JPH10125759A - ウェーハ取出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】悪環境下で使用しても取り出したウェーハの重
複取出を確実に検出するとができるウェーハ取出装置の
提供。 【解決手段】カセットから取り出されたウェーハＷａ
は、受台８４上に載置される。受台８４は、前記ウェー
ハＷａが載置されることにより、重力方向に荷重を受け
る。この受台８４にかかる荷重は荷重センサ８３によっ
て検出され、その検出値はＣＰＵ８７に出力される。Ｃ
ＰＵ８７では、その検出値と予め入力された基準値とを
比較し、重複取り出しを判断する。すなわち、ウェーハ
１枚分の荷重を基準値として入力しておけば、該基準値
を上回る荷重が検出されれば、重複取り出しと判断する
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハ取出装置
に係り、特にウェーハが多数積み重ねられた状態で格納
されたカセットからウェーハを１枚ずつ取り出すウェー
ハ取出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子の素材となるシリコン等のウ
ェーハは、インゴットの状態からスライシングマシン等
で切り出された後、スライスベースの剥離、面取り、研
磨等の各製造工程を経て製品として完成する。そして、
この各ウェーハ製造装置間をウェーハはカセットに格納
された状態で搬送され、連続的に処理されてゆく。

【０００３】ところで、前記ウェーハを格納して搬送す
るカセットには、ウェーハを１枚ずつ分離して格納する
タイプのもの（枚葉方式）と、ウェーハを積み重ねて格
納するタイプのもの（コインスタック方式）があるが、
製造装置の処理速度が向上している今日では、一度に大
量のウェーハを格納することができるコインスタック方
式のカセットを用いる装置が増えている。

【０００４】しかしながら、コインスタック方式のカセ
ットは、ウェーハを重ねて格納するため、ウェーハ同士
が密着しやすくなり、ウェーハ取出装置で取り出す際
に、２枚あるいは３枚同時に取り出されることがある。
このように、ウェーハ取出装置で取り出したウェーハ
が、２枚あるいは３枚重複して取り出されていることを
検出する装置として、本願出願人が特願平７−２９４５
３７号で、次のような装置を開示している。

【０００５】この装置は、ウェーハ取出装置で取り出し
たウェーハを次工程に搬送するベルトコンベアの上方に
光電センサーあるいは超音波センサーを設け、その検出
センサーで、取り出されたウェーハの厚さを測定するこ
とにより、重複取出を検出する（非接触式検出装置）。
また、この他の検出装置として、ベルトコンベアの上方
に上下動自在なローラを設け、該ベルトコンベア上を搬
送されるウェーハを前記ローラで挟み込み、その時の前
記ローラの移動量から前記ウェーハの厚さを測定し、ウ
ェーハの重複取出を検出する装置もある（接触式検出装
置）。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記非
接触式の検出装置では、水槽内に浸漬されたウェーハを
取り出した場合等、ウェーハに水分や汚れが付着してい
ると、検出センサーにその水分や汚れ等が付着し、誤動
作を起こしやすいという欠点がある。また同様に、接触
式の検出装置の場合も、ウェーハに水分や汚れが付着し
ていると、その水分や汚れがローラに付着し、ローラの
回転が妨げられたり、上下動のスライドが円滑に動作し
なくなったりし、誤動作を起こしやすいという欠点があ
る。

【０００７】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、悪環境下で使用しても取り出したウェーハの重
複取出を確実に検出するとができるウェーハ取出装置を
提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ウェーハが多数積み重ねられた状態で格
納されたカセットからウェーハを１枚ずつ吸着パッドで
吸着して取り出すウェーハ取出装置において、前記カセ
ットから吸着パッドで吸着して取り出したウェーハを受
け取る受台と、前記受台にかかる荷重を検出する荷重セ
ンサと、前記荷重センサの検出値と予め入力された基準
値とを比較して、前記ウェーハの重複取出を判断する演
算手段と、を備えたことを特徴とする。

【０００９】本発明によれば、カセットから吸着パッド
で吸着して取り出されたウェーハは、受台上に載置され
る。受台は、ウェーハが載置されることにより、重力方
向に荷重を受ける。この受台にかかる荷重は荷重センサ
によって検出され、その検出値は演算手段に出力され
る。演算手段では、その検出値と予め入力された基準値
とを比較し、重複取り出しを判断する。すなわち、ウェ
ーハ１枚分の荷重を基準値として入力しておけば、該基
準値を上回る荷重が検出されれば、重複取り出しと判断
することができる。

【００１０】

【実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係るウェ
ーハ取出装置の実施の形態ついて詳説する。図１は、本
発明に係るウェーハ取出装置を備えたウェーハ洗浄装置
の平面図であり、図２は、図１のＪ₁ −Ｊ₂ −Ｊ₃ −Ｊ
₄ −Ｊ₅ −Ｊ₆ 断面図である。また、図３は、図１のＫ
−Ｋ断面図であり、図４は、図１のＭ−Ｍ断面図であ
る。

【００１１】まず、ウェーハ洗浄装置１の構成について
説明する。図１及び図２示すように、前記ウェーハ洗浄
装置１は、水槽１１を備えている。水槽１１には水１２
が貯留されており、該水１２は、過不足を調整されなが
ら、常にその水位を一定に保持されている。前記水槽１
１のほぼ中央部には、ブラケットを介して４本の支柱１
３、１３、１３、１３が垂直に立設されており、この４
本の支柱１３上に洗浄するウェーハＷ、Ｗ、…が多数格
納されたカセット１０が位置決めされて、セットされ
る。

【００１２】ここで、前記ウェーハＷを格納するカセッ
ト１０の構成について説明する。図１及び図３に示すよ
うに、前記カセット１０は中央部に抜き穴１４ｂが形成
された矩形状の底板１４を有している。底板１４の上面
四隅には、４本の支柱１５、１５、１５、１５が垂直に
立設されており、該支柱１５の上端には、一対の上板１
６、１６が固着されている。また、前記底板１４の上面
の所定位置には、格納するウェーハＷの円周縁部をガイ
ドする一対のウェーハガイド１７、１７と、ウェーハＷ
のスライスベース部分をガイドする一対のスライスベー
スガイド１８、１８がそれぞれ垂直に立設されている。

【００１３】前記カセット１０は、上記のごとく構成さ
れ、洗浄するウェーハＷ、Ｗ…は、このカセット１０内
に順次積み重ねられて格納される。そして、ウェーハＷ
が格納されたカセットは、作業者あるいはロボットによ
って水槽１１に搬入され、前記支柱１３上の所定の位置
に位置決めされて、セットされる。なお、このカセット
１０の位置決めは、前記底板１４の２箇所に形成された
位置決め穴１４ａに、前記支柱１３の上端部に形成され
た位置決めピン１３ａを挿入して行なう。

【００１４】次に、前記ウェーハ洗浄装置１で洗浄され
たウェーハＷを該ウェーハ洗浄装置１から取り出すウェ
ーハ取出装置２の構成について説明する。前記ウェーハ
取出装置２は、昇降部２０、ウェーハ取出搬送部４０、
エア噴射部６０及び搬送コンベア部７０及び重複取出検
出部８０から構成されている。以下、各構成部ごとに分
けて説明する。

【００１５】前記昇降部２０は、エレベータ２０ａと、
そのエレベータ２０ａを駆動する駆動部３０とから構成
され、前記水槽１１内にセットされたカセット１０か
ら、ウェーハＷ、Ｗ、…のみを独立させて上下動させ
る。まず、エレベータ２０ａの構成に付いて説明する。
図２に示すように、前記水槽１１の内側には、ガイドブ
ロック２１が固着されており、該ガイドブロック２１に
は、一対のガイドバー２２、２２が上下方向にスライド
自在に支持されている。この一対のガイドバー２２の上
端には駆動板２３が取り付けられており、下端には連結
板２４が取り付けられている。下端に取り付けられた連
結板２４には、送りバー２５が立設されており、該送り
バー２５の上端には、載台２６が固着されている。

【００１６】以上のように構成されたエレベータ２０ａ
は、前記一対のガイドバー２２を上下動させることによ
り、これに連動して載台２６が上下動する。載台２６
は、前記水槽１１内にセットされたカセット１０の抜き
穴１４ｂ内を上下動し、これにより、カセット１０内の
ウェーハＷ、Ｗ、…が、カセット１０から独立して上下
動する。

【００１７】次に、前記エレベータ２０ａを駆動する駆
動部３０の構成について説明する。図４に示すように、
水槽１１の近傍に設置されたベース３１上には、一対の
支柱３２ａ、３２ａが立設されている。この支柱３２ａ
の上端部には、横板３２ｂが固着されており、該横板３
２ｂには一対のリニアブッシュ３３、３３が取り付けら
れている。

【００１８】前記リニアブッシュ３３には、一対のガイ
ドバー３４、３４が上下方向にスライド移動自在に支持
されており、該一対のガイドバー３４の上端には上連結
板３５が取り付けられている。また、前記一対のガイド
バー３４の下端には、下連結板３６が取り付けられてお
り、該下連結板３６には送りナット３６ａが取り付けら
れている。この送りナット３６ａには、送りネジ３７が
螺合されており、該送りネジ３７は、その上端部を前記
横板３２ｂの下面に回動自在に支持されている。

【００１９】前記送りネジ３７の下端には歯車３７ａが
固着されており、該歯車３７ａはモーター３８の回転軸
に固着された歯車３８ａに噛合されている。以上のよう
に構成された駆動部３０は、前記モーター３８を駆動す
ることにより、前記送りネジ３７が回動し、これによ
り、下連結板３６に設けられたナット３６ａが上下動
し、上連結板３５が上下動する。

【００２０】ここで、前記エレベータ２０ａに設けられ
た駆動板２３は、前記上下動する連結板３５の上端部に
ジョイント３５ａを介して連結されており、これによ
り、前記エレベータ２０ａが上下駆動される。なお、図
４中、駆動部３０の全体を覆う番号３９は、カバーであ
り、洗浄部からの飛散した水が駆動部３０にかかるのを
防止している。

【００２１】次に、ウェーハ取出搬送部４０の構成につ
いて説明する。ウェーハ取出搬送部４０は、水平移動部
４０ａ、進退移動部５０及びウェーハ吸着部５０ａから
構成され、前記昇降部２０で液面から上昇したウェーハ
Ｗ、Ｗ、…のうち最上段のウェーハＷａを取り出し、搬
送する。まず、水平移動部４０ａの構成について説明す
る。図１〜図３に示すように、前記水槽１１の両側に
は、一対の支柱４１、４２が垂直に立設されている。こ
の一対の支柱４１、４２の上部には、一対のリニアガイ
ド４３、４３が水平方向に配設されている。一対のリニ
アガイド４３、４３には、それぞれスライダー４４、４
４が移動自在に設けられており、該スライダー４４、４
４は、水平方向に配設された水平搬送体４５で互いに連
結されている。

【００２２】また、一方の支柱４１の上端部には、ロッ
ドレスシリンダー４６がリニアガイド４３と同方向に配
設されており、そのスライダー４６ａが水平搬送体４５
に固着されている。以上のように構成された水平移動部
４０ａは、前記ロッドレスシリンダー４６を駆動するこ
とにより、そのスライダー４６ａが水平方向に往復移動
し、これに連動して前記水平搬送体４５が水平方向にス
ライド移動する。

【００２３】なお、後述するように、前記水平搬送体４
５は、図４に示す実線で示すウェーハの取出位置と二点
破線で示す受渡位置（前記重複取出検出部８０の設置位
置）との間を往復走行する。次に、進退移動部５０の構
成について説明する。図３に示すように、前記水平搬送
体４５の中央近傍には、一対のリニアブッシュ５１、５
１が配設されている。この一対のリニアブッシュ５１、
５１には、一対のガイドバー５３、５３が上下方向にス
ライド自在に支持されており、該ガイドバー５３、５３
の先端部にはホルダー５２が取り付けられている。

【００２４】また、前記水平搬送体４５の中央部には、
上下方向に伸長する直動シリンダー５４が取り付けられ
ており、該直動シリンダー５４のロッド５４ａ先端部前
記ホルダー５２の上面中央部に連結されている。以上の
ように構成された、進退移動部５０は、前記直動シリン
ダー５４を駆動することにより、そのロッド５４ａが垂
直下向きに進退移動し、これにより、ホルダー５２が上
下動する。

【００２５】次に、ウェーハ吸着部５０ａの構成につい
て説明する。図３に示すように、前記ホルダー５２の下
面中央には、吸着パッド５５が設けられている。また、
前記ホルダー５２の下面には、前記エレベーター２０ａ
で上昇させたウェーハＷの接触を検出する接触検出セン
サー５６が設けられている。以上のように構成されたウ
ェーハ吸着部５０ａは、前記エレベーター２０ａで上昇
させたウェーハＷ、Ｗ、…のうち最上段に位置ウェーハ
Ｗａを前記吸着パッド５５で真空吸着して保持する。

【００２６】前記ウェーハ取出搬送部４０は、以上のよ
うに構成される。次に、エア噴射部６０の構成について
説明する。図４に示すように、前記水槽１１の上端部近
傍には、ホルダー６１を介してエアノズル６２が取り付
けられている。エアノズル６２にはノズル穴６２ａが複
数形成されており、該ノズル穴６２ａから圧縮エアが噴
射される。

【００２７】なお、ノズル穴６２ａの位置は、前記吸着
パッド５５で吸着保持したウェーハＷａの下面に、噴射
した圧縮エアが当たるように設定する。次に、前記搬送
コンベア部７０の構成について説明する。図１及び図４
に示すように、前記水槽１１の上端近傍には、水平方向
にベース７１が配設されている。ベース７１上には、コ
ンベア部ベース７２が取り付けられており、該コンベア
部ベース７２の両側部には、長手方向に沿って回動自在
なローラ７３、７４、７５、７６が等間隔に配設されて
いる。これらローラ７３〜７６には、それぞれ搬送ベル
ト７７、７７が張設されており、ウェーハＷは、この搬
送ベルト７７上に載置されて、図中矢印方向に搬送され
る。

【００２８】また、前記ベース７１の両側部７１ａ、７
１ｂには、搬送中のウェーハＷをガイドする幅ガイド７
８が取り付けられており、前記搬送ベルト７７上に載置
されたウェーハＷは、該幅ガイド７８によって円周縁を
ガイドされながら、搬送される。なお、前記搬送ベルト
７７の駆動は、前記ローラ７６に連結した図示しない駆
動用モーターあるいは駆動機構で行なわれる。

【００２９】次に、前記重複取出検出部８０の構成につ
いて説明する。図４及び図６に示すように、前記ベース
７１の先端部には、ブラケット８１を介してシリンダー
８２が設けられている。このシリンダー８２のロッド８
２ａは、前記ベース７１に対して直交する向きに進退移
動し、該ロッド８２ａの先端部には、荷重センサー８３
を介して受台８４が設けられている。

【００３０】前記受台８４は、図６に示すように、断面
コ字状に形成されており、その側面上端内側部には、長
手方向に沿ってゴムパッド８５、８５が固着されてい
る。なお、前記受台８４の下部に設けられた番号８６
は、カバーであり、取り出したウェーハＷに付着した水
分が滴下してシリンダー８２等にかかるのを防止してい
る。

【００３１】以上のように構成された重複取出検出部８
０において、前記受台８４は、前記シリンダー８２に駆
動されて、待機位置と受位置との間を上下動する。ここ
で、前記受台８４の待機位置は、前記搬送ベルト７７の
ウェーハ搬送面より所定距離下方に退避した位置（図６
中二点破線で示す位置）に設定されており、受位置は、
前記搬送ベルト７７のウェーハ搬送面より所定距離上方
に突出した位置（図６中実線で示す位置）に設定されて
いる。

【００３２】そして、前記水槽１１から取り出されたウ
ェーハＷは、受位置に位置した受台８４上に載置され
る。この時、前記荷重センサー８３では、前記受台８４
にかかる荷重が検出され、その検出値がＣＰＵ８７に出
力される。ＣＰＵ８７は、この出力された検出値と予め
ＣＰＵ８７に入力された基準値とを比較してウェーハの
重複取り出しを判断する。

【００３３】ここで、前記基準値としては、前記受台８
４にウェーハを一枚載せた時に受台８４にかかる荷重が
入力されている。したがって、前記検出値が、この基準
値よりも大きい場合は、重複取り出しと判断することが
できる。前記ＣＰＵ８７は、前記ウェーハの重複取り出
しを判断した結果、重複取り出しの場合は警告を発す
る。一方、重複取り出しでない場合は、シリンダー８２
に駆動信号を出力し、受台８４を待機位置まで下降させ
る。この受台８４が待機位置まで下降する過程におい
て、前記ウェーハは、搬送ベルト７７に受け渡され、次
工程に搬送される。

【００３４】なお、前記ＣＰＵ８７は、ウェーハ洗浄装
置１の全体の駆動制御も兼ねて行なう。本発明に係るウ
ェーハ取出装置２を備えたウェーハ洗浄装置１は前記の
ごとく構成される。次に、前記のごとく構成されたウェ
ーハ洗浄装置１におけるウェーハＷ、Ｗ…の取り出し方
法について説明する。

【００３５】図７（ａ）〜（ｆ）は、本実施の形態のウ
ェーハ取出装置２におけるウェーハの取出し動作を模式
的に表した図である。図７（ａ）には、ウェーハを取り
出す前の初期の基準状態が示されている。この状態にお
いて、ウェーハ取出搬送部４０に設けられた水平搬送体
４５は、ウェーハ取出位置（図４に実線で示す位置）に
位置している。また、この水平搬送体４５に設けられた
ホルダー５２は、ストロークの上死点に位置しており、
かつ、その中心は、カセット１０に格納されたウェーハ
Ｗ、Ｗ、…の中心と一致した状態にある（図１参照）。

【００３６】この初期状態から、まず、ホルダー５２
が、直動シリンダー５４に駆動されて、所定のウェーハ
受取位置まで下降する。図７（ｂ）には、このホルダー
５２がウェーハ受取位置まで下降した状態が示されてい
る。前記ホルダー５２がウェーハ受取位置に位置する
と、次に、カセット１０に格納されたウェーハＷ、Ｗ、
…全体が、エレベータ２０ａに駆動されて上方向に移動
する。このエレベータ２０ａは、最上段のウェーハＷａ
が、前記ホルダー５２に設けられた接触検知センサー５
６に接触し、その接触が検知されるまで上昇を続ける。
図７（ｃ）には、最上段のウェーハＷａが、接触検知セ
ンサー５６に接触し、ウェーハＷの上昇が停止した状態
が示されている。この状態において、前記最上段のウェ
ーハＷａと吸着パッド５５との間には所定の隙間が形成
されている。

【００３７】前記最上段のウェーハＷａが、接触検知セ
ンサー５６に接触し、その上昇が停止すると、エアノズ
ル６２から圧縮エアが噴射される。これと同時に、前記
吸着パッド５５が駆動され、該吸着パッド５５によって
最上段のウェーハＷａを吸着保持される。図７（ｄ）に
は、前記吸着パッド５５で最上段のウェーハＷａを吸着
保持した状態が示されている。同図に示すように、前記
最上段のウェーハＷａは、前記エアノズル６２から圧縮
エアを噴射されると、僅か上方に持ち上げられる。この
僅か上方に持ち上げられた最上段のウェーハＷａと２段
目以降のウェーハＷとの隙間に前記エアノズル６２から
噴射された圧縮エアが入り込み、最上段のウェーハＷａ
から２段目以降のウェーハＷが分離される。また、これ
と同時に、前記エアノズル６２から噴射された圧縮エア
によって、ウェーハＷａに付着した水滴の除去される。

【００３８】前記圧縮エアの噴射開始から所定時間経過
すると、その圧縮エアを噴射した状態のまま、前記エレ
ベータ２０ａが駆動され、２段目以降のウェーハＷがカ
セット１０内に格納される。図７（ｅ）には、前記２段
目以降のウェーハＷが下降してカセット内に格納された
状態が示されている。この状態において、前記吸着パッ
ド５５に保持された最上段のウェーハＷａと２段目以降
のウェーハＷとの隙間はさらに広がり、最上段のウェー
ハＷａと２段目以降のウェーハＷとの分離及びウェーハ
Ｗａに付着した水滴の除去は更に促進される。

【００３９】なお、圧縮エアの噴射は間欠して行うとウ
ェーハＷａとそのウェーハＷａに付着したウェーハＷと
の分離が容易に行われる。前記圧縮エアの噴射は、所定
時間続けられ、その後、前記ホルダー５２は、直動シリ
ンダー５４に駆動されて、初期状態の位置、すなわち、
ストロークの上死点の位置まで上昇する。図６（ｆ）に
は、このホルダー５２がストロークの上死点の位置まで
上昇した状態が示されている。

【００４０】前記ホルダー５２がストロークの上死点の
位置まで上昇すると、水平搬送体４５が、ロッドレスシ
リンダー４６に駆動されて、受渡位置（図４において二
点破線で示す位置）まで移動する。一方、図４に示すよ
うに、前記受渡位置においては、重複取出検出部８０の
受台８４が、シリンダー８２に駆動されて所定の受位
置、すなわち、搬送ベルト７７から所定量突出した位置
まで上昇し、ウェーハＷの受け取りの準備を行なう。

【００４１】そして、前記水平搬送体４５がウェーハ受
渡位置まで移動すると、前記吸着パッド５５の駆動が解
除され、該吸着パッド５５に保持されたウェーハＷａ
が、前記受位置に位置した受台８４上に載置される。前
記ウェーハＷａが、前記受台８４上に載置されると、重
複取出検出部８０の荷重センサー８３で、前記受台８４
にかかる荷重が検出され、その検出値がＣＰＵ８７に出
力される。ＣＰＵ８７は、この出力された検出値と予め
ＣＰＵ８７に入力された基準値とを比較してウェーハの
重複取り出しを判断する。

【００４２】ここで、前述したように、前記基準値とし
ては、前記受台８４にウェーハを一枚載せた時に受台８
４にかかる荷重が入力されているので、ＣＰＵ８７は前
記検出値が、この基準値よりも大きい場合は、重複取り
出しと判断する。そして、重複取り出しの場合は警告を
発し、重複取り出しでない場合は、シリンダー８２に駆
動信号を出力し、受台８４を待機位置まで下降させる。

【００４３】前記受台８４が待機位置まで下降すると、
その下降過程において、前記受台８４上に載置されたウ
ェーハＷａは、搬送ベルト７７に受け渡され、該搬送ベ
ルト７７によって次工程に搬送される。一方、前記水平
搬送体４５は、前記ウェーハＷａを受台８４上に受け渡
すと同時に、ロッドレスシリンダー４６に駆動されて、
ウェーハ取出位置まで移動する。

【００４４】２枚目以降のウェーハＷ、Ｗ、…の取出作
業を行なう場合は、以下同様の作業を繰り返す。このよ
うに、本実施の形態のウェーハ取出装置２では、取り出
したウェーハＷａの重量を計測することにより、重複取
り出しを検出し、次工程でトラブルが発生するのを事前
に防止することができる。

【００４５】また、水分の付着や汚れ等の影響を受けや
すい悪環境下の使用でも、誤動作を起こすことなく確実
に重複取り出しを検出することができる。なお、本実施
の形態のように、液中に浸漬されたウェーハを取り出す
場合は、取り出したウェーハに水分等が付着して、個々
の検出値（ウェーハ１枚の重量）が異なる場合がある。
しかし、付着した水分等の重量は、重複取出された場合
の重量に比べ極めて小さいものなので、無視することが
できる。したがって、基準値よりも大きい検出値が得ら
れたとしても、その差が微差ならば、これを無視して判
断する。

【００４６】また、本実施の形態のウェーハ取出装置
は、ウェーハ洗浄装置１に適用した例、すなわち、液中
に浸漬されたカセットから、ウェーハを取り出す場合に
ついて説明したが、乾燥した環境下で使用する装置に適
用してもよい。この場合、水分等の付着がないので、よ
り確実にウェーハの重複取出の検出を行なうことができ
る。

【００４７】また、本実施の形態では、受台８４の昇降
駆動をシリンダー８２で行なっているが、エレベータ２
０ａの駆動部３０のようにモータで駆動する送りネジ機
構を用いてもよい。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
悪環境下で使用しても取り出したウェーハの重複取出を
確実に検出するとができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るウェーハ取出装置を備えたウェー
ハ洗浄装置の実施の形態の平面図

【図２】図１のＪ₁ −Ｊ₂ −Ｊ₃ −Ｊ₄ −Ｊ₅ −Ｊ₆ 断
面図

【図３】図１のＫ−Ｋ断面（上部詳細）図

【図４】図１のＭ−Ｍ断面（上部詳細）図

【図５】図１のＬ−Ｌ断面（駆動部詳細）図

【図６】図１のＮ−Ｎ断面（重複取出検出部詳細）図

【図７】本実施の形態のウェーハ取出装置によるウェー
ハの取り出し動作を模式的に表した図

【符号の説明】

Ｗ…ウェーハ Ｗａ…最上段のウェーハ Ｗｂ…重複取り出された下側のウェーハ １…ウェーハ洗浄装置 ２…ウェーハ取出装置 １０…カセット １１…水槽 ２０…昇降部 ２０ａ…エレベーター ４０…ウェーハ取出搬送部 ４５…水平搬送体 ５２…ホルダー ５５…吸着パッド ６２…エアノズル ７０…搬送コンベア部 ８０…重複取出検出部 ８２…シリンダー ８３…荷重センサー ８４…受台 ８７…ＣＰＵ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェーハが多数積み重ねられた状態で格
   納されたカセットからウェーハを１枚ずつ吸着パッドで
   吸着して取り出すウェーハ取出装置において、 前記カセットから吸着パッドで吸着して取り出したウェ
   ーハを受け取る受台と、 前記受台にかかる荷重を検出する荷重センサと、 前記荷重センサの検出値と予め入力された基準値とを比
   較して、前記ウェーハの重複取出を判断する演算手段
   と、を備えたことを特徴とするウェーハ取出装置。