JPH04177202A - ブラックマトリックスの形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明はブラックマトリックスの形成方法に関し、特に
カラー液晶表示パネル等に適したブラックマトリックス
を形成するのに好適である。

〈従来の技術〉 近年、カラーフィルターは液晶デイスプレィ装置の分野
で広く用いられるようになってきている。このカラーフ
ィルターは、通常Ｂ（青）、Ｒ（赤）及びＧ　（ＩＮ）
の画素を透明基板上に配列したものである。ここでコン
トラストの良い画像を得るためには、これらの画素間に
遮光膜であるブラックマトリックスを形成する必要があ
る。さらに、スイッチング素子を用いたアクティブ型表
示装置の場合には、この遮光膜により不要の光を除去で
きろためスイッチング素子の光による誤動作を低減でき
る効果を有する。

このブラックマトリックスの従来技術の形成法としては
、■可染性の合成樹脂をパターニングして、黒色染料で
染色する方法■印刷によって形成する方法■クロムなど
の金属を蒸着させて形成させる方法などにより形成され
ていた。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、前述した従来技術に係るブラックマトリ
ックスの形成法は、以下の点で問題がある。

前記■の染色法では、充分な濃度が得られに＜＜、また
工程が複雑である。

前記■の印刷法では、■の染色法に比較して工程数が少
ないので、簡便ではあるが、細線の精度及び位置合せ精
度が悪く、また充分な濃度も得られにくい。

前記■の蒸着法は、非常にコストがかかり問題である。

このため、ブラックマトリックスの形成において、画像
全体の明るさを保つため及び高精度の画像を得るために
も、光を遮断するのに充分な濃度があり且つ精度の高い
細線を安価に形成することが望まれている。

本発明は以上述べた事情に鑑み、遮光性が充分であると
共に高精度であり且つ工程数が少なくて安価なブラック
マトリックスの形成方法を提供することを目的とする。

く課題を解決するための手段〉 前記目的を達成するための本発明に係るブラックマトリ
ックスの形成方法は、 透明基板上に赤、１ａ、青の画素とブラックマトリック
スとを設けたカラーフィルターのブラックマトリックス
の形成方法において、■基板上に（イ）酸により硬化し
得る樹脂系材料と、（ロ）光酸発生剤と、（ハ）黒色顔
料とを含有してなる感光性の黒色樹脂組成物を塗布、乾
燥し、黒色樹脂層を形成する工程と、 ■該黒色樹脂層をパターン露光する工程と、■該露光済
みの黒色樹脂層を加熱する工程と、 ■該露光、加熱済みの黒色樹脂層を現像する工程とを、 含むことを特徴とする。

以下本発明の詳細な説明する。

ここで本発明で用いられる感光性の黒色樹脂組成物とは
、高感度で露光時に酸素の影響を受けないなどの特性を
有するもので、軽）の酸により硬化し得る樹脂系材料と
、（ロ）の光酸発生剤及び（ハ）の黒色顔料を必須成分
として含有してなるものをいう。

ここで本発明に於ける（イ）の酸により硬化し得る樹脂
系材料とは、例えばユリャ樹脂、メラミン樹脂などのア
ミノ樹脂のようなＮ−メチロール構造を有する架橋剤と
フェノール性水酸基若しくはカルボキシル基を有する樹
脂との樹脂系材料、エポキシ樹脂とフェノール樹脂との
樹脂系材料、あるいはＪ、　Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍ。

Ｓｅｉ、Ｔｅｃｈｎｏｌ、　Ｖｏｌ　３　ｋ　３　（１
９９０）　ｐ２３５〜２４７に発表されているようなｐ
−ヒドロキシスチレンとｐ−アセトキシメチルスチレン
とのヒドロキシスチレン構造を含む共重合体などを挙げ
ることができ、酸によって硬化する性質を有するものを
いう。

上記樹脂系材料は、現像液（有機系、無機系の現像液）
に可溶であるが、特に好ましくは水系アルカリ現像液に
可溶であることが望ましい。これは現像液に有機溶媒を
用いると、作業者のｔＩＲの問題や排気設備等に留意す
る必要があり好ましくないからである。

上記樹脂系材料において、Ｎ−メチロール構造を有する
架橋剤とレーでは、例えばメチロール化尿素、尿素樹脂
、メチロール化メラミン、メチロール化グアナミン、メ
チロール化グリオキザールジウレイン、メチロール化ウ
ロン、メチロール化テトラヒドロピリミドン誘導体、メ
チロール化トリアゾンあるいはこれらのアルキルエーテ
ルを挙げることができる。これらのうちで保存安定性が
高い点でアルキルエーテルを用いることが好ましい。こ
のアルキルエーテルのアルキル基としては、炭素数１〜
５のアルキル基が特に好ましい。

また、上記樹脂系材料において、フェノール性水酸基を
有する樹脂としては、例えばアルカリ可溶性のフェノー
ル樹脂、ノボラック樹脂、ヒドロキシスチレン構造を含
む重合体。

下記一般式（Ｉ）で表わされる構造を含む重合体。

フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性ポリイミド
などを挙げることができる。

（式中、ＲＩは水素、アルキル基又はアリール基を表わ
し、町は水素、ハロゲン、アルキル基又はアルコキシ基
を表わし、ｎはＯ〜６の整数を表わす。） 上記ノボラック樹脂は、フェノール類とケトン類とを酸
触媒の存在下に縮合して得られるものをいう。この際用
いられるフェノール類としては、例えばフェノール、ク
レゾール。

エチルフェノール、ブチルフェノール、キシレノール、
フェニルフェノール、ヒドロキノン、カテコール、レゾ
ルシノール、ピロガロ−ルアナフトール、ビスフェノー
ルＡなどが挙げられる。これらのフェノール類は単独又
は２種以上組合せて用いられる。また、ケトン類として
は、例えばホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、
アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、ペンズアル
デ七ド、アセトン、メチルエチルケトンなどが挙げられ
る。

上記樹脂系材料において、ヒドロキシスチレン構造を含
む重合体としては、例えばヒドロキシスチレン若しくは
ａ−メチル−ヒドロキシスチレンの単独、２種以上若し
くはスチレンあるいはアクリル系モノマーとの共重合に
より得られる。この共重合成分としてのアクリル系モノ
マーとしては、例えばアクリル酸エステル、メタクリル
酸エステル、アクリル酸アミド、メタクリル酸アミド、
アクリロニトリルなどを挙げることができる。

また、上記一般式（Ｉ）で表わされるマレイミド誘導体
構造を含む重合体としては、例えば特開昭６１−１６２
０３９号公報、特開昭６２−１５１４０８号公報、特開
昭６２−１５１４０９号公報などに開示されている。

フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性ポリイミド
としては、例えばＪ、　Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙ■Ｓｃｉ、
　Ｔｅｅｈａｏｌ、　Ｖｏｌ　３　＆　３　（１９９０
）　ｐ２７５〜２８０に記載されているポリイミドを挙
げることができる。

上記樹脂系材料において、カルボキシル基を有する樹脂
としては、例えばアクリル酸。

メタクリル酸、ビニル安息香酸などの不飽和有機酸化合
物と、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、ア
クリロニトリルなどの不飽和化合物とをモノマーとした
共重合物などを挙げることができろ。

上記樹脂系材料において、エポキシ樹脂としては、ノボ
ラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹
脂、臭素化ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、脂環式エ
ポキシ樹脂などを挙げることができる。

一方、本発明に於ける（口）の光酸発生剤とは、光の照
射により酸を発生する化合物をいい、多くの公知化合物
及びそれらの混合物を用いればよく、例えば（ｉ）オニ
ウムのへロゲヅ。

ＢＦ；、　　ＰＦ−、、Ａｓ　Ｆ−、、Ｓ　ｂＦ−、、
Ｓ　　ｉ　Ｆ−、、ＣｊＯ−、、ＣＦ３５ｏ−。

などの塩；　（ｉｉ）有機ハロゲン化合物；−ナフトキ
ノンジアジドスルホン酸化合物及び（ｉｖｌ光スルホン
酸発生化合物などが適当である。

更に詳述すると、（ｉ）オニウム塩としての■アンモニ
ウム塩の例としては、米国特許筒４、０６９．０５５号
明細書及び同第４．０８９．０５６号明細書に；■ジア
ゾニウム塩の例としては、ＰｈｏｔｏｇｒＳｃ　ｉ、　
Ｅｎｇ脛、　３８７　（１９７４）　、　Ｊ、　Ｍａｃ
ｒｏｍｏ　１．　Ｓｃ　ｉ、、ｃｈｅｍ、　。

Ａ２１．１６９５（１９８４）、及びＰｏｌｙｍｅｒ、
　２１．４２３（１９８０）に；■ヨードニウム塩の例
としては、Ｍｉｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ。

ＩＱ、　１３０７　（１９７７）　、　Ｃｈｅｗ、　、
　＆　Ｅｎｇ、　Ｎｅｗｓ、　Ｎｏｖ、　２８．１”３
１（１９８８）、及びヨーロッパ特許筒０．１０４．１
４３号明細書に；■スルホニウム塩の例としては、Ｐｏ
　ｌ　ｙｍｅｒＪ、　、　１７．７３（１９８５）　、
　Ｐｏ１ｙ＋ｉｅｒ　Ｂｕｌ　１．　、１４．２７９　
（１９８５）　。

Ｊ、　Ｐｏｌｙｍｅｒ　Ｓｃｉ、　、　１７．９７７　
（１９７９）、　Ｊ、　Ｏｒｇ、　Ｃｈｅｒｍ、　。

４３、３０５５（１９７８）　、　Ｊ、　Ｏｒｇ、　Ｃ
ｈｅｍ、　、　５０．４３６０（１９８５）　、特開昭
５７−１８７２３号公報、特開昭５６−８４２８号公報
、米国特許筒４．７６０．０１３号公報、米国特許筒４
．１３９．６５５号公報、米国特許筒４．７３４．４４
４号公報及びヨーロッパ特許筒０２９７．４３３号公報
に；■ホスホニウム塩の例としては、米国特許筒４．０
６９．０５５号公報、同第４．０６９．０５６号公報及
びＭａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ。

１７、２４６９　（１９８４）に；■セレノニウム塩の
例としてはＭａｃｒｏ＋ｍｏｌｅｃｕｌｅｓす、　１３
０７　（１９７７）及びＪ　、　Ｐｏｔ　ｙ＠ｅｒＳｃ
ｉ、、　Ｐｏｌｙｍｅｒ　Ｃｈｅｗｓ、　Ｅｄ、　、　
１７．１０４７　（１９７９）に：■アルソニウム塩の
例としては、Ｐｒｏｃ、　ＣｏｎｆＲａｄ　　Ｃｕｒｉ
ｎｇ　　ＡＳＩＡ　　ｐ４７ｇ　　Ｔｏｋｙｏ、Ｏｃｔ
、（１９８８）にそれぞれ開示されている。

また、（ｉｉｌ光の照射により酸を発生し得る有機ハロ
ゲン化合物の例としては、■四臭化炭素、ヨードホルム
、トリブロモアセトフェノン、特公昭４６−４６０５号
公報に記載のフェニルトリハロメチルスルホン化合物ｐ
　特公昭４８３６２８１号公報、特開昭５３−１３３４
２８号公報、特開昭６０−１０５６６７号公報、特開昭
６０−２３９７３６号公報に記載のハロメチル−３−ト
リアジン化合物、ＡｎｇｅｗＰｈｙｓ　ｉｋ、　Ｃｈｅ
ｗ、　、　２４．３８１　（１９１８）　、　Ｊ、　Ｐ
ｈｙｓ、　Ｃｈｅｗ、　、　６６２４４９　（１９６２
）　、特開昭５４−７４７２８号公報、特開昭５５−７
７７４２号公報、特開昭５９−１４８７８４号公報。

特開昭６０−３６２６号公報、特開昭６０−１３８５３
９号公報、特開昭６０−２３９４７３号公報に記載のハ
ロメチルオキサジアゾール化合物などを挙げることがで
きる。

−ナフトキノンジアジド化合物としては例えば、１，２
−ナフトキノン−（２）−ジアジド−４−スルホニルク
ロリドを挙げることができる。

Ｇψ光スル″ホン酸発生化合物としては、例えば１，２
−ナフトキノン−（２）−ジアジド−４−スルホン酸の
エステルもし４はアミド化合物、　　Ｐｏｌｙｍｅｒ　
　Ｐｒｅｐｒｉｎｔｓ、Ｊａｐａｎ　　３５．２４０６
（１９８６）Ｉこ記載のβ−ケトスルホン系化合物、Ｍ
ａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ２１、２００１　（１９８
ｇ）　、特開昭６４−１８１４３号公報に記載のニトロ
ベンジルアルコールとアリールスルホン酸とのエステル
化合物、ヨーロツノｆ　特許筒０．０４４．１５５号公
報、同第０．１９９．６７２号公報記載のオキレムとマ
リールスルホン酸とのエステル化合物、米国特許筒４．
２５８．１２１号公報、同第４．３７１．６０５号公報
、同第４．　ｆ＋１８．５６４号公報に記載のＮ−ヒド
ロキシアミドまたはイミドとスルホン酸とのエステル化
合物、ヨーロッパ特許第８４５１５号公報、同第１９９
．６７２号公報に記載のベンゾインとスルホン酸とのエ
ステル化合物などを挙げる乙とができろ。

これらの光酸発生剤のうち、（ｉｉｌの有機）１０ゲン
化合物、特にハロメチル−５−トリアジン化合物、ハロ
メチルオキサジアゾール化合物及び−の光スルホン酸発
生化合物が架橋効率が良く好適である。

これらの光酸発生剤は、単独で、あるいは混合して使用
しても良く、その添加量は（イ）の酸により硬化し得る
樹脂系材料の固形分に対して、０．１〜５０重量％が好
ましく、より好ましくは０．５〜３０重量％である。こ
れは０．１重量％未満では酸発生量が乏しく架橋反応が
起こりに＜＜、また５０重量％を超えて添加しても、更
なる増量効果が期待できなく、現像性が悪くなり、共に
好ましくないからである。

光酸発生剤は必要に応じて酸発生効率を高める増感、剤
と組み合わせて用いる乙とができる。

かかる増感剤としては公知の増感剤が使用できるが、例
えば、アントラセン、フェナンスレン、ペリレン、ピレ
ン、クリセン、１，２−ペンゾアントラセン、コロネン
、１，６−ジフェニル−１，３，５−ヘキサトリエン、
１，１゜４．４−テトラフェニル−１，３−ブタジェン
、２、３．４．５−テトラフェニルフラン、２，５−ジ
フェニルチオフェン、チオキサントン、２−クロロチオ
キサントン、フェノチアジン、１．３−ジフェニルピラ
ゾリン、１，３−ジフェニルイソベンゾフラン、キサン
トン、ベンゾフェノン、４−ヒドロキシベンゾフェノン
、アンスロン、ニンヒドリン、９−フルオレノン、ニト
ロピレン、２，４．７−）リニトロフルオレノン、イン
ダノン、フエナンスラキノン、テトラロン、７−メドキ
シー４−メチルクマリン、３−ケト−ビス（７−ジニチ
ルアミノクマリン）、フルオロセン、エオシン、ローダ
ミンＳ及びトリフェニルピリリウムバークロレート等の
増感剤を挙げることができる。

これらの増感剤と、前記−）の光酸発生剤との割合は、
モル比で０．０１／１〜１０／１であり、好ましくは０
．１／１〜５／１である。

本発明に於ける（Ｉ→の黒色顔料とは、耐熱性。

耐光性及び耐溶剤性に優れたものが好ましい。

かかる黒色顔料としては、例えばカーボンブラック、鉄
Ｘ、アニ１１ンブラック、シアニンブラック、チタンブ
ラックを挙げることができ、これらから一種又は二種以
上を適宜選択して用いられる。。

本発明に於ける下記（１）式の重ｌ比は、９５１５から
１０／９０　、好ましくは９０／１０から４０／６０と
するのがよい。これは該重量比が９５１５未満以下とな
ると、望ましい色濃度を得るための膜厚が厚くなりすぎ
るし、また１　０／９０を超えた場合には、黒色顔料の
分散安定性、膜形成能が損われ、共に好ましくないから
である。

本発明の感光性の黒色樹脂組成物は、上記（イ）の酸に
より硬化し得る樹脂系材料の成分と、（ロ）光酸発生剤
との成分を、溶解する溶媒に溶かし、し→の黒色顔料を
分散させた溶液として用いられる。

このような溶媒の例としては、ジオキサン、ジェトキシ
エタン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、メチ
ルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチレングリコール
モノイソプロビルエーテル、プロピレングリコールモノ
メチルエーテル、フロピレンゲリコールモノエチルエー
テルなどのエーテル類、アセトン、メチルエチルケトン
、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロ
ヘキサノンなどのケトン頚、酢酸エチル、酢酸ブチル、
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテ
ート、酢酸プロピレングリコールモノメチルエーテル、
酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジメチ
ルオギザレート、乳酸メチル、乳酸エチルなどのエステ
ル類、Ｎ、Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ、Ｎ−ジメチ
ルアセトアミドなどのアミド頚、Ｎ−メチルピロリドン
などのピロリドン類、γ−ブチロラクトンなどのラクト
ン類、ジメチルスルホキシドなどのスルホキシド類など
を挙げることができろ。これらの溶剤はそれぞれ単独で
用いてもよいし、２冒類以上組み合わせて用いても良い
。そして上記成分中の濃度（添加物を含む全固形分）は
、２〜７０重量％、より好ましくは５〜５０重量％が適
当である。

本発明の感光性の黒色樹脂組成物には更に必要に応じて
、組成物の粘度の調整、顔料の分散安定性改善、塗布性
の改善、塗膜の基板に対する密着性改善、塗膜の平坦化
性改善。

現像特性の改善などの目的に、その他の添加物を配合す
ることができる。

上記感光性の黒色樹脂組成物を塗布する透明基板として
は、例えばガラス板、プラスチック板又はプラスチック
フィルム等を挙げることができ、この透明基板上には赤
■、緑ｑ。

青四の画素が形成されていてもよい。

次に本発明の感光性の黒色樹脂組成物を用いたブラック
マトリックスの形成例を述べる。

本発明に係るブラックマトリックスの形成方法は上記■
感光性の黒色樹脂組成物を透明基板上に塗布、乾燥して
、着色樹脂層を形成した後、■所定のパターンに従って
光を照射して露光し、■この層を約５０〜２００℃の範
囲で加熱し、■次いで現像液で現像してブラックマトリ
ックスを形成する。

上記■の塗布方法としては、従来公知の方法、例えば回
転塗布、ワイヤーバー塗布、デイツプ塗布、エアーナイ
フ塗布、ロール塗布。

ブレード塗布、カーテン塗布、スクリーン印刷塗布など
を挙げろことができる。

上記■の黒色樹脂層を形成する際の乾燥は、約５０〜１
５０℃で３０秒〜３０分程度である。照射する光は、例
えば可視光線、紫外線。

Ｘ線及び電子線などが使用できる。

次いで上記黒色樹脂層を加熱するのであるが、この露光
後の熱処理により露光部の表面で発生した酸が拡散して
樹脂層底部まで達し、樹脂を架橋、硬化させて現像液に
不溶となる。

この加熱処理は約５０〜２００℃好ましくは７０°〜１
６０℃の範囲とするのがよい。

また■の現像液としては、アルカリ性水溶液、例えば、
水酸化ナト＋Ｊウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム
、炭酸カリウム、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カ
リウム、第ニリン酸ナトリウム、第三リン酸ナトリウム
。

アンモニア等の無機アルカリ、エチルアミン。

ｎ−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジ−ｎ−プロピ
ルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン等
のアルキルアミン類、ジェタノールアミン、トリエタノ
ールアミン等のアルコールアミン類、テトラメチルアン
モニウムヒドロキサイド、テトラエチルアンモニウムヒ
ドロキサイド、トリメチル（２−ヒドロキシエチル）ア
ンモニウムヒドロキサイド等の第四級アンモニウム塩、
またはビ四−ル、ピペリジン等の環状アミン類などの水
溶液を挙げることができる。

また現像液中に必要に応じて他の添加剤、例えば界面活
性剤、ｇ潤剤、安定剤、少量の有機溶剤等の添加剤を添
加することができる。

く実　施　例〉 次に、実施例により本発明を更に詳細に説明する。

実施例１〜６ 下記組成１の（イ）の酸により硬化し得る樹脂系材料及
び（ロ）の光酸発生剤を溶媒に溶かし、これにも→の黒
色顔料からなる感光性の黒色樹脂組成物を用い、表面に
ＳｉＯ２膜を形成したソーダガラス基板にスピナーで膜
厚が２μｍとなるように塗布し、８０℃で１０分間乾燥
さ組成１ （イ）酸硬化樹脂系材料 クレゾールノボラック樹脂　　　　　　　　　　　７．
１ｇ（ロ）光酸発生剤 （ハ）黒色顔料 カーボンブラック　　　　　　　　　　　　　　　３．
０ｇ（ロ）増感剤 す （ハ）溶　媒 ジエチレングリコールジメチルエーテル　　　　４０ｇ
該黒色感光性樹脂層を所定形状のホトマスクを介してメ
タルハライドランプで空気雰囲気上露光した。

その後、露光して得られたｔＭＩｇｌ１層を１３０℃で
２０分間オーブン中で加熱した。次いで２．３８％水酸
化テトラメチルアンモニウム水溶液で現像して、ブラッ
クマトリックスを形成した。

得られたブラックマトリックスの光学濃度は２．３であ
った。

実施例２ 表面に５ｉＯＪを形成したソーダガラス基板上に赤、緑
、青の画素を印刷により形成してなる基板に、下記組成
２の感光性の黒色樹脂組成物を実施例１と同様に操作し
てブラックマトリックスを形成して、ブラックマトリッ
クスが設けられたカラーフィルターを得た。

梃−」し−１ ｑ）酸硬化樹脂系材料 ０ポリビニルフエノール　　　　　　　　　　　　７．
１ｇ（丸善石油化学社製、　ＬＹＮＣＵＲ−Ｍ（商品名
））０メタノール／エタノール変性ベンＪ　　　　　　
２．１ｇグアナミン（三井すイアナミツド社製；サイメ
ル１１２３（商品名）） （ロ）光酸発生剤 Ｃ１ し→黒色顔料 カーボンブラック　　　　　　　　　　　　　　２．５
ｇチタンブラック　　　　　　　　　　　　　　　　１
．５ｇ（５）増感剤 （ホ）溶媒 ジエチレングリコールジメチルエーテル　　　　４０ｇ
〈発明の効果〉 以上実施例と共に詳しく述べたように、本発明の方法に
よれば、高感度を有し、露光時に酸素の影響を受けなく
、耐熱性が優れていて、且つ水系現像液で現像できる感
光性の黒色樹脂組成物を用い、黒色画像を形成すること
により、遮光性が充分で高精度であり、工程数が少なく
、安価なブラックマトリックスを容易に形成することが
できろ。

従って本発明の方法によって、高品位で高信頼性の液晶
カラーデイスプレィ、液晶カラーテレビ、カラーイメー
ジセンサ−などが容易に製造することができる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）透明基板上に赤、緑、青の画素とブラックマトリッ
   クスとを設けたカラーフィルターのブラックマトリック
   スの形成方法において、 （１）基板上に（イ）酸により硬化し得る樹脂系材料と
   、 （ロ）光酸発生剤と、 （ハ）黒色顔料とを含有してなる感光性の黒色樹脂組成
   物を塗布、乾燥し、黒色樹脂層を形成する工程と、 （２）該黒色樹脂層をパターン露光する工程と、 （３）該露光済みの黒色樹脂層を加熱する工程と、 （４）該露光、加熱済みの黒色樹脂層を現像する工程と
   を、 含むことを特徴とするブラックマトリック スの形成方法。 ２）請求項１記載のブラックマトリックスの形成方法に
   おいて、 上記（イ）の酸により硬化し得る樹脂系材料が、フェノ
   ールを含む樹脂とＮ−メチロール構造を持つ架橋剤とか
   ら成ることを特徴とするブラックマトリックスの製造方
   法。