JPH0367140A - 圧力検出装置 - Google Patents
圧力検出装置Info
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- JPH0367140A JPH0367140A JP2117015A JP11701590A JPH0367140A JP H0367140 A JPH0367140 A JP H0367140A JP 2117015 A JP2117015 A JP 2117015A JP 11701590 A JP11701590 A JP 11701590A JP H0367140 A JPH0367140 A JP H0367140A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
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-
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-
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- G01L19/145—Housings with stress relieving means
- G01L19/146—Housings with stress relieving means using flexible element between the transducer and the support
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、圧力検出装置に関し、更に詳しくは、本体部
材とスナップ嵌合キャンプ部材を有する簡単な構造の圧
力検出装置に関する。
材とスナップ嵌合キャンプ部材を有する簡単な構造の圧
力検出装置に関する。
圧力検出装置の分野にかいて、媒体の検出された圧力を
電気信号に確実に変換する装置が求められている。一般
に、このような装置は、加圧された媒体に対して抵抗薄
膜を渡したピエゾ抵抗圧力セルを用いている。圧力の下
で薄膜の塑性伸びが生じると、測定された抵抗は、所定
の圧力に相関している信号を生じる。しかし、装置が、
たとえば過酷な環境のような熱サイクル下に置かれた時
、特別な問題が生じてくる。熱サイクルによう、材料が
膨張することがしばしばあう、装置は抵抗薄膜にv4−
)た信号を伝達してし筐う。言い換えると、周囲の熱サ
イクルによシ、検出薄膜は機械的に伸張して、誤った電
気信号を発生する。
電気信号に確実に変換する装置が求められている。一般
に、このような装置は、加圧された媒体に対して抵抗薄
膜を渡したピエゾ抵抗圧力セルを用いている。圧力の下
で薄膜の塑性伸びが生じると、測定された抵抗は、所定
の圧力に相関している信号を生じる。しかし、装置が、
たとえば過酷な環境のような熱サイクル下に置かれた時
、特別な問題が生じてくる。熱サイクルによう、材料が
膨張することがしばしばあう、装置は抵抗薄膜にv4−
)た信号を伝達してし筐う。言い換えると、周囲の熱サ
イクルによシ、検出薄膜は機械的に伸張して、誤った電
気信号を発生する。
圧力検出装置には、これら装置の複雑な構造に起因した
問題が他にもある。ある圧力検出装置は、多くの取付は
部材から成シ、取付は部材間でリードを接着しなければ
ならない。″また、他の装置は。
問題が他にもある。ある圧力検出装置は、多くの取付は
部材から成シ、取付は部材間でリードを接着しなければ
ならない。″また、他の装置は。
多くのパーツすなわち取付は部材を結合して、完成品を
作るため、ねじ付きスリーブをクリンプしたうまたは移
動しなければならない。これら構造では、組み立てに多
くの工程を必要とするので製造コストが高い場合が多い
。
作るため、ねじ付きスリーブをクリンプしたうまたは移
動しなければならない。これら構造では、組み立てに多
くの工程を必要とするので製造コストが高い場合が多い
。
したがって、媒体の加圧された圧力を正確に検出しかつ
検出された圧力を、圧力検出装置が置かれている周囲の
熱サイクルに関係なく電気信号に変換する圧力検出装置
が必要とされている。
検出された圧力を、圧力検出装置が置かれている周囲の
熱サイクルに関係なく電気信号に変換する圧力検出装置
が必要とされている。
さらに、リード接着を必要とせずに組立て中に電気接続
を行なうことができ、また再使用可能でしかもキャップ
部材を本体部材にスナップ嵌合する簡単i構造の圧力検
出装置が必要とされている。
を行なうことができ、また再使用可能でしかもキャップ
部材を本体部材にスナップ嵌合する簡単i構造の圧力検
出装置が必要とされている。
本発明は、本体部材を貫通して延びるチェンバ開口を有
する本体部材から成る圧カドランスデューサを提供する
。本体部材は、加圧された媒体を受ける第1端部と、圧
力検出装置を支持する第2端部を有している。圧力検出
装置を本体部材の第2端部に取多つけ、かつ本体部材の
第2端部において高トよび低圧力分離を行なうポジティ
ブ・シールを供給するシールが設けられている。圧カド
ランスデューサは、本体部材の第2端部にスナップ嵌合
するように構成されたキャンプ部材を有している。キャ
ップ部材は、圧力検出装置によシ発生された信号を電気
的に検出しかつ伝達する導電部材をさらに有している。
する本体部材から成る圧カドランスデューサを提供する
。本体部材は、加圧された媒体を受ける第1端部と、圧
力検出装置を支持する第2端部を有している。圧力検出
装置を本体部材の第2端部に取多つけ、かつ本体部材の
第2端部において高トよび低圧力分離を行なうポジティ
ブ・シールを供給するシールが設けられている。圧カド
ランスデューサは、本体部材の第2端部にスナップ嵌合
するように構成されたキャンプ部材を有している。キャ
ップ部材は、圧力検出装置によシ発生された信号を電気
的に検出しかつ伝達する導電部材をさらに有している。
以下、添付の図面に基いて、本発明の実施例に関し説明
する。
する。
本発明における詳細な記載は、本発明の理解を助けるた
めであって、本発明は本発明の思想の範囲にかいて様々
に改変し得、本発明がこれら詳細な記載に限定されない
ことは、当業者には明白であろう。
めであって、本発明は本発明の思想の範囲にかいて様々
に改変し得、本発明がこれら詳細な記載に限定されない
ことは、当業者には明白であろう。
第1図は、本発明の圧力検出袋[10t−示している。
圧力検出装置10は、本体部材12とキャップ部材18
から成っている。また、圧力検出袋[10ば、装置10
の内部から装置10の外部素子に圧力応答信号を伝達す
る装置を含んでいる。
から成っている。また、圧力検出袋[10ば、装置10
の内部から装置10の外部素子に圧力応答信号を伝達す
る装置を含んでいる。
したがって、リードフレーム導電部材22ば、キャップ
部材18中に配置された導電部材の第1端部24と、キ
ャンプ部材1Bから突出して、装置10の外部部材と電
気的に接続する導電部材の第2端部26とを有している
。装置10ば、接着することなくキャップ部材18を本
体部材12に接続する部材を有している。後述するよう
に、キャップ部材1Bは、本体部材12にスナップ嵌合
するように構成されている。このようなスナップ嵌合に
よシ、高価ではなく、確実で、しかも再使用可能な圧力
検出装置用キャンプ部材を提供することができる。
部材18中に配置された導電部材の第1端部24と、キ
ャンプ部材1Bから突出して、装置10の外部部材と電
気的に接続する導電部材の第2端部26とを有している
。装置10ば、接着することなくキャップ部材18を本
体部材12に接続する部材を有している。後述するよう
に、キャップ部材1Bは、本体部材12にスナップ嵌合
するように構成されている。このようなスナップ嵌合に
よシ、高価ではなく、確実で、しかも再使用可能な圧力
検出装置用キャンプ部材を提供することができる。
第2図は、圧力検出装置10の側断面図を示している。
第1図訃よび第2図に示すように、本体部材12は、細
長い形をしている。第2図に釦いて、細長い本体部材1
2の第1端部30は、中空チェンバ35を形成している
面32を有している。
長い形をしている。第2図に釦いて、細長い本体部材1
2の第1端部30は、中空チェンバ35を形成している
面32を有している。
中空チェンバ35は、本体部材10を軸方向に貫通し、
加圧された媒体を受けるように構成されている。本体部
材12ば、面40を有する第2端部38を有している。
加圧された媒体を受けるように構成されている。本体部
材12ば、面40を有する第2端部38を有している。
面40は凹部44を有している。凹部44は、第2端部
の面40にかいて中空チェンバ35の回りに設けられ、
かつ本体部材の第2端部に卦いて拡大した中空チェンバ
35aを形成している。さらに、第2端部のネック延長
部分48は、第2端部の面40から軸方向に延びている
。また、ネック延長部分48は、外側に向いた可撓性の
傾斜縁部52.53を有している。
の面40にかいて中空チェンバ35の回りに設けられ、
かつ本体部材の第2端部に卦いて拡大した中空チェンバ
35aを形成している。さらに、第2端部のネック延長
部分48は、第2端部の面40から軸方向に延びている
。また、ネック延長部分48は、外側に向いた可撓性の
傾斜縁部52.53を有している。
本発明の圧力検出装置10は、チェンバ内の媒体圧力を
検出するトランスデユーサ装置を有している。トランス
デユーサ装置は、本体部材の第2端部の面40の近くで
チェンバ35にわたって延びている導電性部材を有する
機械−電気歪ゲージ、トランスデユーサ・ダイ56から
戒っている。
検出するトランスデユーサ装置を有している。トランス
デユーサ装置は、本体部材の第2端部の面40の近くで
チェンバ35にわたって延びている導電性部材を有する
機械−電気歪ゲージ、トランスデユーサ・ダイ56から
戒っている。
従来の圧力検出装置では、トランスデユーサ・ダイ56
に類似した圧力検出膜における環1しくない熱サイクル
作用に起因した特別な問題があった。
に類似した圧力検出膜における環1しくない熱サイクル
作用に起因した特別な問題があった。
トランスデユーサ56ば、歪ゲージと一般に呼ばれてい
るタイプのものである。したがって、トランスデユーサ
・ダイ56は、加圧された媒体に置かれ検出装置の一面
に他の面とは異なる圧力を生じた場合の可塑性伸びに耐
えることができる検出装置と表している。、膜の伸びが
生じると、検出装置に配置された溝室部材は、相関した
電気信号を装置の外にある部材に伝送する。したがって
、加圧された媒体の検出圧力が決定される。しかし、圧
力検出装置自身が周囲の温度サイクルによシ収縮または
膨張すると、相関信号にかなシの誤差が生じてくる。
るタイプのものである。したがって、トランスデユーサ
・ダイ56は、加圧された媒体に置かれ検出装置の一面
に他の面とは異なる圧力を生じた場合の可塑性伸びに耐
えることができる検出装置と表している。、膜の伸びが
生じると、検出装置に配置された溝室部材は、相関した
電気信号を装置の外にある部材に伝送する。したがって
、加圧された媒体の検出圧力が決定される。しかし、圧
力検出装置自身が周囲の温度サイクルによシ収縮または
膨張すると、相関信号にかなシの誤差が生じてくる。
したがって、本発明は、熱サイクル歪に関係なくトラン
スデユーサ・ダイ56を有効的に作動するため、本体部
材12にトランスデユーサ・ダイ56を取うつける装置
を含んでいる。トランスデユーサ・ダイ56t−取りつ
ける装置は、第2端部の面40の凹部44に配置された
密封装置60を含んでいる。密封装置60を使用するこ
とにより、本体部材の第2端部3Bにおいて、加圧され
る中空チェンバ35にかける高および低圧力分離を行な
うポジティブ・シールを供給する。密封装置60として
様々□材料を使用することができるが、ここでは、接着
エラストマ材料で構成している。さらに望捷しくは、接
着エラストマ材料は、たとえばゼネラル・エレクトリッ
ク・カンパニ製の登録商標名FRV1106という名の
フルオロシリコン材料である。このフルオロシリコン材
料を使用することによシ、本体部材12の塑性構造と同
様のフルオロシリコン材料の膨張率による熱サイクル歪
を適切に除去することができる。実際、同様の理由で、
本体部材12とキャップ部材18は、それぞれ同じ材料
、望ましくはプラスチック材料で構成されている。第2
図に示すように、本体部材12の膨張會たは収縮を生じ
る熱サイクル歪によシ密封装置60が分離したつ、普た
は本体部材12からのトランスデユーサ・ダイ56また
は密封装置60が損傷せたは分離しないように、トラン
スデユーサ・ダイ56は、実質的に凹部44中に位置す
る密封袋N60に配置されている。これにより、本体部
材12とトランスデユーサ・ダイ56との間は非常に確
実に密封され、圧力検出装置10の寿命を延ばすことに
なる。
スデユーサ・ダイ56を有効的に作動するため、本体部
材12にトランスデユーサ・ダイ56を取うつける装置
を含んでいる。トランスデユーサ・ダイ56t−取りつ
ける装置は、第2端部の面40の凹部44に配置された
密封装置60を含んでいる。密封装置60を使用するこ
とにより、本体部材の第2端部3Bにおいて、加圧され
る中空チェンバ35にかける高および低圧力分離を行な
うポジティブ・シールを供給する。密封装置60として
様々□材料を使用することができるが、ここでは、接着
エラストマ材料で構成している。さらに望捷しくは、接
着エラストマ材料は、たとえばゼネラル・エレクトリッ
ク・カンパニ製の登録商標名FRV1106という名の
フルオロシリコン材料である。このフルオロシリコン材
料を使用することによシ、本体部材12の塑性構造と同
様のフルオロシリコン材料の膨張率による熱サイクル歪
を適切に除去することができる。実際、同様の理由で、
本体部材12とキャップ部材18は、それぞれ同じ材料
、望ましくはプラスチック材料で構成されている。第2
図に示すように、本体部材12の膨張會たは収縮を生じ
る熱サイクル歪によシ密封装置60が分離したつ、普た
は本体部材12からのトランスデユーサ・ダイ56また
は密封装置60が損傷せたは分離しないように、トラン
スデユーサ・ダイ56は、実質的に凹部44中に位置す
る密封袋N60に配置されている。これにより、本体部
材12とトランスデユーサ・ダイ56との間は非常に確
実に密封され、圧力検出装置10の寿命を延ばすことに
なる。
圧力検出装置において電気接続を行なう装置は、従来よ
り様々ある。しかし、本発明に類似した大抵の従来装置
は、適切に接続するためには接Mを必要とする電気接続
部材を含んでいる。これとは対照的に、本発明の圧力検
出装置10は、導1!素子をトランスデユーサ・ダイの
リードに接着する必要は全く虚い。すなわち、本発明は
、キャンプ部材18を本体部材12にスナップ嵌合する
簡単な構造を有している。後述するように、このスナッ
プ嵌合構造は、再使用可能、試験効率の改善、組立てに
ふ・ける部品当シの労働時間の割合の低減などの利点を
有する他、製造コストが安くすむ。
り様々ある。しかし、本発明に類似した大抵の従来装置
は、適切に接続するためには接Mを必要とする電気接続
部材を含んでいる。これとは対照的に、本発明の圧力検
出装置10は、導1!素子をトランスデユーサ・ダイの
リードに接着する必要は全く虚い。すなわち、本発明は
、キャンプ部材18を本体部材12にスナップ嵌合する
簡単な構造を有している。後述するように、このスナッ
プ嵌合構造は、再使用可能、試験効率の改善、組立てに
ふ・ける部品当シの労働時間の割合の低減などの利点を
有する他、製造コストが安くすむ。
キャップ部材18は、第1図および第2図に示すように
本体部材12の第2端部38にスナップ嵌合するように
構成されている。第2図に示すlうに、キャンプ部材1
8は、トランスデユーサ・ダイ56を保護しかつこれに
部分的に接触し7′いる6また、キャップ部材1Bとト
ランスデユーサ・ダイ56の接触により、トランスデユ
ーサ・ダイ56の圧力応答形状変化を電気的に検出しか
つこれを装置10の外部の装置に伝達する。さらに詳細
には、キャンプ部材1Bは、リード取付は部分68と周
辺壁部分子2を有している。壁部分子2は、底面T3と
、外側に面した側面74と、内側に面した傾斜側面75
,76.77を有している。
本体部材12の第2端部38にスナップ嵌合するように
構成されている。第2図に示すlうに、キャンプ部材1
8は、トランスデユーサ・ダイ56を保護しかつこれに
部分的に接触し7′いる6また、キャップ部材1Bとト
ランスデユーサ・ダイ56の接触により、トランスデユ
ーサ・ダイ56の圧力応答形状変化を電気的に検出しか
つこれを装置10の外部の装置に伝達する。さらに詳細
には、キャンプ部材1Bは、リード取付は部分68と周
辺壁部分子2を有している。壁部分子2は、底面T3と
、外側に面した側面74と、内側に面した傾斜側面75
,76.77を有している。
これら内側に面した傾斜側面75,76.77は、キャ
ンプ部材18のリード取付は部分68の一部を機械的に
押圧してトランスデユーサ・ダイ56と電気的に接触さ
せることによシ、本体部材のネック延長部分48の傾斜
縁部52と押圧係合するよう構成されている。
ンプ部材18のリード取付は部分68の一部を機械的に
押圧してトランスデユーサ・ダイ56と電気的に接触さ
せることによシ、本体部材のネック延長部分48の傾斜
縁部52と押圧係合するよう構成されている。
第2図に示した本発明の圧力検出装置100組立国に訃
いて、キャップ部材18の傾斜側面75゜76.77は
、本体部材のネック延長部分48の可撓傾斜縁部52と
係合接触している。取シクは順序は、キャンプ部材18
の壁部分の底面T3を本体部材18の第2端面外側リン
プ40aの方に移動する過程を含んでいる。傾斜した縁
部T5が可撓性の傾斜縁部52と接触しわずかに押圧さ
れる時、キャップ部材の面T6は、傾斜した縁部53に
対してスナップすなわちバネ係合する。キャンプ部材1
8を本体部材12から取シ除こうとする場合、第2図の
矢印Aの方向に半径方向の圧力を与えればよい。この半
径方向の圧力によう、ネック延長部48の傾釧縁部とキ
ャンプ部材18の傾斜縁部との係合接触が解除される。
いて、キャップ部材18の傾斜側面75゜76.77は
、本体部材のネック延長部分48の可撓傾斜縁部52と
係合接触している。取シクは順序は、キャンプ部材18
の壁部分の底面T3を本体部材18の第2端面外側リン
プ40aの方に移動する過程を含んでいる。傾斜した縁
部T5が可撓性の傾斜縁部52と接触しわずかに押圧さ
れる時、キャップ部材の面T6は、傾斜した縁部53に
対してスナップすなわちバネ係合する。キャンプ部材1
8を本体部材12から取シ除こうとする場合、第2図の
矢印Aの方向に半径方向の圧力を与えればよい。この半
径方向の圧力によう、ネック延長部48の傾釧縁部とキ
ャンプ部材18の傾斜縁部との係合接触が解除される。
このように、キャンプ部材18を本体部材12から分離
することは、キャンプ部材18とトランスデユーサ・ダ
イ56との電気接触の分離と同様に、簡単に行なうこと
ができる。本発明と実質的に同様の利点は、可撓性のキ
ャップと硬質のネック延長部、またはこれらの適当な組
合せによっても得ることができる。
することは、キャンプ部材18とトランスデユーサ・ダ
イ56との電気接触の分離と同様に、簡単に行なうこと
ができる。本発明と実質的に同様の利点は、可撓性のキ
ャップと硬質のネック延長部、またはこれらの適当な組
合せによっても得ることができる。
本発明の重要な利点は、導電性素子と圧力検出装置の圧
力検出ダイとの間が接着結合されているのでは々く、機
械的な押圧によって結合されることである。第2.3.
4図は、本発明の目的を達成する1つの構造を示してい
る。図示のように、本実施例の圧力検出装置10は、リ
ード取付は部分68を有するキャップ部材18を含んで
しる。
力検出ダイとの間が接着結合されているのでは々く、機
械的な押圧によって結合されることである。第2.3.
4図は、本発明の目的を達成する1つの構造を示してい
る。図示のように、本実施例の圧力検出装置10は、リ
ード取付は部分68を有するキャップ部材18を含んで
しる。
リード取付は部分68は、金属リードフレーム導電素子
80を備えた金属オン・エラストマ部材から成っている
ことが望ましい。また、リードフレーム導電素子80は
、キャップ部材の内面81から延び、かつキャンプ部材
18が本体部材12に取付けられるトランスデユーサ・
ダイ56の導電素子と電気接触するよう配置されている
第1端部82から成っている。リードフレーム導電素子
80は、キャンプ部材18から突出した第2端部84を
有し、圧力検出装置10の外にある装置と電気接続する
。キャップ部材18は、リードフレーム導電素子80が
リード取付は部分68中に保護のため埋込筐れた第1端
部82と、キャップ部材18の外側の側面74から突出
した第2端部を含んでいるように構成されかつ配置され
たリード取付は部分68を有している。さらに、リード
フレーム導電素子80は、金メツキのリードフレームを
Vしている。第4図に示すように、トランスデユーサ・
ダイ56は、リード取付は部分68、導電素子の第1端
部82、トランスデユーサ・ダイ56間の機械的および
電気的接触を容易にするよう配置された、金バンブよう
な複数の導電性金属バンプを有している。
80を備えた金属オン・エラストマ部材から成っている
ことが望ましい。また、リードフレーム導電素子80は
、キャップ部材の内面81から延び、かつキャンプ部材
18が本体部材12に取付けられるトランスデユーサ・
ダイ56の導電素子と電気接触するよう配置されている
第1端部82から成っている。リードフレーム導電素子
80は、キャンプ部材18から突出した第2端部84を
有し、圧力検出装置10の外にある装置と電気接続する
。キャップ部材18は、リードフレーム導電素子80が
リード取付は部分68中に保護のため埋込筐れた第1端
部82と、キャップ部材18の外側の側面74から突出
した第2端部を含んでいるように構成されかつ配置され
たリード取付は部分68を有している。さらに、リード
フレーム導電素子80は、金メツキのリードフレームを
Vしている。第4図に示すように、トランスデユーサ・
ダイ56は、リード取付は部分68、導電素子の第1端
部82、トランスデユーサ・ダイ56間の機械的および
電気的接触を容易にするよう配置された、金バンブよう
な複数の導電性金属バンプを有している。
以上のように、本発明の圧力検出装置10ば、熱サイク
ルを受ける環境において高い信頼性を有している。筐た
、本発明の圧力検出装置10は、簡単にしかも確実に組
立および分解することができる。この構造は、組立られ
た装置をすばやく試験することができる一方、試験結果
が拒否の場合構成素子をすばやく切υ離す装置を供給し
ているので製造サイクル効率を高めることができる。こ
れは、時間を節約するだけでなく、破損した構成素子に
接着されこれと一緒に廃棄されてし遣う高価な各副構成
素子や作業量をかなう低減することができる。以上のよ
うに、本発明のある実施例に基いて説明してきたが、本
発明はこれら実施例に限定されない。
ルを受ける環境において高い信頼性を有している。筐た
、本発明の圧力検出装置10は、簡単にしかも確実に組
立および分解することができる。この構造は、組立られ
た装置をすばやく試験することができる一方、試験結果
が拒否の場合構成素子をすばやく切υ離す装置を供給し
ているので製造サイクル効率を高めることができる。こ
れは、時間を節約するだけでなく、破損した構成素子に
接着されこれと一緒に廃棄されてし遣う高価な各副構成
素子や作業量をかなう低減することができる。以上のよ
うに、本発明のある実施例に基いて説明してきたが、本
発明はこれら実施例に限定されない。
第1図は本体部材とスナップ嵌合部材を有する完全に組
み立てられた圧力検出装置の側面図で、第2図はキーヤ
ツブ部材と本体部材の傾ft+縁の面構造を示した圧力
検出装置の側断面図で、第3図はキャップ部材の外側に
面した側面から突出した導電素子の第2端部を有する圧
力検出装置のキャップ部材の上面図で、第4図は中空圧
力チェンバの第2端部にわたって配置されたトランスデ
ユーサ・ダイを示し、かつ本体部材の第2端部にかける
ネック延長部分を示した第】図の線4−4に沿った断面
図である。 10・・・・圧力検出装置、12・・・・本体部材、1
8・・・・キャップ部材、2・・2・・・・導!部材、
35・・・・中空チェンバ、44・・・凹部、 4 ・ネック延長部、 トランスデユーサ・グイ、 0 ・密封 装置、 ・導電素子。
み立てられた圧力検出装置の側面図で、第2図はキーヤ
ツブ部材と本体部材の傾ft+縁の面構造を示した圧力
検出装置の側断面図で、第3図はキャップ部材の外側に
面した側面から突出した導電素子の第2端部を有する圧
力検出装置のキャップ部材の上面図で、第4図は中空圧
力チェンバの第2端部にわたって配置されたトランスデ
ユーサ・ダイを示し、かつ本体部材の第2端部にかける
ネック延長部分を示した第】図の線4−4に沿った断面
図である。 10・・・・圧力検出装置、12・・・・本体部材、1
8・・・・キャップ部材、2・・2・・・・導!部材、
35・・・・中空チェンバ、44・・・凹部、 4 ・ネック延長部、 トランスデユーサ・グイ、 0 ・密封 装置、 ・導電素子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (a)貫通した中空チエンバ(35)と、圧力媒体を受
ける第1端部(30)と、第2端部(38、44)とを
有する本体部材(12)と; (b)上記第2端部によつて支持され、上記中空チエン
バ(35)内の媒体圧力を感知すると共に、圧力を感知
し且つ上記本体部材(12)の中空チエンバ(35)内
の加圧された媒体の力によつて発生した信号群を伝送す
る導電素子を具備した圧力検出器(56)と; (c)上記圧力検出器(56)を上記本体部材(12)
に取付け且つ本体部材の第2端部(38)で高圧と低圧
の分離を保持する密封状態を形成する密封手段(60)
と; (d)上記本体部材の第2端部(38)にスナップ係合
取付された手段(52、75、76)と、上記圧力検出
器(56)で発生した信号群を電気的に感知・伝送する
導電リード(80)と、上記圧力検出器(56)の電気
的導電素子と上記導電リード(80)とを非隔着接触さ
せる手段(82)とを具備したキャップ部材(18)と
; から構成されることを特徴とする圧力検出装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US348,518 | 1989-05-08 | ||
US07/348,518 US5031462A (en) | 1989-05-08 | 1989-05-08 | Snap-fit construction low cost pressure sensing device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0367140A true JPH0367140A (ja) | 1991-03-22 |
Family
ID=23368377
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2117015A Pending JPH0367140A (ja) | 1989-05-08 | 1990-05-08 | 圧力検出装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5031462A (ja) |
EP (1) | EP0397392B1 (ja) |
JP (1) | JPH0367140A (ja) |
CA (1) | CA2014257A1 (ja) |
DE (1) | DE69010073T2 (ja) |
Families Citing this family (9)
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---|---|---|---|---|
DE4026242A1 (de) * | 1990-08-18 | 1992-02-20 | Speidel & Keller Kg | Blutdruckmessgeraet |
US5131259A (en) * | 1991-02-01 | 1992-07-21 | Fel-Pro Incorporated | Calibration fixture and method of calibrating contact sensors |
DE19626081A1 (de) * | 1996-06-28 | 1998-01-02 | Siemens Ag | Halbleiter-Bauelement |
US5763787A (en) * | 1996-09-05 | 1998-06-09 | Rosemont Inc. | Carrier assembly for fluid sensor |
EP0915326B1 (de) * | 1997-10-10 | 2002-01-30 | WIKA ALEXANDER WIEGAND GmbH & CO. | Verfahren zur Herstellung eines Druckmessumformers und Druckmessumformer |
FR2950691B1 (fr) * | 2009-09-30 | 2012-05-04 | Michelin Soc Tech | Organe de mesure de pression etanche |
US20130056100A1 (en) * | 2010-07-13 | 2013-03-07 | Mitsubishi Electric Corporation | Pressure sensor unit and brake device |
EP2615426A1 (de) * | 2012-01-16 | 2013-07-17 | Baumer Electric AG | Sensor |
JP2016133391A (ja) * | 2015-01-19 | 2016-07-25 | 株式会社テージーケー | 圧力センサモジュール及び圧力センサモジュールの製造方法 |
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---|---|---|---|---|
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US3765249A (en) * | 1971-09-23 | 1973-10-16 | Dresser Ind | Gauge casing construction |
US3899766A (en) * | 1974-03-29 | 1975-08-12 | Tyco Laboratories Inc | Pressure transducer |
NL7415668A (nl) * | 1974-12-02 | 1976-06-04 | Philips Nv | Drukopnemer. |
DE2608381C2 (de) * | 1976-03-01 | 1978-03-30 | Hottinger Baldwin Messtechnik Gmbh, 6100 Darmstadt | Meßumformer |
US4145588A (en) * | 1977-09-29 | 1979-03-20 | Texas Instruments Incorporated | Condition responsive apparatus having freely disposed disc |
DE3067989D1 (en) * | 1980-02-06 | 1984-07-05 | Keller Hans W | Piezoresistive cylindrical-box-like pressure measurement cell |
DE8025731U1 (de) * | 1980-09-26 | 1981-02-19 | Afriso-Euro-Index Gmbh, 7129 Gueglingen | Manometergehaeuse |
DD208216A1 (de) * | 1981-10-30 | 1984-03-28 | Karl Marx Stadt Mech | Umhuellung fuer messinstrumente, insbesondere manometer |
JPS58180927A (ja) * | 1982-04-16 | 1983-10-22 | Toshiba Corp | 半導体感圧素子の保護装置 |
JPS597234A (ja) * | 1982-07-05 | 1984-01-14 | Aisin Seiki Co Ltd | 圧力センサ |
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US4513623A (en) * | 1983-09-09 | 1985-04-30 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Transducer housing employing crimped leads |
JPS6117925A (ja) * | 1984-07-05 | 1986-01-25 | Hitachi Ltd | 圧力センサ |
US4625561A (en) * | 1984-12-06 | 1986-12-02 | Ford Motor Company | Silicon capacitive pressure sensor and method of making |
DE3563479D1 (en) * | 1985-01-28 | 1988-07-28 | Kristal Instr Ag | Method for manufacturing a measuring transducer for measuring mechanical quantities |
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JPS62235536A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-10-15 | Aisin Seiki Co Ltd | 圧力センサ |
US4773972A (en) * | 1986-10-30 | 1988-09-27 | Ford Motor Company | Method of making silicon capacitive pressure sensor with glass layer between silicon wafers |
US4825876A (en) * | 1988-02-23 | 1989-05-02 | Abbott Laboratories | Encapsulated blood pressure transducer |
-
1989
- 1989-05-08 US US07/348,518 patent/US5031462A/en not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-04-10 CA CA002014257A patent/CA2014257A1/en not_active Abandoned
- 1990-05-03 EP EP90304811A patent/EP0397392B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-05-03 DE DE69010073T patent/DE69010073T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-08 JP JP2117015A patent/JPH0367140A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5031462A (en) | 1991-07-16 |
EP0397392A2 (en) | 1990-11-14 |
CA2014257A1 (en) | 1990-11-08 |
DE69010073T2 (de) | 1994-12-01 |
EP0397392A3 (en) | 1991-05-08 |
EP0397392B1 (en) | 1994-06-22 |
DE69010073D1 (de) | 1994-07-28 |
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