JPH0526943A - 回路パターンの検査装置および方法 - Google Patents
回路パターンの検査装置および方法Info
- Publication number
- JPH0526943A JPH0526943A JP3181472A JP18147291A JPH0526943A JP H0526943 A JPH0526943 A JP H0526943A JP 3181472 A JP3181472 A JP 3181472A JP 18147291 A JP18147291 A JP 18147291A JP H0526943 A JPH0526943 A JP H0526943A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- power supply
- pad
- measuring device
- insulation resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【構成】基板１の信号パッド５に検査プローブ９を接触
させ、接地パッド６および電源パッド７を接続した接地
電源接続線ならびに検査プローブ９を静電容量測定器１
０に接続して静電容量を測定してから切換スイッチ１３
により接地電源接続線および検査プローブ９を静電容量
測定器１０から絶縁抵抗測定器１１との接続に切り換え
て絶縁抵抗を測定する。 【効果】各検査パッドへのプロービングごとに、検査パ
ターンの静電容量測定およびＧＮＤネット／電源ネット
対検査パターン間の絶縁抵抗測定を実施することによ
り、二つの異なるモードでの検査を１台の検査装置によ
り効率良く処理出来る。
させ、接地パッド６および電源パッド７を接続した接地
電源接続線ならびに検査プローブ９を静電容量測定器１
０に接続して静電容量を測定してから切換スイッチ１３
により接地電源接続線および検査プローブ９を静電容量
測定器１０から絶縁抵抗測定器１１との接続に切り換え
て絶縁抵抗を測定する。 【効果】各検査パッドへのプロービングごとに、検査パ
ターンの静電容量測定およびＧＮＤネット／電源ネット
対検査パターン間の絶縁抵抗測定を実施することによ
り、二つの異なるモードでの検査を１台の検査装置によ
り効率良く処理出来る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、回路パターンの検査装
置および方法に関し、特に回路パターンの断線および短
絡検査とＧＮＤ／電源ネットと各信号ネット間の絶縁抵
抗検査を行う装置および方法に関する。
置および方法に関し、特に回路パターンの断線および短
絡検査とＧＮＤ／電源ネットと各信号ネット間の絶縁抵
抗検査を行う装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の回路パターンの検査方法は、被検
査パターンの静電容量値を測定し、そのパターンの線長
データから算出される静電容量の理論値とを比較するこ
とによりパターンの断線および短絡を検査する項目と、
ＧＮＤ／電源ネットと各信号ネット間の絶縁抵抗値を測
定し、絶縁抵抗規格内であるか否かを検査する項目がそ
れぞれ別々の検査項目として存在しており、同様に検査
行為も別々に実施されている。
査パターンの静電容量値を測定し、そのパターンの線長
データから算出される静電容量の理論値とを比較するこ
とによりパターンの断線および短絡を検査する項目と、
ＧＮＤ／電源ネットと各信号ネット間の絶縁抵抗値を測
定し、絶縁抵抗規格内であるか否かを検査する項目がそ
れぞれ別々の検査項目として存在しており、同様に検査
行為も別々に実施されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の回路パター
ンの検査方法では、被検査パターンの断線および短絡検
査とＧＮＤ／電源ネット対信号ネット間の絶縁抵抗検査
がそれぞれ独立した検査であり、判定方法も異なること
から、別々の検査装置により同じ信号パターンに対して
二度の検査行為を実施している。この為、検査時間が倍
になっていると共に、検査パターンへのプロービング回
数が増えることによる傷の増加が問題であった。
ンの検査方法では、被検査パターンの断線および短絡検
査とＧＮＤ／電源ネット対信号ネット間の絶縁抵抗検査
がそれぞれ独立した検査であり、判定方法も異なること
から、別々の検査装置により同じ信号パターンに対して
二度の検査行為を実施している。この為、検査時間が倍
になっていると共に、検査パターンへのプロービング回
数が増えることによる傷の増加が問題であった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の回路パターンの
検査装置は、基板の接地層に導通する接地パッドおよび
電源層に導通する電源パッドとを電気的に接続して接地
電源接続線とするＧＮＤ電源接続機構と、前記基板の信
号パターンに導通する信号パッドに接続するための検査
用プローブと、静電容量測定器と、絶縁抵抗測定器と、
前記接地電源接続線および前記検査用プローブを前記静
電容量測定器の一方および他方の入力または前記絶縁抵
抗測定器の一方および他方の入力に切り換えて接続する
切換スイッチとを備えている。
検査装置は、基板の接地層に導通する接地パッドおよび
電源層に導通する電源パッドとを電気的に接続して接地
電源接続線とするＧＮＤ電源接続機構と、前記基板の信
号パターンに導通する信号パッドに接続するための検査
用プローブと、静電容量測定器と、絶縁抵抗測定器と、
前記接地電源接続線および前記検査用プローブを前記静
電容量測定器の一方および他方の入力または前記絶縁抵
抗測定器の一方および他方の入力に切り換えて接続する
切換スイッチとを備えている。
【０００５】本発明の回路パターンの検査方法は、基板
の信号パターンに導通する信号パッドに検査プローブを
接触させる第１の工程と、この第１の工程より後で前記
基板の接地層に導通する接地パッドおよび電源層に導通
する電源パッドをＧＮＤ電源接続機構により接続した接
地電源接続線を静電容量測定器の一方の入力に接続し前
記検査プローブを他方の入力に接続して静電容量を測定
する第２の工程と、前記第１の工程より後で前記電源接
続線を絶縁抵抗測定器の一方の入力に接続し前記検査プ
ローブを他方の入力に接続して絶縁抵抗を測定する第３
の工程と、前記第２および第３の工程の間で切換スイッ
チにより前記接地電源接続線および前記検査プローブと
前記静電容量測定器または前記絶縁抵抗測定器との接続
を切り換える第４の工程とを備えている。
の信号パターンに導通する信号パッドに検査プローブを
接触させる第１の工程と、この第１の工程より後で前記
基板の接地層に導通する接地パッドおよび電源層に導通
する電源パッドをＧＮＤ電源接続機構により接続した接
地電源接続線を静電容量測定器の一方の入力に接続し前
記検査プローブを他方の入力に接続して静電容量を測定
する第２の工程と、前記第１の工程より後で前記電源接
続線を絶縁抵抗測定器の一方の入力に接続し前記検査プ
ローブを他方の入力に接続して絶縁抵抗を測定する第３
の工程と、前記第２および第３の工程の間で切換スイッ
チにより前記接地電源接続線および前記検査プローブと
前記静電容量測定器または前記絶縁抵抗測定器との接続
を切り換える第４の工程とを備えている。
【０００６】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００７】図１は、本発明の一実施例の回路パターン
検査装置を示す構成図である。
検査装置を示す構成図である。
【０００８】被検査基板となる回路基板１は、ＧＮＤ層
２，電源層３を有しており、これら各層は、外部とＧＮ
Ｄパッド６，電源パッド７を介して接続される。
２，電源層３を有しており、これら各層は、外部とＧＮ
Ｄパッド６，電源パッド７を介して接続される。
【０００９】検査対称である信号パターン４も同様に信
号パッド５を介して外部と接続される。回路パターンの
断線／短絡検査では、信号パターン４の持つ静電容量を
測定して設計データより算出される静電容量の理論値と
比較する方法が有効であり、ここで信号パターン４の静
電容量測定の為の対向電極としてＧＮＤ層２および電源
層３を用いている。外部接続用のＧＮＤパッド６，電源
パッド７はＧＮＤ−電源接続機構８により電気的に接続
され、切換スイッチ１３を介して静電容量測定器１０に
接続されている。検査対象となる信号パターン４も信号
パッド５を検査用プローブ９でプロービングすることに
より、電気的接続をはかっている。測定系信号線１４
は、切換スイッチ１３を介して静電容量測定器１０へ接
続されＧＮＤ層２および電源層３と信号パターン４間の
静電容量の測定が実施される。
号パッド５を介して外部と接続される。回路パターンの
断線／短絡検査では、信号パターン４の持つ静電容量を
測定して設計データより算出される静電容量の理論値と
比較する方法が有効であり、ここで信号パターン４の静
電容量測定の為の対向電極としてＧＮＤ層２および電源
層３を用いている。外部接続用のＧＮＤパッド６，電源
パッド７はＧＮＤ−電源接続機構８により電気的に接続
され、切換スイッチ１３を介して静電容量測定器１０に
接続されている。検査対象となる信号パターン４も信号
パッド５を検査用プローブ９でプロービングすることに
より、電気的接続をはかっている。測定系信号線１４
は、切換スイッチ１３を介して静電容量測定器１０へ接
続されＧＮＤ層２および電源層３と信号パターン４間の
静電容量の測定が実施される。
【００１０】次に、ＧＮＤネットおよび電源ネットと信
号パターン４間の絶縁検査では、同様にＧＮＤ−電源接
続機構８を介し、切換スイッチ１３を経て絶縁抵抗測定
器１１とＧＮＤ層２および電源層３の接続をはかる。信
号パターン４は、信号パッド５への検査プローブ９のプ
ロービングを介し、切換スイッチ１３を経て絶縁抵抗測
定器１１へ接続され、絶縁抵抗の測定が実施される。こ
こで、各信号パターンに対し一回の信号パッド５へのプ
ロービングで、パターンの断線／短絡検査を実施し、更
に絶縁抵抗検査を実施する為に、測定系および判定基準
の切換えに制御装置１２を有しており、ここからの命令
により切換スイッチ１３を介して測定経路が選択され、
それぞれの検査が実施される構成となっている。
号パターン４間の絶縁検査では、同様にＧＮＤ−電源接
続機構８を介し、切換スイッチ１３を経て絶縁抵抗測定
器１１とＧＮＤ層２および電源層３の接続をはかる。信
号パターン４は、信号パッド５への検査プローブ９のプ
ロービングを介し、切換スイッチ１３を経て絶縁抵抗測
定器１１へ接続され、絶縁抵抗の測定が実施される。こ
こで、各信号パターンに対し一回の信号パッド５へのプ
ロービングで、パターンの断線／短絡検査を実施し、更
に絶縁抵抗検査を実施する為に、測定系および判定基準
の切換えに制御装置１２を有しており、ここからの命令
により切換スイッチ１３を介して測定経路が選択され、
それぞれの検査が実施される構成となっている。
【００１１】次に、図２の流れ図を用いて図１に示す装
置を用いた回路パターンの検査方法の動作について説明
する。検査が開始されると（ステップ１５）検査データ
が読み込まれ、検査用プローブ９が信号パッド５に位置
づけされ（ステップ１６）、検査パッドをプロービング
する。制御装置１２からの命令により、切換スイッチ１
３が切り換えられ（ステップ１７）、静電容量測定器１
０側に測定経路が切り換えられる。ここで検査パターン
の静電容量測定が実施され（ステップ１８）、パターン
の良否判定が行われる（ステップ１９）。判定が“否”
であれば、不良処理（ステップ２５）がされ、“良”で
あれば、絶縁抵抗測定検査へと移行される。
置を用いた回路パターンの検査方法の動作について説明
する。検査が開始されると（ステップ１５）検査データ
が読み込まれ、検査用プローブ９が信号パッド５に位置
づけされ（ステップ１６）、検査パッドをプロービング
する。制御装置１２からの命令により、切換スイッチ１
３が切り換えられ（ステップ１７）、静電容量測定器１
０側に測定経路が切り換えられる。ここで検査パターン
の静電容量測定が実施され（ステップ１８）、パターン
の良否判定が行われる（ステップ１９）。判定が“否”
であれば、不良処理（ステップ２５）がされ、“良”で
あれば、絶縁抵抗測定検査へと移行される。
【００１２】絶縁抵抗検査では、プローバは、そのまま
の状態として、制御装置１２からの命令により、切換ス
イッチ１３を切り換えて絶縁抵抗測定に測定経路が切換
えられ（ステップ２０）、ＧＮＤ層２および電源層３対
信号パターン４の絶縁抵抗測定が実施される（ステップ
２１）。この値を基に、絶縁抵抗の良否判定が行われ
（ステップ２２）、判定が“否”であれば不良処理が行
われ（ステップ２５）、“良”であればそのまま次のパ
ッドを検査する為に次の検査パッドデータの読み込みが
行われる（ステップ２３）。ここでデータの終りが検出
されたかの判断が行われ（ステップ２４）、“いいえ”
であれば次パッドの検査が継続して実施され、“はい”
であれば検査結果の編集後に（ステップ２６）結果出力
がされ（ステップ２７）検査を終了する（ステップ２
８）。
の状態として、制御装置１２からの命令により、切換ス
イッチ１３を切り換えて絶縁抵抗測定に測定経路が切換
えられ（ステップ２０）、ＧＮＤ層２および電源層３対
信号パターン４の絶縁抵抗測定が実施される（ステップ
２１）。この値を基に、絶縁抵抗の良否判定が行われ
（ステップ２２）、判定が“否”であれば不良処理が行
われ（ステップ２５）、“良”であればそのまま次のパ
ッドを検査する為に次の検査パッドデータの読み込みが
行われる（ステップ２３）。ここでデータの終りが検出
されたかの判断が行われ（ステップ２４）、“いいえ”
であれば次パッドの検査が継続して実施され、“はい”
であれば検査結果の編集後に（ステップ２６）結果出力
がされ（ステップ２７）検査を終了する（ステップ２
８）。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、回路パタ
ーンの断線／短絡検査において、各検査パッドへのプロ
ービングごとに、検査パターンの静電容量測定およびＧ
ＮＤネット／電源ネット対検査パターン間の絶縁抵抗測
定を実施することにより、二つの異なるモードでの検査
を１台の検査装置により効率良く処理出来るという効果
を有する。
ーンの断線／短絡検査において、各検査パッドへのプロ
ービングごとに、検査パターンの静電容量測定およびＧ
ＮＤネット／電源ネット対検査パターン間の絶縁抵抗測
定を実施することにより、二つの異なるモードでの検査
を１台の検査装置により効率良く処理出来るという効果
を有する。
【図１】本発明の一実施例のブロック図である。
【図２】図１の実施例での検査の流れを示した流れ図で
ある。
ある。
１ 回路基板
２ ＧＮＤ層
３ 電源層
４ 信号パターン
５ 信号パッド
６ ＧＮＤパッド
７ 電源パッド
８ ＧＮＤ−電源接続機構
９ 検査用プローブ
１０ 静電容量測定器
１１ 絶縁抵抗測定器
１２ 制御装置
１３ 切換スイッチ
１４ 測定系信号線
Claims (2)
- 【請求項１】 基板の接地層に導通する接地パッドおよ
び電源層に導通する電源パッドとを電気的に接続して接
地電源接続線とするＧＮＤ電源接続機構と、前記基板の
信号パターンに導通する信号パッドに接続するための検
査用プローブと、静電容量測定器と、絶縁抵抗測定器
と、前記接地電源接続線および前記検査用プローブを前
記静電容量測定器の一方および他方の入力または前記絶
縁抵抗測定器の一方および他方の入力に切り換えて接続
する切換えスイッチとを含むことを特徴とする回路パタ
ーンの検査装置。 - 【請求項２】 基板の信号パターンに導通する信号パッ
ドに検査プローブを接触させる第１の工程と、この第１
の工程より後で前記基板の接地層に導通する接地パッド
および電源層に導通する電源パッドをＧＮＤ電源接続機
構により接続した接地電源接続線を静電容量測定器の一
方の入力に接続し前記検査プローブを他方の入力に接続
して静電容量を測定する第２の工程と、前記第１の工程
より後で前記電源接続線を絶縁抵抗測定器の一方の入力
に接続し前記検査プローブを他方の入力に接続して絶縁
抵抗を測定する第３の工程と、前記第２および第３の工
程の間で切換スイッチにより前記接地電源接続線および
前記検査プローブと前記静電容量測定器または前記絶縁
抵抗測定器との接続を切り換える第４の工程とを含むこ
とを特徴とする回路パターンの検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3181472A JPH0526943A (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | 回路パターンの検査装置および方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3181472A JPH0526943A (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | 回路パターンの検査装置および方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0526943A true JPH0526943A (ja) | 1993-02-05 |
Family
ID=16101357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3181472A Pending JPH0526943A (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | 回路パターンの検査装置および方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0526943A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005156399A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
-
1991
- 1991-07-23 JP JP3181472A patent/JPH0526943A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005156399A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
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