JPH0437682Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0437682Y2 JPH0437682Y2 JP1987199764U JP19976487U JPH0437682Y2 JP H0437682 Y2 JPH0437682 Y2 JP H0437682Y2 JP 1987199764 U JP1987199764 U JP 1987199764U JP 19976487 U JP19976487 U JP 19976487U JP H0437682 Y2 JPH0437682 Y2 JP H0437682Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- groove
- tool
- angle
- pitch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 22
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001315 Tool steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は溝ローラ、例えばワイヤ式切断装置に
おいてワイヤを巻回する溝ローラを形成する溝加
工用工具に関する。
おいてワイヤを巻回する溝ローラを形成する溝加
工用工具に関する。
上記ワイヤ式切断装置は例えば第６図及び第７
図に示す構造のものがある。この切断装置５０は
３本のローラ５１，５２，５３を備え、それぞれ
のローラには所定ピツチを以て多数の環状溝５１
ａ，５２ａ，５３ａを形成し、ワイヤＳをこれに
巻回して高速走行させ、高硬度脆性材料例えばシ
リコン単結晶Ｗをウエハー状に同時に多数枚切断
するようにしたものである。この場合、各ローラ
の環状溝のピツチは例えば１mm程度ときわめて小
さくし、しかも各ローラのピツチ誤差は、切断す
るウエハーの厚さに不同を生ずる。このためピツ
チはきわめて精度を要求される（例えば0.005
mm）。しかも切断効率向上のため環状溝の数は多
く、従つて加工に際し能率並びに精度向上の一つ
の手段として櫛刃形のいわゆる総形バイトが用い
られている。
図に示す構造のものがある。この切断装置５０は
３本のローラ５１，５２，５３を備え、それぞれ
のローラには所定ピツチを以て多数の環状溝５１
ａ，５２ａ，５３ａを形成し、ワイヤＳをこれに
巻回して高速走行させ、高硬度脆性材料例えばシ
リコン単結晶Ｗをウエハー状に同時に多数枚切断
するようにしたものである。この場合、各ローラ
の環状溝のピツチは例えば１mm程度ときわめて小
さくし、しかも各ローラのピツチ誤差は、切断す
るウエハーの厚さに不同を生ずる。このためピツ
チはきわめて精度を要求される（例えば0.005
mm）。しかも切断効率向上のため環状溝の数は多
く、従つて加工に際し能率並びに精度向上の一つ
の手段として櫛刃形のいわゆる総形バイトが用い
られている。
上記総形バイトは、先端の凹凸は同心円状に形
成されるもので、各溝毎に独立して加工されるも
ので、加工に手数を要するとともに、加工に際し
摩耗し研ぎ直しを繰り返す必要があるが、研削に
限度があり、寿命が短い等の問題がある。特に上
記の如く、例えばピツチ１mm程度で多数の同心円
状溝を上記の精度でそれぞれ刻設することは極め
て困難である。
成されるもので、各溝毎に独立して加工されるも
ので、加工に手数を要するとともに、加工に際し
摩耗し研ぎ直しを繰り返す必要があるが、研削に
限度があり、寿命が短い等の問題がある。特に上
記の如く、例えばピツチ１mm程度で多数の同心円
状溝を上記の精度でそれぞれ刻設することは極め
て困難である。
本考案はかかる点に鑑み、製作容易かつ長期の
使用を可能とすることを目的とするもので、その
特徴とするところは円筒形本体の外周に所定ピツ
チと角度を有する螺溝を形成し、半径方向の切込
み面とこれと直交する逃げ面とにより略Ｌ形とし
た切欠部を長手方向に沿つて切欠して全長に亘り
櫛刃を形成し、かつ切込み面は本体中心と刃先と
を結ぶ線に対し所定のすくい角を形成するように
したものてある。
使用を可能とすることを目的とするもので、その
特徴とするところは円筒形本体の外周に所定ピツ
チと角度を有する螺溝を形成し、半径方向の切込
み面とこれと直交する逃げ面とにより略Ｌ形とし
た切欠部を長手方向に沿つて切欠して全長に亘り
櫛刃を形成し、かつ切込み面は本体中心と刃先と
を結ぶ線に対し所定のすくい角を形成するように
したものてある。
櫛刃は螺溝を形成しこれに切込み面を切込むこ
とにより形成される。従つてピツチ精度は向上す
る。また摩耗に際しては本体は円筒形であり研ぎ
直し可能回数は増加し長期に使用することができ
る。
とにより形成される。従つてピツチ精度は向上す
る。また摩耗に際しては本体は円筒形であり研ぎ
直し可能回数は増加し長期に使用することができ
る。
第１図乃至第２図は本考案の実施例を示す。溝
加工工具１は工具鋼等を以てする円筒状の本体２
の外周に螺溝３を刻設し、かつ全長に亘つて切欠
部４を形成してなる。この螺溝３は所定ピツチＰ
と角度αとを有するもので、この螺溝３は本体２
を熱処理により所要の硬度とした後、ねじ研磨機
により研削仕上げを行ない精密に形成する。この
螺溝３は例えばピツチ0.9〜1.5mm、角度45〜60度
に仕上げられる。
加工工具１は工具鋼等を以てする円筒状の本体２
の外周に螺溝３を刻設し、かつ全長に亘つて切欠
部４を形成してなる。この螺溝３は所定ピツチＰ
と角度αとを有するもので、この螺溝３は本体２
を熱処理により所要の硬度とした後、ねじ研磨機
により研削仕上げを行ない精密に形成する。この
螺溝３は例えばピツチ0.9〜1.5mm、角度45〜60度
に仕上げられる。
切欠部４は半径方向の切込み面５とこれと直交
する逃げ面６とにより略Ｌ形に切欠したもので、
切込面５により櫛刃７を形成し、かつ切込面５は
本体中心と刃先とを結ぶ線に対し角度即ちすくい
角βを形成する。
する逃げ面６とにより略Ｌ形に切欠したもので、
切込面５により櫛刃７を形成し、かつ切込面５は
本体中心と刃先とを結ぶ線に対し角度即ちすくい
角βを形成する。
図中８は本体内孔２ａに設けたキー溝である。
第３図乃至第５図は本考案の溝加工工具の使用
要領を示すもので、この工具１を把持する取付用
ホルダ１０は本体内孔２ａを貫通する支軸１１と
この支軸１１を支持するブラケツト１２とを備え
る。支軸１１と工具１とはキー１３により固着し
て工具１の回動を阻止し、支軸１１はブラケツト
１２に対しクランプ部材１４により回動を阻止さ
れる。
要領を示すもので、この工具１を把持する取付用
ホルダ１０は本体内孔２ａを貫通する支軸１１と
この支軸１１を支持するブラケツト１２とを備え
る。支軸１１と工具１とはキー１３により固着し
て工具１の回動を阻止し、支軸１１はブラケツト
１２に対しクランプ部材１４により回動を阻止さ
れる。
切削に当たつては第４図に示す如く工具１の中
心が被切削物Ｗの中心より数mm（５〜６mm）高く
し、刃先７ａは被切削物Ｗの中心に合わせること
が好ましい。
心が被切削物Ｗの中心より数mm（５〜６mm）高く
し、刃先７ａは被切削物Ｗの中心に合わせること
が好ましい。
なお刃先が摩耗したときは、外周に沿つて所定
のすくい角βを保持しつつ研削する。第５図は多
数回研削した状態を示す説明図である。図中鎖線
は順次研削した要領を示すものである。
のすくい角βを保持しつつ研削する。第５図は多
数回研削した状態を示す説明図である。図中鎖線
は順次研削した要領を示すものである。
本考案によるときは、円筒形本体の外周に所定
ピツチと角度を有する螺溝を刻設し、半径方向の
切込み面とこれと直交する逃げ面とにより略Ｌ字
状とした切欠部を本体長手方向に沿つて切欠して
全長に亘つて櫛刃を形成するようにしたから、螺
溝は連続して形成するため、従来の外周の凹凸を
同心円状に形成した櫛刃形切削工具に比しピツチ
精度は極めて正確に、かつ長尺の櫛刃を形成する
ことができる。また切削に当たつては、切込み面
には本体中心と刃先とを結ぶ線に対し所定のすく
い角を形成し、かつ該切込み面は長手方向に沿つ
て形成したから、円形の溝ローラ素材に対し平行
に位置して加工することができ、素材全長に亘つ
て均一に櫛刃を形成することができる。また刃先
の摩耗に際しても本体外周に螺溝が形成されてい
る故所定のすくい角を以て研削することにより常
に同一形状の櫛刃を得ることができ使用期間の延
長を計ることができる効果を有する。
ピツチと角度を有する螺溝を刻設し、半径方向の
切込み面とこれと直交する逃げ面とにより略Ｌ字
状とした切欠部を本体長手方向に沿つて切欠して
全長に亘つて櫛刃を形成するようにしたから、螺
溝は連続して形成するため、従来の外周の凹凸を
同心円状に形成した櫛刃形切削工具に比しピツチ
精度は極めて正確に、かつ長尺の櫛刃を形成する
ことができる。また切削に当たつては、切込み面
には本体中心と刃先とを結ぶ線に対し所定のすく
い角を形成し、かつ該切込み面は長手方向に沿つ
て形成したから、円形の溝ローラ素材に対し平行
に位置して加工することができ、素材全長に亘つ
て均一に櫛刃を形成することができる。また刃先
の摩耗に際しても本体外周に螺溝が形成されてい
る故所定のすくい角を以て研削することにより常
に同一形状の櫛刃を得ることができ使用期間の延
長を計ることができる効果を有する。
第１図乃至第２図は本考案の実施例に関し、第
１図は一部切欠した正面図、第２図は第１図にお
ける左側面図、第３図は上記工具を取付用ホルダ
に取り付けた状態を示す平面図、第４図は切削要
領の説明図、第５図は研ぎ直し要領を示す説明
図、第６図及び第７図はワイヤ式切断装置に関
し、第６図は概略説明図、第７図は側面図であ
る。 １は溝加工工具、２は円筒形本体、３は螺溝、
４は切断部、７は櫛刃、βはすくい角である。
１図は一部切欠した正面図、第２図は第１図にお
ける左側面図、第３図は上記工具を取付用ホルダ
に取り付けた状態を示す平面図、第４図は切削要
領の説明図、第５図は研ぎ直し要領を示す説明
図、第６図及び第７図はワイヤ式切断装置に関
し、第６図は概略説明図、第７図は側面図であ
る。 １は溝加工工具、２は円筒形本体、３は螺溝、
４は切断部、７は櫛刃、βはすくい角である。
Claims (1)
- 円筒形本体の外周に所定ピツチと角度を有する
螺溝を形成し、半径方向の切込み面とこれと直交
する逃げ面とにより略Ｌ形とした切欠部を長手方
向に沿つて切欠して全長に亘り櫛刃を形成し、か
つ切込み面は本体中心と刃先とを結ぶ線に対し所
定のすくい角を形成することを特長とする溝ロー
ラの溝加工用工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987199764U JPH0437682Y2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987199764U JPH0437682Y2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01101703U JPH01101703U (ja) | 1989-07-10 |
| JPH0437682Y2 true JPH0437682Y2 (ja) | 1992-09-04 |
Family
ID=31490204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987199764U Expired JPH0437682Y2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0437682Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761403A (en) * | 1980-09-30 | 1982-04-13 | Okumura Eng:Kk | Cutting tool |
-
1987
- 1987-12-28 JP JP1987199764U patent/JPH0437682Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761403A (en) * | 1980-09-30 | 1982-04-13 | Okumura Eng:Kk | Cutting tool |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01101703U (ja) | 1989-07-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0211368B2 (ja) | ||
| US3163919A (en) | Rotary cutting tools | |
| JPH0437682Y2 (ja) | ||
| JPH09225724A (ja) | フライス用チップ | |
| WO1986003706A1 (en) | A grinding machine workhead fitted with a dressing tool | |
| JPH0739601Y2 (ja) | 丸 鋸 | |
| JP2008229764A (ja) | 回転工具及び加工方法 | |
| JPS6335380B2 (ja) | ||
| JP2009505846A (ja) | フライスカッティングヘッド | |
| JP2001162426A (ja) | 曲面切削装置及び曲面切削方法 | |
| JP3072366B2 (ja) | 多刃研削工具の製造方法 | |
| JPH045234Y2 (ja) | ||
| JPS6243685Y2 (ja) | ||
| JPH0650086Y2 (ja) | リセスボーリングバイト | |
| JPH02250706A (ja) | エンドミルおよびその製造方法 | |
| JPH0516014A (ja) | 多刃カツタによる鏡面切削装置 | |
| JPH03208512A (ja) | 転削工具 | |
| JPS6337137Y2 (ja) | ||
| JPH0760530A (ja) | 多刃カッタによる鏡面切削方法及び装置 | |
| JPH0232114B2 (ja) | ||
| JP2600875B2 (ja) | 座付きスパイラルヒータの製造方法 | |
| JPS60127960A (ja) | 内面研削加工法 | |
| JP2653253B2 (ja) | 超硬ロールの改削方法 | |
| JPH042742Y2 (ja) | ||
| JPS6137455Y2 (ja) |