WO1991015743A1 - Differential pressure sensor and method of manufacturing the same - Google Patents

Description

明 細 書 差圧セ ンサ及びその製造方法 技術分野

本発明は、 差圧セ ンサ及びその製造方法に関し、 特 に、 例えば土木用機械や建設用機械に適用された油圧 機器の各部の圧力状態の検出に利用される ものであ り、 油圧等の圧力が加わっ た時に、 この圧力に対抗して発 生する歪みを検知し、 当該圧力を検出するよ う に構成 された差圧セ ンサ及びその製造方法に関する。 背景技術

図面を参照して、 従来の差圧セ ンサの典型的構造を 説明する。 第 9 図は従来の差圧セ ンサの内部構造の要 部を示す断面図である。 第 9図において、 1 0 1 は油 圧等の圧力に応じて変形する受圧部を備えたダイヤフ ラ ム基体であ り、 1 0 2 はダイヤフ ラ ム基体 1 0 1 を 支持する支持部材である。 支持部材 1 0 2 は、 剛体で 作製され、 ケ一 シ ングと しての機能も有する。 ダイ ヤ フ ラ ム基体 1 0 1 の受圧部の表面には例えばポ リ シ リ コ ン等からなる歪みゲージ 1 0 3が成膜され、 当該受 圧部は、 受圧部の表裏の面のそれぞれに圧力が加わり、 表裏の面が共に受圧面となるよ う に構成される。 この 2つの受圧面に加わる圧力の差が歪みゲージ 1 0 3で 検出され、 歪みゲー ジ 1 0 3から差圧に関する圧力信 号と して出力される。 このダイヤフ ラ ム基体 1 0 1 は、 例えば金属材で形成される。 支持部材 1 0 2 は、 第 9 図中の左右の箇所に、 それぞれ異なる圧力を受ける面 を有する。 これらの面は、 それぞれシールダイヤフラ ム 1 0 4 Aと 1 0 4 Bで形成されている。 支持部材 1 0 2において、 各シールダイヤフ ラム 1 0 4 A， 1 0 4 Bの裏側に対応する箇所には、 凹部 1 0 5 Aと凹部 1 0 5 Bが形成され、 それぞれの凹部 1 0 5 A， 1 0 5 Bには液体状のシ リ コ ン 1 0 6が充填されている。 各シ リ コ ン 1 0 6 は、 シールダイヤフラム 1 0 4 A, 1 0 4 Bで封止されている。 各凹部 1 0 5 A, 1 0 5 Bによ っ て形成された空間はダイヤフ ラ ム基体 1 0 1 で分離されており、 その結果、 各凹部 1 0 5 A， 1 0 5 Bの液体状シ リ コ ン 1 0 6による液圧は、 それぞれ ダイ ヤフ ラ ム基体 1 0 1の表裏の面に加わる。 かかる 構造によ り、 シールダイヤフラム 1 0 4 A, 1 0 4 B のそれぞれに加わる外部からの圧力 P , ， P 2 は、 液 . 体状シ リ コ ン 1 0 6を圧力伝達手段と してダイ ヤフ ラ ム基体 1 0 1の表裏の面に印加され、 その結果ダイ ヤ フラム基体 1 0 1の受圧部の両面側に加わる圧力の差 圧が、 ダイヤフラム基体 1 0 1 の受圧部の一方の表面 に設けられた歪みゲージ 1 0 3で検出される。 なお、 歪みゲー ジ 1 0 3 に液体状シ リ コ ン 1 0 6が直接的に 接触するのは好ま し く ないので、 ダイ ヤフラム基体 1 0 1 における歪みゲージ 1 0 3 が設け られた側の面は、 保護膜がコーティ ングされ、 この保護膜で保護されて いる。

ダイヤフ ラ ム基体 1 0 1 の受圧部の一方の面に設け られた歪みゲー ジ 1 0 3 は、 発生した圧力差に応じて 受圧部に歪みが生じたと き、 この歪みに比例 して抵抗 値が変化する電気回路要素と しての機能を有する。 抵 抗値が変化する と、 抵抗値に比例した電圧が歪みゲ一 ジ 1 0 3 に発生する。 こ う して歪みゲー ジ 1 0 3 によ つて検出される電圧に基づいて、 印加された圧力値の 差を検出する こ とができる。 歪みゲージ 1 0 3で検出 された圧力に関する信号は、 ダイヤフ ラ ム基体 1 0 1 における歪みゲージ 1 0 3 が形成された面にボンディ ングされた リ ー ド線 1 0 7 を介して、 端子基板 1 0 8 及び支持部材 1 0 2 に形成された孔 1 0 9 を経由 して 外部に引き出される。 支持部材 1 0 2 に形成された、 リ ー ド線 1 0 7 を引き出すための孔 1 0 9 は、 絶縁性 及び液密性を有するハ ーメ チ ッ ク シール 1 1 0 で封止 されている。

以上の構造を有する従来の差圧セ ンサでは、 次のよ うな各種問題が提起される。

( 1 ) ダイ ヤフ ラ ム基体 1 0 1 は支持部材 1 0 2 の 取付け面に接着剤等によ り固定されているので、 シ一 ルダイヤフ ラム 1 0 4 B の側から高圧の圧力 P ₂ が加 わり、 且つシールダイヤフラム 1 0 4 Aの側からの圧 力 との差が大きい場合には、 ダイヤフ ラ ム基体 1 0 1 が、 支持部材 1 0 2から外れるおそれがある。

( 2 ) また、 ダイ ヤフ ラ ム基体 1 0 1 における歪み ゲージ 1 0 3が設けられた面から引き出された リ ー ド 線 1 0 7 は、 圧力を伝達する媒体である液体状シ リ コ ン 1 0 6 の中を通すよ う に配線されているので、 液体 状シ リ コ ン 1 0 6 によ り直接に圧力を受ける こ とにな る。 このよ うな構造によれば、 リ一'ド線 1 0 7が断線 する可能性が高く 、 信頼性の点で問題である。 更に リ 一 ド線 1 0 7 は、 歪みゲージ 1 0 3が形成されたダイ ャフラム基体 1 0 1 の面から保護膜を揷通させて引き 出すため、 保護膜による歪み検出部の保護が完全に行 われない という不具合を有する。

( 3 ) 保護膜など、 一般的にコ一ティ ング膜で差圧 セ ンサの歪み検出部の保護を行う ためには、 差圧セ ン ザの製造工程で高温処理工程が必須とな り、 その結果、 高温処理によって、 完成品である差圧セ ンサの歪み検 出部に残留応力が発生して しまい、 検出精度が低減す る という不具合を生じる。

( 4 ) 更に、 中間の圧力伝達手段と してシールダイ ャフ ラ ム 1 0 4 A， 1 0 4 B及び液体状シ リ コ ン 1 0 6 を使用する構造を採用 しているため、 ハーメ チ ッ ク シール 1 1 0 による封止を行う構造が必須となる。 そ の結果、 全体的に構造が複雑とな り、 製造工程も多段 階とな り、 製造が面倒である とい う不具合が生じる。

( 5 ) 加えてハーメ チ ッ ク シール 1 1 0の部分に直 接に液体状シ リ コ ン 1 0 6 を介して圧力が加わる構造 となっているため、 圧力伝達媒体である液体状シ リ コ ン 1 0 6 に非常に高い圧力が発生する と きには、 ハー メ チ ッ ク シール 1 1 0の耐久性が限界に至り、 破壊さ れる とい うおそれも生じる。

本発明は、 以上の各種問題を解決すべく 、 次の目的 を逹成 る。

本発明の第 1 の目的は、 受圧手段と して機能するダ ィャフラムの一方の面に形成される歪みゲー ジや引出 し配線等の如き電気的構成部分が圧力媒体に直接に接 触しないよ う に、 これらを当該圧力媒体から完全に分 離し、 これによ つて圧力に対して脆弱な電気的構成部 分の破損を防止し、 電気的構成部分を有効に保護する こ とを企図した差圧セ ンサを提供する こ とにある。 本発明の第 2 の目的は、 歪み検出部や引出 し線等の 電気的構成部分の如き差圧セ ンサのデリ ケー トな構成 部分に関し、 直接的な接液による圧力印加状態を避け る構造を採用 し、 簡素な構造にて耐久性を高める こ と ができ る差圧セ ンサを提供する こ とにある。 本発明の第 3 の目的は、 表裏の面で圧力を受ける受 圧部を有したダイヤフラムの支持構造を堅牢なものと し、 反対方向を向いた 2つの圧力印加方向のいずれか らの高圧に対しても耐える こ とができる構造を有した 差圧センサを提供する こ とにある。

本発明の第 4の目的は、 コーティ ング膜による保護 を採用 しないこ と によ り、 製造工程における高温処理 工程を不要と し、 完成品において残留応力が発生しな い高い検出精度を有した差圧セ ンサを提供する こ とが できる。

本発明の第 5 の目的は、 構造の簡素化を図る こ とに より製造工程を簡素化する こ とができ、 これによ り容 易に且つ安価に製造する こ とができ、 特に圧力検出部 に対して高温処理工程を施すこ とを省略でき るので、 完成された差圧セ ンサの歪み検出部に残留応力が生じ る こ とがな く 、 高い検出精度を持たせる こ とができる 差圧セ ンサの製造方法を提供する こ とにある。 発明の開示

本発明に係る差圧セ ンサは、 歪み検出部が形成され た第 1 の受圧面と第 1 の受圧面の裏側に位置する第 2 の受圧面を有するダイヤフ ラム と、 第 1 の圧力媒体を 第 1 の受圧面に導入する第 1 の導入通路と、 第 2 の圧 力媒体を第 2の受圧面に導入する第 2 の導入通路を備 え、 第 1 の受圧面の側に位置する第 1 の導入通路の出 口開口部に、 この出口開口部を塞ぎ且つ歪み検出部を 覆う シ一 ト部材を配設するよ う に構成される。

上記構成において、 更に、 第 1 の導入通路は第 1 の 支持部材に形成され、 第 2 の導入通路は第 2 の支持部 材に形成され、 第 1 の支持部材と第 2 の支持部材が、 それぞれの突き合わせ面による突き合わせ構造を有し、 その突き合わせ構造でダイヤフ ラ ムの周縁部を両側か ら挟んで支持し、 ダイヤフラムを固定するよ う に構成 される。

本発明に係る差圧セ ンサは、 よ り具体的には、 第 1 及び第 2 の受圧面を有し、 第 1 の受圧面に歪み検出部 が形成される薄板状のダイ ヤフ ラムと、 第 1 の圧力媒 体を第 1 の受圧面に導入する第 1 の導入通路を有した 第 1 の支持部材と、 第 2 の圧力媒体 （これは第 1 の圧 力媒体と同じであってもよい） を第 2 の受圧面に導入 する第 2 の導入通路を有した第 2 の支持部材とを備え る ものであ り、 第 1 の支持部材と第 2 の支持部材はそ れぞれ突き合わせ面を有しており、 突き合わせ面を突 き合わせた構造にて、 第 1 と第 2 の支持部材がダイ ヤ フ ラ ムの周縁部を両側から挟んで支持し、 固定する と 共に、 ダイ ヤフ ラムにおける第 1 の受圧面の側に位置 する第 1 の支持部材とダイヤフ ラ ム との間に当該支持 部材の第 1 導入通路の出口開口部を塞ぎ且つ少な く と も歪み検出部が形成された部分を覆う シー ト部材を配 設するよ う に構成される。

前記シ一 ト部材は、 金属シー ト又は樹脂シー トが用 い られる。 またシー トの固定の仕方と しては、 最も望 ま しい構成は、 第 1 の導入通路の出口開口部の周辺部 に拡散接合等によ り に固定して、 当該出口開口部を完 全に塞ぐよ う にする。 樹脂シー ト の場合には接着剤が 接合手段と して使用される。 単にシー トを支持部材と ダイヤフ ラ ム との間に配置し、 これを支持部材で押え 付ける こ とによ り、 固定する こ と もでき る。

実際上、 歪み検出部が形成された第 1 の受圧面の側 にてダイ ヤフ ラ ムを支持する支持部材には、 歪み検出 部が形成されたダイヤフ ラ ムの受圧部の周辺を押さえ 付けるための リ ング形状の突起部が形成される。 この 突起部は、 ダイヤフラム押え付け手段と して、 また前 記のシー ト部材を取り付けるための部分と して、 用い られる。 またこの突起部は、 圧油等の圧力媒体を導入 させる導入通路と、 信号引出し線及び接続部が設け ら れる空間とを形成するための隔壁と して作用する。

特に、 前記のシー ト部材は或る程度のたわみを有す る状態で配設されるので、 ダイヤフ ラ ムの受圧部周辺 を覆う と き、 不要な力が加わらず、 検出精度の低減を 引き起こ さない。

また、 本発明に係る差圧セ ンサの製造方法は、 第 1 及び第 2 の受圧面を有するダイ ヤフ ラ ムの第 1 の受圧 面に歪み検出部を形成し、 それぞれ圧力媒体を導入す る導入通路を有し且つそれぞれ突き合わせ面を備える こ とによ り突き合わせ構造によ って結合一体化される 第 1 及び第 2 の支持部材を形成し、 ダイ ヤフ ラ ムを、 第 2 の受圧面が導入通路を覆う よ う に接触させて第 2 の支持部材の突き合わせ面の所定箇所に配設し、 第 1 の支持部材の突き合わせ面に第 1 の支持部材の導入通 路の出口開口部を覆う シー ト部材を取付け、 第 1 の支 持部材を、 前記シー ト部材がダイ ヤフ ラ ムの第 1 の受 圧面に形成された歪み検出部を少な と も覆う よ う に して、 第 2 の支持部材に対し突き合せ、 第 1 及び第 2 の支持部材を結合するよ う に して、 差圧セ ンサを製造 する ものである。

前記シー ト部材が金属シー ト であれば、 拡散接合に よ り金属製の第 1 の支持部材に取り付ける こ とができ る。 シー ト部材が樹脂シー ト である場合には、 接着剤 によ り結合される。

シー ト部材は、 支持部材に必ず固設する必要はな く 、 単に支持部材とダイ ヤフラムとの間に配設されるだけ でもよい。 ただし、 この場合でも、 シー ト部材がダイ ャフ ラ ムの歪み検出部が形成された部分を しつかり と 覆い、 これを保護でき るよ う に、 固定される必要があ る。 この場合にはシール リ ングを利用する と好都合で ある o 図面の簡単な説明

第 1 図は油圧機器を備えた任意の機械において本発 明に係る差圧セ ンサが組み付け られた装置構成を示す 部分縦断面図、

第 2図は本発明に係る差圧セ ンサのダイヤフ ラ ム周 辺部分を拡大して示した縦断面図、

第 3図は第 2図中の要部を更に拡大して示した縦断 面図、

第 4図は歪み検出部の構成を示す要部平面図、 第 5図はダイ ヤフ ラ ムの周縁部及び電気接続部を示 す部分縦断面図、

第 6図は第 5図中の VI— VI線断面図、

第 7図は本発明に係る差圧セ ンサの製造工程の特徴 的工程を示す図、

第 8図は本発明に係る差圧セ ンサの他の実施例を示 す第 2図と同様な図、

第 9図は、 従来の差圧セ ンサの構造例を示した縦断 面図である。 発明を実施するための最良の形態

以下に、 本発明の実施例を添付図面に基づいて説明 する。 第 1 図は例えば油圧機器に組み付けた本発明に係る 差圧セ ンサの一実施例を示す断面図である。

1 は油圧機器の壁部の一部であ り、 こ の壁部 1 は、 本発明に係る差圧セ ンサを含むセ ンサュニッ ト 2 を取 付け且つ支持する支持部と しての機能を有している。 第 1 図で図示された例では、 本発明に係る差圧セ ンサ は、 本来の差圧セ ンサと して機能する部分 2 A と、 差 圧セ ンサの部分 2 Aから取り 出される検出信号を処理 する電気回路部分と、 差圧セ ンサの部分 2 Aを所定の 位置に配置せしめ且つ電気回路部分を収容する取付け 構造部分などによ っ て、 セ ンサュニ ッ ト 2 と して構成 されている。

壁部 1 には、 差圧セ ンサ 2 A等を含むセ ンサュニ ッ ト 2 を取付けるための円形の孔 3 と、 この孔 3 に通じ 且つそれぞれ圧油を導き入れる 2 つの孔 4， 5 とが形 成される。 孔 3 は第 1 図中下部に開口部 3 a を有し、 比較的に大径に形成され、 この開口部 3 a を介して、 差圧セ ンサ 2 A等を含むセ ンサュニッ ト 2が、 開口部 3 a との螺合関係によ り、 孔 3 内に装着される。 また 孔 4， 5 は相対的に小径の孔であ り、 セ ンサュニッ ト 2 を孔 3 に装着した状態において、 後述する よ う に、 孔 4 に導入された圧油は差圧セ ンサ 2 Aに形成された 受圧部の一方の受圧面 （第 1 図中、 上面） に導かれ、 孔 5 に導入された圧油は差圧セ ンサ 2 Aに形成された ' 前記受圧部の他方の受圧面 （第 1 図中、 下面） に導か れる。 孔 4 と孔 5 のそれぞれにおける第 1 図中の左端 は、 例えば、 異なる油通路に開口されている。 差圧セ ンサ 2 Aでは 2つの油圧の差圧を検出する こ とを目的 とするのであるから、 通常、 孔 4 と孔 5 によって導入 される圧油は異なる圧力を有している。 従って孔 4， 5 のそれぞれで導入される圧油は、 通常、 異なる箇所 を流れる ものである。 しかし、 検出対象となる圧油は 同じ油通路を流れる ものであっても構わない。

差圧セ ンサ 2 A等を含むセ ンサュニッ ト 2 は、 その 外観を形成するハウ ジング部分が例えば金属で作られ、 且つ外観形状は概略的に円柱形の形状である。 孔 3 に おけるセ ンサュニッ ト 2の装着状態において、 孔 3の 奥の部分に位置するセ ンサュニッ ト 2の先端部には本 発明に係る差圧セ ンサ 2 Aが設け られ、 セ ンサュニッ ト 2 の中間部の外面には雄ねじ部 2 Bが形成され、 支 持部 1 の外側に露出 したセ ンサュニッ ト 2の基部には 外径拡大部 2 Cが形成されている。 セ ンサュニッ ト 2 における外径拡大部 2 C及び中間部の各内部には、 底 部までの距離が比較的に長い穴 2 Dが形成されている。 この穴 2 D によ って形成されるスペースは、 増幅器等 を含む電気回路部 6 を取付ける と共に、 信号を取出す 電気配線 7 を電気回路部 6 から外部に引き出すための スペース と して使用される。 電気回路部 6 は、 回路部 分が例えばモノ リ シ ッ ク I Cで形成され、 こ の I C を 樹脂材等でモール ド して保護するよ う に している。 信 号を取出すための複数本の電気配線端子 7 は、 その一 端を電気回路部 6 の所定の面に形成された夕一 ミ ナル 部に接続され、 取付け支持部材 8 を揷通させて外部に 引き出される。 なお、 センサュニッ ト 2 の中間部の外 面に形成された雄ね じ部 2 B に係合する雌ね じ部 3 b が、 開口部 3 a の内面部に形成される。 前述の如く 、 これらのね じ部 2 B， 3 b の螺合関係に基づきセ ンサ ュニッ ト 2 は支持部 1 に装着される。

差圧セ ンサ 2 Aの部分は、 ほぼ中央部周辺に受圧部 を有し且つ一方の面に歪み検出部 1 2が設け られた薄 板状の金属製ダイヤフ ラ ム 9 と、 このダイヤフ ラ ム 9 を挟み込み且つ堅牢に支持する 2つの例えば金属製の 支持部材 1 0， 1 1 とから構成される。 支持部材 1 0， 1 1 は、 それぞれ、 互いに対向する突き合わせ面を有 し、 この突き合わせ面による突き合わせ構造によ っ て ダイヤフ ラ ム 9 の周縁部を挟持し、 ダイヤフ ラ ム 9 を 固定する。 第 1 図で、 支持部材 1 0 は上側に配置され る支持部材であ り、 支持部材 1 1 は下側に配置される 支持部材である。 支持部材 1 0 は、 その軸線部分に孔 1 0 aが形成され、 全体がほぼ円柱形態に形成されて いる。 支持部材 1 1 には、 径方向の孔部と軸方向の孔 部からなる孔 1 1 a が形成されている。 第 1 図に示さ れた状態では、 支持部材 1 0， 1 1 は溶接等で結合さ れ、 一体化されている。 また支持部材 1 1 については、 図示される如く 、 ダイ ヤフ ラム 9 を挟持する部分から、 更に前記の中間部及び穴 2 Dを形成する前記ハウ ジ ン グ部分の方向に延設され、 一体的に形成されている。 支持部材 1 0の孔 1 0 a は孔 4 に通じており、 支持部 材 1 1 の孔 1 1 a は孔 5 に通じている。

支持部材 1 0 と支持部材 1 1が一体化され、 ダイヤ フ ラ ム 9 を挟み込むよ う に組み付けられた状態におい て、 ダイ ヤフ ラ ム 9 の中央部付近の受圧部は、 同軸関 係の位置にある孔 1 0 a と孔 1 1 a'の軸線上にて、 当 該軸線に直角となるよ う に配置される。 ダイヤフ ラム 9のほぼ中央部付近に存在する受圧部の両側の各面が、 それぞれ第 1及び第 2 の受圧面となり、 それぞれの受 圧面には、 孔 4 , 1 0 a (第 1 の導入通路） と孔 5 , 1 1 a (第 2の導入通路） のそれぞれによ っ て導入さ れた圧力の異なる圧油が印加される。

ダイヤフ ラム 9の周縁部の周囲には、 支持部材 1 0 , 1 1 の突き合わせ面の形状に基づいて形成される空間 1 3が存在する。 この空間 1 3 は、 例えばリ ング状の 形状を有し、 ダイヤフラム 9 の周縁部を囲むよ う に形 成され、 且つ支持部材 1 0 , 1 1 の組み付け状態にお いて、 軸部に形成された圧油導入孔 1 0 a， 1 1 a に 対し完全に隔離された状態で区画 · 分離されている。 従っ て、 空間 1 3 は密閉状態にある。 空間 1 3 におい て、 支持部材 1 1 にタ ー ミ ナル部 1 4 が形成され、 こ のター ミ ナル部 1 4 の電極部には前記歪み検出部 1 2 から引き出された信号引出 し線 1 5が接続される。 更 に、 このタ ー ミ ナル部 1 4から前述の電気回路部 6 ま で、 支持部材 1 1 に形成された孔を通して信号引出 し 部 1 6が形成され、 信号引出 し部 1 6 によっ てタ一 ミ ナル部 1 4 と電気回路部 6 の所定のター ミ ナル部は電 気的に接続されている。 なお、 第 1 図において 1 7 , 1 8， 1 9 はシール用 0 リ ングである。

次に第 2 図〜第 4図を参照して差圧セ ンサ 2 Aの詳 細な構造について説明する。 第 2図は第 1 図中のダイ ャフ ラ ム 9 の周辺部分の構造を拡大して示した縦断面 図、 第 3 図は第 2図を更に拡大して示した縦断面図、 第 4図はダイ ヤフ ラ ム 9 の上面の歪み検出部 1 2 の構 造を示す平面図である。 各図において、 第 1 図で示し た要素と同一の ものには同一符号を付している。

第 2図において、 1 0 b は支持部材 1 0 の突き合わ せ面、 l i b は支持部材 1 1 の突き合わせ面である。 支持部材 1 0 の突き合わせ面 1 0 b には、 孔 1 0 a の 周囲に同軸的に リ ング形凹部 1 0 c が形成され、 また 孔 1 0 a の周囲にダイヤフ ラ ム 9 の上面周縁部を押え る押え部と して機能する内周側の リ ング形突起部 1 0 dが形成される。 支持部材 1 1 の突き合わせ面 1 1 b には円形凹部 1 1 cが形成されている。 凹部 1 1 じ の 底部の中心部位置には前記孔 1 1 aが形成される。 ダ ィャフ ラ ム 9 は、 歪み検出部 1 2が形成されない面を 接触させて、 その凹部 1 1 c の中央部に配置される。 ダイヤフ ラ ム 9 の前記面は、 孔 1 1 a を塞ぐ状態にて 配設される。 上記形状の突き合わせ面 1 0 b , l i b を有する支持部材 1 0， 1 1 を、 その中心部にダイ ヤ フ ラ ム 9 を配設し、 突き合わせて組み付ける と、 ダイ ャフ ラ ム 9 が支持部材 1 0 , 1 1 で挟持 ， 固定される と共に、 前記囬部 1 0 c， 1 1 c によ っ てダイヤフ ラ ム 9 の周囲に前記空間 1 3が形成される。 第 2図中、 ダイ ヤフ ラ ム 9 はその下面を支持部材 1 1 の凹部 1 1 c の底面に接着剤又は溶接等によって固着される。 ま たダイヤフ ラム 9 の上面は支持部材 1 0 の突起部 1 0 d によって所要の押付け力で圧着されるか、 又は押付 け力がほぼゼロの状態で突起部 1 0 d に当接される。 凹部 1 1 c の深さ とダイヤフ ラ ム 9 との厚さ はほぼ等 しいが、 圧着か又は単なる接触かによつてそれらの寸 法的な関係は適宜に設計される。 上記のような支持部 材 1 0， 1 1 の突き合わせ状態において、 支持部材 1 0， 1 1 の突き合わせ部の外周囲部には溶接 2 0が施 され、 支持部材 1 0 と支持部材 1 1 は結合され、 一体 化される。

ダイ ヤフ ラム 9 の上面には、 前述の通り、 歪み検出 部 1 2が形成されている。 こ の歪み検出部- 1 2 の形成 箇所は、 前記孔 1 0 a に対応して決ま るダイ ヤフ ラ ム の中央部付近の受圧部領域の上面である。 歪み検出部 1 2 の構成と しては種々の ものが考え られる。 この実 施例において、 歪み検出部 1 2 は、 ダイ ヤフラム 9 の 上面に絶縁膜を形成し、 その上に 4個の例えばポ リ シ リ コ ンを利用 した半導体歪みゲー ジ 2 1 が所定の配置 関係で形成され、 且つ 4個の歪みゲージ 2 1 がホイ一 ト ス ト ンブリ ッ ジ回路を構成するよう に電気配線膜に よ って接続される。 ホイ ー ト ス ト ンブリ ッ ジ回路に電 圧を加えるための電気配線及び当該プリ ッ ジ回路から 出力信号を取出すための電気配線は、 ダイヤフ ラ ム 9 の周縁部に設けられたボンディ ングパッ ドに接続され る電気配線膜を用いて形成されている。 このよ うな構 造を有する歪み検出部 1 2 は、 その全体が絶縁性を有 するパッ シベーシ ヨ ン膜で覆われている。 歪み検出部 1 2 を形成するための成膜技術と しては、 C V D法、 真空蒸着法、 スパッ タ法等が使用され、 電気配線膜と しては例えば C r A u薄膜が使用される。 かかる構 造を有した歪み検出部 1 2 を形成されたダイ ヤフ ラ ム 9 は、 前述の通り、 支持部材 1 1 の孔 1 1 a の開口部 を塞ぐよ う に凹部 1 1 c の底部に接着剤等によ って固 定される。

更に、 前記パッ シベーシ ヨ ン膜の上は金属シー ト 2 2が配置され、 パ ッ シベー シ ヨ ン膜を覆っ ている。 こ の金属シー ト 2 2は、 例えば S U S 6 3 1系統の金属 で作られた、 厚みが例えば 1 0〜 1 0 0 mの シ一 ト 部材である。 支持部材 1 0が金属製である と き、 金属 シー ト 2 2 は、 圧油を導入するための孔 1 0 aの下側 開口部 （油圧の印加方向から見る と出口側の開口部に 相当する） を完全に塞ぐよ うな状態で、 例えばリ ング 形突起部 1 0 dの頂部に、 高温を利用 した拡散接合で 取り付けられている。 金属シー ト 2 2 は 5 0 0 K g f / c m² 以上の高圧に耐える強度を有する箔状の薄膜 であ り、 或る程度のたわみを有して突起部 1 0 dの頂 部に接合されている。 この金属シー ト 2 2の取付け構 造によれば、 支持部材 1 1 に取付けられたダイヤフ ラ ム 9 に対して金属シー ト 2 2を取付けた支持部材 1 0 の突起部 1 0 dを当接させるだけで、 金属シー ト 2 2 は歪み検出部 1 2及びその周辺部分を覆う こ とができ る。 また金属シー ト 2 2は或る程度たわみを有してい るので、 金属シー ト 2 2がダイヤフラム 9の受圧部の 感圧特性に影響を与える こ とはない。

第 4図は、 ダイヤフ ラ ム 9の上面に設けられた歪み 検出部 1 2及び支持部材 1 1の平面構造を示す。 第 4 図において、 1 1 は支持部材であ り、 1 1 c は凹部で ある。 凹部 1 1 cの中央部にダイヤフ ラ ム 9が配設さ れる。 破線で示された 1 1 aは、 支持部材 1 1の軸部 に形成された前述の孔である。 ダイヤフ ラ ム 9 の上面 には、 4個の歪みゲー ジ 2 1 と これらの歪みゲー ジ 2 1 を接続しホイ 一 ト ス ト ンプリ ッ ジ回路 2 3 を作る電 気配線膜 2 4 と信号を取出すための電気配線膜 2 5 と が形成されている。 各電気配線膜 2 5 は、 それぞれ対 応するボンディ ングパッ ド 2 6 に接続される。 凹部 1 1 c には所定の 2つの箇所に前述のター ミ ナル部 1 4 が形成されており、 前記の各ボンディ ングパッ ド 2 6 は、 前記信号引出 し線 1 5 によ っ て対応する ター ミ ナ ル部 1 4 の電極部に接続されている。

再び第 2 図に戻って説明を継続する。 第 2 図では、 便宜上 1 箇所のタ一 ミ ナル部 1 4 の構造のみを示して いる。 このこ と は第 1 図及び第 3 図でも同様である。 ダイヤフ ラム 9 の上面縁部に形成されたボンディ ング ノ、 °ッ ド 2 6 とター ミ ナル部 1 4 とは、 信号引出 し線 1 5 で接続される。 この場合に、 前述した通り、 ボンデ ィ ングパッ ド 2 6 と ター ミ ナル部 1 4 と信号引出 し線 1 5 は空間 1 3 内に位置する。 これは第 3図でも明ら かである。 拡大した第 3図に示されるよ う に、 タ ー ミ ナル部 1 4 の下側の支持部材 1 1 の箇所には孔 1 1 d が形成され、 この孔 1 1 dを揷通させてター ミ ナル部 1 4 に接続された信号配線 2 7が配線される。 孔 1 1 dには樹脂又はガラスによるハーメ チ ッ ク シール 2 8 が施される。 こ う して、 支持部材 1 1 に前記の信号引 出し部 1 6 が形成される。

第 5図はダイヤフラム 9 の上面で且つボンディ ング パッ ドが形成される部分の周辺構造を示す縦断面図、 第 6図は第 5図中の VI— ¹ VI線断面図である。 第 5図及 び第 6図において、 1 0 は上側支持部材、 1 0 d は突 起部、 1 1 は下側支持部材、 9 はダイヤフ ラ ム、 1 0 a及び 1 1 a は孔、 1 4 はター ミ ナル部、 1 6 は信号 引出 し部である。 ダイヤフラム 9 の上表面には全面に わたり絶縁膜 3 0が形成されている。 ダイヤフ ラ ム 9 のボンディ ングパッ ド 2 6 の近傍の電気配線膜 2 5力 形成される箇所であって、 前記支持部材 1 0 の突起部 1 0 dが当接する箇所には凹部 3 1 に形成されている。 この凹部 3 1 は電気配線膜 2 5が形成される箇所であ るが、 この凹部 3 1 の中にも絶縁膜 3 0が形成される。 2 1 は絶縁膜 3 0の上面に形成された 4個の歪みゲー ジの中の 1 つの歪みゲージである。 歪みゲージ 2 1 と ボンディ ングパッ ド 2 6 との間には前記凹部 3 1 を利 用 して電気配線膜 2 5が配線される。 そ して、 その上 にパッ シベーシ ヨ ン膜 3 2が成膜されている。 支持部 材 1 0の突起部 1 0 dの頂部には前述の如く 金属シー ト 2 2が拡散接合によ り設けられ、 かかる状態の突起 部 1 0 dをパッ シベ一シ ヨ ン膜 3 2 に押付けカゼ口又 はそれ以上の所要の押付け力値で当接させている。 夕 一ミ ナル部 1 4 は、 絶縁性を有するセラ ミ ッ ク板 1 4 a と導電性を有する電極部 1 4 bから構成される。 ボ ンディ ングパッ ド 2 6 とター ミ ナル部 1 4の電極部 1 4 b との間には前記の信号引出 し線 1 5が配線される。 信号引出 し線 1 5 は、 径が 3 0 / m程度の A u (金） で形成された線である。

以上の構成を有する差圧セ ンサ 2 Aによれば、 歪み 検出部 1 2 が設けられたダイヤフ ラ ム 9 の領域を受圧 部と して使用 し、 且つ受圧部の上下両面を受圧面と し て用いる こ とができ る。 例えば第 1 図において、 上側 の受圧面には孔 4， 1 0 a を通して導入された圧油が 印加され、 下側の受圧面には孔 5， 1 1 a を通して導 入された圧油が印加される。 差圧セ ンサ 2 Aでは、 ダ ィャフ ラム 9 の歪み検出部 1 2が、 2つの受圧面にか かる圧力の差を電圧信号と して出力する。 この信号は、 電気配線膜 2 5、 信号引出 し線 1 5、 ター ミ ナル部 1 4、 信号引出 し線 2 7 を経由 して電気回路部 6 に入力 され、 こ こで、 増幅等の信号処理が行われる。

上記構成を有する差圧セ ンサ 2 Aによれば、 歪み検 出部 1 2 を圧油から保護する手段と して、 強度の高い 金属シー ト 2 2 を用いる こ とができ、 保護の効果を高 める こ とができ る。 特に、 金属シー ト 2 2 は圧油を導 入する孔 1 0 a の開口部を完全に覆っているため、 歪 み検出部 1 2 の歪みゲージ 2 1等への圧油の侵入を完 全に防止し、 歪み検出部 1 2や電気配線膜等が直接に · 油に接触する接液状態を防ぎ、 長期にわたり歪み検出 部 1 2の検出動作の信頼性を高いものに維持する。 特 に金属シー ト 2 2 は高温の拡散接合によ って支持部材 1 0 の突起部 1 0 dの頂部に固着されるため、 高い圧 力の圧油に対しても シール性を発揮する。 また金属シ ― ト 2 2 は薄膜状であ り、 且つたわみを有して歪み検 出部 1 2 を覆う よ う に取り付けたので、 金属シー ト 2 2がダイ ヤフ ラ ム 9 の受圧部の感圧特性を低減させる こ とはない。 また、 4個の歪みゲージ 2 1 が形成する ホイ一 ト ス ト ンプリ ッ ジ回路から信号を取出す場合に おいて、 信号の引出し箇所を、 圧力の媒体と接触しな い空間 1 3 の内部に形成するよ う にしたため、 信号引 出し線の断線も発生しないという利点を有する。 更に、 ダイヤフ ラ ム 9 を金属製の支持部材 1 0， 1 1 で挟み 込んで堅牢に固定するため、 互いに反対の 2つの方向 からの圧力に対して高い耐久力を有している。

次に、 第 7図に基づき本発明による差圧セ ンサの製 造方法について説明する。 先ず最初に、 ダイヤフ ラ ム 9 の一方の面に成膜技術を利用 して、 前述した歪み検 出部 1 2 を形成する。 図示例では 2個の歪みゲー ジ 2 1 のみを示している。 次に各支持部材 1 0， 1 1 を機 械加工によ り製作する。 支持部材 1 1 の所定の箇所に ダイヤフ ラ ム 9 を固定する。 ダイヤフ ラ ム 9 の周縁部 に形成されたボンディ ングパッ ド 2 6 と ター ミ ナル部 1 4 を信号引出 し線 1 5 で接続する。 タ ー ミ ナル部 1 4 には既に信号引出 し線 2 7が接続されており、 支持 部材 1 1 には信号引出 し部 1 6が形成されている。 一 方、 支持部材 1 0 には、 前述した方法によ り、 高温ェ 程にて リ ング形の突起部 1 0 dの頂部に孔 1 0 a を塞 ぐよ う に金属シー ト 2 2 を取付ける。 こ のよ う に形成 された支持部材 1 0 を、 ダイヤフ ラ ム 9 を備えた支持 部材 1 1 に対して、 各々の突き合わせ面 1 0 b， 1 1 bがー致するよ う に矢印 L のよ う に突き合わせ、 結合 一体化する。 こ う して差圧セ ンサ 2 Aの周辺部分の構 造が作製される。

上記の差圧セ ンサの製造方法によれば、 支持部材 1 0， 1 1 のそれぞれを組み付ける と同時にダイヤフ ラ ム 9 の上面が金属シー ト 2 2 で覆われるので、 歪み検 出部 1 2 を保護する手段の作製を容易に行う こ とがで きる。 ま た、 従来では高温工程でダイ ヤフ ラ ム 9及び 歪み検出部 1 2等に保護膜をコーティ ングしたのに対 して、 本発明による製造方法では、 かかる高温工程を 必要と しないので、 完成した差圧セ ンサにおいて残留 応力が生ぜず、 これによ り差圧セ ンサの検出精度が向 上する。 ま た信号引出 し線 1 5 やター ミ ナル部 1 4力く 形成される空間 1 3 も、 突き合わせによる組み合わせ と同時に自動的に形成される とい う利点があ り、 非常 に製作が容易となる。 第 8図は本発明に係る差圧セ ンサの他の実施例を示 す第 2図と同様な図である。 第 8図中において第 2図 に示した要素と同一のものには同一の符号を付してい る。 この実施例による差圧セ ンサでは、 支持部材 1 0 の孔 1 0 a の周囲の突起部 1 0 dの頂部に円形の凹部 を形成し、 シール用 0 リ ング 4 0 を配設する と共に、 支持部材 1 1 の孔 1 1 aの周囲に円形の凹部を形成し、 シール用 0 リ ング 4 1 を配設するよ う に構成した。 こ れによ り、 シール性を更に高める こ とができ る。

本発明の差圧セ ンサに関しては、 構成を次のよ う に 変更する こ と もでき る。 金属シー ト 2 2 と同様な金属 シー トを、 支持部材 1 1 の孔 1 1 aを塞ぐよ う に取り 付ける こ とができ る。 これによれば、 ダイヤフラム 9 の下側の液密性を高める こ とができる。

また金属シー ト 2 2 の代わり に P T F E (テフ ロ ン） 等の材料を使用 した所要の高い強度を有する樹脂シー トを用いる こ と もでき る。 樹脂シー トを使用する場合 には、 支持部材 1 0 に樹脂シー トを取り付ける と きに は接着剤などを使用する。

更に、 本発明に係る差圧セ ンサの構造を更に発展さ せ、 単に、 金属シー ト 2 2又はこれに類似したシー ト を、 ダイ ヤフ ラ ム 9 の歪み検出部 1 2 を覆う如く 、 ダ ィャフ ラ ム 9 と支持部材 1 0 との間に配置した構成と する こ と もでき る。 この構成の場合には支持部材 1 0 , 1 1 を突き合わせて組み付ける と き、 支持部材 1 0 の 突起部 1 0 dが、 ダイ ヤフ ラ ム 9 の一方の面を前記シ 一 トを被せた状態で強く 押圧する構造とする必要があ る。 このよ うな構造では、 特に前述のシール用 0 リ ン グ 4 0 を併用する こ とがシール性を高める意味で、 好 ま しい。

上記実施例では、 検出対象と して圧油を例にあげて 説明 したが、 その他の液体、 或いは気体であっても本 発明による差圧センサを適用する こ とができ るのは勿 m ある。

本発明によれば、 次のよ うな技術的効果を奏する。 別体で用意された金属シ一 ト等の保護膜によ ってダ ィャフ ラ ムの表面に形成された歪み検出部や電気配線 膜が圧力媒体との接液状態から完全に免れ、 破損が少 な く な り、 急激な圧力変動に対する耐久性が向上し、 動作信頼性が高く なる。

両面が受圧面となる受圧部を有するダイヤフ ラ ムを 両側から 2つの支持部材で支持する構造によ り、 両側 からの高圧に対して耐久性を有している。

また、 歪み検出部で検出された圧力信号を増幅器等 の電気回路部に供給する電気配線部や電気接続部を、 圧力媒体の存在する空間と は隔離された他の空間に配 設するよ う に したため、 電気配線部や電気接続部の保 護を高める こ とができ る。 また本発明にる差圧セ ンサの製造方法では、 構造の 簡素化に伴い、 歪み検出部の保護する膜の取付け工程 が簡単とな り、 全体と して製造工程数が少な く なる と いう利点がある。 更に製造工程にて、 ダイヤフ ラ ムや 歪み検出部が高温工程にさ らされないので、 その完成 品において残留応力が発生しない。 産業上の利用可能性

土木機械や建設機械等の如き産業機械であって、 動 作を行う各部分の駆動源と して油圧システム等が適用 される ものにおいて、 油圧システムの各部油通路の圧 力状態を差圧情報と して検出する検出装置と して利用 される。

Claims

請求の範囲

1. 歪み検出部 （12)が形成された第 1 の受圧面と第 1 の受圧面の裏側の第 2 の受圧面を有するダイヤフ ラ ム （9) と、 第 1 の圧力媒体を前記第 1 の受圧面に導入 する第 1 の導入通路 （1(h) と、 第 2の圧力媒体を前記 第 2 の受圧面に導入する第 2の導入通路 （ 11a)を備え、 前記第 1 の受圧面の側に位置する前記第 1 の導入通路 (10a) の出口開口部に、 この出口開口部を塞ぎ且つ前 記歪み検出部 （12)を覆う シー ト部材 （22)を配設したこ とを特徴とする差圧セ ンサ。 '

2. 請求の範囲第 1項に記載の差圧セ ンサにおいて、 前記第 1 の導入通路 （1(h) は第 1 の支持部材 （10)に形 成され、 前記第 2の導入通路 （11a)は第 2 の支持部材

(11)に形成され、 前記第 1 の支持部材 （10) と前記第 2 の支持部材 （11)が、 それぞれの突き合わせ面 （1 Ob) ，

(lib) による突き合わせ構造でダイヤフラム （9) の周 縁部を両側から挟んで支持し、 ダイヤフ ラ ム （9) を固 定した こ とを特徵とする差圧セ ンサ。

3. 請求の範囲第 2項に記載の差圧セ ンサにおいて、 前記ダイ ヤフ ラ ム （9) と前記第 1 の受圧面の側に位置 する前記第 1 の支持部材 （10) との間に前記シー ト部材 (22)を配設したこ とを特徴とする差圧セ ンサ。

4. 請求の範囲第 3項に記載の差圧セ ンサにおいて、 前記シー ト部材 （Π)は、 拡散接合によ り前記第 1 の支 持部材 （10)に取り付けられた金属シー トである こ とを 特徴とする差圧セ ンサ。

5. 請求の範囲第 3項に記載の差圧セ ンサにおいて、 前記シー ト部材 （Π)は、 樹脂シー トであ り、 接着剤で 前記第 1 の支持部材 （10)に取り付けられたこ とを特徴 とする差圧セ ンサ。

6. 請求の範囲第 3項に記載の差圧セ ンサにおいて、 前記第 1 の支持部材 （10)は、 前記第 1 の導入通路 （

10 a)の出口開口部周辺に リ ング形状の突起部 （1 ) が 形成され、 この突起部 （10d ) で前記ダイヤフ ラ ム

(9)を押えるよ う に したこ とを特徴とする差圧セ ンサ。

7. 請求の範囲第 6項に記載の差圧セ ンサにおいて、 前記シー ト部材 （22)は、 拡散接合によ り前記突起部

(10d) の先端面に取り付け られた金属シー トである こ とを特徴とする差圧セ ンサ。

8. 請求の範囲第 6項に記載の差圧セ ンサにおいて、 前記シー ト部材 （22)は、 樹脂シー トであ り、 接着剤で、 前記突起部 （10d) の先端面に取り付け られたこ とを特 徵とする差圧セ ンサ。

9. 請求の範囲第 1項〜第 8項のいずれか 1項に記 載の差圧セ ンサにおいて、 前記シー ト部材 （22)は、 た わみを有する こ とを特徵とする差圧セ ンサ。

1 0. 請求の範囲第 3項又は第 6項に記載の差圧セ ンサにおいて、 前記シー ト部材 （22)は、 前記第 1の支 持部材 （10)と前記ダイヤフ ラ ム （9) との間に配置され、 前記第 1の支持部材 （10)で押え付けられる こ と によ り 固定される こ とを特徴とする差圧セ ンサ。

1 1. 請求の範囲第 1 0項に記載の差圧セ ンサにお いて、 前記シー ト部材 （22)は、 たわみを有する こ とを 特徴とする差圧セ ンサ。

1 2. 請求の範囲第 4項又は第 7項に記載の差圧セ ンサにおいて、 前記第 1の受圧面は、 絶縁性を有する 膜で被覆される こ とを特徴とする差圧セ ンサ。

1 3. 請求の範囲第 2項に記載の差圧セ ンサにおい て、 前記第 2の支持部材 （11)に、 電気配線引出 し部

(16)を設けたこ とを特徴とする差圧セ ンサ。

1 4. 請求の範囲第 1 3項に記載の差圧セ ンサにお いて、 前記第 2の支持部材 （11)に信号処理回路部 （

6)を設けたこ とを特徴とする差圧セ ンサ。

1 5. 請求の範囲第 6項〜第 8項のいずれか 1項に 記載の差圧セ ンサにおいて、 第 1 と第 2の支持部材

(10, 11) の突き合わせ構造にて、 前記突起部 （1(H) を 介して、 第 1及び第 2の導入通路 （ 10 a, 11a)と隔離さ れた空間 （13)を形成し、 この空間 （13)に前記歪み検出 部 （12)から出力される差圧信号を外部に取出すための 信号引出 し · 接続部 （14, 15, )を配設したこ とを特徴 とする差圧セ ンサ。

1 6. 請求の範囲第 1 5項に記載の差圧セ ンサにお いて、 前記ダイヤフラム （9) における前記歪み検出部 (12)が形成された箇所と前記信号引出 し · 接続部 (14, 15， 26)が形成された箇所との間のダイヤフ ラ ム表 面には凹部 （31)が形成され、 この凹部 （Π)は前記突起 部 （1 )によって押圧される箇所に相当し、 前記歪み 検出部 （12) と前記信号引出 し · 接続部 （H, , 26) とを 接続する電気配線膜 （25)が前記凹部（31) に形成される こ とを特徴とする差圧セ ンサ。

1 7. 請求の範囲第 1 6項に記載の差圧セ ンサにお いて、 前記凹部 （31)における前記電気配線膜 （25)の上 には厚肉の絶縁保護膜 （Π)が設け られ、 前記突起部 (10d) の先部は前記絶縁保護膜（Π)に当接する こ とを 特徴とする差圧セ ンサ。

1 8 . 請求の範囲第 2項、 第 3項、 第 6項、 第 1 0項 のいずれか 1項に記載の差圧セ ンサにおいて、 前記ダ ィャフ ラ ム （9) と第 1及び第 2 の支持部材（10, 11) と の間の当接部分に、 シール用 0 リ ング （40 ， 41) を介 設したこ とを特徴とする差圧セ ンサ。

1 9 . ダイヤフ ラ ム （9) の第 1 の受圧面に歪み検出 部 （12)を形成し、 それぞれ、 圧力媒体を導入する第 1 又は第 2 の導入通路 （10a, 11a) のいずれかを有し且つ それぞれ突き合わせ面 （10b, lib) を備える こ とによ り 突き合わせ構造によって結合一体化される第 1及び第 2の支持部材 （10， 11) を形成し、 前記ダイ ヤフ ラ ム (9) を、 その第 2の受圧面が第 2の導入通路 （11a) を 覆う よ う に接触させて前記第 2の支持部材 （11)に取付 け、 前記第 1の支持部材の突き合わせ面 （Ida) に前記 第 1の導入通路 （1(h) の出口開口部を覆う シー ト部材 (22)を取付け、 第 1 の支持部材 （10)を、 前記シー ト部 材 （Π)が前記歪み検出部 （12)を覆う よ う に、 前記第 2 の支持部材 （11)に突き合せ、 第 1及び第 2の支持部材 (10, 11) を結合するよ う に したこ とを特徵とする差圧 セ ンサの製造方法。

2 0. ダイヤフ ラ ム （9) の第 1の受圧面に歪み検出 部（12)を形成し、 それぞれ、 圧力媒体を導入する第 1 又は第 2の導入通路 （10 a, Ua) のいずれかを有し且つ それぞれ突き合わせ面 （10b, lib) を備える こ と によ り 突き合わせ構造によって結合一体化される第 1及び第 2の支持部材 （10, 11) を形成し、 前記ダイヤフ ラ ム (9) を、 その第 2の受圧面が第 2の導入通路 （11a) を 覆う よ う に接触させて前記第 2の支持部材 （11)に配置 し、 前記導入通路 （10 b) の出口開口部を覆う シー ト部 材 （22)を、 前記第 1 の支持部材 （10)と前記ダイヤフ ラ ム （9) の間に配置し、 前記第 1の支持部材 （10)を、 前 記シー ト部材 （22)が前記歪み検出部 （12)を覆う よ う に し且つ前記シー ト部材 （22)を固定した状態で、 前記第 2の支持部材 （11)に突き合せ、 前記第 1及び第 2の支 持部材（10, 11) を結合するよ う に したこ とを特徴とす る差圧セ ンサの製造方法。

2 1 . 請求の範囲第 2 0項に記載の差圧セ ンサの製造 方法において、 前記ダイヤフ ラ ム （9) と第 1及び第 2 の支持部材 （10, 11) との間の当接部分にシール用 0 リ ング （40， 41)を介設したこ とを特徴とする差圧セ ンサ の製造方法。