JPH03162682A - 基板検査装置 - Google Patents
基板検査装置Info
- Publication number
- JPH03162682A JPH03162682A JP1302708A JP30270889A JPH03162682A JP H03162682 A JPH03162682 A JP H03162682A JP 1302708 A JP1302708 A JP 1302708A JP 30270889 A JP30270889 A JP 30270889A JP H03162682 A JPH03162682 A JP H03162682A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- frequency
- pattern
- terminal
- resistor
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は基板検査装置に関する。
ご従来の技術〕
従来の基板検査装置について、図面を参照して詳細に説
明する。
明する。
第４図は従来の基板検査装置の一例を示すブロック図で
ある。
ある。
従来の基板検査装置は抵抗計１６と、金属配線パターン
８（以下パターンとする）に接触する２本のプローブ７
と、前記プローブの位置ぎめ部３と、前記抵抗計、プロ
ーブ、位置ぎめ部を制御する制御部２とを含んで構成さ
れる。
８（以下パターンとする）に接触する２本のプローブ７
と、前記プローブの位置ぎめ部３と、前記抵抗計、プロ
ーブ、位置ぎめ部を制御する制御部２とを含んで構成さ
れる。
この装置は、パターンの二つの端子におのおのプローブ
を接触させ、プローブに抵抗計を接続して、２端子間の
配線の抵抗値を測定し、抵抗値が大きいときはパターン
の断線あるいはかけ、細り等の不良と判定する。抵抗値
が十分小さいときは良品と判定する。
を接触させ、プローブに抵抗計を接続して、２端子間の
配線の抵抗値を測定し、抵抗値が大きいときはパターン
の断線あるいはかけ、細り等の不良と判定する。抵抗値
が十分小さいときは良品と判定する。
検査の手順としては、あらかじめ制御部２に記憶した、
パターンの端子部１１及び１２の位置にプローブ３をそ
れぞれ移動させ、端子間の抵抗値を測定する。
パターンの端子部１１及び１２の位置にプローブ３をそ
れぞれ移動させ、端子間の抵抗値を測定する。
測定完了後は別のパターンにプローブを移動する。この
手順を繰り返して、基板内のすべてのパターンを検査す
る。
手順を繰り返して、基板内のすべてのパターンを検査す
る。
上述した従来の基板検査装置では、パターンの良否判定
をするのに２本のプローブを用いている。従ってひとつ
のパターンの検査を絆わっで次のパターンの検査に移る
とき、２木のプローブを移動しなければならないが、こ
のとき各々のプローブの移動距離は同じとは限らないの
で、片方のプローブがさきに移動完了してもう片方が移
動完了するのを待つことが頻繁に発生する。
をするのに２本のプローブを用いている。従ってひとつ
のパターンの検査を絆わっで次のパターンの検査に移る
とき、２木のプローブを移動しなければならないが、こ
のとき各々のプローブの移動距離は同じとは限らないの
で、片方のプローブがさきに移動完了してもう片方が移
動完了するのを待つことが頻繁に発生する。
このように片方の１ローブの移動の待ち時間の分だけ検
査時間が延びるという欠点があった。
査時間が延びるという欠点があった。
本発明の基板検査装置は被測定基板上の金属配線パター
ンに接触するプローブと、前記プローブに接続される抵
抗器，コンデンサと、前記抵抗器，コンデンサに接続さ
れる電圧増幅器と、被測定基板に隣接して設置される基
準電極と、前記電圧増幅器の出力の周波数を測定する周
波数測定器と、前記プローブ，周波数測定器の位置ぎめ
を行う位置ぎめ部と、前記位置ぎめ部を制御する制御部
とを含んで構成される。
ンに接触するプローブと、前記プローブに接続される抵
抗器，コンデンサと、前記抵抗器，コンデンサに接続さ
れる電圧増幅器と、被測定基板に隣接して設置される基
準電極と、前記電圧増幅器の出力の周波数を測定する周
波数測定器と、前記プローブ，周波数測定器の位置ぎめ
を行う位置ぎめ部と、前記位置ぎめ部を制御する制御部
とを含んで構成される。
次に本発明の実施例について、図面を参照して詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
プローブ７は位置決め部３により、検査したいパターン
８の端子部１１に移動され、接触される。１ローブ７に
は抵抗器４およびコンデンサ５が接続され、抵抗器４お
よびコンデンサ５の他端は増幅器６の出力に接続される
。
８の端子部１１に移動され、接触される。１ローブ７に
は抵抗器４およびコンデンサ５が接続され、抵抗器４お
よびコンデンサ５の他端は増幅器６の出力に接続される
。
またプローブ７の電圧が増幅器６の入力される。増幅器
６の出力は周波数測定器１に入力され、増幅器６の出力
の周波数を測定する。測定した周波数のデータは制御部
１２に送られ、パターンの良否判定に利用される． 第２図は検査の対象となるパターンの電気的等価回路図
である。
６の出力は周波数測定器１に入力され、増幅器６の出力
の周波数を測定する。測定した周波数のデータは制御部
１２に送られ、パターンの良否判定に利用される． 第２図は検査の対象となるパターンの電気的等価回路図
である。
つぎに検査における不良の判定方法を説明する。
第３図はプローブ７がパターンの端子部１１に接触して
いる時の、増幅器６、抵抗器４、コンデンサ５およびパ
ターン８をすべて含めた等価回路である。
いる時の、増幅器６、抵抗器４、コンデンサ５およびパ
ターン８をすべて含めた等価回路である。
この回路は、発振回路を構成し、発振周波数ωは次のよ
うになる。ただし抵抗値ｌ４をＲ、静電容量１３をＣｓ
、静電容量１４をＣｂ、抵抗器４をＲｆ、コンデンサ５
をＣｆとして表す。
うになる。ただし抵抗値ｌ４をＲ、静電容量１３をＣｓ
、静電容量１４をＣｂ、抵抗器４をＲｆ、コンデンサ５
をＣｆとして表す。
ω＝ （ Ｃ ｓ ＋ Ｃ ｂ ） ／ （ Ｒ ｆ−
Ｃ ｆ−Ｒ−Ｃ ｂ ）検査には、この回路の発振周波
数の測定値を用いる。抵抗値１５が小さいときは、発振
が起こらないのに対して、抵抗値が大きくなるに連れて
、発振周波数が小さくなる。
Ｃ ｆ−Ｒ−Ｃ ｂ ）検査には、この回路の発振周波
数の測定値を用いる。抵抗値１５が小さいときは、発振
が起こらないのに対して、抵抗値が大きくなるに連れて
、発振周波数が小さくなる。
そこで発振周波数を周波数測定器で測定し、周波数が十
分高いときは、良品と判定し、周波数が低い場合は抵抗
値１５が大きいので不良であると判定する。
分高いときは、良品と判定し、周波数が低い場合は抵抗
値１５が大きいので不良であると判定する。
なお静電容量ｌ４静電容量１３に比べて非常に小さいと
きは、発振周波数が高くなるので、不良を検出できない
が、このときはパターンのもう一方の端子１２にプロー
ブを当てて発振周波数を測定すると、式の上では、ｃｂ
とＣｓが入れ替わるので、発振周波数が低くなる。この
ことにより確実に抵抗値１５の不良を検出する。
きは、発振周波数が高くなるので、不良を検出できない
が、このときはパターンのもう一方の端子１２にプロー
ブを当てて発振周波数を測定すると、式の上では、ｃｂ
とＣｓが入れ替わるので、発振周波数が低くなる。この
ことにより確実に抵抗値１５の不良を検出する。
本発明の基板検査装置は、プローブを一本しか用いない
ので、プローブの移動完了後、すぐに抵抗値を測定する
ことができ、プローブの移動完了の待ち時間が無いので
検査時間を短縮することが出来る。
ので、プローブの移動完了後、すぐに抵抗値を測定する
ことができ、プローブの移動完了の待ち時間が無いので
検査時間を短縮することが出来る。
第１図は本発明の一実施例をしめずブロック図、第２図
は検査の対象となるパターンの電気的等価回路図、第３
図は本発明の検査に用いる信号を得る発振回路図、第４
図は従来の一例を示すブロック図である。 １・・・周波数測定器、２・・・制御部、３・・・位置
決め部、４・・・抵抗器、５・・・コンデンサ、６・・
・増幅器、７・・・プローブ、８・・・パターン、９・
・・基板、１ｏ・・・基準電極、１１．１２・・・端子
部、１３ １４・・・パターンの静電容量、ｌ５・・・
パターンの抵抗、１６・・・抵抗計。
は検査の対象となるパターンの電気的等価回路図、第３
図は本発明の検査に用いる信号を得る発振回路図、第４
図は従来の一例を示すブロック図である。 １・・・周波数測定器、２・・・制御部、３・・・位置
決め部、４・・・抵抗器、５・・・コンデンサ、６・・
・増幅器、７・・・プローブ、８・・・パターン、９・
・・基板、１ｏ・・・基準電極、１１．１２・・・端子
部、１３ １４・・・パターンの静電容量、ｌ５・・・
パターンの抵抗、１６・・・抵抗計。
Claims (1)
- 被測定基板上の金属配線パターンに接触するプローブ
と、前記プローブに接続される抵抗器、コンデンサと、
前記抵抗器、コンデンサに接続される電圧増幅器と、被
測定基板に隣接して設置される基準電極と、前記電圧増
幅器の出力の周波数を測定する周波数測定器と、前記プ
ローブ、周波数測定器の位置ぎめを行う位置ぎめ部と、
前記位置ぎめ部を制御する制御部とを含む事を特徴とす
る基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1302708A JPH03162682A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | 基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1302708A JPH03162682A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | 基板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03162682A true JPH03162682A (ja) | 1991-07-12 |
Family
ID=17912232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1302708A Pending JPH03162682A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | 基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03162682A (ja) |
-
1989
- 1989-11-20 JP JP1302708A patent/JPH03162682A/ja active Pending
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