号1を示すデータをX−Yテーブル制御%A置5に
与え、X−Yテーブル制御装置5は検査部位番号1で示
される検査部位(以下、検査部位1という)がテレビカ
メラ3の撮影視野に入るようにX一Yテーブル2を移動
させる。ステップS3では、X−Yテーブル2の移動が
終了したか否かが判断され、終了した場合には処理をス
テップ$4に移行づる。ステップS4において、テレビ
カメラ3は印刷配線板1の検査部位1を撮影し、撮影に
よって得られた画像信りをA/D変換回路7に出力する
。A/D変挽回路7は画像信号をディジタル信号に変換
してフレームメモリ8に与え、スレームメモリ8は画像
データを記憶する。
位番号1を示すデータをX−Yテーブル制御%A置5に
与え、X−Yテーブル制御装置5は検査部位番号1で示
される検査部位(以下、検査部位1という)がテレビカ
メラ3の撮影視野に入るようにX一Yテーブル2を移動
させる。ステップS3では、X−Yテーブル2の移動が
終了したか否かが判断され、終了した場合には処理をス
テップ$4に移行づる。ステップS4において、テレビ
カメラ3は印刷配線板1の検査部位1を撮影し、撮影に
よって得られた画像信りをA/D変換回路7に出力する
。A/D変挽回路7は画像信号をディジタル信号に変換
してフレームメモリ8に与え、スレームメモリ8は画像
データを記憶する。
フレームメモリ8に記憶された画像データは画像処理装
置9において画像処理されて電位部品の実装状態の良否
が判定される。ところで、前述したように、画像分解能
を向上させていることから、躍彰視野が狭く、賊影部位
の視点変更回数(X−Yテーブル2の移動回数)が比較
的多い。従って、X−Yテーブル2の移動に要する時間
が長く、検査に長時間を必要とする。そこで、第3図の
装置では、フレームメモリ8が画像データを記憶した直
後に、画像処理装置9によるIlil影画像の画像処理
と次の検査部位に対応したX−Yテーブル2の移動とを
同時に行って動作時間の短縮を計っている。
置9において画像処理されて電位部品の実装状態の良否
が判定される。ところで、前述したように、画像分解能
を向上させていることから、躍彰視野が狭く、賊影部位
の視点変更回数(X−Yテーブル2の移動回数)が比較
的多い。従って、X−Yテーブル2の移動に要する時間
が長く、検査に長時間を必要とする。そこで、第3図の
装置では、フレームメモリ8が画像データを記憶した直
後に、画像処理装置9によるIlil影画像の画像処理
と次の検査部位に対応したX−Yテーブル2の移動とを
同時に行って動作時間の短縮を計っている。
即ち、スデップS5において、主制御装置6はiitj
像処理装F!l9に検査部位1の電子部品の実装状態の
検査の開始を指示する。次いで、ステップS6において
、検査部位番号1が最終検査部位を示しているか否かを
判断し、最終検査部位でなければステップS1において
検査部位番号2(−1+1)のデータをX−Yテーブル
制御装置5に与えてX−Yテーブル2の移動を開始させ
る。これらステップ85〜S7の一連の処理は略同時に
行われ、ステップS6の最終検査部位であるか否かの判
断及びステップS7のX−Yテーブル2の移動開始指令
に伴うX−Yテーブル2の移動動作と並行して、画像処
理装置9はフレームメモリ8からの画像データを主制御
装@6に制御されて画像処理し、電子部品の実装状態を
検査し判定Jる。
像処理装F!l9に検査部位1の電子部品の実装状態の
検査の開始を指示する。次いで、ステップS6において
、検査部位番号1が最終検査部位を示しているか否かを
判断し、最終検査部位でなければステップS1において
検査部位番号2(−1+1)のデータをX−Yテーブル
制御装置5に与えてX−Yテーブル2の移動を開始させ
る。これらステップ85〜S7の一連の処理は略同時に
行われ、ステップS6の最終検査部位であるか否かの判
断及びステップS7のX−Yテーブル2の移動開始指令
に伴うX−Yテーブル2の移動動作と並行して、画像処
理装置9はフレームメモリ8からの画像データを主制御
装@6に制御されて画像処理し、電子部品の実装状態を
検査し判定Jる。
検査の終了はステップS8で判断される。検査部位1の
検査判定結果は画像処理装直9から主制御装M6に与え
られ、主制御装置6は、ステップS9において検査判定
結果が不良を示している場合には、ステップ810でプ
リンタ10に判定結果を印刷させる。次いで、ステップ
Sitで検査部位番号IがR終検査部位番号であるか否
かが判断され、最終検査部位fl号であれば処理を終了
し、最終検査部位番号でなければ、ステップ812にお
いて検査部位番号■に1を加えて処理をステップS3に
移行する。ステップS3では、ステップS1によるX−
Yテーブル2の移動が終了したか否かが判断され、X−
Yテーブル2が検査部位番号2に対応した位置に移動し
ていれば、ステップS4に処理が進む。以下同様の動作
を繰り返して、印刷配線板1の全部位の良否が検査判定
される。このように、第3図の装置では画像処理装置9
による良否検査判定とX−Yテーブル2の移動とを並行
して行うことにより動作時間を短縮している。
検査判定結果は画像処理装直9から主制御装M6に与え
られ、主制御装置6は、ステップS9において検査判定
結果が不良を示している場合には、ステップ810でプ
リンタ10に判定結果を印刷させる。次いで、ステップ
Sitで検査部位番号IがR終検査部位番号であるか否
かが判断され、最終検査部位fl号であれば処理を終了
し、最終検査部位番号でなければ、ステップ812にお
いて検査部位番号■に1を加えて処理をステップS3に
移行する。ステップS3では、ステップS1によるX−
Yテーブル2の移動が終了したか否かが判断され、X−
Yテーブル2が検査部位番号2に対応した位置に移動し
ていれば、ステップS4に処理が進む。以下同様の動作
を繰り返して、印刷配線板1の全部位の良否が検査判定
される。このように、第3図の装置では画像処理装置9
による良否検査判定とX−Yテーブル2の移動とを並行
して行うことにより動作時間を短縮している。
ところで、良否検査判定の判定結果によっては、同一部
位を再撮影して画像処理装置9において2次検査(再検
査)を行うことにより判定精度が向上づ゛ることがある
。ところが、画像処理装置9による検査判定動作とX−
Yテーブル2の移動動作とは並行処理ざれており、画像
処理装置9からの検査判定結果が出力される時点では、
既にX−Yテーブル2の移動が開始されており、同一部
位を再撮影して2次検査することができないという問題
があった。
位を再撮影して画像処理装置9において2次検査(再検
査)を行うことにより判定精度が向上づ゛ることがある
。ところが、画像処理装置9による検査判定動作とX−
Yテーブル2の移動動作とは並行処理ざれており、画像
処理装置9からの検査判定結果が出力される時点では、
既にX−Yテーブル2の移動が開始されており、同一部
位を再撮影して2次検査することができないという問題
があった。
(発明が解決しようとする課題)
このように、上述した従来の自動検査装置においては、
画像処理装@9による被検査物の良否の検査判定と踊影
視点の移動とを並行して行っていることから、同一部位
を再撤彰して2次検査することができず、判定精度を向
上させること・ができないという問題点があった。
画像処理装@9による被検査物の良否の検査判定と踊影
視点の移動とを並行して行っていることから、同一部位
を再撤彰して2次検査することができず、判定精度を向
上させること・ができないという問題点があった。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、
被検査物の良否検査判定と撮影視点の移動とを並行して
行うことにより検査時間を短縮した場合であっても、再
扼影による2次検査を可0ヒにして高い判定精度を得る
ことができる自動検査装置を提供することを目的とする
。
被検査物の良否検査判定と撮影視点の移動とを並行して
行うことにより検査時間を短縮した場合であっても、再
扼影による2次検査を可0ヒにして高い判定精度を得る
ことができる自動検査装置を提供することを目的とする
。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段)
本発明に係る自動検査装置は、被検査物が取付けられる
テーブルと、前記被検査物の各部位を搬影し画像信号を
出力するテレビカメラと、前記被検査物の各部位がテレ
ビカメラのR影視野に入るように前記テーブル及びテレ
ビカメラの少なくとも一方を移動させて被検査物の全部
位をllia影可能とする撤彰視点移動手段と、前記画
像信号から得られる画像データを画像処理することによ
り、被検査物の各部位の良否を検査して判定する画像処
理装置と、前記画像処理装置により不良と判定された部
位を示すデータを記憶する記憶装置と、前記撮影視点移
動手段及び画像処理装置をシリ御して前記躍影視点の移
動と検査物の各部位の良否の検査判定との並行動作を可
能とすると共に、前記記憶装置に格納されたデータによ
り不良と判定された部位の再検査を可能とする主ill
l装置とを具備したちのである。
テーブルと、前記被検査物の各部位を搬影し画像信号を
出力するテレビカメラと、前記被検査物の各部位がテレ
ビカメラのR影視野に入るように前記テーブル及びテレ
ビカメラの少なくとも一方を移動させて被検査物の全部
位をllia影可能とする撤彰視点移動手段と、前記画
像信号から得られる画像データを画像処理することによ
り、被検査物の各部位の良否を検査して判定する画像処
理装置と、前記画像処理装置により不良と判定された部
位を示すデータを記憶する記憶装置と、前記撮影視点移
動手段及び画像処理装置をシリ御して前記躍影視点の移
動と検査物の各部位の良否の検査判定との並行動作を可
能とすると共に、前記記憶装置に格納されたデータによ
り不良と判定された部位の再検査を可能とする主ill
l装置とを具備したちのである。
(作用)
本発明においては、主1tll御装置は撮影視点移動手
段を制御して、被検査物の各部位がテレビカメラの撮影
視野に入るようにテーブル及びテレビカメラの少なくと
も一方を移動させる。テレビカメラは被検査物の各部位
を撮影し、画像処理装置はテレビカメラからの画像信号
を基にして被検査物の各部位の良否を検査判定する。こ
こで、主制tm装置は、画像処理装置の各部位の検査判
定動作中に撮影視点移動手段をυ1御して搬彰視点を移
動させており、これにより検査時間を短縮している。
段を制御して、被検査物の各部位がテレビカメラの撮影
視野に入るようにテーブル及びテレビカメラの少なくと
も一方を移動させる。テレビカメラは被検査物の各部位
を撮影し、画像処理装置はテレビカメラからの画像信号
を基にして被検査物の各部位の良否を検査判定する。こ
こで、主制tm装置は、画像処理装置の各部位の検査判
定動作中に撮影視点移動手段をυ1御して搬彰視点を移
動させており、これにより検査時間を短縮している。
画像処理装置により不良と判定された部位を示すデータ
は記憶装置に記憶される。主制御装置は、記憶装置のデ
ータを読み出し、このデータに基づいてm影視点を移動
′C¥仕る。これにより、不良と判定された部位は再度
テレビカメラにm影され、画像処理装置により検査判定
されて再検査が行われる。
は記憶装置に記憶される。主制御装置は、記憶装置のデ
ータを読み出し、このデータに基づいてm影視点を移動
′C¥仕る。これにより、不良と判定された部位は再度
テレビカメラにm影され、画像処理装置により検査判定
されて再検査が行われる。
(実施例)
以下、図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説明する
。第1図は本発明に係る自動検査装置の一実施例を示す
ブロック図である。第1図において第3図と同一物には
同一符号を付してある。
。第1図は本発明に係る自動検査装置の一実施例を示す
ブロック図である。第1図において第3図と同一物には
同一符号を付してある。
X−Yテーブル2は、固定台11の水平面上に設けられ
ており、図示しない適宜の駆動部材に駆動されてX及び
Y方向に移動自在となっている。電子部品が実装された
印刷配線板等の被検査物1をこのX−Yテーブル2上に
載置するようになっている。X−Yテーブル2の上方に
はテレビカメラ3が適宜の支持部材に支持されて光学レ
ンズ4をX−Yテーブル2側に向けて固定されている。
ており、図示しない適宜の駆動部材に駆動されてX及び
Y方向に移動自在となっている。電子部品が実装された
印刷配線板等の被検査物1をこのX−Yテーブル2上に
載置するようになっている。X−Yテーブル2の上方に
はテレビカメラ3が適宜の支持部材に支持されて光学レ
ンズ4をX−Yテーブル2側に向けて固定されている。
光学レンズ4の拡大率は比較的大きく、テレビカメラ3
は被検査物1の一部のみを搬影可能である。
は被検査物1の一部のみを搬影可能である。
被検査物1はこのテレビカメラ3の撤彰視野に基づいた
各部位毎に検査され、検査される部位(検査部位》は検
査部位番号Iで指定されるようになっている。
各部位毎に検査され、検査される部位(検査部位》は検
査部位番号Iで指定されるようになっている。
X−Yテーブル2はX−Yテーブル制御装@5によりそ
の移動が制御されている。即ち、X−Yテーブル制御装
置5は、主制御装1ii12からの検査部位番号Iのデ
ータにより制御されて、被検査物1の検査部位■がテレ
ビカメラ4の躍彰視野に入るようにX−Yテーブル2の
移動を制御している。
の移動が制御されている。即ち、X−Yテーブル制御装
置5は、主制御装1ii12からの検査部位番号Iのデ
ータにより制御されて、被検査物1の検査部位■がテレ
ビカメラ4の躍彰視野に入るようにX−Yテーブル2の
移動を制御している。
このX−Yテーブル2の移動により、被検査物1の全部
位がテレビカメラ3により搬彰可能となっている。
位がテレビカメラ3により搬彰可能となっている。
テレビカメラ3は被検査物1を賊影して画像信号をΔ/
D変換回路7に出hする。A/D変挽回路7は画像信号
をA/D変換して画像データを得、この画像データをフ
レームメモリ8に与える。フレームメモリ8は主制61
!装置12により制御されて、△/D変挽回路7からの
画像データを記憶すると共に、記憶した画像データを画
像処理装置9に与える。画像処理装置9は、主制御装置
12により制御されて、フレームメモリ8からの画像デ
ータを読み出して画像処理することにより、被検査物1
の良否、例えば、印刷配線板の電子部品の実装状態の良
否等を検査して判定し、検査判定結果を主制御装置12
に与えるようになっている。プリンタ10は、主制御装
置12から検査判定結果が与えられ、検査判定結果によ
り不良と判定された部位(以下、不良部位という)につ
いての検査判定結果を印刷づるようになっている。
D変換回路7に出hする。A/D変挽回路7は画像信号
をA/D変換して画像データを得、この画像データをフ
レームメモリ8に与える。フレームメモリ8は主制61
!装置12により制御されて、△/D変挽回路7からの
画像データを記憶すると共に、記憶した画像データを画
像処理装置9に与える。画像処理装置9は、主制御装置
12により制御されて、フレームメモリ8からの画像デ
ータを読み出して画像処理することにより、被検査物1
の良否、例えば、印刷配線板の電子部品の実装状態の良
否等を検査して判定し、検査判定結果を主制御装置12
に与えるようになっている。プリンタ10は、主制御装
置12から検査判定結果が与えられ、検査判定結果によ
り不良と判定された部位(以下、不良部位という)につ
いての検査判定結果を印刷づるようになっている。
本実施例においては、記憶装置13が設けられている。
記憶装置13は一次元配列により構成されており、主制
御装置12から不良部位を示す不良部位番号のデータが
与えられてこのデータを記憶するようになっている。
御装置12から不良部位を示す不良部位番号のデータが
与えられてこのデータを記憶するようになっている。
次に、このように構成された自動検査装置の動作につい
て第2図のフローチャートを参照して説明する。第2図
の破線Aにて囲った部分は一次検査を示し、破線Bにて
囲った部分は二次検査を示している。第2図において第
4図のステップと同一ステップについては同一符号を付
してある。
て第2図のフローチャートを参照して説明する。第2図
の破線Aにて囲った部分は一次検査を示し、破線Bにて
囲った部分は二次検査を示している。第2図において第
4図のステップと同一ステップについては同一符号を付
してある。
先ず、電子部品が実装された印刷配線板等の被検査物1
をX−Yテーブル2上に載置する。主制御装置12は、
ステップS13において、一次検査で不良と判定される
部位数を示すカウント値Nを0に初期化する。次いで、
ステップS1において検査部位番号Iを1に初期化し、
ステップS2でX−Yテーブル2を移動させる。主制御
装置12からは検査部位番号1を示すデータがX−Yテ
ーブル制御装置5に与えられ、X−Yテーブルv1御装
置5は検査部位1がテレビカメラ3の踊影視野に入るよ
うにX−Yテーブル2を移動させる。ステップS3でX
−Yテーブル2の移動が終了したことが判断されると、
処理をステップS4に移行する.次のステップS4では
、テレビカメラ3からの画像信号がA/D変挽回路7に
与えられてA/D変換され、主υJilt装置12の指
示によりフレームメモリ8に記憶ざれる。
をX−Yテーブル2上に載置する。主制御装置12は、
ステップS13において、一次検査で不良と判定される
部位数を示すカウント値Nを0に初期化する。次いで、
ステップS1において検査部位番号Iを1に初期化し、
ステップS2でX−Yテーブル2を移動させる。主制御
装置12からは検査部位番号1を示すデータがX−Yテ
ーブル制御装置5に与えられ、X−Yテーブルv1御装
置5は検査部位1がテレビカメラ3の踊影視野に入るよ
うにX−Yテーブル2を移動させる。ステップS3でX
−Yテーブル2の移動が終了したことが判断されると、
処理をステップS4に移行する.次のステップS4では
、テレビカメラ3からの画像信号がA/D変挽回路7に
与えられてA/D変換され、主υJilt装置12の指
示によりフレームメモリ8に記憶ざれる。
次いで、ステップS5において、主制御装置12は画像
処理装置9に一次検査の開始を指示する。
処理装置9に一次検査の開始を指示する。
この指示と略同時に、主制御装置12は、ステップS6
で検査部位番号■が最終検査部位を示しているか否かを
判断し、最終検査部位を示していない場合には、次のス
テップS7で検査部位番号2(−1+1)に対応した位
置へのX−Yテーブル2の移動を指示する。従って、画
像処理装置9による一次検査とX−Yテーブル制御装置
5によるX−Yテーブル2の移動とが並行して行われる
ことになり、検査時間を短縮することができる。
で検査部位番号■が最終検査部位を示しているか否かを
判断し、最終検査部位を示していない場合には、次のス
テップS7で検査部位番号2(−1+1)に対応した位
置へのX−Yテーブル2の移動を指示する。従って、画
像処理装置9による一次検査とX−Yテーブル制御装置
5によるX−Yテーブル2の移動とが並行して行われる
ことになり、検査時間を短縮することができる。
画像処理装M9はフレームメモリ8から読み出した画像
データを画像処理し、テレビカメラ3で搬彰された検査
部位を検査して良否を判定づる。
データを画像処理し、テレビカメラ3で搬彰された検査
部位を検査して良否を判定づる。
ステップS8では、主制御装置12は待機状態にあり、
画像処理装置9から検査判定結果が主制御装置12に与
えられることにより、処理をステップS9に移行する。
画像処理装置9から検査判定結果が主制御装置12に与
えられることにより、処理をステップS9に移行する。
次のステップS9において、主制御装匿12は、検査判
定結果が良好であることを示している場合には処理をス
テップ811に移行し、不良であることを示している場
合には次のステップ814でカウント値Nに1を加える
。
定結果が良好であることを示している場合には処理をス
テップ811に移行し、不良であることを示している場
合には次のステップ814でカウント値Nに1を加える
。
次に、ステップS15において主制御装駈12は記憶装
@13のN番目の領域に検査部位番号Iを示すデータを
不良部位番号のデータとして記憶させる。
@13のN番目の領域に検査部位番号Iを示すデータを
不良部位番号のデータとして記憶させる。
次のステップS111:は、検査部位番1 1が最終検
査部位を示しているか否かが判断され、最終検査部位で
ない場合にはステップ312で検査部位番号Iに1が加
えられて処理をステップS3に移行する。ステップS3
では、ステップS7によるX−Yテーブル2の移動が終
了したか否かが判断される。以下、同様にして、被検査
物1の全部位が撮影されて一次検査され良否の判定が行
われる。なお、カウント(iflNは一次検査での不良
部位の数を示し、記憶装置13には不良部位番号のデー
タが格納されている。
査部位を示しているか否かが判断され、最終検査部位で
ない場合にはステップ312で検査部位番号Iに1が加
えられて処理をステップS3に移行する。ステップS3
では、ステップS7によるX−Yテーブル2の移動が終
了したか否かが判断される。以下、同様にして、被検査
物1の全部位が撮影されて一次検査され良否の判定が行
われる。なお、カウント(iflNは一次検査での不良
部位の数を示し、記憶装置13には不良部位番号のデー
タが格納されている。
ステップS11で検査部位番号Iが最終検査部位を示し
ていることが判断されると、処理を二次検査のステップ
316に移行する。二次検査では、先ず、ステップ31
Bにおいて実行カウンタのカウント値Jを1に初II化
する。実行カウンタは不良部位の二次検査を行うごとに
カウントアップする。
ていることが判断されると、処理を二次検査のステップ
316に移行する。二次検査では、先ず、ステップ31
Bにおいて実行カウンタのカウント値Jを1に初II化
する。実行カウンタは不良部位の二次検査を行うごとに
カウントアップする。
次のステップS17ではカウント値Jがカウント値Nよ
りも大きいか否かが判断される。これにより、二次検査
すべき不良部位が残っているか否かが判断され、N<J
の場合、即ち、二次検査すべき不良部位が残っていない
場合にはステップ827に移行して処理を終了する。一
方、ステップ814において、Nが1以上になっていれ
ば、処理をステップ818に移行する。
りも大きいか否かが判断される。これにより、二次検査
すべき不良部位が残っているか否かが判断され、N<J
の場合、即ち、二次検査すべき不良部位が残っていない
場合にはステップ827に移行して処理を終了する。一
方、ステップ814において、Nが1以上になっていれ
ば、処理をステップ818に移行する。
ステップ818において、主制御装置12は、一時検査
で不良とされた部位の部位番号(不良部位番号)を記憶
装置13のJ(−1)番目の領域から読み出して、この
データを二次検査の検査部位番号IのデータとしてX−
Yテーブル制御装置5に与える。これにより、X−Yテ
ーブル制御装置5は、次のステップ819で被検査物1
の検査部位Iがテレビカメラ3の泥影視野に入るように
X−Yテーブル2を移動させる。次のステップ820で
X−Yテーブル2の移動が終了したか否かが判断され、
終了した場合には、次のステップ821でテレビカメラ
3は検査部位■を撮影し画像信号をA/D変挽回路7に
与える。A/D変換回路7は画像信号をA/D変換して
フレームメモリ8に与え、フレ−ムメモリ8は画像デー
タを記憶する。
で不良とされた部位の部位番号(不良部位番号)を記憶
装置13のJ(−1)番目の領域から読み出して、この
データを二次検査の検査部位番号IのデータとしてX−
Yテーブル制御装置5に与える。これにより、X−Yテ
ーブル制御装置5は、次のステップ819で被検査物1
の検査部位Iがテレビカメラ3の泥影視野に入るように
X−Yテーブル2を移動させる。次のステップ820で
X−Yテーブル2の移動が終了したか否かが判断され、
終了した場合には、次のステップ821でテレビカメラ
3は検査部位■を撮影し画像信号をA/D変挽回路7に
与える。A/D変換回路7は画像信号をA/D変換して
フレームメモリ8に与え、フレ−ムメモリ8は画像デー
タを記憶する。
次いで、ステップ822では、主制御装Il12は画像
処理装置9に二次検査の開始を指示する。画像処理装置
9はフレームメモリ8から画像データを読み出し、画像
処理して検査し被検査物1の良否の判定を行う。なお、
二次検査は一次検査の画像処理と同一処理であってもよ
い。次のステップ$23において、主制御装置12は、
画像処理装置9から二次検査の検査判定結果が与えられ
ることにより、画像処理装置9による二次検査が終了し
たことを判断し、処理をステップS24に移行1る。ス
テップ824において、二次検査の検査判定結果が不良
を示している場合、即ち、この検査部位が一次及び二次
検査において不良と判断された場合には、主制御装置1
2はプリンタ10に検査判定結果を印刷させ、処理をス
テップ826に移行する。一方、二次検査の検査判定結
果が良好であることを示している場合には、ステップ8
25を経ることなく処理をステップ82Gに移行する。
処理装置9に二次検査の開始を指示する。画像処理装置
9はフレームメモリ8から画像データを読み出し、画像
処理して検査し被検査物1の良否の判定を行う。なお、
二次検査は一次検査の画像処理と同一処理であってもよ
い。次のステップ$23において、主制御装置12は、
画像処理装置9から二次検査の検査判定結果が与えられ
ることにより、画像処理装置9による二次検査が終了し
たことを判断し、処理をステップS24に移行1る。ス
テップ824において、二次検査の検査判定結果が不良
を示している場合、即ち、この検査部位が一次及び二次
検査において不良と判断された場合には、主制御装置1
2はプリンタ10に検査判定結果を印刷させ、処理をス
テップ826に移行する。一方、二次検査の検査判定結
果が良好であることを示している場合には、ステップ8
25を経ることなく処理をステップ82Gに移行する。
ステップ326では、カウントiflJ−1に1を加篩
して、処理をステップ817に戻す。ここで、Nが2以
上である場合、即ち、一次検査における不良部位の数が
2つ以上あった場合には、ステップ817からステップ
818に処理を移行して、上述した処理を繰り返す。つ
まり、ステップ817では一次検査で不良と判定された
全部位について二次検査が行われたか否かが判断されて
いる。N<J(−2)であれば、ステップ827で処理
を終了する。
して、処理をステップ817に戻す。ここで、Nが2以
上である場合、即ち、一次検査における不良部位の数が
2つ以上あった場合には、ステップ817からステップ
818に処理を移行して、上述した処理を繰り返す。つ
まり、ステップ817では一次検査で不良と判定された
全部位について二次検査が行われたか否かが判断されて
いる。N<J(−2)であれば、ステップ827で処理
を終了する。
このように、本実施例においては、一次検査での不良部
位番号を記憶装置13に記憶させ、この不良部位番号を
検査部位番号1としてX−Yテーブル制御装置5に与え
て不良部位を再度テレビカメラで撮影することにより、
二次検査を可能としている。従って、画像処理装四〇か
らの検査判定結果の出力に先行して撮影視点の移動を行
うことにより検査時問を短縮させている場合であっても
、二次検査が可能であり、高い判定精度を得ることがで
きる。
位番号を記憶装置13に記憶させ、この不良部位番号を
検査部位番号1としてX−Yテーブル制御装置5に与え
て不良部位を再度テレビカメラで撮影することにより、
二次検査を可能としている。従って、画像処理装四〇か
らの検査判定結果の出力に先行して撮影視点の移動を行
うことにより検査時問を短縮させている場合であっても
、二次検査が可能であり、高い判定精度を得ることがで
きる。
[発明の効果]
以上説明したように本発明によれば、検査時間を短縮す
ることができ、且つ二次検査を可能とすることにより、
高い判定精度を得ることができるという効果を有する。
ることができ、且つ二次検査を可能とすることにより、
高い判定精度を得ることができるという効果を有する。
第1図は本発明に係る自動検査装置の一実施例を示すブ
ロック図、第2図は実施例の動作を説明寸るためのフロ
ーチャート、第3図は従来の自動検査装置を示すブロッ
ク図、第4図は従来例の動作を説明するためのフローチ
ャートである。 1・・・被検査物、2・・・X−Yテーブル、3・・・
テレビカメラ、5・・・X−Yテーブル制御装霞,7・
・・A/D変換回路、8・・・フレームメモリ、9・・
・画像処理装置、12・・・主制御装置、13・−・記
憶装置。
ロック図、第2図は実施例の動作を説明寸るためのフロ
ーチャート、第3図は従来の自動検査装置を示すブロッ
ク図、第4図は従来例の動作を説明するためのフローチ
ャートである。 1・・・被検査物、2・・・X−Yテーブル、3・・・
テレビカメラ、5・・・X−Yテーブル制御装霞,7・
・・A/D変換回路、8・・・フレームメモリ、9・・
・画像処理装置、12・・・主制御装置、13・−・記
憶装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被検査物が取付けられるテーブルと、 前記被検査物の各部位を撮影し画像信号を出力するテレ
ビカメラと、 前記被検査物の各部位がテレビカメラの撮影視野に入る
ように前記テーブル及びテレビカメラの少なくとも一方
を移動させて被検査物の全部位を撮影可能とする撮影視
点移動手段と、 前記画像信号から得られる画像データを画像処理するこ
とにより、被検査物の各部位の良否を検査して判定する
画像処理装置と、 前記画像処理装置により不良と判定された部位を示すデ
ータを記憶する記憶装置と、 前記撮影視点移動手段及び画像処理装置を制御して前記
撮影視点の移動と検査物の各部位の良否の検査判定との
並行動作を可能とすると共に、前記記憶装置に格納され
たデータにより不良と判定された部位の再検査を可能と
する主制御装置とを具備したことを特徴とする自動検査
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1058166A JP2896153B2 (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | 自動検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1058166A JP2896153B2 (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | 自動検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02236682A true JPH02236682A (ja) | 1990-09-19 |
JP2896153B2 JP2896153B2 (ja) | 1999-05-31 |
Family
ID=13076411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1058166A Expired - Lifetime JP2896153B2 (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | 自動検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2896153B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07325046A (ja) * | 1994-05-31 | 1995-12-12 | Nec Corp | 外観検査方法及び外観検査装置 |
JPH10261900A (ja) * | 1997-01-17 | 1998-09-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 実装部品の検査方法 |
CN110998815A (zh) * | 2017-07-31 | 2020-04-10 | 东京毅力科创株式会社 | 检查装置、检查方法和存储介质 |
-
1989
- 1989-03-09 JP JP1058166A patent/JP2896153B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07325046A (ja) * | 1994-05-31 | 1995-12-12 | Nec Corp | 外観検査方法及び外観検査装置 |
JPH10261900A (ja) * | 1997-01-17 | 1998-09-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 実装部品の検査方法 |
CN110998815A (zh) * | 2017-07-31 | 2020-04-10 | 东京毅力科创株式会社 | 检查装置、检查方法和存储介质 |
CN110998815B (zh) * | 2017-07-31 | 2023-10-27 | 东京毅力科创株式会社 | 检查装置、检查方法和存储介质 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2896153B2 (ja) | 1999-05-31 |
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