JPH033253A - 多角形ウエハの収納容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、異なる大きさの多角形ウェハを収納可能とす
る容器に関する。

（従来の技術） 半導体ウェハは、汚染を嫌うので容器に収ウェハの端部
が容器の壁にぶつかりウェハにカケやワレを発生させた
り、容器の壁を傷付けて塵を発生させ、ウェハを汚染す
るという問題があった。

そこで、容器の底部を逆円錐形として、例えば、矩形ウ
ェハの４つの角を円錐面に点接触させ、スプリングなど
により軽く押圧してウェハを固定する容器が提案された
。この容器は円錐面上にウェハの４つの角で点接触し、
支持されるので、異なる大きさのウェハについても同様
に収納することができる。

（発明が解決しようとする課８） しかし、上記の容器は、ウェハの支持を点接触で行うた
め、僅かの振動でウェハにカケやワレを発生させ、壁面
を傷付けるという問題を完全に解決することができなか
った。

本発明は、上記の問題を解消し、多角形ウェハを略対向
する辺で容器内壁と線接触させ、ウェハを支持すること
のできる多角形ウェハ（課題を解決するための手段） 本発明は、異なる大きさの多角形ウェハを収納可能とす
る容器において、該ウェハの略対向する２辺で少な（と
も線接触するような複数の傾斜平面で容器の内壁を構成
したことを特徴とする多角形ウェハ収納容器である。

（作用） 第１図及び第３図は、本発明の多角形ウェハ収納容器の
具体例を示した概念図であり、両図の（ａ）は平面図、
（ｂ）は斜視図である。

第１図は、同一傾斜角を有し、対向する一対の傾斜平面
で容器の内壁を構成し、ウェハを収納する凹部を形成し
た容器である。第３図は、第１図の傾斜平面の１つを垂
直面に変更した容器である。

第２図は、第１図の収納容器に矩形ウェハを収納した状
態を示す平面図であり、矩形の長辺と短辺がともに傾斜
平面に接触する場合の図である。ウェハの長辺と短辺の
比が第２図のものからずれる場合には、３つの辺で傾斜
平面と接触することになる。第４図は、第３図の収納容
器に矩形ウェハを収納した状態を示す平面図であり、３
つの傾斜平面でウェハの３つの辺を線接触で受は支持す
る。この収納容器は、垂直面を１つ有するために該垂直
面まで延びる横長のウェハを収納するのに適したもので
ある。

以」二、矩形ウェハを収納する場合について説明したが
、例えば、正六角形や正八角形のウェハなどについても
、上記収納容器の対向する傾斜平面でウェハの２辺を線
接触で支持することができ、矩形ウェハの場合と同様に
使用することができる。

他の多角形ウェハについても、略対向するウェハの辺で
線接触する、傾斜角の等しい一対の傾斜平面で容器壁面
を構成することにより、上記と同様に多角形ウェハを収
納支持することができる。

（発明の効果） 本発明は、上記の構成を採用することにより、極めて構
造の簡単な収納容器を用いることによつ、略対向する多
角形ウェハの２辺で線接触でウェハを支持することがで
きるので、容器に少々の衝撃が加えられてもウェハにカ
ケやワレを生ずることもな（、かつ、塵を発生させるこ
ともなく、ウェハを安定して収納保持することができる
ようになった。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第３図は本発明の多角形ウェハ収納容器の具
体例である概念図であり、両図の（ａ）は平面図、（ｂ
）は斜視図である。第２図は第１図の収納容器に矩形ウ
ェハを収納した状Ｑ３を示す平面図であり、第４図は第
３図の収納容器に矩形ウェハを収納した状態を示す平面
図である。 代珊人女　酉　馬　大 第１図 （α） 第３図 （α９ （ｂ）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）異なる大きさの多角形ウェハを収納可能とする容
   器において、該ウェハの略対向する２辺で少なくとも線
   接触するような複数の傾斜平面で容器の内壁を構成した
   ことを特徴とする多角形ウェハ収納容器。
2. （２）異なる大きさの矩形ウェハを収納可能とする容器
   において、同一傾斜角を有し、対向する一対の傾斜平面
   で容器の内壁を構成したことを特徴とする矩形ウェハ収
   納容器。