JPH0349311A - 圧電装置 - Google Patents
圧電装置Info
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- JPH0349311A JPH0349311A JP18564589A JP18564589A JPH0349311A JP H0349311 A JPH0349311 A JP H0349311A JP 18564589 A JP18564589 A JP 18564589A JP 18564589 A JP18564589 A JP 18564589A JP H0349311 A JPH0349311 A JP H0349311A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 40
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は圧電装置に関し、特にたとえばFMチューナ
、テレビのVIFフィルタ、通信フィルタなどに使われ
る弾性表面波を利用したフィルタ、遅延線および共振子
などの圧電装置に関する。
、テレビのVIFフィルタ、通信フィルタなどに使われ
る弾性表面波を利用したフィルタ、遅延線および共振子
などの圧電装置に関する。
(従来技術)
第4図はこの発明の背景となる従来の圧電’AVIの一
例を示す図解図である。この圧電装置lは、矩形の圧電
体基板2を含む。圧電体基板2の一方主面には、一定周
期をもつ層状のインタディジタル電極3が形成される。
例を示す図解図である。この圧電装置lは、矩形の圧電
体基板2を含む。圧電体基板2の一方主面には、一定周
期をもつ層状のインタディジタル電極3が形成される。
このインタディジタル電極3には、信号発生器4が電気
的に接続される。
的に接続される。
この圧電装置1では、信号発生器4によってたとえば交
流電圧を印加して弾性表面波を励振することができる。
流電圧を印加して弾性表面波を励振することができる。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、このような従来の圧電装置では、弾性表
面波を励振した場合、弾性表面波が励振すると同時にレ
ベルの小さいバルク波が発生する。
面波を励振した場合、弾性表面波が励振すると同時にレ
ベルの小さいバルク波が発生する。
そして、励振されたバルク波は、圧電体基板2において
、インタディジタル電極3が形成された面とその対向主
面との間を反射し、弾性表面波に重畳してしまう、その
ため、このような圧電装置では、所望の特性を得ること
が困難であった。
、インタディジタル電極3が形成された面とその対向主
面との間を反射し、弾性表面波に重畳してしまう、その
ため、このような圧電装置では、所望の特性を得ること
が困難であった。
第5図は、この弾性表面波とバルク波との重畳による不
都合を抑制するために考えられた圧電装置の一例である
。この圧電装置5は、はぼ矩形の圧電体基板6を含む。
都合を抑制するために考えられた圧電装置の一例である
。この圧電装置5は、はぼ矩形の圧電体基板6を含む。
この圧電体基板6の一方主面には、インタディジタル電
極7が形成される。
極7が形成される。
また、インタディジタル電極7には、信号発生器8が電
気的に接続される。さらに、この圧電体基板6の他方主
面(インタディジタル電極7を形成しない主面)は、そ
の表面が機械的に粗く形成されている。
気的に接続される。さらに、この圧電体基板6の他方主
面(インタディジタル電極7を形成しない主面)は、そ
の表面が機械的に粗く形成されている。
この圧電装置5では、インタディジタル電極7に、信号
発生器8で交流電圧を印加して弾性表面波を励振するこ
とができる。このとき、弾性表面波が励振すると同時に
バルク波が発生し、その励振されたバルク波は、機械的
に粗く形成された圧電体基板6の他方主面で乱反射する
。したがって、この圧電装置5では、弾性表面波にバル
ク波が重畳することを防止することができる。
発生器8で交流電圧を印加して弾性表面波を励振するこ
とができる。このとき、弾性表面波が励振すると同時に
バルク波が発生し、その励振されたバルク波は、機械的
に粗く形成された圧電体基板6の他方主面で乱反射する
。したがって、この圧電装置5では、弾性表面波にバル
ク波が重畳することを防止することができる。
ところが、上述のような方法で弾性表面波にバルク波が
重畳することを防止するためには、以下に挙げるような
問題点をかかえていた。
重畳することを防止するためには、以下に挙げるような
問題点をかかえていた。
すなわち、たとえば焼結したセラミックスや単結晶など
の圧電体はその硬度が大きく、このような圧電体基板の
主面を機械的に粗く加工することは、製作上困難であり
手間のかかるものであった。
の圧電体はその硬度が大きく、このような圧電体基板の
主面を機械的に粗く加工することは、製作上困難であり
手間のかかるものであった。
また、圧電体基板の主面を機械的に粗くするということ
は、局所的に圧電体基板の機械的強度の小さい部位をつ
(ることとなり、圧電体基板全体の破壊強度が低下して
しまう。さらに、弾性表面波と同時に励振されるバルク
波の波長が数十μm以下であるため、このバルク波を完
全に乱反射させるためには、このバルク波の波長以下の
間隔で反射面を粗く形成する必要があり、これは、機械
的な方法では困難であった。
は、局所的に圧電体基板の機械的強度の小さい部位をつ
(ることとなり、圧電体基板全体の破壊強度が低下して
しまう。さらに、弾性表面波と同時に励振されるバルク
波の波長が数十μm以下であるため、このバルク波を完
全に乱反射させるためには、このバルク波の波長以下の
間隔で反射面を粗く形成する必要があり、これは、機械
的な方法では困難であった。
それゆえに、この発明の主たる目的は、圧電体基板の機
械的強度を低下させることなく簡単に製作することがで
き、弾性表面波にバルク波が重畳することを防止するこ
とができる、圧電装置を提供することである。
械的強度を低下させることなく簡単に製作することがで
き、弾性表面波にバルク波が重畳することを防止するこ
とができる、圧電装置を提供することである。
(課題を解決するための手段)
この発明は、弾性表面波を励振または受信する圧電装置
であって、圧電体基板と、圧電体基板の少なくとも一方
主面に形成されるインタディジタル電極とを含み、圧電
体基板は弾性波の伝搬損失係数の異なる少なくとも2つ
の部分から形成される、圧電装置である。
であって、圧電体基板と、圧電体基板の少なくとも一方
主面に形成されるインタディジタル電極とを含み、圧電
体基板は弾性波の伝搬損失係数の異なる少なくとも2つ
の部分から形成される、圧電装置である。
また、この発明は、弾性表面波を励振または受信する圧
電装置であって、圧電体と弾性波の伝搬損失係数の大き
な誘電体とからなる基板と、基板の圧電体表面に形成さ
れるインタディジタル電極とを含む、圧電装置である。
電装置であって、圧電体と弾性波の伝搬損失係数の大き
な誘電体とからなる基板と、基板の圧電体表面に形成さ
れるインタディジタル電極とを含む、圧電装置である。
(作用)
インタディジタル電極によって弾性表面波とともに励振
された微弱なバルク波は、弾性波の仏殿損失の係数の大
きな部分によって、減衰する。
された微弱なバルク波は、弾性波の仏殿損失の係数の大
きな部分によって、減衰する。
(発明の効果)
この発明によれば、弾性表面波とともに励振されるバル
ク波が伝i1G損失係数の大きな部分で減衰するので、
圧電体基板の機械的強度を低下させることなく、弾性表
面波へのバルク波の影響を除去できる、高信顛性の圧電
装置が得られる。しがも、局所的に機械的強度の小さい
部分が形成されないため、従来のものに比べて破損しに
くい圧電装置を得ることができる。
ク波が伝i1G損失係数の大きな部分で減衰するので、
圧電体基板の機械的強度を低下させることなく、弾性表
面波へのバルク波の影響を除去できる、高信顛性の圧電
装置が得られる。しがも、局所的に機械的強度の小さい
部分が形成されないため、従来のものに比べて破損しに
くい圧電装置を得ることができる。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
(実施例)
第1A図および第1B図はこの発明の一実施例を示す図
であり、第1A図はその斜面図解図であリ、第1B図は
第1A図の線IB−IBにおける断面図解図である。
であり、第1A図はその斜面図解図であリ、第1B図は
第1A図の線IB−IBにおける断面図解図である。
この実施例では、圧電装置の一例としての弾性表面波フ
ィルタについて説明する。
ィルタについて説明する。
この弾性表面波フィルタ10は、たとえば矩形の圧電体
基板12を含む。また、圧電体基板12は、弾性波の伝
搬損失係数の異なる2つの部分14および16を有する
。この実施例では、圧電体基板12の一方主面側に弾性
波の伝搬損失係数の小さい部分14が配置され、圧電体
基板12の他方主面側に弾性波の伝搬損失係数の大きい
部分16が配置される。
基板12を含む。また、圧電体基板12は、弾性波の伝
搬損失係数の異なる2つの部分14および16を有する
。この実施例では、圧電体基板12の一方主面側に弾性
波の伝搬損失係数の小さい部分14が配置され、圧電体
基板12の他方主面側に弾性波の伝搬損失係数の大きい
部分16が配置される。
この場合、圧電体基板12の他方主面側には、その他方
主面を含むように、伝搬損失係数の大きな部分16が層
状に拡散分布している。この圧電体基板12の一方主面
には、一定周期をもつインタディジタル電極18および
20が形成される。
主面を含むように、伝搬損失係数の大きな部分16が層
状に拡散分布している。この圧電体基板12の一方主面
には、一定周期をもつインタディジタル電極18および
20が形成される。
これらのインタディジタル電極18および20は、圧電
体基板12の長手方向に対向するように形成される。
体基板12の長手方向に対向するように形成される。
この弾性表面波フィルタ10は、一方のインタディジタ
ル電極18に、入力信号を印加して弾性表面波を励振し
、他方のインタディジタル電極20から出力信号を取り
出すことができる。
ル電極18に、入力信号を印加して弾性表面波を励振し
、他方のインタディジタル電極20から出力信号を取り
出すことができる。
この弾性表面波フィルタ10では、弾性表面波とともに
励振された微弱なバルク波は、圧電体基板12の伝1g
!損失の大きな部分16を通過するときに減衰する。し
たがって、この弾性表面波フィルタ10では、バルク波
が、弾性表面波に重畳することを防止することができる
。
励振された微弱なバルク波は、圧電体基板12の伝1g
!損失の大きな部分16を通過するときに減衰する。し
たがって、この弾性表面波フィルタ10では、バルク波
が、弾性表面波に重畳することを防止することができる
。
次に、この弾性表面波フィルタ10の製造方法について
説明する。
説明する。
まず、通常の方法で原料を粉砕、混合、成形。
乾燥および焼成工程を経て所定の大きさおよび形状に形
成したチタン酸ジルコン酸鉛セラミックスを準備する。
成したチタン酸ジルコン酸鉛セラミックスを準備する。
そして、このセラミックスの他方主面にたとえば二酸化
珪素(S iOx )などのペーストを塗布し、もう−
炭熱処理を行う。この実施例では、熱処理温度は、50
0℃〜1200’Cの範囲で行った。なお、この熱処理
温度は、二酸化珪素(S i Ox )のセラミックス
中への拡散の度合によって決定される。
珪素(S iOx )などのペーストを塗布し、もう−
炭熱処理を行う。この実施例では、熱処理温度は、50
0℃〜1200’Cの範囲で行った。なお、この熱処理
温度は、二酸化珪素(S i Ox )のセラミックス
中への拡散の度合によって決定される。
一方、このセラミックスの一方主面(Siftが拡散分
布していない主面)が研磨される。そして、このセラミ
ックスの両面にA1電極を蒸着し、さらに、50℃〜1
00℃の油中で2kv/龍〜5kV/mmの電界を印加
して分極処理を行う。その後、エツチングによって研磨
面にインタディジタル電極18および20を形成し、残
りの電極は除去される。
布していない主面)が研磨される。そして、このセラミ
ックスの両面にA1電極を蒸着し、さらに、50℃〜1
00℃の油中で2kv/龍〜5kV/mmの電界を印加
して分極処理を行う。その後、エツチングによって研磨
面にインタディジタル電極18および20を形成し、残
りの電極は除去される。
なお、この実施例では、弾性表面波材料としてチタン酸
ジルコン酸鉛セラミックスを用いたが、それに代えて、
たとえばLiTa0.やLiNb01などの結晶材料を
用いてもよい。
ジルコン酸鉛セラミックスを用いたが、それに代えて、
たとえばLiTa0.やLiNb01などの結晶材料を
用いてもよい。
第2図は、このようにして製造した弾性表面波フィルタ
と従来の弾性表面波フィルタの減衰特性を示す図である
。
と従来の弾性表面波フィルタの減衰特性を示す図である
。
この図に示すように、この発明の弾性表面波フィルタで
は、従来の弾性表面波フィルタに比べて、弾性表面波に
重畳するバルク波成分を効果的に抑制できることが確認
された。
は、従来の弾性表面波フィルタに比べて、弾性表面波に
重畳するバルク波成分を効果的に抑制できることが確認
された。
第3図は、この発明の他の実施例を示す断面図解図であ
る。この実施例についても、圧電装置の一例としての弾
性表面波フィルタについて説明する。
る。この実施例についても、圧電装置の一例としての弾
性表面波フィルタについて説明する。
この弾性表面波フィルタ30は、基板32を含む。この
基板32は、その−力士面側の圧電体34と他方主面側
に形成される弾性波の伝搬m失係数の大きい誘電体36
とを有する。また、圧電体34の一方主面には、インタ
ディジタル電極38および40が形成される。
基板32は、その−力士面側の圧電体34と他方主面側
に形成される弾性波の伝搬m失係数の大きい誘電体36
とを有する。また、圧電体34の一方主面には、インタ
ディジタル電極38および40が形成される。
この弾性表面波フィルタ30においても、弾性表面波と
ともに励振されたバルク波が伝搬損失の大きい誘電体3
6部分において、減衰するので、このバルク波は、弾性
表面波に重畳することがない。
ともに励振されたバルク波が伝搬損失の大きい誘電体3
6部分において、減衰するので、このバルク波は、弾性
表面波に重畳することがない。
次に、この弾性表面波フィルタ30の製造方法について
簡単に説明する。
簡単に説明する。
まず1、弾性波の伝搬損失係数の異なる2枚のたとえば
チタン酸ジルコン酸鉛セラミソクグリーンシートを準備
する。そして、この2枚のセラミックグリーンシートを
m層圧着する。さらに、これを焼成して弾性波の伝搬損
失係数の低い方のシートの表面を研磨する。その後、第
1A図および第1B図実施例の製造方法と同様にして、
分極処理を行い、さらに、エツチングによってインタデ
ィジタル電極38および40を形成する。
チタン酸ジルコン酸鉛セラミソクグリーンシートを準備
する。そして、この2枚のセラミックグリーンシートを
m層圧着する。さらに、これを焼成して弾性波の伝搬損
失係数の低い方のシートの表面を研磨する。その後、第
1A図および第1B図実施例の製造方法と同様にして、
分極処理を行い、さらに、エツチングによってインタデ
ィジタル電極38および40を形成する。
このようにして製造された弾性表面波フィルタ30も、
バルク波は、伝搬損失係数の大きいセラミック36部分
で、測定にかからないくらいまで減衰してしまうために
、バルク波が弾性表面波に重畳することがない。
バルク波は、伝搬損失係数の大きいセラミック36部分
で、測定にかからないくらいまで減衰してしまうために
、バルク波が弾性表面波に重畳することがない。
なお、この発明によれば、弾性表面波フィルタのみなら
ず、それ以外にもたとえば遅延線や共振子など弾性表面
波デバイスの高性能化が可能となる。また、弾性波の伝
搬損失の大きな部分は、インタディジタル電極の形成面
以外であれば、どこに形成してもよい。
ず、それ以外にもたとえば遅延線や共振子など弾性表面
波デバイスの高性能化が可能となる。また、弾性波の伝
搬損失の大きな部分は、インタディジタル電極の形成面
以外であれば、どこに形成してもよい。
第1A図および第1B図はこの発明の一実施例を示す図
であり、第1A図はその斜面図解図であり、第1B図は
第1A図の線IB−IBにおける断面図解図である。 第2図は第1A図および第1B図実施例に示す弾性表面
波フィルタの減衰特性を示す図である。 第3図はこの発明の他の実施例を示す断面図解図である
。 第4図は、この発明の背景となる従来の圧電装置の一例
を示す図解図である。 第5図は、第4図従来例の問題点を解決するために考え
られた圧電装置の他の従来例の図解図である。 図において、lOは弾性表面波フィルタ、12は圧電体
基板、14および34は弾性波の伝搬…失係数の大きい
層、16および36は弾性波の伝搬損失係数の小さい層
、18,20.38および40はインタディジタル電極
、32は基板を示す。
であり、第1A図はその斜面図解図であり、第1B図は
第1A図の線IB−IBにおける断面図解図である。 第2図は第1A図および第1B図実施例に示す弾性表面
波フィルタの減衰特性を示す図である。 第3図はこの発明の他の実施例を示す断面図解図である
。 第4図は、この発明の背景となる従来の圧電装置の一例
を示す図解図である。 第5図は、第4図従来例の問題点を解決するために考え
られた圧電装置の他の従来例の図解図である。 図において、lOは弾性表面波フィルタ、12は圧電体
基板、14および34は弾性波の伝搬…失係数の大きい
層、16および36は弾性波の伝搬損失係数の小さい層
、18,20.38および40はインタディジタル電極
、32は基板を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 弾性表面波を励振または受信する圧電装置であって
、 圧電体基板と、前記圧電体基板の少なくとも一方主面に
形成されるインタディジタル電極とを含み、 前記圧電体基板は弾性波の伝搬損失係数の異なる少なく
とも2つの部分から形成される、圧電装置。 2 前記圧電体基板には、前記弾性波の伝搬損失係数の
大きな部分が層状に分布して形成される、特許請求の範
囲第1項記載の圧電装置。 3 前記弾性波の伝搬損失係数の大きな層は、前記イン
タディジタル電極の形成面と反対の面を含むように形成
される、特許請求の範囲第2項記載の圧電装置。 4 弾性表面波を励振または受信する圧電装置であって
、 圧電体と弾性波の伝搬損失係数の大きな誘電体とからな
る基板と、前記基板の前記圧電体表面に形成されるイン
タディジタル電極とを含む、圧電装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18564589A JPH0349311A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 圧電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18564589A JPH0349311A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 圧電装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0349311A true JPH0349311A (ja) | 1991-03-04 |
Family
ID=16174395
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18564589A Pending JPH0349311A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 圧電装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0349311A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013545353A (ja) * | 2010-10-15 | 2013-12-19 | コミシリア ア レネルジ アトミック エ オ エナジーズ オルタネティヴズ | 均質な材料から形成された不均質な音響構造 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4999252A (ja) * | 1973-01-25 | 1974-09-19 | ||
JPS548947A (en) * | 1977-06-23 | 1979-01-23 | Toshiba Corp | Elastic surfatial wave element |
JPS55124316A (en) * | 1979-03-20 | 1980-09-25 | Toshiba Corp | Manufacture of piezoelectric substrate for surface wave element |
JPS573412A (en) * | 1980-06-09 | 1982-01-08 | Toshiba Corp | Surface wave filter |
-
1989
- 1989-07-17 JP JP18564589A patent/JPH0349311A/ja active Pending
Patent Citations (4)
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