JPH04143629A - 差圧センサ及びその製造方法 - Google Patents
差圧センサ及びその製造方法Info
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- JPH04143629A JPH04143629A JP8877890A JP8877890A JPH04143629A JP H04143629 A JPH04143629 A JP H04143629A JP 8877890 A JP8877890 A JP 8877890A JP 8877890 A JP8877890 A JP 8877890A JP H04143629 A JPH04143629 A JP H04143629A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は差圧センサ及びその製造方法に関し、特に例え
ば土木・建設用機械の駆動用油圧システムにおける各部
の油圧状態の検出に利用され、外力に対抗して発生する
歪みを検知して当該外力を検出するように構成された差
圧センサ及びその製造方法に関するものである。
ば土木・建設用機械の駆動用油圧システムにおける各部
の油圧状態の検出に利用され、外力に対抗して発生する
歪みを検知して当該外力を検出するように構成された差
圧センサ及びその製造方法に関するものである。
第9図に基づいて従来の差圧センサの構造を説明する。
第9図において、101は圧力に感応する受圧部を備え
たダイヤフラム基体であり、102はダイヤフラム基体
101を取付は且つ支持する金属製の支持部材である。
たダイヤフラム基体であり、102はダイヤフラム基体
101を取付は且つ支持する金属製の支持部材である。
ダイヤフラム基体101の受圧部には例えばポリシリコ
ン等からなる歪みゲージ103が成膜され、且つ受圧部
の表裏の面か受圧面となるように使用されている。この
2つの受圧面に加わる圧力の差が歪みゲージ103で検
出され、圧力信号として出力される。このダイヤフラム
基体101は例えば金属で形成される。支持部材102
はそれぞれ異なる圧力を受ける面を有し、これらの面は
シールダイヤフラム104Aと104Bで形成されてい
る。各シールダイヤフラム裏側の支持部材102の箇所
には凹部105Aと105Bが形成され、それぞれの凹
部には液状のシリコン106が充填され、これはシール
ダイヤプラムで封止されている。各凹部105A、10
5Bによるスペースはダイヤフラム基体101で分離さ
れており、その結果各凹部105A、105Bの液状シ
リコン106による液圧はそれぞれダイヤフラム基体1
01の表裏の面に印加される。かかる構造により、シー
ルダイヤフラム104A、104Bのそれぞれに加わる
外部からの圧力は液状シリコン106を介してダイヤフ
ラム基体101に加えられ、それらの差圧が歪みゲージ
で検出される。
ン等からなる歪みゲージ103が成膜され、且つ受圧部
の表裏の面か受圧面となるように使用されている。この
2つの受圧面に加わる圧力の差が歪みゲージ103で検
出され、圧力信号として出力される。このダイヤフラム
基体101は例えば金属で形成される。支持部材102
はそれぞれ異なる圧力を受ける面を有し、これらの面は
シールダイヤフラム104Aと104Bで形成されてい
る。各シールダイヤフラム裏側の支持部材102の箇所
には凹部105Aと105Bが形成され、それぞれの凹
部には液状のシリコン106が充填され、これはシール
ダイヤプラムで封止されている。各凹部105A、10
5Bによるスペースはダイヤフラム基体101で分離さ
れており、その結果各凹部105A、105Bの液状シ
リコン106による液圧はそれぞれダイヤフラム基体1
01の表裏の面に印加される。かかる構造により、シー
ルダイヤフラム104A、104Bのそれぞれに加わる
外部からの圧力は液状シリコン106を介してダイヤフ
ラム基体101に加えられ、それらの差圧が歪みゲージ
で検出される。
ダイヤフラム基体101の表面に形成された歪みゲージ
103は、加わった圧力に応じて受圧部に歪みが生じた
とき、この歪みに比例して抵抗値が変化する機能を有す
る。歪みゲージ103に発生した検出電圧によって、圧
力値を得ることができる。歪みゲージ103で検出され
た圧力信号は、ダイヤフラム基体101の歪みゲージが
形成された面にボンディングされたリード線107によ
って端子基板108、及び支持部材102に形成された
孔109を経由して外部に引き出される。支持部材10
2に形成されたリード線107を引き出すための孔10
9は絶縁機能を有するハーメチックシール110で封止
されている 〔発明が解決しようとする課題〕 上記の構成を有する従来の差圧センサによれば、ダイヤ
フラム基体101は支持部材102の取付は面に接着剤
等により固着されているので、シールダイヤフラム10
4Bの側から高圧が加わり、且つシールダイヤフラム1
04A側の圧力との差が大きい場合には、ダイヤフラム
基体101が支持部材102から外れるおそれが生じる
。
103は、加わった圧力に応じて受圧部に歪みが生じた
とき、この歪みに比例して抵抗値が変化する機能を有す
る。歪みゲージ103に発生した検出電圧によって、圧
力値を得ることができる。歪みゲージ103で検出され
た圧力信号は、ダイヤフラム基体101の歪みゲージが
形成された面にボンディングされたリード線107によ
って端子基板108、及び支持部材102に形成された
孔109を経由して外部に引き出される。支持部材10
2に形成されたリード線107を引き出すための孔10
9は絶縁機能を有するハーメチックシール110で封止
されている 〔発明が解決しようとする課題〕 上記の構成を有する従来の差圧センサによれば、ダイヤ
フラム基体101は支持部材102の取付は面に接着剤
等により固着されているので、シールダイヤフラム10
4Bの側から高圧が加わり、且つシールダイヤフラム1
04A側の圧力との差が大きい場合には、ダイヤフラム
基体101が支持部材102から外れるおそれが生じる
。
また、ダイヤフラム基体101の表面から引き出された
リード線107は圧力媒体である液状シリコン106の
中を通すように配線されているので、液状シリコン10
6により直接に圧力を受けることになる。このような構
造によれば、リード線107が断線するおそれがあり、
信頼性の点で問題である。
リード線107は圧力媒体である液状シリコン106の
中を通すように配線されているので、液状シリコン10
6により直接に圧力を受けることになる。このような構
造によれば、リード線107が断線するおそれがあり、
信頼性の点で問題である。
更に、中間の圧力伝達手段として、シールダイヤフラム
104A、104Bや液状シリコン106を使用してお
り、そのため更にハーメチックシール110によるガラ
ス封止を行う構造が必要となり、全体的に構造が複雑と
なり、製造工程も多段階となり、製造が面倒であるとい
う不具合を有する。
104A、104Bや液状シリコン106を使用してお
り、そのため更にハーメチックシール110によるガラ
ス封止を行う構造が必要となり、全体的に構造が複雑と
なり、製造工程も多段階となり、製造が面倒であるとい
う不具合を有する。
加えてハーメチックシール110に直接に圧力が加わる
構造となっているため、圧力媒体である液状シリコン1
06に非常に高い圧力が発生するときには、ハーメチッ
クシール110の耐久性に問題が生じる場合もある。
構造となっているため、圧力媒体である液状シリコン1
06に非常に高い圧力が発生するときには、ハーメチッ
クシール110の耐久性に問題が生じる場合もある。
本発明の第1の目的は、受圧部を有するダイヤフラムの
表面に形成される歪み検出部や、引出し配線等の電気配
線部が圧力媒体に直接に接触しないよう圧力媒体から完
全に分離し、歪み検出部や電気配線部の破損を防止し、
これらの保護を企図した差圧センサを提供することにあ
る。
表面に形成される歪み検出部や、引出し配線等の電気配
線部が圧力媒体に直接に接触しないよう圧力媒体から完
全に分離し、歪み検出部や電気配線部の破損を防止し、
これらの保護を企図した差圧センサを提供することにあ
る。
本発明の第2の目的は、歪み検出部や電気配線部などの
センサのデリケートな部分に関し直接的な接液による圧
力印加状態を避ける構造を採用することにより、構造を
簡素にすることができる差圧センサを提供することにあ
る。
センサのデリケートな部分に関し直接的な接液による圧
力印加状態を避ける構造を採用することにより、構造を
簡素にすることができる差圧センサを提供することにあ
る。
本発明の第3の目的は、表裏の両面で圧力を受ける受圧
部を有したダイヤフラムの支持構造を強固なものとし、
2方向からの高圧に耐えることができる差圧センサを提
供することにある。
部を有したダイヤフラムの支持構造を強固なものとし、
2方向からの高圧に耐えることができる差圧センサを提
供することにある。
本発明の第4の目的は、構造の簡素化を達成することに
より、製造工程を簡素化し、容易に且つ安価に製造する
ことのできる差圧センサの製造方法を提供することにあ
る。
より、製造工程を簡素化し、容易に且つ安価に製造する
ことのできる差圧センサの製造方法を提供することにあ
る。
本発明に係る第1の差圧センサは、薄板状であって一方
の面に歪み検出部が形成され且つ表裏両面が受圧面とな
るダイヤフラムと、圧力媒体をダイヤフラムの一方の受
圧面に導入する導入孔を有した第1の支持部材と、圧力
媒体をダイヤフラムの他方の受圧面に導入する導入孔を
有した第2の支持部材とから成り、第1の支持部材と第
2の支持部材はそれぞれ突き合わせ面を備え、これらの
突き合わせ面を突き合わせる構造にて第1と第2の支持
部材がダイヤフラムを両側から支持し固定すると共に、
歪み検出部が形成されるダイヤフラム面側に位置する支
持部材に導入孔を塞ぐシート部材を設けたことを特徴点
として有する。
の面に歪み検出部が形成され且つ表裏両面が受圧面とな
るダイヤフラムと、圧力媒体をダイヤフラムの一方の受
圧面に導入する導入孔を有した第1の支持部材と、圧力
媒体をダイヤフラムの他方の受圧面に導入する導入孔を
有した第2の支持部材とから成り、第1の支持部材と第
2の支持部材はそれぞれ突き合わせ面を備え、これらの
突き合わせ面を突き合わせる構造にて第1と第2の支持
部材がダイヤフラムを両側から支持し固定すると共に、
歪み検出部が形成されるダイヤフラム面側に位置する支
持部材に導入孔を塞ぐシート部材を設けたことを特徴点
として有する。
本発明に係る第2の差圧センサは、前記第1の構成にお
いて、シート部材が、高温の拡散接合により支持部材に
取付けられる金属シートであることを特徴点として有す
る。
いて、シート部材が、高温の拡散接合により支持部材に
取付けられる金属シートであることを特徴点として有す
る。
本発明に係る第3の差圧センサは、前記第2の構成にお
いて、金属シートはたわみを有する状態で取付けられて
いることを特徴点として有する。
いて、金属シートはたわみを有する状態で取付けられて
いることを特徴点として有する。
本発明に係る第4の差圧センサは、前記第1〜第3のい
ずれか]つの構成において、第1と第2の支持部材の突
き合わせ構造によって圧力媒体が存在する空間とは分離
された空間を形成し、この空間に歪み検出部から出力さ
れる差圧信号を取出すための信号引出し・接続部を配設
したことを特徴点として有する。
ずれか]つの構成において、第1と第2の支持部材の突
き合わせ構造によって圧力媒体が存在する空間とは分離
された空間を形成し、この空間に歪み検出部から出力さ
れる差圧信号を取出すための信号引出し・接続部を配設
したことを特徴点として有する。
本発明に係る差圧センサの製造方法は、受圧部を有する
薄板状のダイヤフラムの一方の面に歪み検出部を形成し
、それぞれ圧力媒体を導入する孔を有し且つそれぞれ突
き合わせ面を備えることにより突き合わせ構造によって
結合一体化される第1及び第2の支持部材を形成し、第
1の支持部材にダイヤフラムをその他方の面を用いて取
付け、第2の支持部材の突き合わせ面に孔を覆うシート
部材を取付け、第2の支持部材を、シート部材がダイヤ
フラムの一方の面に形成された歪み検出部を覆うように
、第1の支持部材に突き合せて結合するようにしたこと
を特徴点として有する。
薄板状のダイヤフラムの一方の面に歪み検出部を形成し
、それぞれ圧力媒体を導入する孔を有し且つそれぞれ突
き合わせ面を備えることにより突き合わせ構造によって
結合一体化される第1及び第2の支持部材を形成し、第
1の支持部材にダイヤフラムをその他方の面を用いて取
付け、第2の支持部材の突き合わせ面に孔を覆うシート
部材を取付け、第2の支持部材を、シート部材がダイヤ
フラムの一方の面に形成された歪み検出部を覆うように
、第1の支持部材に突き合せて結合するようにしたこと
を特徴点として有する。
本発明による差圧センサでは、薄板状の金属性ダイヤフ
ラムの一方の面に歪みゲージ等からなる歪み検出部を形
成し、このダイヤフラムを2つの支持部材を両側から突
き合わせることにより支持するように構成し、且つ2つ
の支持部材のそれぞれにダイヤフラムの2つの受圧面の
それぞれに対して圧力媒体を導くための孔を形成し、更
に、歪み検出部が形成されている側に位置する支持部材
の孔の開口部に孔を覆う所要の強度を有するシート部材
をたわみを持たせた状態で取付けるため、歪み検出部や
電気配線膜を完全に接液状態から解放させることができ
る。また圧力媒体が存在する空間と電気配線等の信号引
出し・接続部を配設する空間を完全に分離して形成する
ことにより保護を完全に行うことができる。ダイヤフラ
ムは2つの支持部材で両側から支持されるため、両側か
らの高圧に対して高い耐久性を有する。
ラムの一方の面に歪みゲージ等からなる歪み検出部を形
成し、このダイヤフラムを2つの支持部材を両側から突
き合わせることにより支持するように構成し、且つ2つ
の支持部材のそれぞれにダイヤフラムの2つの受圧面の
それぞれに対して圧力媒体を導くための孔を形成し、更
に、歪み検出部が形成されている側に位置する支持部材
の孔の開口部に孔を覆う所要の強度を有するシート部材
をたわみを持たせた状態で取付けるため、歪み検出部や
電気配線膜を完全に接液状態から解放させることができ
る。また圧力媒体が存在する空間と電気配線等の信号引
出し・接続部を配設する空間を完全に分離して形成する
ことにより保護を完全に行うことができる。ダイヤフラ
ムは2つの支持部材で両側から支持されるため、両側か
らの高圧に対して高い耐久性を有する。
また本発明による差圧センサの製造方法によれば、差圧
センサの保護膜の構造及び電気配線膜の配設箇所の簡素
化に伴い、製造工程が簡素化され、特に保護膜であるシ
ート部材を一方の支持部材に取付け、ダイヤフラムを取
付けた他方の支持部材に一方の支持部材を突き合わせて
組み付けるだけで、歪み検出部に保護膜を形成すること
ができる。
センサの保護膜の構造及び電気配線膜の配設箇所の簡素
化に伴い、製造工程が簡素化され、特に保護膜であるシ
ート部材を一方の支持部材に取付け、ダイヤフラムを取
付けた他方の支持部材に一方の支持部材を突き合わせて
組み付けるだけで、歪み検出部に保護膜を形成すること
ができる。
以下に、本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する
。
。
第1図は例えば油圧機器に組み付けた本発明に係る差圧
センサの一実施例を示す断面図である。
センサの一実施例を示す断面図である。
1は油圧機器の壁部の一部を示し、本発明による差圧セ
ンサのセンサユニット2を取付は且つ支持する支持部を
形成している。支持部1には、差圧センサ2Aを有する
センサユニット2を取付けるための円形の孔3と、この
孔3に通じ且つそれぞれ圧油を導き入れる孔4,5とが
形成される。孔4と孔5に導入される圧油は一般的に異
なる液圧を有している。孔3は第1図中下部に開口部3
aを有し、比較的に大径に形成され、この開口部3aを
通して差圧センサ2Aを備えたセンサユニット2が装着
される。孔4,5は相対的に小径の孔であり、差圧セン
サのセンサユニット2を孔3に装着した状態において、
後述するように、孔4に導入された圧油は差圧センサ2
Aに形成された一方の受圧面に導かれ、孔5に導入され
た圧油は差圧センサ2Aに形成された他方の受圧面に導
かれる。孔4と孔5の第1図中の左端は、例えばそれぞ
れ異なる油流路に開口されている。
ンサのセンサユニット2を取付は且つ支持する支持部を
形成している。支持部1には、差圧センサ2Aを有する
センサユニット2を取付けるための円形の孔3と、この
孔3に通じ且つそれぞれ圧油を導き入れる孔4,5とが
形成される。孔4と孔5に導入される圧油は一般的に異
なる液圧を有している。孔3は第1図中下部に開口部3
aを有し、比較的に大径に形成され、この開口部3aを
通して差圧センサ2Aを備えたセンサユニット2が装着
される。孔4,5は相対的に小径の孔であり、差圧セン
サのセンサユニット2を孔3に装着した状態において、
後述するように、孔4に導入された圧油は差圧センサ2
Aに形成された一方の受圧面に導かれ、孔5に導入され
た圧油は差圧センサ2Aに形成された他方の受圧面に導
かれる。孔4と孔5の第1図中の左端は、例えばそれぞ
れ異なる油流路に開口されている。
差圧センサ2Aを備えたセンサユニット2は、その外観
を形成するハウジング部分が金属で作られ且つ外観形状
が概略的に円柱形の形状に有し、孔3の奥の部分に位置
するセンサユニット2の先部には本発明に係る差圧セン
サ2Aが形成され、中間部の外面には雄ねじ部2Bが形
成され、支持部1の外部に露出した基部には外径拡大部
2Cが形成されている。センサユニット2における外径
拡大部2C及び中間部の内部には底までの距離が比較的
に長い穴2Dが形成されている。この穴2Dによって形
成されるスペースは、増幅器等を含む電気回路部6を取
付けると共に信号を取出す電気配線7を電気回路部6か
ら外部に引き出すためのスペースとして使用される。電
気回路部6は、回路部分が例えばモノリシックICで形
成され、このICを樹脂等でモールドして保護するよう
にしている。信号を取出すための複数本の電気配線端子
7は、その一端を電気回路部6の所定の面に形成された
ターミナル部に接続され、取付は支持部材8を挿通させ
て外部に引き出される。なお、センサユニット2の中間
部の外面に形成された雄ねじ部2Bに係合する雌ねじ部
3bが開口部3aの周辺内面部に形成され、これらのね
じ部の係合関係によってセンサユニット2は支持部1に
装着される。
を形成するハウジング部分が金属で作られ且つ外観形状
が概略的に円柱形の形状に有し、孔3の奥の部分に位置
するセンサユニット2の先部には本発明に係る差圧セン
サ2Aが形成され、中間部の外面には雄ねじ部2Bが形
成され、支持部1の外部に露出した基部には外径拡大部
2Cが形成されている。センサユニット2における外径
拡大部2C及び中間部の内部には底までの距離が比較的
に長い穴2Dが形成されている。この穴2Dによって形
成されるスペースは、増幅器等を含む電気回路部6を取
付けると共に信号を取出す電気配線7を電気回路部6か
ら外部に引き出すためのスペースとして使用される。電
気回路部6は、回路部分が例えばモノリシックICで形
成され、このICを樹脂等でモールドして保護するよう
にしている。信号を取出すための複数本の電気配線端子
7は、その一端を電気回路部6の所定の面に形成された
ターミナル部に接続され、取付は支持部材8を挿通させ
て外部に引き出される。なお、センサユニット2の中間
部の外面に形成された雄ねじ部2Bに係合する雌ねじ部
3bが開口部3aの周辺内面部に形成され、これらのね
じ部の係合関係によってセンサユニット2は支持部1に
装着される。
差圧センサ2Aの部分は、はぼ中央部周辺に受圧部を有
し且つ一方の面に歪み検出部12が設けられた薄板状の
金属製ダイヤフラム9と、このダイヤフラム9を挟み込
み且つ支持する2つの金属製の支持部材10.11とか
ら構成される。支持部材10.11はそれぞれ突き合わ
せ面を有し、この突き合わせ面による突き合わせ構造に
よってダイヤフラム9を支持し固定する。支持部材10
は第1図中上側の支持部材であり、支持部材11は下側
の支持部材である。支持部材10は、その軸線部に孔1
0aが形成され、全体がほぼ円柱形状に形成されている
。支持部材11は径方向の孔部と軸方向の孔部からなる
孔11aが形成されている。第1図に示された状態では
、支持部材10゜11は結合され、一体化されている。
し且つ一方の面に歪み検出部12が設けられた薄板状の
金属製ダイヤフラム9と、このダイヤフラム9を挟み込
み且つ支持する2つの金属製の支持部材10.11とか
ら構成される。支持部材10.11はそれぞれ突き合わ
せ面を有し、この突き合わせ面による突き合わせ構造に
よってダイヤフラム9を支持し固定する。支持部材10
は第1図中上側の支持部材であり、支持部材11は下側
の支持部材である。支持部材10は、その軸線部に孔1
0aが形成され、全体がほぼ円柱形状に形成されている
。支持部材11は径方向の孔部と軸方向の孔部からなる
孔11aが形成されている。第1図に示された状態では
、支持部材10゜11は結合され、一体化されている。
また支持部材11については、図示される如くダイヤフ
ラム9を支持する部分から、更に前記中間部及び前記穴
2Dを形成するハウジング部分に延設され、体的に形成
されている。支持部材10の孔10aは孔4に通じてお
り、支持部材11の孔11aは孔5に通じている。
ラム9を支持する部分から、更に前記中間部及び前記穴
2Dを形成するハウジング部分に延設され、体的に形成
されている。支持部材10の孔10aは孔4に通じてお
り、支持部材11の孔11aは孔5に通じている。
支持部材10と11が一体化され、ダイヤフラム9を挟
み込むように組み付けられた状態において、ダイヤフラ
ム9の中央部付近の受圧部は、同軸関係に位置する孔1
0aと11aの軸線上に当該軸線に直角となるように配
置される。ダイヤフラム9のほぼ中央部付近に存在する
受圧部の両側の各面が受圧面となり、それぞれの受圧面
には孔4.10aと孔5.llaによって導入されたそ
れぞれ異なる圧油が印加される。
み込むように組み付けられた状態において、ダイヤフラ
ム9の中央部付近の受圧部は、同軸関係に位置する孔1
0aと11aの軸線上に当該軸線に直角となるように配
置される。ダイヤフラム9のほぼ中央部付近に存在する
受圧部の両側の各面が受圧面となり、それぞれの受圧面
には孔4.10aと孔5.llaによって導入されたそ
れぞれ異なる圧油が印加される。
ダイヤフラム9の周辺には支持部材10.11の突き合
わせ面の形状に基づいて形成される空間13が存在する
。この空間13はリング状の形状を有し、ダイヤフラム
9の周囲を囲むように形成され、且つ支持部材10.1
1の組み付は状態において孔10a、llaに対し完全
に区画され、相互に分離されている。空間13は密閉状
態にある。空間13にはターミナル部14が形成され、
このターミナル部14の電極部には前記歪み検出部12
から引き出された信号引出し線15が接続される。更に
、このターミナル部14から前記電気回路部6まで、支
持部材11に形成された孔を通して信号引出し部16が
形成され、信号引出し部16によってターミナル部14
と電気回路部6の所定のターミナル部は電気的に接続さ
れている。
わせ面の形状に基づいて形成される空間13が存在する
。この空間13はリング状の形状を有し、ダイヤフラム
9の周囲を囲むように形成され、且つ支持部材10.1
1の組み付は状態において孔10a、llaに対し完全
に区画され、相互に分離されている。空間13は密閉状
態にある。空間13にはターミナル部14が形成され、
このターミナル部14の電極部には前記歪み検出部12
から引き出された信号引出し線15が接続される。更に
、このターミナル部14から前記電気回路部6まで、支
持部材11に形成された孔を通して信号引出し部16が
形成され、信号引出し部16によってターミナル部14
と電気回路部6の所定のターミナル部は電気的に接続さ
れている。
なお、第1図において17,18.19はシール用Oリ
ングである。
ングである。
次に第2図〜第4図を参照して差圧センサ2Aの詳細な
構造について説明する。第2図は第1図中のダイヤフラ
ム9の周辺の構造を拡大して示した縦断面図、第3図は
第2図を更に拡大して示した縦断面図、第4図はダイヤ
フラム9の上面の歪み検出部12の構造を示す平面図で
ある。各図において第1図で示した同一要素には同一符
号を付している。
構造について説明する。第2図は第1図中のダイヤフラ
ム9の周辺の構造を拡大して示した縦断面図、第3図は
第2図を更に拡大して示した縦断面図、第4図はダイヤ
フラム9の上面の歪み検出部12の構造を示す平面図で
ある。各図において第1図で示した同一要素には同一符
号を付している。
第2図において、10bは支持部材10の突き合わせ面
、11bは支持部材11の突き合わせ面である。支持部
材10の突き合わせ面10bには穴10aの周囲に同軸
的にリング形凹部10cが形成され、また孔10aの周
囲にダイヤフラム9の上面周辺部を押える押え部として
機能する内周側のリング形突起部10dが形成される。
、11bは支持部材11の突き合わせ面である。支持部
材10の突き合わせ面10bには穴10aの周囲に同軸
的にリング形凹部10cが形成され、また孔10aの周
囲にダイヤフラム9の上面周辺部を押える押え部として
機能する内周側のリング形突起部10dが形成される。
支持部材11の突き合わせ面11bには円形凹部11c
が形成されている。凹部11cの底部の中心部には前記
孔11aが形成され、ダイヤフラム9は凹部11Cの中
央部に配設される。それぞれ上記の形状の突き合わせ面
10b、llbを有する支持部材10.11を、その中
心部にダイヤフラム9を配設し、突き合わせて組み付け
ると、ダイヤフラム9が固定されると共に前記凹部10
cと11Cによってダイヤフラム9の周囲に前記空間1
3が形成される。第2図中、ダイヤフラム9はその下面
を支持部材11の凹部11cの底面に接着剤又は溶接等
によって固着される。またダイヤフラム9の上面は支持
部材10の突起部10dによって所要の押付は力で圧着
されるか、又は押付は力がほぼOの状態で突起部10d
に当接される。凹部11cの深さとダイヤフラム9との
厚さはほぼ等しいが、圧着か又は単なる接触かによって
それらの寸法的な関係は適宜に設計される。上記のよう
な支持部材10と11の突き合わせ状態において、支持
部材10と11の突き合わせ部の外周囲部には溶接20
が施され、支持部材10と11は結合され、一体化され
る。
が形成されている。凹部11cの底部の中心部には前記
孔11aが形成され、ダイヤフラム9は凹部11Cの中
央部に配設される。それぞれ上記の形状の突き合わせ面
10b、llbを有する支持部材10.11を、その中
心部にダイヤフラム9を配設し、突き合わせて組み付け
ると、ダイヤフラム9が固定されると共に前記凹部10
cと11Cによってダイヤフラム9の周囲に前記空間1
3が形成される。第2図中、ダイヤフラム9はその下面
を支持部材11の凹部11cの底面に接着剤又は溶接等
によって固着される。またダイヤフラム9の上面は支持
部材10の突起部10dによって所要の押付は力で圧着
されるか、又は押付は力がほぼOの状態で突起部10d
に当接される。凹部11cの深さとダイヤフラム9との
厚さはほぼ等しいが、圧着か又は単なる接触かによって
それらの寸法的な関係は適宜に設計される。上記のよう
な支持部材10と11の突き合わせ状態において、支持
部材10と11の突き合わせ部の外周囲部には溶接20
が施され、支持部材10と11は結合され、一体化され
る。
ダイヤフラム9の上面には前記歪み検出部12が形成さ
れている。この歪み検出部12は、前記孔10aに対応
して決まるダイヤフラムの中央部付近の受圧部領域の上
面に形成される。歪み検出部12の構成としては種々の
ものが考えられる。
れている。この歪み検出部12は、前記孔10aに対応
して決まるダイヤフラムの中央部付近の受圧部領域の上
面に形成される。歪み検出部12の構成としては種々の
ものが考えられる。
この実施例において歪み検出部12は、例えばダイヤフ
ラム9の上面に絶縁膜を形成し、その上に4個の例えば
ポリシリコンを利用した半導体歪みゲージ21が所定の
配置状態で形成され、且つ4個の歪みゲージ21がホイ
ートストンブリッジ回路を形成するように電気配線膜に
よって接続される。ブリッジ回路に電圧を加えるための
電気配線及びブリッジ回路から出力を取出すための電気
配線はダイヤフラム9の縁に形成されたポンディングパ
ッドに接続される電気配線膜を用いて構成されている。
ラム9の上面に絶縁膜を形成し、その上に4個の例えば
ポリシリコンを利用した半導体歪みゲージ21が所定の
配置状態で形成され、且つ4個の歪みゲージ21がホイ
ートストンブリッジ回路を形成するように電気配線膜に
よって接続される。ブリッジ回路に電圧を加えるための
電気配線及びブリッジ回路から出力を取出すための電気
配線はダイヤフラム9の縁に形成されたポンディングパ
ッドに接続される電気配線膜を用いて構成されている。
このような構造を有する歪み検出部12は全体が絶縁性
を有したパッシベーション膜に覆われている。歪み検出
部12を形成するための成膜技術としては、CVD法、
真空蒸着法、スパッタ法等が使用され、電気配線膜とし
ては例えばCr / A u薄膜が使用される。かかる
構造を有した歪み検出部12を形成されたダイヤフラム
9は、前述の通り、支持部材11の孔11aを塞ぐよう
に凹部11cの底部に接着剤等によって固定される。
を有したパッシベーション膜に覆われている。歪み検出
部12を形成するための成膜技術としては、CVD法、
真空蒸着法、スパッタ法等が使用され、電気配線膜とし
ては例えばCr / A u薄膜が使用される。かかる
構造を有した歪み検出部12を形成されたダイヤフラム
9は、前述の通り、支持部材11の孔11aを塞ぐよう
に凹部11cの底部に接着剤等によって固定される。
更ニパッシベーション膜の上は金属シート22か配設さ
れ、パッシベーション膜を覆っている。
れ、パッシベーション膜を覆っている。
この金属シート22は、例えば5US631系統の金属
で作られた厚みが例えば10〜100μmのシートであ
り、孔10aの下側開口部を完全に塞ぐような状態で、
リング形突起部10dの頂部に高温を利用した拡散接合
で固定されている。金属シート22は500Kgf/c
m2以上の高圧に絶えることのできる箔状の薄膜であり
、ある程度たわみを有して突起部10dの頂部に接合さ
れている。この金属シート22の取付は構造によれば、
支持部材11に取付けられたダイヤフラム9に対して金
属シート22を取付けた支持部材10の突起部10dを
当接させるだけで、金属シート22は歪み検出部12を
覆うことができる。また金属シート22はある程度たわ
みを有しているので、金属シート22がダイヤフラム9
の受圧部の感圧特性に影響を与えることはない。
で作られた厚みが例えば10〜100μmのシートであ
り、孔10aの下側開口部を完全に塞ぐような状態で、
リング形突起部10dの頂部に高温を利用した拡散接合
で固定されている。金属シート22は500Kgf/c
m2以上の高圧に絶えることのできる箔状の薄膜であり
、ある程度たわみを有して突起部10dの頂部に接合さ
れている。この金属シート22の取付は構造によれば、
支持部材11に取付けられたダイヤフラム9に対して金
属シート22を取付けた支持部材10の突起部10dを
当接させるだけで、金属シート22は歪み検出部12を
覆うことができる。また金属シート22はある程度たわ
みを有しているので、金属シート22がダイヤフラム9
の受圧部の感圧特性に影響を与えることはない。
第4図において、11は支持部材てあり、11Cは凹部
である。凹部11 cの中央部にダイヤフラム9が配設
される。破線で示されたllaは支持部材に11に形成
された孔である。ダイヤフラム9の上面には、4個の歪
みゲージ21とこれらの歪みゲージ21を接続しホイー
トストンブリッジ回路を作る電気配線膜24と信号を取
出すための電気配線膜25が形成されている。電気配線
膜25はそれぞれ対応するホンディングパッド26に接
続される。凹部11cには所定の2か所の位置に前記の
ターミナル部14が形成されており、前記の各ポンディ
ングパッド26は前記信号引出し線15によって対応す
るターミナル部14の電極部に接続されている。
である。凹部11 cの中央部にダイヤフラム9が配設
される。破線で示されたllaは支持部材に11に形成
された孔である。ダイヤフラム9の上面には、4個の歪
みゲージ21とこれらの歪みゲージ21を接続しホイー
トストンブリッジ回路を作る電気配線膜24と信号を取
出すための電気配線膜25が形成されている。電気配線
膜25はそれぞれ対応するホンディングパッド26に接
続される。凹部11cには所定の2か所の位置に前記の
ターミナル部14が形成されており、前記の各ポンディ
ングパッド26は前記信号引出し線15によって対応す
るターミナル部14の電極部に接続されている。
再び第2図に戻って、第2図では便宜上1箇所のターミ
ナル部14の構造のみを示している。このことは第1図
及び第3図でも同様である。ダイヤフラム9の上面縁部
に形成されたポンディングパッドとターミナル部14と
は信号引出し線15で接続される。この場合に、前述し
た通り、ポンディングパッドとターミナル部14と信号
引出し線15は空間13内に位置する。これは第3図で
ても明らかである。拡大した第3図に示されるように、
ターミナル部4の下部の支持部材11の箇所には孔11
bが形成され、この孔11bを押通させてターミナル部
14に接続された信号配線27が配線される。孔11b
には樹脂又はガラスによるハーメチックシール28が施
される。こうして、支持部材11に前記の信号引出し部
16か形成される。
ナル部14の構造のみを示している。このことは第1図
及び第3図でも同様である。ダイヤフラム9の上面縁部
に形成されたポンディングパッドとターミナル部14と
は信号引出し線15で接続される。この場合に、前述し
た通り、ポンディングパッドとターミナル部14と信号
引出し線15は空間13内に位置する。これは第3図で
ても明らかである。拡大した第3図に示されるように、
ターミナル部4の下部の支持部材11の箇所には孔11
bが形成され、この孔11bを押通させてターミナル部
14に接続された信号配線27が配線される。孔11b
には樹脂又はガラスによるハーメチックシール28が施
される。こうして、支持部材11に前記の信号引出し部
16か形成される。
第5図はダイヤフラム9の上面で且つホンディングパッ
ドが形成される部分の周辺構造を示す縦断面図、第6図
は第5図中のVl−VI線断面図である。第5図及び第
6図において、10は上側支持部材、10dは突起部、
11は下側支持部材、9はダイヤフラム、10a及びl
laは孔、14はターミナル部、16は信号引出し部で
ある。ダイヤフラム9の上面には全面にわたり絶縁膜が
形成されている。ダイヤフラム9のポンディングパッド
26の近傍の電気配線膜25が形成される箇所てあって
、前記支持部材10の突起部10dが当接する箇所には
凹部31に形成されている。この凹部31は電気配線膜
25か形成される箇所であるが、この凹部31の中にも
絶縁膜30が形成される。21は絶縁膜30の上面に形
成された4個の歪みゲージの中の1つの歪みゲージ21
であり、26はホンディングパッドである。歪みゲージ
21とホンディングパッド26との間には前記凹部31
を利用して電気配線膜25が配線される。そして、その
上にパッシベーション膜32が成膜されている。支持部
材10の突起部10dの頂部には前述の如く金属シート
22が拡散接合により設けられ、かかる状態の突起部1
0dをパッシベーション膜32に押付は力O又はそれ以
上の値で当接させている。ターミナル部14は、絶縁性
を有するセラミック板14aと導電性を有する電極部1
4bから構成される。ポンディングパッド26とターミ
ナル部14の電極部14bとの間には前記の信号引出し
線15が配線される。信号引出し線15は例えば径が3
0μm程度のAu線である。
ドが形成される部分の周辺構造を示す縦断面図、第6図
は第5図中のVl−VI線断面図である。第5図及び第
6図において、10は上側支持部材、10dは突起部、
11は下側支持部材、9はダイヤフラム、10a及びl
laは孔、14はターミナル部、16は信号引出し部で
ある。ダイヤフラム9の上面には全面にわたり絶縁膜が
形成されている。ダイヤフラム9のポンディングパッド
26の近傍の電気配線膜25が形成される箇所てあって
、前記支持部材10の突起部10dが当接する箇所には
凹部31に形成されている。この凹部31は電気配線膜
25か形成される箇所であるが、この凹部31の中にも
絶縁膜30が形成される。21は絶縁膜30の上面に形
成された4個の歪みゲージの中の1つの歪みゲージ21
であり、26はホンディングパッドである。歪みゲージ
21とホンディングパッド26との間には前記凹部31
を利用して電気配線膜25が配線される。そして、その
上にパッシベーション膜32が成膜されている。支持部
材10の突起部10dの頂部には前述の如く金属シート
22が拡散接合により設けられ、かかる状態の突起部1
0dをパッシベーション膜32に押付は力O又はそれ以
上の値で当接させている。ターミナル部14は、絶縁性
を有するセラミック板14aと導電性を有する電極部1
4bから構成される。ポンディングパッド26とターミ
ナル部14の電極部14bとの間には前記の信号引出し
線15が配線される。信号引出し線15は例えば径が3
0μm程度のAu線である。
以上の構成を有する差圧センサによれば、歪み検出部1
2が設けられたダイヤフラム9の領域を受圧部として使
用し、且つ受圧部の両面を受圧面として用いることがで
きる。例えば第1図において、上側の受圧面には孔4.
10aを通して導入された圧油が印加され、下側の受圧
面には孔5゜11aを通して導入された圧油が印加され
る。差圧センサでは、ダイヤフラム9の歪み検出部12
が2つの受圧面に加わる圧力の差を電圧信号として出力
する。この信号は、電気配線膜25、信号引出し線15
、ターミナル部14、信号引出し線27を経由して電気
回路部6に入力され、ここで、増幅等の信号処理が行わ
れる。
2が設けられたダイヤフラム9の領域を受圧部として使
用し、且つ受圧部の両面を受圧面として用いることがで
きる。例えば第1図において、上側の受圧面には孔4.
10aを通して導入された圧油が印加され、下側の受圧
面には孔5゜11aを通して導入された圧油が印加され
る。差圧センサでは、ダイヤフラム9の歪み検出部12
が2つの受圧面に加わる圧力の差を電圧信号として出力
する。この信号は、電気配線膜25、信号引出し線15
、ターミナル部14、信号引出し線27を経由して電気
回路部6に入力され、ここで、増幅等の信号処理が行わ
れる。
上記構成を有する差圧センサ2Aによれば、歪み検出部
12の保護膜として、強度の高い金属シート22を用い
たため、保護を高めることができ、特に金属シート22
は圧油を導入する孔10aの開口部を覆っているため、
歪み検出部12の歪みゲージ21等への圧油の侵入を完
全に防止し、歪み検出部12や電気配線膜等が直接に油
に接触する接液状態を防ぎ、長期にわたり歪み検出部1
2の検出動作の信頼性を高いものに維持する。特に金属
シート22は高温の拡散接合によって支持部材10の突
起部10dの頂部に固着されるため、高い圧力の圧油に
対してもシール性を発揮する。
12の保護膜として、強度の高い金属シート22を用い
たため、保護を高めることができ、特に金属シート22
は圧油を導入する孔10aの開口部を覆っているため、
歪み検出部12の歪みゲージ21等への圧油の侵入を完
全に防止し、歪み検出部12や電気配線膜等が直接に油
に接触する接液状態を防ぎ、長期にわたり歪み検出部1
2の検出動作の信頼性を高いものに維持する。特に金属
シート22は高温の拡散接合によって支持部材10の突
起部10dの頂部に固着されるため、高い圧力の圧油に
対してもシール性を発揮する。
また金属シート22は薄膜状であり、且つたわみを有し
て歪み検出部12を覆うように取り付けたので、金属シ
ート22がダイヤフラム9の受圧部の感圧特性を低減さ
せることはない。また、4個の歪みゲージ21が形成す
るホイートストンブリッジ回路から信号を取出す場合に
おいて、信号の引出し箇所を、圧力媒体と接触しない空
間13の内部に形成するようにしたため、信号引出し線
の断線も発生しないという利点を有する。更に、ダイヤ
フラム9を金属製の支持部材10.11で挟み込んで堅
牢に固定するため、2つの方向からの圧力に対して高い
耐久力を有している。
て歪み検出部12を覆うように取り付けたので、金属シ
ート22がダイヤフラム9の受圧部の感圧特性を低減さ
せることはない。また、4個の歪みゲージ21が形成す
るホイートストンブリッジ回路から信号を取出す場合に
おいて、信号の引出し箇所を、圧力媒体と接触しない空
間13の内部に形成するようにしたため、信号引出し線
の断線も発生しないという利点を有する。更に、ダイヤ
フラム9を金属製の支持部材10.11で挟み込んで堅
牢に固定するため、2つの方向からの圧力に対して高い
耐久力を有している。
第7図により本発明による差圧センサ2Aの製造方法に
ついて説明する。先ずに最初に、ダイヤフラム9の一方
の面に成膜技術を利用して前述した歪み検出部12を形
成する。図示例では2個の歪みゲージ21のみを示して
いる。前記支持部材lOと11を形成し、支持部材11
の所定の箇所にダイヤフラム9を固定する。次にダイヤ
フラム9の周縁部に形成されたポンディングパッド26
とターミナル部14を信号引出し線15で接続する。タ
ーミナル部14には既に信号引出し線27が接続され、
支持部材11には信号引出し部16が形成されている。
ついて説明する。先ずに最初に、ダイヤフラム9の一方
の面に成膜技術を利用して前述した歪み検出部12を形
成する。図示例では2個の歪みゲージ21のみを示して
いる。前記支持部材lOと11を形成し、支持部材11
の所定の箇所にダイヤフラム9を固定する。次にダイヤ
フラム9の周縁部に形成されたポンディングパッド26
とターミナル部14を信号引出し線15で接続する。タ
ーミナル部14には既に信号引出し線27が接続され、
支持部材11には信号引出し部16が形成されている。
一方、支持部材10には、前述した方法によりリング形
の突起部10dの頂部に孔10aを塞ぐように金属シー
ト22を取付ける。このように形成された支持部材10
を、上記のように形成され支持部材11に対して、各々
の突き合わせ面10b、llbが一致するように矢印の
ように突き合わせ、結合一体化する。こうして差圧セン
サ2への部分が作製される。
の突起部10dの頂部に孔10aを塞ぐように金属シー
ト22を取付ける。このように形成された支持部材10
を、上記のように形成され支持部材11に対して、各々
の突き合わせ面10b、llbが一致するように矢印の
ように突き合わせ、結合一体化する。こうして差圧セン
サ2への部分が作製される。
上記の差圧センサ製造方法によれば、支持部材10と1
1を組み付けると同時に、ダイヤフラム9の上面を金属
シート22が覆うので、保護膜の作製を容易に行うこと
ができる。また信号引出し線15やターミナル部14が
形成される空間13も、突き合わせによる組み合わせと
同時に自動的に形成されるという利点があり、非常に製
作が容易となる。
1を組み付けると同時に、ダイヤフラム9の上面を金属
シート22が覆うので、保護膜の作製を容易に行うこと
ができる。また信号引出し線15やターミナル部14が
形成される空間13も、突き合わせによる組み合わせと
同時に自動的に形成されるという利点があり、非常に製
作が容易となる。
第8図は本発明に係る差圧センサの他の実施例を示し、
第2図と同様な図である。第8図中において第2図に示
した要素と同一要素には同一の符号を付している。この
実施例による差圧センサでは、支持部材10の孔10a
の周囲の突起部10dの頂部に円形の凹部を形成し、シ
ール用Oリング40を配設すると共に、支持部材11の
孔11aの周囲に円形の凹部を形成し、シール用Oリン
グ41を配設するように構成した。これにより、シール
性ヲ更に高めている。
第2図と同様な図である。第8図中において第2図に示
した要素と同一要素には同一の符号を付している。この
実施例による差圧センサでは、支持部材10の孔10a
の周囲の突起部10dの頂部に円形の凹部を形成し、シ
ール用Oリング40を配設すると共に、支持部材11の
孔11aの周囲に円形の凹部を形成し、シール用Oリン
グ41を配設するように構成した。これにより、シール
性ヲ更に高めている。
本発明に関しては構成を次のように変更することもでき
る。金属シート22を、支持部材11の孔11aを塞ぐ
ように取り付けることができる。
る。金属シート22を、支持部材11の孔11aを塞ぐ
ように取り付けることができる。
これによれば、ダイヤフラム9の下側の液密性を高める
ことができる。また金属シートの代わりにPTFE (
テフロン)等の材料を使用したシートを用いることもで
きる。
ことができる。また金属シートの代わりにPTFE (
テフロン)等の材料を使用したシートを用いることもで
きる。
上記実施例では、検出対象として圧油を例にあげて説明
したが、その他の液体、或いは気体であっても本発明に
よる差圧センサを適用することができるのは勿論である
。
したが、その他の液体、或いは気体であっても本発明に
よる差圧センサを適用することができるのは勿論である
。
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、金属シ
ート等の保護膜によってダイヤフラムの表面に形成され
た歪み検出部や電気配線膜が圧力媒体との接液状態から
完全に免れるようになったため、破損が少なくなり、急
激な圧力変動に対する耐久性が向上し、動作信頼性が高
くなる。また両面が受圧面となる受圧部を有するダイヤ
フラムを両側から2つの支持部材で支持する構造をした
ため、両側からの高圧に対して耐久性を有している。
ート等の保護膜によってダイヤフラムの表面に形成され
た歪み検出部や電気配線膜が圧力媒体との接液状態から
完全に免れるようになったため、破損が少なくなり、急
激な圧力変動に対する耐久性が向上し、動作信頼性が高
くなる。また両面が受圧面となる受圧部を有するダイヤ
フラムを両側から2つの支持部材で支持する構造をした
ため、両側からの高圧に対して耐久性を有している。
また。歪み検出部で検出された圧力信号を増幅器等の電
気回路部に供給する電気配線部や電気接続部を、圧力媒
体の存在する空間とは分離された空間に配設するように
したため、電気配線部や電気接続部の保護を高めること
ができる。
気回路部に供給する電気配線部や電気接続部を、圧力媒
体の存在する空間とは分離された空間に配設するように
したため、電気配線部や電気接続部の保護を高めること
ができる。
また本発明にる差圧センサの製造方法では、構造の簡素
化に伴い、歪み検出部の保護する膜の取付は工程が簡単
となり、全体として製造工程数が少なくなるという利点
がある。
化に伴い、歪み検出部の保護する膜の取付は工程が簡単
となり、全体として製造工程数が少なくなるという利点
がある。
第1図は本発明に係る差圧センサが組み付けられた装置
構成を示す縦断面図、第2図は差圧センサの部分を拡大
して示した縦断面図、第3図は第2図中の要部を更に拡
大して示した縦断面図、第4図は歪み検出部の構成を示
す要部平面図、第5図はダイヤフラムの周縁要部及び電
気接続部を示す部分縦断面図、第6図は第5図中のVI
−VI線断面図、第7図は差圧センサの製造工程の一部
を示す図、第8図は本発明に係る差圧センサの他の実施
例を示す第2図と同様な図、第9図は従来の差圧センサ
の構造例を示す縦断面図である。 〔符号の説明〕 1・・・・・・支持部(油圧機械の壁部)2・鳴・・・
・センサユニット 2A・・・・・差圧センサ 3・・・・・・センサユニット取付は孔4.5・・・・
圧油導入孔 6・・・・・・電気回路部 9・・・・・・ダイヤフラム 10.11・・支持部材 10a、lla ・・・・圧油導入孔 12・・・・・歪み検出部 13・・・・・空間 14・・・・・ターミナル部 15・・・・・信号引出し線 22・・・・・金属シート
構成を示す縦断面図、第2図は差圧センサの部分を拡大
して示した縦断面図、第3図は第2図中の要部を更に拡
大して示した縦断面図、第4図は歪み検出部の構成を示
す要部平面図、第5図はダイヤフラムの周縁要部及び電
気接続部を示す部分縦断面図、第6図は第5図中のVI
−VI線断面図、第7図は差圧センサの製造工程の一部
を示す図、第8図は本発明に係る差圧センサの他の実施
例を示す第2図と同様な図、第9図は従来の差圧センサ
の構造例を示す縦断面図である。 〔符号の説明〕 1・・・・・・支持部(油圧機械の壁部)2・鳴・・・
・センサユニット 2A・・・・・差圧センサ 3・・・・・・センサユニット取付は孔4.5・・・・
圧油導入孔 6・・・・・・電気回路部 9・・・・・・ダイヤフラム 10.11・・支持部材 10a、lla ・・・・圧油導入孔 12・・・・・歪み検出部 13・・・・・空間 14・・・・・ターミナル部 15・・・・・信号引出し線 22・・・・・金属シート
Claims (5)
- (1)薄板状であって一方の面に歪み検出部が形成され
且つ表裏両面が受圧面となるダイヤフラムと、圧力媒体
を前記ダイヤフラムの一方の前記受圧面に導入する導入
孔を有した第1の支持部材と、圧力媒体を前記ダイヤフ
ラムの他方の前記受圧面に導入する導入孔を有した第2
の支持部材とから成り、前記第1の支持部材と前記第2
の支持部材はそれぞれ突き合わせ面を備え、これらの突
き合わせ面を突き合わせる構造にて前記第1と第2の支
持部材が前記ダイヤフラムを両側から支持し固定すると
共に、前記歪み検出部が形成されるダイヤフラム面側に
位置する前記支持部材に前記導入孔を塞ぐシート部材を
設けたことを特徴とする差圧センサ。 - (2)請求項1記載の差圧センサにおいて、前記シート
部材は、高温の拡散接合により前記支持部材に取付けら
れる金属シートであることを特徴とする差圧センサ。 - (3)請求項2記載の差圧センサにおいて、前記金属シ
ートはたわみを有する状態で取付けられていることを特
徴とする差圧センサ。 - (4)請求項1〜3のいずれか1項に記載の差圧センサ
において、前記第1と第2の支持部材の突き合わせ構造
によって圧力媒体が存在する空間とは分離された空間を
形成し、この空間に前記歪み検出部から出力される差圧
信号を取出すための信号引出し・接続部を配設したこと
を特徴とする差圧センサ。 - (5)受圧部を有する薄板状のダイヤフラムの一方の面
に歪み検出部を形成し、それぞれ圧力媒体を導入する孔
を有し且つそれぞれ突き合わせ面を備えることにより突
き合わせ構造によって結合一体化される第1及び第2の
支持部材を形成し、前記第1の支持部材に前記ダイヤフ
ラムをその他方の面を用いて取付け、前記第2の支持部
材の突き合わせ面に前記孔を覆うシート部材を取付け、
前記第2の支持部材を、前記シート部材が前記ダイヤフ
ラムの前記一方の面に形成された前記歪み検出部を覆う
ように、前記第1の支持部材に突き合せて結合するよう
にしたことを特徴とする差圧センサの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8877890A JPH04143629A (ja) | 1990-04-03 | 1990-04-03 | 差圧センサ及びその製造方法 |
PCT/JP1991/000439 WO1991015743A1 (en) | 1990-04-03 | 1991-04-02 | Differential pressure sensor and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8877890A JPH04143629A (ja) | 1990-04-03 | 1990-04-03 | 差圧センサ及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04143629A true JPH04143629A (ja) | 1992-05-18 |
Family
ID=13952315
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8877890A Pending JPH04143629A (ja) | 1990-04-03 | 1990-04-03 | 差圧センサ及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04143629A (ja) |
WO (1) | WO1991015743A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110849540A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-02-28 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 薄膜式液体介质隔离装置 |
WO2020175365A1 (ja) | 2019-02-25 | 2020-09-03 | ヤマシンフィルタ株式会社 | 差圧検出装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6141252Y2 (ja) * | 1977-11-26 | 1986-11-25 | ||
JPS54138384A (en) * | 1978-04-19 | 1979-10-26 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor pressure converter |
JPS613437U (ja) * | 1984-06-12 | 1986-01-10 | 株式会社 長野計器製作所 | 圧力センサ |
JPS613436U (ja) * | 1984-06-12 | 1986-01-10 | 株式会社 長野計器製作所 | 圧力センサ |
JPS61176831A (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-08 | Aisin Seiki Co Ltd | 圧力センサ |
JPS63248579A (ja) * | 1986-11-27 | 1988-10-14 | Tobata Seisakusho:Kk | 受圧ダイヤフラムの取付方法 |
-
1990
- 1990-04-03 JP JP8877890A patent/JPH04143629A/ja active Pending
-
1991
- 1991-04-02 WO PCT/JP1991/000439 patent/WO1991015743A1/ja unknown
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020175365A1 (ja) | 2019-02-25 | 2020-09-03 | ヤマシンフィルタ株式会社 | 差圧検出装置 |
US11714016B2 (en) | 2019-02-25 | 2023-08-01 | Yamashin-Filter Corp. | Differential pressure detection device |
CN110849540A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-02-28 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 薄膜式液体介质隔离装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1991015743A1 (en) | 1991-10-17 |
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