JPH04220179A - クラッド帯の検査方法 - Google Patents
クラッド帯の検査方法Info
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- JPH04220179A JPH04220179A JP40403190A JP40403190A JPH04220179A JP H04220179 A JPH04220179 A JP H04220179A JP 40403190 A JP40403190 A JP 40403190A JP 40403190 A JP40403190 A JP 40403190A JP H04220179 A JPH04220179 A JP H04220179A
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Landscapes
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣパッケージ等の電
子部品に使用されるクラッド帯の未圧着部の検査方法に
関するものである。
子部品に使用されるクラッド帯の未圧着部の検査方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体もしくは半導体集積回路のリード
フレーム等の素材は、機械的強度を分担する金属と導電
性を受け持つ金属とを２種以上組合せ、帯状にクラッド
した複合材料が用いられる。例を挙げると、図２に示す
ようなものがある。図２は、強度の高い、また耐腐食性
の合金、例えばＦｅ−Ｎｉ合金や、熱膨張係数がガラス
に近いＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等のＦｅ合金またはＣｕ合
金等の帯状母材１の表面にこれらとは異種のＡｌ等の良
電導性ストライプ材２を加圧圧着したものである。
フレーム等の素材は、機械的強度を分担する金属と導電
性を受け持つ金属とを２種以上組合せ、帯状にクラッド
した複合材料が用いられる。例を挙げると、図２に示す
ようなものがある。図２は、強度の高い、また耐腐食性
の合金、例えばＦｅ−Ｎｉ合金や、熱膨張係数がガラス
に近いＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等のＦｅ合金またはＣｕ合
金等の帯状母材１の表面にこれらとは異種のＡｌ等の良
電導性ストライプ材２を加圧圧着したものである。
【０００３】このようなクラッド帯を製造する方法とし
ては、例えば図４の如く特開昭６２−２９６９７８号公
報に記載されるように帯状母材１を巻き納めた母材リー
ル１９から繰り出し、同様に良電導性ストライプ材２を
リール２０から繰り出して帯状母材１に重ね合わせ、共
に２〜４段のロール等の圧延ロール１７を通すことによ
って、冷間にて加圧圧着し、さらに圧延を行ない、所定
の厚さ寸法に仕上げ、クラッド帯３を得て巻き取るとい
う方法がある。帯状母材１は、その加圧圧着する前にそ
の表面をワイヤーブラシ１６等で研磨して清浄化するの
が一般的であり、これを圧延ロール１７により加圧圧着
し、さらに圧延を行ない、所望の板厚にし、クラッド帯
３が得られる。
ては、例えば図４の如く特開昭６２−２９６９７８号公
報に記載されるように帯状母材１を巻き納めた母材リー
ル１９から繰り出し、同様に良電導性ストライプ材２を
リール２０から繰り出して帯状母材１に重ね合わせ、共
に２〜４段のロール等の圧延ロール１７を通すことによ
って、冷間にて加圧圧着し、さらに圧延を行ない、所定
の厚さ寸法に仕上げ、クラッド帯３を得て巻き取るとい
う方法がある。帯状母材１は、その加圧圧着する前にそ
の表面をワイヤーブラシ１６等で研磨して清浄化するの
が一般的であり、これを圧延ロール１７により加圧圧着
し、さらに圧延を行ない、所望の板厚にし、クラッド帯
３が得られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述の圧延ロールを用
いる方法で、クラッド帯を製造すると、時としてクラッ
ドされた良電導性ストライプ材のエッヂ部分に部分的に
圧着不良が生じる場合がある。この圧着不良は、主とし
て、材料を加圧圧着する工程でロールと材料間の潤滑性
が悪いために、良電導性ストライプ材が圧延ロールに接
着して圧着後ロールの回転方向に引っ張られ一部剥離し
たものと考えられる。
いる方法で、クラッド帯を製造すると、時としてクラッ
ドされた良電導性ストライプ材のエッヂ部分に部分的に
圧着不良が生じる場合がある。この圧着不良は、主とし
て、材料を加圧圧着する工程でロールと材料間の潤滑性
が悪いために、良電導性ストライプ材が圧延ロールに接
着して圧着後ロールの回転方向に引っ張られ一部剥離し
たものと考えられる。
【０００５】半導体装置や半導体集積回路のリードフレ
ーム等に使用されるクラッド帯は図３（ａ）に示す如く
、リードピンの形状に打ち抜かれた後、図３（ｂ）に示
すように、リードピン１４とＩＣチップ１５を電気的に
接続するアルミ線（ボンディングワイヤ１１）がリード
ピン１４の前記良電導性ストライプ材２が圧着された先
端の良電導性部分１３にボンディングされる。その後、
セラミックベース１２とセラミックキャップ１０とを低
融点ガラス１９により封止されＩＣとなる。
ーム等に使用されるクラッド帯は図３（ａ）に示す如く
、リードピンの形状に打ち抜かれた後、図３（ｂ）に示
すように、リードピン１４とＩＣチップ１５を電気的に
接続するアルミ線（ボンディングワイヤ１１）がリード
ピン１４の前記良電導性ストライプ材２が圧着された先
端の良電導性部分１３にボンディングされる。その後、
セラミックベース１２とセラミックキャップ１０とを低
融点ガラス１９により封止されＩＣとなる。
【０００６】ボンディング工程で、クラッド帯に上述し
たような圧着不良による部分的な未圧着部があると、ボ
ンディング不良となりＩＣの機能に支障をきたすことに
なる。ＩＣの高信頼性を確保する上から、欠陥のない素
材を提供することが強く求められている。このため、前
記未圧着部は、検査時に検出し、切断除去されなければ
ならない。
たような圧着不良による部分的な未圧着部があると、ボ
ンディング不良となりＩＣの機能に支障をきたすことに
なる。ＩＣの高信頼性を確保する上から、欠陥のない素
材を提供することが強く求められている。このため、前
記未圧着部は、検査時に検出し、切断除去されなければ
ならない。
【０００７】しかし、加圧圧着工程の後にさらに圧延を
行なうために、未圧着部の外観は、正常圧着部と何ら変
わりのないように見える。このために加圧圧着工程で、
未圧着部を検出する必要があるが、未圧着部の大きさは
、平均１０〜３０ｍｍと非常に小さく、目視での検出は
不可能であった。
行なうために、未圧着部の外観は、正常圧着部と何ら変
わりのないように見える。このために加圧圧着工程で、
未圧着部を検出する必要があるが、未圧着部の大きさは
、平均１０〜３０ｍｍと非常に小さく、目視での検出は
不可能であった。
【０００８】このようなことから、従来は検査時に粘着
テープをクラッド帯のストライプ材圧着面に貼り付け、
そして粘着テープを引き剥がすことにより、未圧着部を
剥離***させ、目視により検査を行なっていた。この方
法では、効率上の問題から全長に渡って検査を行なうこ
とが不可能であり、加圧圧着工程での連続的な検査を行
なうことが待ち望まれていた。本発明では、加圧圧着工
程での連続的な検査を行なうクラッド帯の検査方法を提
供することを目的とする。
テープをクラッド帯のストライプ材圧着面に貼り付け、
そして粘着テープを引き剥がすことにより、未圧着部を
剥離***させ、目視により検査を行なっていた。この方
法では、効率上の問題から全長に渡って検査を行なうこ
とが不可能であり、加圧圧着工程での連続的な検査を行
なうことが待ち望まれていた。本発明では、加圧圧着工
程での連続的な検査を行なうクラッド帯の検査方法を提
供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、帯状母材とス
トライプ材とを圧着したクラッド帯を通板しながら、前
記ストライプ材のエッヂにレーザー光を照射し、その反
射光を光学センサにより検出し、反射光量に対する検出
信号の変化量によって、クラッド帯の圧着状態を検査す
ることを特徴とするクラッド帯の検査方法である。
トライプ材とを圧着したクラッド帯を通板しながら、前
記ストライプ材のエッヂにレーザー光を照射し、その反
射光を光学センサにより検出し、反射光量に対する検出
信号の変化量によって、クラッド帯の圧着状態を検査す
ることを特徴とするクラッド帯の検査方法である。
【００１０】
【作用】本発明の最大の特徴は、レーザー光を前記スト
ライプ材のエッヂに照射し、その反射光を光学センサに
より検出し、ストライプ材の未圧着部を検出することで
ある。この検出方法は、ストライプ材が母材に十分に圧
着していれば、ストライプ材のエッヂ付近の表面は平滑
で、未圧着であれば、同表面が粗く、前記表面の反射率
が異なることを利用したものであり、圧着部であれば、
センサの検出信号の変化量は少なく、未圧着部では、セ
ンサの検出信号の変化量は大きくなる。この検出信号の
変化量の違いによりクラッド帯のストライプ材の圧着状
態を検査することができる。
ライプ材のエッヂに照射し、その反射光を光学センサに
より検出し、ストライプ材の未圧着部を検出することで
ある。この検出方法は、ストライプ材が母材に十分に圧
着していれば、ストライプ材のエッヂ付近の表面は平滑
で、未圧着であれば、同表面が粗く、前記表面の反射率
が異なることを利用したものであり、圧着部であれば、
センサの検出信号の変化量は少なく、未圧着部では、セ
ンサの検出信号の変化量は大きくなる。この検出信号の
変化量の違いによりクラッド帯のストライプ材の圧着状
態を検査することができる。
【００１１】
【実施例】次に図１に従い、本発明の一実施例を板厚
０．２ｍｍ、幅 ４０ｍｍの４２％Ｎｉ−Ｆｅ帯状母材
に厚さ １０μｍ、幅 １０ｍｍの良電導性ストライプ
材２であるＡｌ箔を加圧圧着した場合を例にとり説明す
る。加圧圧着後のクラッド帯３の上方５０ｍｍにセンサ
本体７を配し、投光素子４よりＡｌ箔２のエッヂに、レ
ーザー光５を照射させ、その反射光を、受光素子６で受
光する。
０．２ｍｍ、幅 ４０ｍｍの４２％Ｎｉ−Ｆｅ帯状母材
に厚さ １０μｍ、幅 １０ｍｍの良電導性ストライプ
材２であるＡｌ箔を加圧圧着した場合を例にとり説明す
る。加圧圧着後のクラッド帯３の上方５０ｍｍにセンサ
本体７を配し、投光素子４よりＡｌ箔２のエッヂに、レ
ーザー光５を照射させ、その反射光を、受光素子６で受
光する。
【００１２】このとき、レーザー光５が、正常部（圧着
部）に照射されていれば、センサの出力１８は、図５（
ａ）のようになり、未圧着部８に照射されれば、センサ
の出力１８は、図５（ｂ）のようになる。このように、
正常部と未圧着部では、センサの出力が異なる。この異
なる出力により、良電導性ストライプ材２の未圧着部の
検出が可能となる。
部）に照射されていれば、センサの出力１８は、図５（
ａ）のようになり、未圧着部８に照射されれば、センサ
の出力１８は、図５（ｂ）のようになる。このように、
正常部と未圧着部では、センサの出力が異なる。この異
なる出力により、良電導性ストライプ材２の未圧着部の
検出が可能となる。
【００１３】また、帯状母材１と、良電導性ストライプ
材２との反射率の違いにより、レーザー光が、帯状母材
１に照射されている場合と、良電導性ストライプ材２に
照射されている場合では、センサの出力が異なる。この
ことを利用し、出力１８を見ながら、レーザー光５を、
良電導性ストライプ材２のエッヂに照射することができ
る。また、同出力の違いを利用することにより、良電導
性ストライプ材２の位置ズレをアナログ的にとらえるこ
とが可能となり、良電導性ストライプ材２の位置制御も
可能となる。また、本実施例において、送り速度は、最
高３０ｍ／ｍｉｎ、レーザーのスポット径は、φ５０〜
φ１０００μｍ、レーザー光５の照射角は、４５°〜９
０°で、未圧着部の検出が可能であった。
材２との反射率の違いにより、レーザー光が、帯状母材
１に照射されている場合と、良電導性ストライプ材２に
照射されている場合では、センサの出力が異なる。この
ことを利用し、出力１８を見ながら、レーザー光５を、
良電導性ストライプ材２のエッヂに照射することができ
る。また、同出力の違いを利用することにより、良電導
性ストライプ材２の位置ズレをアナログ的にとらえるこ
とが可能となり、良電導性ストライプ材２の位置制御も
可能となる。また、本実施例において、送り速度は、最
高３０ｍ／ｍｉｎ、レーザーのスポット径は、φ５０〜
φ１０００μｍ、レーザー光５の照射角は、４５°〜９
０°で、未圧着部の検出が可能であった。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、クラッド帯鋼の未圧着
部の検出を、製造工程内で、連続的に行なうことができ
、高信頼性のクラッド帯を供給することが可能となる。
部の検出を、製造工程内で、連続的に行なうことができ
、高信頼性のクラッド帯を供給することが可能となる。
【図１】クラッド材の未圧着部検出の一実施例を示す斜
視図である。
視図である。
【図２】クラッド材の斜視図である。
【図３】（ａ），（ｂ）はクラッド材をＩＣのリードフ
レームとして使用した状態を示す斜視図および断面図で
ある。
レームとして使用した状態を示す斜視図および断面図で
ある。
【図４】クラッド材製造に用いられる装置の概略図であ
る。
る。
【図５】（ａ），（ｂ）は本発明でのセンサの出力信号
を一例を示すものである。
を一例を示すものである。
１ 帯状母材
２ 良電導性ストライプ材
３ クラッド帯
４ 投光素子
５ レーザー光
６ 受光素子
７ センサ本体
８ 未圧着部
９ 低融点ガラス
１０ セラミックキャップ
１１ ボンディングワイヤ
１２ セラミックベース
１３ リードピン先端の良電導性部分１４ リード
ピン １５ ＩＣチップ １６ ワイヤーブラシ １７ 圧延ロール １８ 出力信号 １９ 母材リール ２０ リール
ピン １５ ＩＣチップ １６ ワイヤーブラシ １７ 圧延ロール １８ 出力信号 １９ 母材リール ２０ リール
Claims (1)
- 【請求項１】 帯状母材とストライプ材とを圧着した
クラッド帯を通板しながら、前記ストライプ材のエッヂ
にレーザー光を照射し、その反射光を光学センサにより
検出し、反射光量に対する検出信号の変化量によって、
クラッド帯の圧着状態を検査することを特徴とするクラ
ッド帯の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40403190A JPH04220179A (ja) | 1990-12-03 | 1990-12-03 | クラッド帯の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40403190A JPH04220179A (ja) | 1990-12-03 | 1990-12-03 | クラッド帯の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04220179A true JPH04220179A (ja) | 1992-08-11 |
Family
ID=18513725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40403190A Pending JPH04220179A (ja) | 1990-12-03 | 1990-12-03 | クラッド帯の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04220179A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110653483A (zh) * | 2019-10-08 | 2020-01-07 | 燕山大学 | 搅拌摩擦焊接过程中温度与压下量的在线检测装置 |
-
1990
- 1990-12-03 JP JP40403190A patent/JPH04220179A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110653483A (zh) * | 2019-10-08 | 2020-01-07 | 燕山大学 | 搅拌摩擦焊接过程中温度与压下量的在线检测装置 |
| CN110653483B (zh) * | 2019-10-08 | 2020-07-31 | 燕山大学 | 搅拌摩擦焊接过程中温度与压下量的在线检测装置 |
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