JPH0412949A - 円板状ワーク用搬送装置 - Google Patents
円板状ワーク用搬送装置Info
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- JPH0412949A JPH0412949A JP2113588A JP11358890A JPH0412949A JP H0412949 A JPH0412949 A JP H0412949A JP 2113588 A JP2113588 A JP 2113588A JP 11358890 A JP11358890 A JP 11358890A JP H0412949 A JPH0412949 A JP H0412949A
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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- Special Conveying (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、１個ずつ多段に保管された円板状ワーク、
とくに半導体ウェハを１個ずつワーク載置用基台に心出
しされた状態で載置させて取り出す装置に関する。
とくに半導体ウェハを１個ずつワーク載置用基台に心出
しされた状態で載置させて取り出す装置に関する。
従来例について以下に図面を参照しながら説明する。第
６図は従来例の要部の持ち上げ前の平面図、第７図は同
じくその側面図である。第６図。 第７図において、円板状ワーク１９たとえば半導体ウェ
ハが保管台１８上に載置されている。 これに対して、搬送装置の要部であるアーム１２の先端
に設けられた基台１１が、ワーク１９の下方に左側方か
ら右方向に挿入され、次に上昇してワーク１９を持ち上
げる。第６図、第７図は、このワーク１９を持ち上げる
前の状態を示す。ワーク１９を持ち上げた後に、アーム
１２は、基台１１の上にワーク１９を載置させたまま左
方向に移動して取出しを終了する。 第８図は従来例のワーク必用し時の平面図、第９図は同
しくその側面図である。ワーク１９の取出し、後、アー
ム１２は、別の箇所に設置される心出し機構１３までこ
のワーク１９を搬送し、心出し機構１３によって心出し
させる。心出し機構１３の要部は、ピン１５を端部に立
設したアーム１４の４組である。 この４＆１１のアーム１４がワーク１９をほぼ中心部に
置く状態で求心的に移動し、その過程でピン１５をワー
ク１９の外周と当接させて心出しする。
６図は従来例の要部の持ち上げ前の平面図、第７図は同
じくその側面図である。第６図。 第７図において、円板状ワーク１９たとえば半導体ウェ
ハが保管台１８上に載置されている。 これに対して、搬送装置の要部であるアーム１２の先端
に設けられた基台１１が、ワーク１９の下方に左側方か
ら右方向に挿入され、次に上昇してワーク１９を持ち上
げる。第６図、第７図は、このワーク１９を持ち上げる
前の状態を示す。ワーク１９を持ち上げた後に、アーム
１２は、基台１１の上にワーク１９を載置させたまま左
方向に移動して取出しを終了する。 第８図は従来例のワーク必用し時の平面図、第９図は同
しくその側面図である。ワーク１９の取出し、後、アー
ム１２は、別の箇所に設置される心出し機構１３までこ
のワーク１９を搬送し、心出し機構１３によって心出し
させる。心出し機構１３の要部は、ピン１５を端部に立
設したアーム１４の４組である。 この４＆１１のアーム１４がワーク１９をほぼ中心部に
置く状態で求心的に移動し、その過程でピン１５をワー
ク１９の外周と当接させて心出しする。
【発明が解決しようとする課題】
以上説明したように、従来の技術では、円板状ワークの
取出し工程と、心出し工程とが各々独立してあり、とく
に心出し機構がワークの保管台とは別の箇所に設置され
て、そこまでワークを移動させる必要がある。そのため
、ワークを心出し状態で取り出すのに時間がかかること
、搬送装置とは別に心出し装置が必要であること、等の
欠点がある。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を解
消し、ワーク取出し時に同時にワークを心出しするよう
にした円板状ワーク用搬送装置を提供することにある。
取出し工程と、心出し工程とが各々独立してあり、とく
に心出し機構がワークの保管台とは別の箇所に設置され
て、そこまでワークを移動させる必要がある。そのため
、ワークを心出し状態で取り出すのに時間がかかること
、搬送装置とは別に心出し装置が必要であること、等の
欠点がある。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を解
消し、ワーク取出し時に同時にワークを心出しするよう
にした円板状ワーク用搬送装置を提供することにある。
この課題を解決するために、第１の発明に係る円板状ワ
ーク用搬送装置は、 保管された円板状ワークを、ワーク載置用基台に心出し
された状態で載置させて取り出す装置であって・ 前記基台には、その平面状表面と直角に２個の円柱状の
第１のピンと、これより少なくとも前記ワークの厚さだ
け短い２個の台形円錐状の第２のピンとが立設され、 この各第１ピン同士と、各第２ピン同士とは、それぞれ
前記ワークの外周円に対応しその一直径を挟んで反対側
に位置し、前記の第１ピンと第２ピンとは、前記一直径
と直交する別の直径を挟んで互いに反対側に位置し、 前記基台は、前記第２ピンを前記ワークに近い側にして
、第１工程としてその表面を前記ワークの面と平行に前
記一直径の方向に移動されて、前記第１ピンの外周を前
記ワークの外周と当接させ、第２工程として直角上方に
移動され、その表面に前記ワークを前記第１．第２の各
ピンによって心出しされた状態で載置させ、第３工程と
して前記第１工程とは逆方向に平行に移動される。 第２の発明に係る円板状ワーク用搬送装置は、前記の第
１発明に係る円板状ワーク用搬送装置において、第１ピ
ンが、その外周に接触センサを具備する。
ーク用搬送装置は、 保管された円板状ワークを、ワーク載置用基台に心出し
された状態で載置させて取り出す装置であって・ 前記基台には、その平面状表面と直角に２個の円柱状の
第１のピンと、これより少なくとも前記ワークの厚さだ
け短い２個の台形円錐状の第２のピンとが立設され、 この各第１ピン同士と、各第２ピン同士とは、それぞれ
前記ワークの外周円に対応しその一直径を挟んで反対側
に位置し、前記の第１ピンと第２ピンとは、前記一直径
と直交する別の直径を挟んで互いに反対側に位置し、 前記基台は、前記第２ピンを前記ワークに近い側にして
、第１工程としてその表面を前記ワークの面と平行に前
記一直径の方向に移動されて、前記第１ピンの外周を前
記ワークの外周と当接させ、第２工程として直角上方に
移動され、その表面に前記ワークを前記第１．第２の各
ピンによって心出しされた状態で載置させ、第３工程と
して前記第１工程とは逆方向に平行に移動される。 第２の発明に係る円板状ワーク用搬送装置は、前記の第
１発明に係る円板状ワーク用搬送装置において、第１ピ
ンが、その外周に接触センサを具備する。
第１発明に係る円板状ワーク用搬送装置では、基台は、
第２ピンをワークに近い側にして、第１工程としてその
表面をワークの面と平行にその一直径の方向に移動され
て、第１ピンの外周をワークの外周と当接させる。次に
、第２工程として直角上方に移動され、その表面にワー
クを第１．第２の各ピンによって心出しされた状態で載
置させる。次に、第３工程として第１工程とは逆方向に
平行に移動され、ワークの取出しを終了する。 第２発明に係る円板状ワーク用搬送装置では、基台は、
第２ピンをワークに近い側にして、第１工程としてその
表面をワークの面と平行にその一直径の方向に移動され
て、第１ピンの外周をワークの外周と当接させるととも
に、この当接によって第１ピン外周の接触センサから当
接した旨の信号が送出される。次に、第２工程として直
角上方に移動され、その表面にワークを第１．第２の各
ピンによって心出しされた状態で載置させる。次に、第
３工程として第１工程とは逆方向に平行に移動され、ワ
ークの取出しを終了する。
第２ピンをワークに近い側にして、第１工程としてその
表面をワークの面と平行にその一直径の方向に移動され
て、第１ピンの外周をワークの外周と当接させる。次に
、第２工程として直角上方に移動され、その表面にワー
クを第１．第２の各ピンによって心出しされた状態で載
置させる。次に、第３工程として第１工程とは逆方向に
平行に移動され、ワークの取出しを終了する。 第２発明に係る円板状ワーク用搬送装置では、基台は、
第２ピンをワークに近い側にして、第１工程としてその
表面をワークの面と平行にその一直径の方向に移動され
て、第１ピンの外周をワークの外周と当接させるととも
に、この当接によって第１ピン外周の接触センサから当
接した旨の信号が送出される。次に、第２工程として直
角上方に移動され、その表面にワークを第１．第２の各
ピンによって心出しされた状態で載置させる。次に、第
３工程として第１工程とは逆方向に平行に移動され、ワ
ークの取出しを終了する。
本発明に係る円板状ワーク用搬送装置の実施例について
以下に図面を参照しながら説明する。第１図は第１の発
明に係る実施例（以下、第１実施例という）の要部の平
面図、第２図は同じくその側面図である。 第１図、第２図において、搬送装置を代表する基台１は
、保管されている二点鎖線表示の円板状ワーク９を取り
出すために載置し、かつ心出しする。基台１は、平面状
表面をもち、アーム２の端部に固着される。この基台１
の表面には、各一対のピン３．４が、その外周とワーク
９の外周に相当する二点′＃１！線表示の円周とがほぼ
接するように立設される。 ピン３は円柱状、ピン４は台形円錐状で、第１図に示す
ように、アーム２の軸線と一致する、二点鎖線の円の一
直径に関してそれぞれ対称に位置し、各ピン３．４は一
直径と直交する別の直径を挟んで互いに反対側に位置す
る。またピン３は、第２図に示すように、その高さがピ
ン４の高さより、ワーク９の厚さｔ以上の値ΔＨだけ高
い。なお、ピン２は発明における第１ピンに、ピン３は
同じくその第２ピンに相当する。また、各ピン３同士、
各ピン同士はそれぞれ一直径に関して必ずしも対称であ
る必要はなく、一般には一直径を挟んで互いに反対側に
位置すればよい。 第１実施例の動作について第５図を参照しながら説明す
る。第５図は第１実施例と次の第２実施例の動作を共通
に示し、同図（ａ）は初期状態の側面図、同図（ｂ）は
第１工程終了時の側面図、同図（Ｃ）第２工程終了時の
側面図、同図（ｄ）第３工程終了時の側面図である。 第５図（ａ）において、円板状ワーク９が、紙面と直角
な直径の各端部を保管台８の上に載置させて保管され、
基台ｌは初期状態として、ピン４をワーク９に近い側に
して位置する。 第１工程として、第５図０））に示すように基台１は、
その表面をワーク９の面と平行にその一直径の方向に移
動して、ピン３の外周をワーク９の外周と当接させる。 そのとき、ピン４は、ピン３との高さにワーク９の厚さ
以上の差があるから、上面がワーク９の下方に位置し、
基台１の移動時にワーク９とは当接しない。 次に第２工程として、第５図（Ｃ）に示すように、基台
１は直角上方に移動し、その表面にワーク９を各ピン３
．４によって心出しされた状態で載置させる。なお、ピ
ン４が台形円錐状であるから、ワーク９の直径に多少バ
ラツキがあっても、その外周面がピン３の円柱状外周面
と、ピン４の台形円錐状外周面とによって間隙なく心出
しされた状態で位置決めされる。正確に言うと、ワーク
９はそのピン４に近い側の下面部分が基台１の表面から
若干、浮上した状態にある。 次に第３工程として、第５図（切に示すように、基台Ｉ
は第１工程とは逆方向に平行に移動して、ワーク９の取
出しを終了する。 第２実施例について、以下に図を参照しながら説明する
。第３図は第２実施例の要部の平面図、第４図は同じ（
その側面図である。第３図、第４図におけるピン５は、
第１実施例におけるピン２に相当し、この第２実施例が
第１実施例と異なる点は、ピン５の外周に接触センサ６
が設けられることである。なお、ピン５とピン４との各
高さにも、第４図に示すように、第１実施例におけるの
と同しΔＨの差がある。 第２実施例の動作は、次に述べる点だけを除いて第１実
施例と同じで、第５図に示したとおりである。その異な
る点は、第１工程で基台１が移動して、ピン５の外周、
正確に言えば接触センサ６の外周をワーク９の外周と当
接させるときに、この当接が接触センサ６によって検知
されることである。つまり、当接すると接触センサ６か
ら当接した旨の信号が送出される。この検知信号によっ
て当接が認識され、基台１の第１工程の移動が停止され
る。言いかえれば、ワーク９の初期位置に多少バラツキ
があっても基台１の移動が適切になされる。これに対し
、第１実施例はワーク９の初期位置がほぼ一定している
ときに適合する。 【発明の効果］ 以上説明したように、この第１．第２の各発明において
は、共通的に、ワーク取出し時に同時にワークを心出し
するから、■その分だけ所要時間が短縮され、■心出し
装置が不要になるから、低コスト化と省スペース化が図
れ、■結果として、搬送の生産性向上と、コストパフォ
ーマンス向上が図れる−などのす（れた効果がある。 とくに、第１発明においては、ワークの初期の位置決め
が正確であれば、より簡単な構成で所期の目的が達成で
きるから、コスト面で有利であるという効果がある。ま
た、第２発明においては、接触センサからの信号によっ
て、第１ピンとワークとの当接が検知されるから、ワー
クの初期の位置決めにバラツキがあっても、装置の動作
の信軌性向上が図れるという効果がある。
以下に図面を参照しながら説明する。第１図は第１の発
明に係る実施例（以下、第１実施例という）の要部の平
面図、第２図は同じくその側面図である。 第１図、第２図において、搬送装置を代表する基台１は
、保管されている二点鎖線表示の円板状ワーク９を取り
出すために載置し、かつ心出しする。基台１は、平面状
表面をもち、アーム２の端部に固着される。この基台１
の表面には、各一対のピン３．４が、その外周とワーク
９の外周に相当する二点′＃１！線表示の円周とがほぼ
接するように立設される。 ピン３は円柱状、ピン４は台形円錐状で、第１図に示す
ように、アーム２の軸線と一致する、二点鎖線の円の一
直径に関してそれぞれ対称に位置し、各ピン３．４は一
直径と直交する別の直径を挟んで互いに反対側に位置す
る。またピン３は、第２図に示すように、その高さがピ
ン４の高さより、ワーク９の厚さｔ以上の値ΔＨだけ高
い。なお、ピン２は発明における第１ピンに、ピン３は
同じくその第２ピンに相当する。また、各ピン３同士、
各ピン同士はそれぞれ一直径に関して必ずしも対称であ
る必要はなく、一般には一直径を挟んで互いに反対側に
位置すればよい。 第１実施例の動作について第５図を参照しながら説明す
る。第５図は第１実施例と次の第２実施例の動作を共通
に示し、同図（ａ）は初期状態の側面図、同図（ｂ）は
第１工程終了時の側面図、同図（Ｃ）第２工程終了時の
側面図、同図（ｄ）第３工程終了時の側面図である。 第５図（ａ）において、円板状ワーク９が、紙面と直角
な直径の各端部を保管台８の上に載置させて保管され、
基台ｌは初期状態として、ピン４をワーク９に近い側に
して位置する。 第１工程として、第５図０））に示すように基台１は、
その表面をワーク９の面と平行にその一直径の方向に移
動して、ピン３の外周をワーク９の外周と当接させる。 そのとき、ピン４は、ピン３との高さにワーク９の厚さ
以上の差があるから、上面がワーク９の下方に位置し、
基台１の移動時にワーク９とは当接しない。 次に第２工程として、第５図（Ｃ）に示すように、基台
１は直角上方に移動し、その表面にワーク９を各ピン３
．４によって心出しされた状態で載置させる。なお、ピ
ン４が台形円錐状であるから、ワーク９の直径に多少バ
ラツキがあっても、その外周面がピン３の円柱状外周面
と、ピン４の台形円錐状外周面とによって間隙なく心出
しされた状態で位置決めされる。正確に言うと、ワーク
９はそのピン４に近い側の下面部分が基台１の表面から
若干、浮上した状態にある。 次に第３工程として、第５図（切に示すように、基台Ｉ
は第１工程とは逆方向に平行に移動して、ワーク９の取
出しを終了する。 第２実施例について、以下に図を参照しながら説明する
。第３図は第２実施例の要部の平面図、第４図は同じ（
その側面図である。第３図、第４図におけるピン５は、
第１実施例におけるピン２に相当し、この第２実施例が
第１実施例と異なる点は、ピン５の外周に接触センサ６
が設けられることである。なお、ピン５とピン４との各
高さにも、第４図に示すように、第１実施例におけるの
と同しΔＨの差がある。 第２実施例の動作は、次に述べる点だけを除いて第１実
施例と同じで、第５図に示したとおりである。その異な
る点は、第１工程で基台１が移動して、ピン５の外周、
正確に言えば接触センサ６の外周をワーク９の外周と当
接させるときに、この当接が接触センサ６によって検知
されることである。つまり、当接すると接触センサ６か
ら当接した旨の信号が送出される。この検知信号によっ
て当接が認識され、基台１の第１工程の移動が停止され
る。言いかえれば、ワーク９の初期位置に多少バラツキ
があっても基台１の移動が適切になされる。これに対し
、第１実施例はワーク９の初期位置がほぼ一定している
ときに適合する。 【発明の効果］ 以上説明したように、この第１．第２の各発明において
は、共通的に、ワーク取出し時に同時にワークを心出し
するから、■その分だけ所要時間が短縮され、■心出し
装置が不要になるから、低コスト化と省スペース化が図
れ、■結果として、搬送の生産性向上と、コストパフォ
ーマンス向上が図れる−などのす（れた効果がある。 とくに、第１発明においては、ワークの初期の位置決め
が正確であれば、より簡単な構成で所期の目的が達成で
きるから、コスト面で有利であるという効果がある。ま
た、第２発明においては、接触センサからの信号によっ
て、第１ピンとワークとの当接が検知されるから、ワー
クの初期の位置決めにバラツキがあっても、装置の動作
の信軌性向上が図れるという効果がある。
第１図は第１発明に係る実施例の要部の平面図、第２図
は同じくその側面図、 第３図は第２発明に係る実施例の要部の平面図、第４図
は同じくその側面図、 第５図は第１．第２の各発明に係る実施例の動作を共通
に示し、同図（ａ）は初期状態の側面図、同図熱）は第
１工程終了時の側面図、同図（Ｃ）第２工程終丁時の側
面図、同図（ｄ）第３工程終了時の側面図、第６図は従
来例の持ち上げ前の平面図、第７図は同しくその側面図
、 第８図は従来例の心出し時の平面図、 第９図は同しくその側面図である。 符号説明 １−基台、２：アーム、３．４．５：ピン、６：接触セ
ンサ、８：保管台、９：ワーク。 ５じン ４Ｃ”Ｊ 第２日 兜４ 砧 （ａ） （ｄ） 第５圀
は同じくその側面図、 第３図は第２発明に係る実施例の要部の平面図、第４図
は同じくその側面図、 第５図は第１．第２の各発明に係る実施例の動作を共通
に示し、同図（ａ）は初期状態の側面図、同図熱）は第
１工程終了時の側面図、同図（Ｃ）第２工程終丁時の側
面図、同図（ｄ）第３工程終了時の側面図、第６図は従
来例の持ち上げ前の平面図、第７図は同しくその側面図
、 第８図は従来例の心出し時の平面図、 第９図は同しくその側面図である。 符号説明 １−基台、２：アーム、３．４．５：ピン、６：接触セ
ンサ、８：保管台、９：ワーク。 ５じン ４Ｃ”Ｊ 第２日 兜４ 砧 （ａ） （ｄ） 第５圀
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）保管された円板状ワークを、ワーク載置用基台に心
出しされた状態で載置させて取り出す装置であって、前
記基台には、その平面状表面と直角に２個の円柱状の第
１のピンと、これより少なくとも前記ワークの厚さだけ
短い２個の台形円錐状の第２のピンとが立設され、この
各第１ピン同士と、各第２ピン同士とは、それぞれ前記
ワークの外周円に対応する円の周上でその一直径を挟ん
で互いに反対側に位置し、前記の第１ピンと第２ピンと
は、前記一直径と直交する別の直径を挟んで互いに反対
側に位置し、前記基台は、前記第２ピンを前記ワークに
近い側にして、第１工程としてその表面を前記ワークの
面と平行に前記一直径の方向に移動されて、前記第１ピ
ンの外周を前記ワークの外周と当接させ、第２工程とし
て直角上方に移動され、その表面に前記ワークを前記第
１、第２の各ピンによって心出しされた状態で載置させ
、第３工程として前記第１工程とは逆方向に平行に移動
される構成にしたことを特徴とする円板状ワーク用搬送
装置。 ２）特許請求の範囲第１項記載の装置において、第１ピ
ンは、その外周に接触センサを具備することを特徴とす
る円板状ワーク用搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2113588A JPH0412949A (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | 円板状ワーク用搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2113588A JPH0412949A (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | 円板状ワーク用搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0412949A true JPH0412949A (ja) | 1992-01-17 |
Family
ID=14616023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2113588A Pending JPH0412949A (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | 円板状ワーク用搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0412949A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011011320A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | 工作物自動芯出し装置 |
-
1990
- 1990-04-27 JP JP2113588A patent/JPH0412949A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011011320A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | 工作物自動芯出し装置 |
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