JPH0482145A - 表示装置 - Google Patents

表示装置

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JPH0482145A
JPH0482145A JP2195896A JP19589690A JPH0482145A JP H0482145 A JPH0482145 A JP H0482145A JP 2195896 A JP2195896 A JP 2195896A JP 19589690 A JP19589690 A JP 19589690A JP H0482145 A JPH0482145 A JP H0482145A
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film
antireflection film
antireflection
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silane compound
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JP2195896A
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Shuzo Matsuda
秀三 松田
Takeo Ito
武夫 伊藤
Kazuhiko Shimizu
和彦 清水
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Toshiba Corp
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/86Vessels; Containers; Vacuum locks
    • H01J29/89Optical or photographic arrangements structurally combined or co-operating with the vessel
    • H01J29/896Anti-reflection means, e.g. eliminating glare due to ambient light
    • HELECTRICITY
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    • H01J29/86Vessels; Containers; Vacuum locks
    • H01J29/88Vessels; Containers; Vacuum locks provided with coatings on the walls thereof; Selection of materials for the coatings
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133502Antiglare, refractive index matching layers

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  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、陰極線管や液晶表示装置などの表示部の基
体外表面に反射防止膜が形成されてなる表示装置に関す
る。
(従来の技術) 陰極線管や液晶表示装置などの表示部は、外表面が平滑
なガラス基体で構成されることが多く、そのためにその
外表面で外部光の一次反射がおこり、表示部に描かれる
映像をみにくくするという問題がある。
たとえば陰極線管については、第9図に示すように、外
表面が平滑なガラス製フェースプレート(1)を基体と
して、その内面に蛍光体スクリーン(2)が形成され、
電子銃(3)から放出される電子ビーム(4)を偏向ヨ
ーク(5)の発生する磁界により偏向して、上記蛍光体
スクリーン(2)ヲ水平、垂直走査することにより映像
を表示する構造に形成されている。そのため、フェース
プレート(1)外表面でおこる外部光の一次反射が蛍光
体スクリーン(2)上の映像と重なり合って、その映像
をみにくくする。
このような外部光反射の問題を解決する手段として、従
来より、っぎの2つの手段がある。
その第1の手段は、特開昭61−29051号公報に示
されているように、フェースプレート外表面に微細な凹
凸を形成して、外部光を散乱させる方法である。しかし
、このような手段は、画面全体に白味がかかり、コント
ラストが劣化しているようにみえ、また映像の解像度も
劣化させる。
第2の手段は、フェースプレート外表面に単層または多
層の光学膜を形成して、外部光の反射を防止する反射防
止膜とする方法である。概してこの手段によれば、外部
光の一次反射を有効に防止して、コントラストや解像度
も劣化を防止することができる。
特に単層の反射防止膜の場合は、通常フェースプレート
のガラスの屈折率より低い物質により形成される。その
無反射条件は、反射防止膜の屈折率を01空気の屈折率
n。、表示部基体の屈折率を02とするとき、 て表され、陰極線管の場合、表示部基体がガラスである
から、 n 2 =1 、52 空気の屈折率は、 n o −1,00 であるから、 n1テ1゜23 となる。
この単層の反射防止膜を形成する一般的な方法として、
ぶつ化マグネシウム(MgF2)を真空蒸着する方法が
ある。しかし、MgF2は、それ自体の屈折率が1.3
8と上記無反射条件の屈折率(n 1= 1.23)よ
り大きいため、この真空蒸着で形成された反射防止膜で
は、十分な反射防止効果が得られない。
単層の反射防止膜を形成する他の方法として、Mg F
 2微粒子をけい素(Si )のアルコキシドなどを加
水分解、脱水縮合して得られる酸化けい素(S102)
などにより結着する方法がある。
この方法によれば、第10図に示すように、MgF2微
粒子(6)間に空隙(7)をもつ多孔質薄膜とすること
ができるため、屈折率をMgF2自体の屈折率1.38
以下にすることができる。しかし、この多孔質薄膜の強
度を十分な大きさにしようとすると、Mg F 2に対
する結着剤量が多くなり、その結果、屈折率が大きくな
って反射防止効果が減退する。さらに問題となる点は、
第11図に示すように、Mg F  微粒子(6)の表
面に3102や未縮合の5t−0−Hが存在するため、
水分を吸着しやすく、その吸着水が多孔質薄膜の空隙に
浸入して屈折率を変化させる、つまり反射率が経時変化
するという問題がある。
一方、多層の反射防止膜については、これを2層構造に
形成すると、無反射条件を容易に選定することができる
。すなわち、2層構造の反射防止膜の無反射条件は、ガ
ラスからなる表示部の基体の屈折率をn  下層膜の屈
折率をn3、上層膜2 ゝ の屈折率をn  空気の屈折率をn。とするとき、4 
ゝ で表され、 n 2−1 、52 n o −wl 、 00 とすると、 n a / n 4−1−23 となるから、屈折率の比n s / n 4が1.23
になるように適宜物質を選択して下層および上層膜を形
成すればよく、実際には下層膜に屈折率の高い物質を用
いることにより、容易に形成することができる。
この2層構造の反射防止膜として、特開昭61−100
43号公報には、下層膜をチタン(Ti )またはジル
コニウム(Zr )の酸化物系化合物、たとえばTjま
たはZrのアルコキシドと、S iO2系化合物、たと
えばSlのアルコキシドとの共縮合体で形成し、上層膜
をポリフルオロアルキル基を含有するアルコキシシラン
またはクロルシランから得られる含ふっ素シリコーン化
合物で形成することにより、無反射条件を満たす反射防
止膜としたものが示されている。
しかし、この2層構造の反射防止膜は、下層膜の屈折率
が高いため、上層膜で被覆されない部分が生ずると、そ
の部分では、下層膜の表面反射かおこり、反射率が高く
なる。たとえば下層膜の屈折率か1.7であるとすると
、この下層膜の反射率は10%となり、屈折率が1.5
2の通常のガラスからなる基体の反射率4.3%の2倍
以上となる。そのため、わすかな欠点でも目立ち、単層
の反射防止膜にくらべて不良の発生か多くなる。またこ
の2層構造の反射防止膜は、単層の反射防止膜にくらべ
て製造工程も複雑となる。
(発明が解決しようとする課題) 上記のように、陰極線管や液晶表示装置なとの表示部は
、平滑なガラス基体の外表面で外部光の一次反射がおこ
り、その反射が表示部に描かれる映像と重なり合ってみ
にくくするという問題がある。この外部光反射の問題を
解決する手段として、従来より表示部基体の外表面に単
層または多層の光学膜を形成して、外部光の反射を防止
する反射防止膜とする方法がある。
しかし、その単層の反射防止膜として、これをMg F
 2の真空蒸着により形成したものでは、MgF2自体
の屈折率が大きいため、十分な反射防止効果が得られな
い。またこの単層の反射防止膜t−1MgF2微粒子を
Siのアルコキシドなとを加水分解、脱水縮合して得ら
れる8102などにより結着して多孔質薄膜として形成
する方法かあるか、この多孔質薄膜の強度を十分な大き
さにしようとすると、Mg F 2に対する結着剤量か
多くなり、その結果、屈折率が大きくなって反射防止効
果が減退する。そればかりてなく、MgF2微粒子の表
面にS ] 02や未縮合の5j−0−Hか存在するた
め、水分を吸着し7やすく、その吸着水が多孔質薄膜の
空隙に浸入【7て屈折率を変化させるという問題がある
。また、多層の反射防止膜としての2層構造の反射防止
膜については、下層膜の屈折率が高いため、上層膜に塗
布されない部分などが生ずると、その部分では、下層膜
の表面反射かおこり、わずかな欠点ても目立ち、単層の
反射防止膜にくらべて不良の発生が多くなる。また単層
の反射防止膜にくらべて製造工程も複雑になるなどの問
題がある。
この発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、
十分な反射防止効果を有し、しかも十分な強度を有し、
かつ経時変化をおこさない単層の反射防止膜を備える表
示装置を構成することを目的とする。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 表示部基体の外表面に反射防止膜が形成されてなる表示
装置において、その反射防止膜をフルオロアルキル基を
有するシラン化合物の縮合体、またはこのシラン化合物
とけい素または金属酸化物系化合物との共縮合体とを結
着剤として、ぶつ化マグネシウム微粒子を結着してなる
多孔質薄膜で構成した。
(作用) 上記のように、表示装置の反射防止膜を形成すると、フ
ルオロアルキル基を有するシラン化合物の縮合体または
そのシラン化合物とけい素または金属酸化物系化合物と
の共縮合体からなる結着剤は、MgF、、とほぼ同じ屈
折率を有するため、MgF2に対するその結着剤量を調
整して薄膜中の気孔率を調整することにより、十分な反
射防止効果をもつ反射防止膜とすることかでき、かつそ
の結着剤は、従来の単層の反射防止膜の結着剤として用
いられたSlのアルコキシドを加水分解、脱水縮合して
得られたSiO2とほぼ同等の結着力を有するので、反
射防止膜を所要の強度に保持した状態で十分な反射防止
効果をもつ反射防止膜となる。しかも、疎水性のフルオ
ロアルキル基を有するシロキサン結合で結合するSjの
マトリックスによりMg F 2が結着されるため、そ
のフルオロアルキル基が多孔質薄膜の空隙への水分の浸
入を防止し、経時変化がおこらないものとなる。
(実施例) 以下、図面を参照してこの発明を実施例に基づいて説明
する。
実施例1゜ 第1図にその一実施例であるカラー受像管を示す。この
カラー受像管は、外表面が平滑な球面状のガラス製パネ
ル(10)とこのパネル(10)に一体に接合された漏
斗状のファンネル(11)とからなる真空外囲器を有す
る。そのパネル(10)は表示部基体をなし、その内面
に青、緑、赤に発光するドツト状またはストライプ状の
3色蛍光体層およびこの3色蛍光体層の間隙部を埋める
光吸収層からなる蛍光体スクリーン(12)か形成され
、さらにこの蛍光体スクリーン(12)に対向して、そ
の内側に多数の電子ビーム通過孔の形成されたシャドウ
マスク(13)か装着されている。またファンネル(1
1)のネック(14)内に3電子ビーム(15B) 、
 (15G) 、 (15R)を放出する電子銃(16
)が配設されている。そして、この電子銃(1B)から
放出される3電子ビーム(15B) 、 (15G) 
、 (15R)をファンネル(11)の外側に装着され
た偏向ヨーク(17)の発生する磁界により偏向して、
蛍光体スクリーン(12)を水平、垂直走査することに
より、映像を表示する構造に形成されている。また上記
パネル(10)の外側には、上記真空外囲器の爆縮を防
止するための防爆バンド(18)か巻付けられている。
さらにパネル(10)の球面状部から隣接外側部の外表
面にかけて、その外表面における外部光の一次反射を防
止するための反射防止膜(19)が設けられている。
上記反射防止膜(19)は、 [[(C)I、 )  ]  I?  5i(OR’)
 4−(、+m)、、2nm (OR’)  5i(CH)  Rf(CH2) 25
i(OR’) 3但し、Rf:フルオロアルキル基 R:アルキル基またはフェニル基 R゛ :アルキル基またはフェニル基 n+m≦3 n:3以下の自然数 m:0,1.2のいずれか で表されるフルオロアルキル基を有するシラン化合物の
縮合体、またはそのアルコキシル基(OR’)をクロル
(Cg)で置換したもの、またはそのフルオロアルキル
基を有するシラン化合物とSiまたはTi、Zrなどの
金属酸化物系化合物、たとえば M (OR) 但し、M:Ti、Zrなどの金属 との共縮合体を結着剤とし、第2図に示すように、Mg
F2微粒子(21)を上記結着剤(22)で結着した多
孔質薄膜で構成されている。第3図(a)および(b)
にそれぞれその [Rf(CH2) 2)] 、 R、5t(OR’) 
4−(n+m)および(OR’)  5i(CH2) 
2Rf<CH2) 2St(OR’) 3を結着剤とす
る反射防止膜(19)の化学構造を示す。
上記反射防止膜(19)の膜厚dは、膜(19)の屈折
率を01光の波長をλとするとき、 nl−d−λ/4 で決定され、波長λを一番視感度の高いλ−550nm に対して、 d −1000人 に形成されている。
したかって、この薄膜を構成するMgF2微粒子(2]
)の粒径は1000Å以下であるが、粒径は100Å以
下になると、その微粒子が反射防止膜塗布溶液中で凝集
して2次粒子をつくり、均質な反射防止膜(19)を形
成することができなくなるので、10Å以上であること
が望まれる。
つぎに、上記反射防止膜(I9)形成に用いられるフル
オロアルキル基を有するシラン化合物の縮合体の具体例
をて示す。
CF  (CF  )  (CH)  Si(OCII
3)3CP (CF  ’)  (CH) 5t(OH
C3)2CF  (CH)  5l(OCHa ) 3
(OCH) 5i(CH2)2(CF2)5(CH2)
2Si(OCH3)3 CF  (CP  ’)  (C)I  )  5t(
QC)I3)3CF3(CH2)2SiC12 CISl(CH2)2(CF2)5(CH2)2SjC
13CF3 (cp  2  )  y  (co  
2  )  2 5iClaCP  (CP  )  
(CH)  5t(CH3)(OCH3)、。
ところで、上記のように反射防止膜(■9)を、フルオ
ロアルキル基を有するシラン化合物の縮合体、またはそ
のアルコキシル基をCgで置換したもの、またはそのフ
ルオロアルキル基を有するシラン化合物とSjまたは金
属酸化物系化合物との共縮合体を結着剤(22)として
、MgF2微粒子(21)を結着17た多孔質薄膜構造
に形成すると、その結着剤(22)であるフルオロアル
キル基を有するシラン化合物の縮合体などの屈折率が1
.35〜1.43であり、MgF2の屈折率(1,38
)とほぼ同じであるため、Mg F  に対する結着剤
量(結着剤/ Mg F 2 )を変化させても、屈折
率の変化が少なく、反射防止膜(19)の屈折率が主と
して気孔率に依存するようになる。
第4図ないし第7図に上記MgF2に対する結着剤量と
その結果得られる反射防止膜の反射率、膜強度、気孔率
および反射率の経時変化との実験結果を示す。
第4図の曲線(24)は、MgF2に対するフルオロア
ルキル基を有するシラン化合物の縮合体からなる結着剤
量とその結果得られる反射防止膜の視感反射率との関係
であり、曲線(25)は、Siのアルコキシドを加水分
解、脱水縮合して得られたS iO2を結着剤とする従
来構造の反射防止膜の経時変化後の安定した状態の視感
反射率を示す比較例である。反射防止膜が無反射条件を
満足するためには、反射率を1.0%以下にすることか
望まれるので、曲線(24)からMg F 2に対する
結着剤量は11倍以下であることが望まれる。この結着
剤量は、従来のS iO2を結着剤とする場合、曲線(
25)かられかるように0.25倍以下であることから
、結着剤の使用可能範囲が広く、多量の結着剤か使用可
能であることを示している。
また、第5図の曲線(26)は、MgF2に対するフル
オロアルキル基を有するシラン化合物の縮合体からなる
同結着剤の量とその結果得られる反射防止膜の膜強度と
の関係を示したものである。この反射防止膜の膜強度に
関しては、上記Sio2を結着剤とする従来構造の反射
防止膜も、曲線(26)もほぼ同等の結果が得られてい
る。この膜強度に関し、陰極線管の外囲器表面に形成さ
れる反射防止膜の強度としては、経験上6H以上か必要
であるから、所要の膜強度にするためには、Mg、 F
 2に対して結着剤量を0.25倍以上にする必要があ
る。
したがって、フルオロアルキル基を有するシラン化合物
の縮合体からなる結着剤によりMgF2微粒子を結着し
てなる反射防止膜を所要の反射率および膜強度に形成す
るためには、その結着剤量をMgF2に対して、0.2
5〜11の範囲にすればよく、より好ましい反射防止膜
として、反射率を0.8%以下、膜強度を7H以上に設
定しても、MgF2に対する結着剤量は、0.5〜11
の範囲となる。しかし、S jo 2を結着剤とする従
来構造の反射防止膜については、反射率と膜強度の両方
を満足する範囲はない。つまり、この例の反射防止膜は
、S 102を結着剤とする従来構造の反射防止膜と大
きく相違する。
第6図にこの例の反射防止膜の屈折率を低くする最大要
因となる気孔率とMgF2に対するフルオロアルキル基
を有するシラン化合物の縮合体からなる同結着剤量との
関係を曲線(27)で示す。上述したように所要の反射
率、膜強度の反射防止膜の形成するうえに必要なMgF
2に対する結着剤量は、0.25〜11、好ましくは0
.5〜11の範囲であるから、気孔率としては、上記曲
線(27)から4.5〜36%、好ましくは8〜27%
とするとよい。
また、この反射防止膜は、5IO2を結着剤とする従来
構造の反射防止膜と異なり、屈折率の経時変化かない。
すなわち、第7図に温度25℃、相対湿度90%でのこ
の例の反射防止膜の経時変化を従来構造の反射防止膜の
それと比較して示すように、S ] 02を結着剤とす
る従来構造の反射防止膜は、曲線(28)で示すように
その反射率が大きく経時変化するが、MgF2に対する
フルオロアルキル基を有するシラン化合物の縮合体から
なる結着剤量を0,25重量%とじたこの例の反射防止
膜は、直線(29)で示すようにほとんど経時変化をお
こさないことが示されている。
これは、この例の反射防止膜は、フルオロアルキル基を
有するシロキサン結合で結合するStのマトリックスに
よりMg F 2が結着され、そのフルオロアルキル基
の強い疎水性により多孔質薄膜の空隙への水分の浸入か
防止されるためであると考えてよい。
つぎに、この例の反射防止膜を具体例について説明する
具体例a5 表1にAないしDで示した4種類の組成の異なる溶液を
調合し、その各溶液を撹拌しなから数時間熟成して、あ
る程度加水分解および脱水縮合を進めたのち、25イン
チカラー受像管のパネル外表面にスピンコード法により
、膜厚か1000人になるように回転数を制御して塗布
したのち、200℃で20分焼成して、反射防止膜を形
成した。
(以五余白) その結果、表1に併記したように反射率が0.06〜1
,05、膜強度が5〜8Hの経時変化のない安定した所
望の反射率および膜強度を有する反射防止膜が得られた
なお、表1の結着剤 CF3(CF2)5(CH2)2Si(OCH3)3の
かわりに により、膜厚が1000人になるように回転数を制御し
て塗布したのち、200℃で20分焼成して、反射防止
膜を形成した。
(以下余白) CF (CP  )(C)l  )  5i(QC)1
3)2や(C1l  0)St(CH)  (CF  
2) 5 (CH2) 2sj(OC113)3を用い
て調合した溶液により反射防止膜を形成しても、はぼ同
様の結果が得られた。
具体例b、 表2に結着剤としてフルオロアルキル基を含有するシラ
ン化合物とSjのアルコキシドとの共縮合体を用い、E
ないし■で示した5種類の組成の異なる組成の溶液を調
合し、具体例aと同様にその各溶液を撹拌しながら数時
間熟成して、ある程度加水分解および脱水縮合を進めた
のち、25インチカラー受像管のパネル外表面にスピン
コード法その結果、E、F、Gについては、反射率(視
感反射率)として0.4%前後の経時変化のない安定し
た反射率か得られたが、Hおよび工については、経時変
化をおこし、かつ最終的な反射率(視感反射率)が、H
については0.75%、■については1,05%となっ
た。このことは、フルオロアルキル基を含有するシラン
化合物と他の化合物との共縮合体を結着剤とする場合は
、その他の化合物の添加量をフルオロアルキル基含有シ
ラン化合物に対して同量以下にする必要があることを示
している。なお、膜強度については、いずれも7Hであ
り、所要の膜強度とすることができた。したがって、こ
の具体例すについては、E、FSGが反射率、膜強度と
も満足する所要の反射防止膜となっている。
さらに、上記具体例aおよびbにおいて、特筆すべき点
は、不良となる程度の欠点の発生が従来の2層構造の反
射防止膜の場合にくらべていちじるしく低いことである
。すなわち、この例の反射防止膜については、清浄度5
000クラスのクリーンルームで形成しても、そのとき
発生する不良発生率が、清浄度1000クラスのクリー
ンルームて形成したとき発生する従来の2層構造の反射
防止膜の不良発生率にほぼ等しく、容易に所要の反射防
止膜を形成することができ、実用性、量産性にすぐれて
いる。
なお、この具体例すでは、フルオロアルキル基を含有す
るシラン化合物と共縮合体他の化合物として、Sjのア
ルコキシドを用いたが、このSiのアルコキシドのかわ
りに、MをT1やZrなどの金属のアルコキシドを用い
ても、同様の反射防止膜を形成することかできる。さら
にこの反射防止膜に光選択吸収作用を付加させるように
染料、顔料を含有させても良い。又酸化インジウムや酸
化スズ等の微粒子を含有させて導電性を付加することも
できる。
実施例2゜ 第8図に他の実施例として液晶表示装置を示す。
この液晶表示装置は、相対向する一対のガラスからなる
一対の基板(31)、(32)と、この基板(31)。
(32)の各対向面にそれぞれ形成されたITO(in
diu−ta Tin 0xide)からなる所定パタ
ーンの電極(33)。
(34)と、この各電極(33) 、 (34)を覆う
ように上記一対の基板(:31) 、 (32)の各対
向面にそれぞれ形成され配向膜(35) 、 (36)
と、上記基板(31)、(32)間に配置されて配向膜
(35) 、 (3B)に固着し、上記−対の基板(3
1)、(32)間隔を規制する熱硬化性樹脂からなるス
ペーサー(37)と、その基板(31)、(32)間に
充填された液晶(38)と、この液晶(38)の充填さ
れた基板(31)、(32)周縁部を封止するシール剤
(39)とから構成されている。そして、その表示部基
体をなすその一方の基板(31)の外表面に下記反射防
止膜(19)が設けられている。
この反射防止膜(19)は、その反射防止膜(19)形
成部以外の部分をシールし、前記具体例aのB溶液に浸
漬したのち、膜厚が1000人になるように引上げ速度
を制御して引上げてその露出外表面に塗布し、その後、
約60℃の温風で40分間焼成して形成したものである
その結果、基板(31)外表面に、視感反射率が約0.
4%で経時変化がなく、がっ膜強度が7Hという良好な
反射防止膜を形成することができた。
[発明の効果] 表示装置の表示部基体の外表面に形成される反射防止膜
を、フルオロアルキル基を有するシラン化合物の縮合体
、またはこのシラン化合物の縮合体とSiまたは金属酸
化物系化合物との共縮合体を結着剤として、MgF2微
粒子を結着してなる多孔質薄膜で構成すると、フルオロ
アルキル基を有するシラン化合物の縮合体またはそのS
iまたは金属酸化物系化合物との共縮合体からなる結着
剤は、MgF2とほぼ同じ屈折率を有するため、MgF
2に対するその結着剤量を調整して薄膜中の気孔率を調
整することにより、十分な反射防止効果をもつ反射防止
膜とすることかできる。しかもその結着剤は、従来の単
層の反射防止膜の結着剤として用いられたSiのアルコ
キシドを加水分解、脱水縮合して得られたS iO2と
ほぼ同じ結着力を有しるので、反射防止膜を所要の強度
に保持した状態で十分な反射防止効果をもつ反射防止膜
とすることができる。しかもこの反射防止膜は、Mg 
F 2が疎水性のフルオロアルキル基を有するシロキサ
ン結合で結合するSjのマトリックスにより結着され、
そのフルオロアルキル基が多孔質薄膜の空隙への水分の
浸入を防ぐため、経時変化もおこさない反射防止膜とす
ることができる。さらに単層の反射防止膜であるため、
容易かつ安価に所要の反射防止膜を形成することができ
るなどの効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第8図はこの発明の詳細な説明図で、第1
図はその一実施例であるカラー受像管の構成を示す図、
第2図はその反射防止膜の構成を示す図、第3図(a)
および(b)はそれぞれその反射防止膜の化学構造を示
す図、第4図はその反射防止膜の視感反射率とMgF2
に対する結着剤量との関係をS ] 02を結着剤とす
る反射防止膜のそれと比較して示す図、第5図はその反
射防止膜の膜強度とMgF2に対する結着剤量との関係
を示す図、第6図はその反射防止膜の気孔率とMgF2
に対する結着剤量との関係を示す図、第7図はその反射
防止膜の経時変化をSiO3を結着剤とする反射防止膜
のそれと比較して示す図、第8図は他の実施例である液
晶表示装置の構成を示す図、第9図は従来のカラー受像
管の構成を説明するための図、第10図はその反射防止
膜の構成を示す図、第1I図はその反射防止膜の化学構
造を示す図である。 10・・・パネル    、12・・・蛍光体スクリー
ン、16・・・電子銃    、19・・・反射防止膜
、21・・・MgF2微粒子、22・・・結着剤、31
.32・・・基板、   33.34・・・電極、:1
5,36・・・配向膜、  38・・・液晶、第1図 代理人  弁理士  大 胡 典 夫 第2図 (b) 第 図 drrl(hoursl 第 図 all’l/M(]F2 第4図 結着荊/ MCI F2 第 図 第 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 表示部基体の外表面に反射防止膜が形成されてなる表示
    装置において、 上記反射防止膜がフルオロアルキル基を有するシラン化
    合物の縮合体、またはこのシラン化合物とけい素または
    金属酸化物系化合物との共縮合体を結着剤として、ふっ
    化マグネシウム微粒子を結着してなる多孔質薄膜で構成
    されていることを特徴とする表示装置。
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