JP2000077967A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JP2000077967A JP2000077967A JP10244306A JP24430698A JP2000077967A JP 2000077967 A JP2000077967 A JP 2000077967A JP 10244306 A JP10244306 A JP 10244306A JP 24430698 A JP24430698 A JP 24430698A JP 2000077967 A JP2000077967 A JP 2000077967A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic wave
- electrode
- comb
- elements
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】容量素子の占有面積を小さく抑えて、大容量の
容量成分によって結合された弾性表面波素子を有する弾
性表面波装置の提供をする。 【解決手段】 本発明は、圧電基板1上に一対の櫛歯電
極指から成るインタデジタル電極2、3を被着形成して
成る少なくとも2つの弾性表面波素子A、Bを弾性表面
波伝播方向が同一方向となるように併設するとともに、
該2つの弾性表面波素子を結合容量Cで容量接続して成
る弾性表面波装置において、前記結合容量Cは、前記2
つの弾性表面波素子A、B間に配置されるとともに、一
対の櫛歯電極指51A、櫛歯電極指52Aが互いに噛み
合い、且つ両櫛歯電極指51A、52Aを被覆する誘電
体被膜6とから成る弾性表面波装置である。
容量成分によって結合された弾性表面波素子を有する弾
性表面波装置の提供をする。 【解決手段】 本発明は、圧電基板1上に一対の櫛歯電
極指から成るインタデジタル電極2、3を被着形成して
成る少なくとも2つの弾性表面波素子A、Bを弾性表面
波伝播方向が同一方向となるように併設するとともに、
該2つの弾性表面波素子を結合容量Cで容量接続して成
る弾性表面波装置において、前記結合容量Cは、前記2
つの弾性表面波素子A、B間に配置されるとともに、一
対の櫛歯電極指51A、櫛歯電極指52Aが互いに噛み
合い、且つ両櫛歯電極指51A、52Aを被覆する誘電
体被膜6とから成る弾性表面波装置である。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、大容量の結合容量
素子が可能で、且つ小型化が可能な弾性表面波装置に関
するものである。
素子が可能で、且つ小型化が可能な弾性表面波装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】圧電基板上に複数の共振子型弾性表面波
フィルタ素子(以下、弾性表面波素子という)を用いた
弾性表面波装置(例えば、弾性表面波フィルタ)におい
ては、各弾性表面波素子とグランド電位との間に、大き
な容量(結合容量)を挿入する必要がある。この結合容
量の容量値は、主にフィルタ特性の帯域幅を制御するも
のである。
フィルタ素子(以下、弾性表面波素子という)を用いた
弾性表面波装置(例えば、弾性表面波フィルタ)におい
ては、各弾性表面波素子とグランド電位との間に、大き
な容量(結合容量)を挿入する必要がある。この結合容
量の容量値は、主にフィルタ特性の帯域幅を制御するも
のである。
【0003】従来、圧電基板上に、弾性表面波素子に接
続する容量成分を形成した弾性表面波装置は、特開平7
−273597号などが知られている。
続する容量成分を形成した弾性表面波装置は、特開平7
−273597号などが知られている。
【0004】特開平7−273597号には、直列側の
弾性表面波共振器と、並列側の弾性表面波共振器とがラ
ダー状に接続された共振器型弾性表面波フィルタであ
り、一対の直列弾性表面波共振器と、並列弾性表面波共
振器との間に容量素子が配置されている。これにより、
例えば直列弾性表面波共振器の共振周波数を高周波側に
若干シフトさせることにより、帯域近傍に減衰極を形成
して選択性を高めるものであった。
弾性表面波共振器と、並列側の弾性表面波共振器とがラ
ダー状に接続された共振器型弾性表面波フィルタであ
り、一対の直列弾性表面波共振器と、並列弾性表面波共
振器との間に容量素子が配置されている。これにより、
例えば直列弾性表面波共振器の共振周波数を高周波側に
若干シフトさせることにより、帯域近傍に減衰極を形成
して選択性を高めるものであった。
【0005】この特開平7−273597号の弾性表面
波装置では、一対の直列弾性表面波共振器及び並列弾性
表面波共振器が、弾性波の伝播方向に一直線上に配置さ
れている。従って、一対の直列弾性表面波共振器と並列
弾性表面波共振器とを接続する容量素子は、一直線上に
配列された2つの表面波共振器とから外れて突出して形
成されることになる。このような構造では、基板の小型
化に障害が発生してしまう。
波装置では、一対の直列弾性表面波共振器及び並列弾性
表面波共振器が、弾性波の伝播方向に一直線上に配置さ
れている。従って、一対の直列弾性表面波共振器と並列
弾性表面波共振器とを接続する容量素子は、一直線上に
配列された2つの表面波共振器とから外れて突出して形
成されることになる。このような構造では、基板の小型
化に障害が発生してしまう。
【0006】また、特開平7−273597号の弾性表
面波装置の容量素子は、互いに噛み合う一対の櫛歯電極
指で構成されているに過ぎない。互いに噛み合う一対の
櫛歯電極指で構成されているに過ぎない。このような一
対の櫛歯電極指が互いに噛み合うだけの容量素子では、
例えば大容量化しようとしても、これに伴って圧電基板
が大型化してしまう。
面波装置の容量素子は、互いに噛み合う一対の櫛歯電極
指で構成されているに過ぎない。互いに噛み合う一対の
櫛歯電極指で構成されているに過ぎない。このような一
対の櫛歯電極指が互いに噛み合うだけの容量素子では、
例えば大容量化しようとしても、これに伴って圧電基板
が大型化してしまう。
【0007】また、例えば特開平9−153755号公
報の弾性表面波フィルタは、入出力用インターデジタル
電極を含む圧電基板全面に、SiO2 などの誘電体材料
から成る被膜が形成されている。これは、表面波の励振
するインターデジタル電極を構成する櫛歯電極指が、伝
播周波数に応じて電極指幅及び電極指間隔が数ミクロン
となっており、表面に微細な金属異物などが付着してし
まうと、電極指間でショートを起こして、所望のフィル
タ特性を得られないという問題を解決するものである。
そして、インターデジタル電極に外部信号や駆動信号な
どが接続される部位(接続パッド)以外の圧電基板の表
面に誘電体材料から成る被膜が形成されている。
報の弾性表面波フィルタは、入出力用インターデジタル
電極を含む圧電基板全面に、SiO2 などの誘電体材料
から成る被膜が形成されている。これは、表面波の励振
するインターデジタル電極を構成する櫛歯電極指が、伝
播周波数に応じて電極指幅及び電極指間隔が数ミクロン
となっており、表面に微細な金属異物などが付着してし
まうと、電極指間でショートを起こして、所望のフィル
タ特性を得られないという問題を解決するものである。
そして、インターデジタル電極に外部信号や駆動信号な
どが接続される部位(接続パッド)以外の圧電基板の表
面に誘電体材料から成る被膜が形成されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上述の弾性表面波フィ
ルタで、複数のフィルタ素子の間に形成する結合容量を
圧電基板上に具備する場合、その容量素子分だけスペー
スが必要となり弾性表面波装置の大型化につながる。
ルタで、複数のフィルタ素子の間に形成する結合容量を
圧電基板上に具備する場合、その容量素子分だけスペー
スが必要となり弾性表面波装置の大型化につながる。
【0009】特に大きな容量値の容量素子を形成する必
要がある場合、容量素子の面積が大きくなり、結果とし
て圧電基板が大きくなる問題がある。ここで圧電基板上
の容量素子の面積を小さくするには、互いに噛み合う電
極指間距離を小さくすればよい。ただし電極指間距離を
小さくすることは微細なパターン形成が必要になり、歩
留まりの低下、高精度の設備を必要とするなど加工技術
上の問題がある。
要がある場合、容量素子の面積が大きくなり、結果とし
て圧電基板が大きくなる問題がある。ここで圧電基板上
の容量素子の面積を小さくするには、互いに噛み合う電
極指間距離を小さくすればよい。ただし電極指間距離を
小さくすることは微細なパターン形成が必要になり、歩
留まりの低下、高精度の設備を必要とするなど加工技術
上の問題がある。
【0010】また、この電極指間に金属異物などの付着
によるショート不良が一層発生しやすくなる。
によるショート不良が一層発生しやすくなる。
【0011】先に示した弾性表面波素子の表面に誘電体
膜を形成する方法で容量素子部を含めたショート不良を
抑えることができるが、容量素子を小さくすると言う問
題は解決されない。また、弾性表面波を励振する弾性表
面波素子にも、誘電体膜が被膜されるため、その結果、
弾性表面波素子の電気特性を劣化させてしまう。
膜を形成する方法で容量素子部を含めたショート不良を
抑えることができるが、容量素子を小さくすると言う問
題は解決されない。また、弾性表面波を励振する弾性表
面波素子にも、誘電体膜が被膜されるため、その結果、
弾性表面波素子の電気特性を劣化させてしまう。
【0012】本発明は上述の問題点に鑑みて案出された
ものであり、その目的は、容量素子の占有面積を小さく
抑えて、大容量の容量成分によって2つの弾性表面波素
子を結合した弾性表面波装置の提供をする。
ものであり、その目的は、容量素子の占有面積を小さく
抑えて、大容量の容量成分によって2つの弾性表面波素
子を結合した弾性表面波装置の提供をする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、圧電基
板上に一対の櫛歯電極指から成るインタデジタル電極を
被着形成してなる少なくとも2つの弾性表面波素子を、
各弾性表面波伝播方向を同一方向となるように併設する
とともに、該2つの弾性表面波素子を間に配置した結合
容量素子で結合して成る弾性表面波装置において、前記
結合容量素子は、一対の櫛歯電極指を互いに噛み合わせ
て成り、且つ両櫛歯電極指が誘電体被膜で被覆されてい
る弾性表面波装置である。
板上に一対の櫛歯電極指から成るインタデジタル電極を
被着形成してなる少なくとも2つの弾性表面波素子を、
各弾性表面波伝播方向を同一方向となるように併設する
とともに、該2つの弾性表面波素子を間に配置した結合
容量素子で結合して成る弾性表面波装置において、前記
結合容量素子は、一対の櫛歯電極指を互いに噛み合わせ
て成り、且つ両櫛歯電極指が誘電体被膜で被覆されてい
る弾性表面波装置である。
【0014】
【作用】本発明によれば、圧電基板上に一対の櫛歯電極
指から成るインタデジタル電極を被着形成して成る少な
くとも2つの弾性表面波素子を表面波伝播方向が互いに
平行となるように併設するとともに、該2つの弾性表面
波素子を結合容量で容量結合して成る弾性表面波装置に
おいて、前記結合容量素子は、前記2つの弾性表面波素
子間に配置されている。
指から成るインタデジタル電極を被着形成して成る少な
くとも2つの弾性表面波素子を表面波伝播方向が互いに
平行となるように併設するとともに、該2つの弾性表面
波素子を結合容量で容量結合して成る弾性表面波装置に
おいて、前記結合容量素子は、前記2つの弾性表面波素
子間に配置されている。
【0015】従って、結合容量素子が、弾性表面波装素
子の表面弾性波発生領域の最外周から延出することがな
いため、非常に小型化の弾性表面波装置となる。
子の表面弾性波発生領域の最外周から延出することがな
いため、非常に小型化の弾性表面波装置となる。
【0016】また、結合容量素子の形状を誘電体被膜を
被着することにより、絶縁被膜を被覆した時に比較し
て、格段に小型化することができる。
被着することにより、絶縁被膜を被覆した時に比較し
て、格段に小型化することができる。
【0017】また、前記結合容量素子は、一対の櫛歯電
極指とが互いに噛み合い、且つ両櫛歯電極指を被覆する
誘電体被膜とから成っている。この櫛歯電極指が互いに
噛み合い構造でも充分に大きな容量成分が簡単に得ら
れ、通過帯域特性の制御などが非常に容易となり、櫛歯
電極指間のショートも抑えることができる。
極指とが互いに噛み合い、且つ両櫛歯電極指を被覆する
誘電体被膜とから成っている。この櫛歯電極指が互いに
噛み合い構造でも充分に大きな容量成分が簡単に得ら
れ、通過帯域特性の制御などが非常に容易となり、櫛歯
電極指間のショートも抑えることができる。
【0018】また、圧電基板上に、この結合容量素子の
誘電体被膜が形成されているため、弾性表面波素子の電
気特性を劣化させることがない。
誘電体被膜が形成されているため、弾性表面波素子の電
気特性を劣化させることがない。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の弾性表面波装置を
図面に基づいて詳説する。
図面に基づいて詳説する。
【0020】図1は、本発明の弾性表面波装置の平面図
である。尚、図では、圧電基板上に2つの弾性表面波素
子を形成して成る弾性表面波装置を例で説明する。
である。尚、図では、圧電基板上に2つの弾性表面波素
子を形成して成る弾性表面波装置を例で説明する。
【0021】図において、1は圧電基板、Aは前段の共
振子型弾性表面波フィルタ、Bは後段の共振子型弾性表
面波フィルタ(以下、単に弾性表面波素子という)、C
は結合容量素子である。また、この弾性表面波素子A、
B中、2A、2Bは夫々入力側インタデジタル電極であ
り、3A、3Bは、夫々出力側インタデジタル電極であ
り、4A、4A、4B、4Bは、反射器電極である。ま
た、結合容量素子Cは、容量素子用インタデジタル電極
5と誘電体被膜6とから構成されている。
振子型弾性表面波フィルタ、Bは後段の共振子型弾性表
面波フィルタ(以下、単に弾性表面波素子という)、C
は結合容量素子である。また、この弾性表面波素子A、
B中、2A、2Bは夫々入力側インタデジタル電極であ
り、3A、3Bは、夫々出力側インタデジタル電極であ
り、4A、4A、4B、4Bは、反射器電極である。ま
た、結合容量素子Cは、容量素子用インタデジタル電極
5と誘電体被膜6とから構成されている。
【0022】圧電基板1はチタン酸ジルコン酸鉛系(P
ZT)、チタン酸鉛系(PT)などの圧電セラミック基
板やニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、四硼酸リ
チウムや水晶等の圧電単結晶基板などから成る。尚、圧
電基板1がセラミック基板の場合には、所定方向に分極
処理されており、圧電基板1が単結晶基板の場合には、
所定方向に切断処理されている。
ZT)、チタン酸鉛系(PT)などの圧電セラミック基
板やニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、四硼酸リ
チウムや水晶等の圧電単結晶基板などから成る。尚、圧
電基板1がセラミック基板の場合には、所定方向に分極
処理されており、圧電基板1が単結晶基板の場合には、
所定方向に切断処理されている。
【0023】各共振子型弾性表面波フィルタからなる弾
性表面波素子Aは、一対の櫛歯電極指から成る入力側イ
ンタデジタル電極2Aと、一対の櫛歯電極指から成る出
力側インタデジタル電極3Aとが、弾性表面波の同一伝
播方向線上に配置されており、この同一伝播方向線上に
おいて入出力インタデジタル電極2A及び3Aを挟持す
るように、2つの反射器電極4A、4Aが配置されて構
成されている。
性表面波素子Aは、一対の櫛歯電極指から成る入力側イ
ンタデジタル電極2Aと、一対の櫛歯電極指から成る出
力側インタデジタル電極3Aとが、弾性表面波の同一伝
播方向線上に配置されており、この同一伝播方向線上に
おいて入出力インタデジタル電極2A及び3Aを挟持す
るように、2つの反射器電極4A、4Aが配置されて構
成されている。
【0024】そして、入力側インタデジタル電極2A
は、一対の櫛歯電極指21A、22Aとから成り、互い
に櫛歯電極指21A、22Aが噛み合うように構成され
ている。尚、例えば、櫛歯電極指21Aは、信号入力側
のホット側の電極指であり、櫛歯電極指22Aは、グラ
ンド側の電極指である。
は、一対の櫛歯電極指21A、22Aとから成り、互い
に櫛歯電極指21A、22Aが噛み合うように構成され
ている。尚、例えば、櫛歯電極指21Aは、信号入力側
のホット側の電極指であり、櫛歯電極指22Aは、グラ
ンド側の電極指である。
【0025】また、出力側インタデジタル電極3Aは、
一対の櫛歯電極指31A、32Aとから成り、互いに櫛
歯電極指31A、32Aが噛み合うように構成されてい
る。尚、例えば、櫛歯電極指31Aは、グランド側の電
極指であり、櫛歯電極指32Aは、信号側の電極指であ
る。
一対の櫛歯電極指31A、32Aとから成り、互いに櫛
歯電極指31A、32Aが噛み合うように構成されてい
る。尚、例えば、櫛歯電極指31Aは、グランド側の電
極指であり、櫛歯電極指32Aは、信号側の電極指であ
る。
【0026】また、弾性表面波素子Bは、弾性表面波素
子Aの伝播方向と平行となる伝播方向となるように配置
されており、弾性表面波素子Aと同様に入力側インタデ
ジタル電極2B、出力側インタデジタル電極3B及び2
つの反射器電極4B、4Bとから構成されている。尚、
弾性表面波素子Aでは、図中左側のインタデジタル電極
2Aが入力側であり、図中右側のインタデジタル電極3
Aが出力側であり、これにより、弾性表面波素子Aの伝
播は、図中の左側から右側となる。これに対して、弾性
表面波素子Bでは、図中右側のインタデジタル電極2B
が入力側であり、図中左側のインタデジタル電極3Bが
出力側であり、伝播方向は、図中の右側から左側とな
る。
子Aの伝播方向と平行となる伝播方向となるように配置
されており、弾性表面波素子Aと同様に入力側インタデ
ジタル電極2B、出力側インタデジタル電極3B及び2
つの反射器電極4B、4Bとから構成されている。尚、
弾性表面波素子Aでは、図中左側のインタデジタル電極
2Aが入力側であり、図中右側のインタデジタル電極3
Aが出力側であり、これにより、弾性表面波素子Aの伝
播は、図中の左側から右側となる。これに対して、弾性
表面波素子Bでは、図中右側のインタデジタル電極2B
が入力側であり、図中左側のインタデジタル電極3Bが
出力側であり、伝播方向は、図中の右側から左側とな
る。
【0027】上述のインタデジタル電極2A、2B、3
A、3Bは、アミルニウムやアルミナにCu、Tiなど
の金属材料を薄膜技法により形成し、エッチングなどに
よって所定パターンに形成される。例えば、互いに噛み
合うインタデジタル電極を構成する電極指の幅、及び噛
み合う電極の間隔は、弾性波の伝播周波数によって決定
され、例えば、夫々の幅及び間隔が、1/4波長となっ
ている。
A、3Bは、アミルニウムやアルミナにCu、Tiなど
の金属材料を薄膜技法により形成し、エッチングなどに
よって所定パターンに形成される。例えば、互いに噛み
合うインタデジタル電極を構成する電極指の幅、及び噛
み合う電極の間隔は、弾性波の伝播周波数によって決定
され、例えば、夫々の幅及び間隔が、1/4波長となっ
ている。
【0028】また、各インタデジタル電極2A、2B、
3A、3Bを構成する夫々の電極指21A、22A、3
1A、32A、21B、22B、31B、32Bには、
信号パッドや接続バーが形成されている。弾性表面波素
子Aの電極指21Aには外部回路と接続される入力信号
パッド23Aが形成されている。電極指22Aには、弾
性表面波素子Bの電極指31Bと接続するグランド電位
の接続バー51が形成されている。電極指32Aには外
部回路と接続されるグランド電位パッド33Aが形成さ
れている。また、弾性表面波素子Aの電極指31Aに
は、弾性表面波素子Bの電極指21Bと接続する信号側
接続バー52が形成されている。
3A、3Bを構成する夫々の電極指21A、22A、3
1A、32A、21B、22B、31B、32Bには、
信号パッドや接続バーが形成されている。弾性表面波素
子Aの電極指21Aには外部回路と接続される入力信号
パッド23Aが形成されている。電極指22Aには、弾
性表面波素子Bの電極指31Bと接続するグランド電位
の接続バー51が形成されている。電極指32Aには外
部回路と接続されるグランド電位パッド33Aが形成さ
れている。また、弾性表面波素子Aの電極指31Aに
は、弾性表面波素子Bの電極指21Bと接続する信号側
接続バー52が形成されている。
【0029】弾性表面波素子Bの電極指21Bには、上
述の弾性表面波素子Aの電極指31Aと接続する信号側
接続バー52が形成されている。電極指22Bには、外
部回路と接続されるグランド電位パッド23Bが形成さ
れている。また、電極指31Bには、上述の弾性表面波
素子Aの電極指22Aと接続するグランド側接続バー5
1が形成されている。また、電極指32Bには、外部回
路と接続されるグランド電位パッド33Bが形成されて
いる。
述の弾性表面波素子Aの電極指31Aと接続する信号側
接続バー52が形成されている。電極指22Bには、外
部回路と接続されるグランド電位パッド23Bが形成さ
れている。また、電極指31Bには、上述の弾性表面波
素子Aの電極指22Aと接続するグランド側接続バー5
1が形成されている。また、電極指32Bには、外部回
路と接続されるグランド電位パッド33Bが形成されて
いる。
【0030】また、2つの弾性表面波素子A、Bの間に
は、グランド側接続バー51と信号側接続バー52が配
置されていることになる。そして、グランド側接続バー
51と信号側接続バー52の間には、結合容量を発生す
る容量素子Cが形成されている。
は、グランド側接続バー51と信号側接続バー52が配
置されていることになる。そして、グランド側接続バー
51と信号側接続バー52の間には、結合容量を発生す
る容量素子Cが形成されている。
【0031】この結合容量素子Cは、グランド側接続バ
ー51と信号側接続バー52が配置されていることにな
る。そして、グランド側接続バー51に接続されている
電極指51Aと信号側接続バー52に接続されている電
極指52Aは、夫々櫛歯状となっており、両電極指51
A、52Aは互いに噛み合って構成されている。これに
より、容量素子用インタデジタル電極5が構成されるこ
とになる。
ー51と信号側接続バー52が配置されていることにな
る。そして、グランド側接続バー51に接続されている
電極指51Aと信号側接続バー52に接続されている電
極指52Aは、夫々櫛歯状となっており、両電極指51
A、52Aは互いに噛み合って構成されている。これに
より、容量素子用インタデジタル電極5が構成されるこ
とになる。
【0032】さらに、少なくとも容量素子用インタデジ
タル電極5を共通的に覆うように、誘電体被膜6が被着
形成されている。
タル電極5を共通的に覆うように、誘電体被膜6が被着
形成されている。
【0033】この誘電体被膜6とは、チタン酸ジルコン
酸鉛系(PZT)、チタン酸鉛系(PT)、チタン酸バ
リウム(BT)などを主成分とする被膜であり、例えば
0.1〜10μm程度の厚膜を有する。この誘電体被膜
6は上述の材料を薄膜技法や溶射などで形成したり、ま
た、上述の材料の粉体を熱硬化性や紫外線硬化性樹脂、
例えばアクリル、エポキシ樹脂などに混合した誘電体ペ
ーストを用いて、塗布硬化して形成する。
酸鉛系(PZT)、チタン酸鉛系(PT)、チタン酸バ
リウム(BT)などを主成分とする被膜であり、例えば
0.1〜10μm程度の厚膜を有する。この誘電体被膜
6は上述の材料を薄膜技法や溶射などで形成したり、ま
た、上述の材料の粉体を熱硬化性や紫外線硬化性樹脂、
例えばアクリル、エポキシ樹脂などに混合した誘電体ペ
ーストを用いて、塗布硬化して形成する。
【0034】この誘電体被膜6は、2つの弾性表面波素
子A、Bとの間の領域の容量素子用インタデジタル電極
5上に被着されるものであり、2つの弾性表面波素子
A、Bに被覆されないように形成する。
子A、Bとの間の領域の容量素子用インタデジタル電極
5上に被着されるものであり、2つの弾性表面波素子
A、Bに被覆されないように形成する。
【0035】容量素子Cは、一般に0.1〜3.0pF
程度の容量が必要であるが、例えば、3.0pFの結合
容量素子Cを、例えば、100μm×200μmの領域
に形成することができる。即ち、誘電体被膜6を形成し
たことにより、大容量化が可能であり、逆に、所定容量
成分に対して非常に小型化することができる。
程度の容量が必要であるが、例えば、3.0pFの結合
容量素子Cを、例えば、100μm×200μmの領域
に形成することができる。即ち、誘電体被膜6を形成し
たことにより、大容量化が可能であり、逆に、所定容量
成分に対して非常に小型化することができる。
【0036】これは、誘電体被膜6は、通常、弾性表面
波素子A、B上に不純物の付着による短絡を防止するた
めに全面に被覆する絶縁保護膜(SiO2 やSi
3 N4 :厚み100Å程度)では、例えば3pFの容量
を得るためには、1つの弾性表面波素子とほど同一の領
域、例えば、200μm×700μm必要となる。
波素子A、B上に不純物の付着による短絡を防止するた
めに全面に被覆する絶縁保護膜(SiO2 やSi
3 N4 :厚み100Å程度)では、例えば3pFの容量
を得るためには、1つの弾性表面波素子とほど同一の領
域、例えば、200μm×700μm必要となる。
【0037】尚、膜厚みが厚く、質量が大きい誘電体被
膜6を、弾性表面波素子A、B上にまで被着すると、質
量効果や電気的な回路定数の変更を伴い、弾性表面波素
子A、B共振特性や温度特性が初期の設計特性と変動し
てまう。従って誘電体被膜6は、弾性表面波素子A、B
に被覆されないように、容量素子用インタデジタル電極
5部分のみに設けることが重要である。
膜6を、弾性表面波素子A、B上にまで被着すると、質
量効果や電気的な回路定数の変更を伴い、弾性表面波素
子A、B共振特性や温度特性が初期の設計特性と変動し
てまう。従って誘電体被膜6は、弾性表面波素子A、B
に被覆されないように、容量素子用インタデジタル電極
5部分のみに設けることが重要である。
【0038】これにより、弾性表面波素子A、Bの共振
特性や温度特性を変動させることなく、弾性表面波素子
A、Bとの間の限られた領域に、占有面積が小さく且つ
電極指51A、52A間に高誘電率の材料を介在させる
ことにより大きな誘電率の容量素子Cを達成することが
できる。これにより、電極指51A、52A間に高電圧
が印加された場合、従来はスパークが発生し、断線によ
り所望特性が得られなくなったり、ショート不良の原因
になるが、高誘電率の材料が電極指間に介在することで
電界の集中を緩和することができ、スパークの発生を抑
止し、信頼性を高めた製品を作ることができる。
特性や温度特性を変動させることなく、弾性表面波素子
A、Bとの間の限られた領域に、占有面積が小さく且つ
電極指51A、52A間に高誘電率の材料を介在させる
ことにより大きな誘電率の容量素子Cを達成することが
できる。これにより、電極指51A、52A間に高電圧
が印加された場合、従来はスパークが発生し、断線によ
り所望特性が得られなくなったり、ショート不良の原因
になるが、高誘電率の材料が電極指間に介在することで
電界の集中を緩和することができ、スパークの発生を抑
止し、信頼性を高めた製品を作ることができる。
【0039】これにより、所定フィルタ特性を有する共
振器型弾性表面波フィルタである弾性表面波素子Aと、
所定フィルタ特性を有する共振器型弾性表面波フィルタ
である弾性表面波素子Bとが、結合容量素子Cによっ
て、互いに結合されることになり、この結合容量素子C
の容量特性によって、両フィルタ特性を構成して得られ
る所定帯域幅のフィルタ特性を任意に変えることができ
る。
振器型弾性表面波フィルタである弾性表面波素子Aと、
所定フィルタ特性を有する共振器型弾性表面波フィルタ
である弾性表面波素子Bとが、結合容量素子Cによっ
て、互いに結合されることになり、この結合容量素子C
の容量特性によって、両フィルタ特性を構成して得られ
る所定帯域幅のフィルタ特性を任意に変えることができ
る。
【0040】尚、上述の結合容量素子Cの容量成分の調
整は、例えば、容量素子用インタデジタル電極5上に誘
電体被膜6を被着形成する前、また、被着形成した後に
おいて、容量素子用インタデジタル電極5を構成する電
極指51Aまたは52Aとの対向距離を例えば減少する
ように、一方の電極指51Aまたは両方の電極指51
A、52Aを所定本数だけ除去すればよい。また、誘電
体被膜6を形成した後に両方の電極指51A、52Aを
所定本数だけ除去してもよい。
整は、例えば、容量素子用インタデジタル電極5上に誘
電体被膜6を被着形成する前、また、被着形成した後に
おいて、容量素子用インタデジタル電極5を構成する電
極指51Aまたは52Aとの対向距離を例えば減少する
ように、一方の電極指51Aまたは両方の電極指51
A、52Aを所定本数だけ除去すればよい。また、誘電
体被膜6を形成した後に両方の電極指51A、52Aを
所定本数だけ除去してもよい。
【0041】また、上述の実施例では、2つの弾性表面
波素子A、Bとが結合容量を発生させる容量素子Cによ
って結合されている弾性表面波装置であるが、図2に示
すように、2つの弾性表面波素子A、Bとの間に、外部
回路の信号と入出力整合を行うため、段間結合させるた
めの容量素子C2、C3を並設してもよい。
波素子A、Bとが結合容量を発生させる容量素子Cによ
って結合されている弾性表面波装置であるが、図2に示
すように、2つの弾性表面波素子A、Bとの間に、外部
回路の信号と入出力整合を行うため、段間結合させるた
めの容量素子C2、C3を並設してもよい。
【0042】このように2つの弾性表面波素子A、Bと
の間に複数の容量素子C、C2、C3に共通的に誘電体
被膜61を形成してもよい。この場合、弾性表面波の伝
播方向と平行に誘電体被膜61が形成されるだけなの
で、弾性表面波素子A、Bの弾性表面波の伝播特性には
何等支障を与えることがなく、また、弾性表面波素子
A、Bに配置できるため、装置の大型化とはならない。
また、これらの容量素子C、C2、C3と外部回路との
接続や、弾性表面波素子A、Bとの接続をボンディング
ワイヤなどを用いて弾性表面波素子を横切るようにして
接続する。
の間に複数の容量素子C、C2、C3に共通的に誘電体
被膜61を形成してもよい。この場合、弾性表面波の伝
播方向と平行に誘電体被膜61が形成されるだけなの
で、弾性表面波素子A、Bの弾性表面波の伝播特性には
何等支障を与えることがなく、また、弾性表面波素子
A、Bに配置できるため、装置の大型化とはならない。
また、これらの容量素子C、C2、C3と外部回路との
接続や、弾性表面波素子A、Bとの接続をボンディング
ワイヤなどを用いて弾性表面波素子を横切るようにして
接続する。
【0043】
【発明の効果】本発明では、弾性表面波素子の電気特性
を劣化させることなく、2つの弾性表面波素子の段間を
結合する結合容量素子を小型化することができる。結合
容量の耐電圧特性を高めることができ、電極指間のスパ
ーク発生を防止させるという効果がある。
を劣化させることなく、2つの弾性表面波素子の段間を
結合する結合容量素子を小型化することができる。結合
容量の耐電圧特性を高めることができ、電極指間のスパ
ーク発生を防止させるという効果がある。
【図1】本発明の弾性表面波装置の平面図である。
【図2】本発明の他の弾性表面波装置の平面図である。
1・・・圧電基板 A・・・共振子型弾性表面波フィルタ B・・・共振子型弾性表面波フィルタ C・・・結合容量 2A、2B・・・入力側インタデジタル電極 3A、3B・・・出力側インタデジタル電極 4A、4B・・・反射器電極 5・・・・結合容量用インタデジタル電極 6・・・誘電体被膜 61・・誘電体被膜
Claims (1)
- 【請求項1】 圧電基板上に一対の櫛歯電極指から成る
インタデジタル電極を被着形成してなる少なくとも2つ
の弾性表面波素子を、各弾性表面波伝播方向を同一方向
となるように併設するとともに、該2つの弾性表面波素
子を間に配置した結合容量素子で結合して成る弾性表面
波装置において、 前記結合容量素子は、一対の櫛歯電極指を互いに噛み合
わせて成り、且つ両櫛歯電極指が誘電体被膜で被覆され
ていることを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10244306A JP2000077967A (ja) | 1998-08-31 | 1998-08-31 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10244306A JP2000077967A (ja) | 1998-08-31 | 1998-08-31 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000077967A true JP2000077967A (ja) | 2000-03-14 |
Family
ID=17116786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10244306A Pending JP2000077967A (ja) | 1998-08-31 | 1998-08-31 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000077967A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1548936A1 (en) * | 2003-12-24 | 2005-06-29 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter |
KR100503955B1 (ko) * | 2002-06-13 | 2005-07-26 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 표면파 장치 |
WO2007066608A1 (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 複合フィルタ |
WO2008068951A1 (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波フィルタ装置 |
WO2016104598A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-06-30 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置 |
WO2019107280A1 (ja) * | 2017-12-01 | 2019-06-06 | 京セラ株式会社 | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 |
-
1998
- 1998-08-31 JP JP10244306A patent/JP2000077967A/ja active Pending
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100503955B1 (ko) * | 2002-06-13 | 2005-07-26 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 표면파 장치 |
EP1548936A1 (en) * | 2003-12-24 | 2005-06-29 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter |
KR100612194B1 (ko) * | 2003-12-24 | 2006-08-16 | 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 | 탄성 표면파 필터 |
US7385468B2 (en) | 2003-12-24 | 2008-06-10 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter |
WO2007066608A1 (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 複合フィルタ |
US7876178B2 (en) | 2005-12-06 | 2011-01-25 | Panasonic Corporation | Composite filter comprising a surface acoustic wave filter and an LC filter |
WO2008068951A1 (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波フィルタ装置 |
JPWO2008068951A1 (ja) * | 2006-12-07 | 2010-03-18 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ装置 |
WO2016104598A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-06-30 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置 |
CN107112976A (zh) * | 2014-12-26 | 2017-08-29 | 京瓷株式会社 | 弹性波装置 |
JPWO2016104598A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2017-10-05 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置 |
US20170359051A1 (en) * | 2014-12-26 | 2017-12-14 | Kyocera Corporation | Acoustic wave device |
US10804881B2 (en) | 2014-12-26 | 2020-10-13 | Kyocera Corporation | Acoustic wave device |
WO2019107280A1 (ja) * | 2017-12-01 | 2019-06-06 | 京セラ株式会社 | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 |
JPWO2019107280A1 (ja) * | 2017-12-01 | 2020-11-26 | 京セラ株式会社 | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 |
JP7132944B2 (ja) | 2017-12-01 | 2022-09-07 | 京セラ株式会社 | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 |
US11528009B2 (en) | 2017-12-01 | 2022-12-13 | Kyocera Corporation | Acoustic wave filter, multiplexer, and communication apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10050601B2 (en) | Elastic wave apparatus | |
US7224105B2 (en) | Piezoelectric element, composite piezoelectric element, and filter, duplexer and communication equipment using the same | |
US20220216846A1 (en) | Acoustic wave device | |
US6127769A (en) | Surface acoustic wave device | |
US7843285B2 (en) | Piezoelectric thin-film filter | |
JP6788024B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP7278305B2 (ja) | 弾性波装置、分波器および通信装置 | |
CN114389566A (zh) | 具有可调谐振频率的机电装置 | |
JPH07297675A (ja) | 弾性表面波共振器 | |
WO2023097531A1 (zh) | 一种体声波谐振器、滤波器及电子设备 | |
WO2021085609A1 (ja) | 弾性波フィルタ | |
JP2000077967A (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP2005354650A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
US11606079B2 (en) | Transducer structure for source suppression in saw filter devices | |
JP2000312125A (ja) | 弾性表面波装置 | |
CN113474995A (zh) | 弹性波装置 | |
US6784763B2 (en) | Longitudinally coupled multi-mode piezoelectric bulk wave filter and electronic components using the same | |
JP5109731B2 (ja) | 弾性境界波デバイス | |
JP2001024471A (ja) | 弾性表面波共振子および弾性表面波フィルタ | |
US6670739B2 (en) | Surface acoustic wave apparatus | |
WO2024106120A1 (ja) | 弾性波装置 | |
WO2023100670A1 (ja) | フィルタ装置 | |
US20240235520A9 (en) | Filter device and multiplexer | |
JP3220289B2 (ja) | 容量重み付け弾性表面波フィルタ | |
JP3697301B2 (ja) | 容量重み付け弾性表面波フィルタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040518 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040803 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041004 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050412 |