JPH0982791A - カセット - Google Patents
カセットInfo
- Publication number
- JPH0982791A JPH0982791A JP24167295A JP24167295A JPH0982791A JP H0982791 A JPH0982791 A JP H0982791A JP 24167295 A JP24167295 A JP 24167295A JP 24167295 A JP24167295 A JP 24167295A JP H0982791 A JPH0982791 A JP H0982791A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- substrate
- moving mechanism
- wafers
- spacer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板の挿入および取出作業を容易に行なうこ
とができるとともに、基板の搬送時におけるクラックの
発生やゴミの付着などをなくすことができるカセットを
提供する。 【解決手段】 複数枚の基板を収納する箱型のカセット
であって、該カセット１は、上部体３と、下部体４と、
前記上部体３と下部体４のあいだに立設される支柱５
と、該支柱５に挿通され、前記基板２の側部を支持する
ための複数のスペーサ６とコイルバネ７からなる挟持手
段Ａと、該挟持手段Ａを移動させるネジ部９とナット１
０からなる移動機構Ｂとからなる。
とができるとともに、基板の搬送時におけるクラックの
発生やゴミの付着などをなくすことができるカセットを
提供する。 【解決手段】 複数枚の基板を収納する箱型のカセット
であって、該カセット１は、上部体３と、下部体４と、
前記上部体３と下部体４のあいだに立設される支柱５
と、該支柱５に挿通され、前記基板２の側部を支持する
ための複数のスペーサ６とコイルバネ７からなる挟持手
段Ａと、該挟持手段Ａを移動させるネジ部９とナット１
０からなる移動機構Ｂとからなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はカセットに関する。
さらに詳しくは、液晶用ガラス基板または半導体ウエハ
などの薄板状の基板を搬送や保管などするためのカセッ
トに関する。
さらに詳しくは、液晶用ガラス基板または半導体ウエハ
などの薄板状の基板を搬送や保管などするためのカセッ
トに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のカセットとしては、図７に示すよ
うに、箱型の本体５１の内面に所定数の縦溝５２を入れ
た枠５３が固定され、その溝に沿って基板５４を溝の数
だけ挿入し、そののち箱の蓋５５により密封するように
したものがある。また図８に示すように、所定数の溝６
１が入ったコーナパット６２を４個用いて、所定数の整
列した基板６３の４隅を固定したものがある。
うに、箱型の本体５１の内面に所定数の縦溝５２を入れ
た枠５３が固定され、その溝に沿って基板５４を溝の数
だけ挿入し、そののち箱の蓋５５により密封するように
したものがある。また図８に示すように、所定数の溝６
１が入ったコーナパット６２を４個用いて、所定数の整
列した基板６３の４隅を固定したものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
のカセットでは搬送の振動、落下、掘投げなどに対して
基板が、溝の中で激しく移動を繰り返すため、基板の周
辺にカケ、クラックまたは割れが発生したり、溝部の壁
面が擦れて微細なゴミが発生し基板に付着して表面を汚
す問題がある。また、これらのカセットの溝のピッチは
狭いため自動機での挿入、取り出しができないという問
題がある。
のカセットでは搬送の振動、落下、掘投げなどに対して
基板が、溝の中で激しく移動を繰り返すため、基板の周
辺にカケ、クラックまたは割れが発生したり、溝部の壁
面が擦れて微細なゴミが発生し基板に付着して表面を汚
す問題がある。また、これらのカセットの溝のピッチは
狭いため自動機での挿入、取り出しができないという問
題がある。
【０００４】本発明は、叙上の事情に鑑み、基板の挿入
および取出作業を容易に行なうことができるとともに、
基板の搬送時におけるクラックの発生やゴミの付着など
をなくすことができるカセットを提供することを目的と
する。
および取出作業を容易に行なうことができるとともに、
基板の搬送時におけるクラックの発生やゴミの付着など
をなくすことができるカセットを提供することを目的と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のカセットは、複
数枚の基板を収納する箱型のカセットであって、該カセ
ットは、上部体と、下部体と、前記上部体と下部体のあ
いだに立設される支柱と、該支柱に挿通され、前記基板
の側部を支持するための複数の挟持手段と、該挟持手段
を移動させる移動機構とからなることを特徴としてい
る。
数枚の基板を収納する箱型のカセットであって、該カセ
ットは、上部体と、下部体と、前記上部体と下部体のあ
いだに立設される支柱と、該支柱に挿通され、前記基板
の側部を支持するための複数の挟持手段と、該挟持手段
を移動させる移動機構とからなることを特徴としてい
る。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
のカセットを説明する。
のカセットを説明する。
【０００７】図１は本発明のカセットの一実施例を示す
斜視図、図２は図１における挟持手段を示す要部切欠拡
大図、図３は図１における移動機構の他の実施例を示す
斜視図、図４は図３における移動機構の動作を示す説明
図、図５は本発明のカセットの他の実施例を示す斜視
図、図６は図５における挟持手段を示す要部切欠拡大図
である。
斜視図、図２は図１における挟持手段を示す要部切欠拡
大図、図３は図１における移動機構の他の実施例を示す
斜視図、図４は図３における移動機構の動作を示す説明
図、図５は本発明のカセットの他の実施例を示す斜視
図、図６は図５における挟持手段を示す要部切欠拡大図
である。
【０００８】図１〜２に示すように、カセット１は複数
枚の基板２を収納する箱型をしている。該カセット１
は、上部体３と、下部体４と、前記上部体３と下部体４
のあいだに立設される支柱５と、該支柱５に挿通され、
前記基板２の側部を支持するための複数の挟持手段Ａ
と、該挟持手段Ａを移動させる移動機構Ｂとから構成さ
れている。前記下部体４は、一対の保持片４ａ、４ｂと
されているが、一枚の下蓋とすることもできる。
枚の基板２を収納する箱型をしている。該カセット１
は、上部体３と、下部体４と、前記上部体３と下部体４
のあいだに立設される支柱５と、該支柱５に挿通され、
前記基板２の側部を支持するための複数の挟持手段Ａ
と、該挟持手段Ａを移動させる移動機構Ｂとから構成さ
れている。前記下部体４は、一対の保持片４ａ、４ｂと
されているが、一枚の下蓋とすることもできる。
【０００９】前記挟持手段Ａは、矩形のスペーサ６と弾
性体７とから構成されており、該スペーサ６と弾性体７
とは交互に支柱５に挿通されている。この弾性体７とし
ては、本実施例では、コイルバネが用いられているが、
本発明においては、これに限定されるものではなく、ゴ
ム、皿バネ、ポリウレタンゴムなどを用いることもでき
る。また前記スペーサ６の下面には、たとえばコイルバ
ネの端部を嵌め込むための環状の凹部８ａを有する受座
８が取り付けられている。この受座８により基板２とコ
イルバネとが接触しないようにすることができる。な
お、上部体、下部体、支柱、スペーサおよび受座の材質
としては、ポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹
脂、ナイロンまたは発塵性の低いプラスチック材料、た
とえばＰＥＩ（ポリエーテルイミド）や導電性フィラー
（セラミックウイスカー）入りＰＥＩなどを用いること
ができる。
性体７とから構成されており、該スペーサ６と弾性体７
とは交互に支柱５に挿通されている。この弾性体７とし
ては、本実施例では、コイルバネが用いられているが、
本発明においては、これに限定されるものではなく、ゴ
ム、皿バネ、ポリウレタンゴムなどを用いることもでき
る。また前記スペーサ６の下面には、たとえばコイルバ
ネの端部を嵌め込むための環状の凹部８ａを有する受座
８が取り付けられている。この受座８により基板２とコ
イルバネとが接触しないようにすることができる。な
お、上部体、下部体、支柱、スペーサおよび受座の材質
としては、ポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹
脂、ナイロンまたは発塵性の低いプラスチック材料、た
とえばＰＥＩ（ポリエーテルイミド）や導電性フィラー
（セラミックウイスカー）入りＰＥＩなどを用いること
ができる。
【００１０】前記移動機構Ｂは、上部体３に挿通される
支柱５の上端部５ａに形成されるネジ部９と該ネジ部９
に螺着されるナット１０とから構成されている。ナット
部１０を締めることでスペーサ６と弾性体７が押し下げ
られるため、収納された基板２の側辺部２ａを一対のス
ペーサ６のあいだに挟持（固定）することができる。逆
にナット部１０を緩めると弾性体７が伸びて一対のスペ
ーサ６の間隔が広がる。このため、基板の挿入および取
り出しが容易になり、自動機による自動挿入・取り出し
が可能となる。また本発明における移動機構Ｂとして
は、図３〜４に示すように上部体３に挿通される支柱５
の上端部５ａに設けられるカム部材１１から構成されて
いる。このカム部材１１は、一対の曲面１２を有するカ
ム１２ａ、１２ｂからなり一端部が指示ピン１３により
支柱５の上端部５ａに指示され、他端部が保持ピン１４
により同時回動できるように保持されている。またカム
部材１１が自由状態にあるときは、前記指示ピン１３の
中心から上部体３までの距離ｈ１は、支持ピン１３と保
持ピン１４との距離ｈ２よりも小さくされている。そし
て前記カム部材１１を押し下げると、カム１２ａ、１２
ｂはその曲面１２に沿って順次上部体３を介してスペー
サ６と弾性体７を押し下げる。ついでカム１２ａ、１２
ｂの他端部が上部体３の表面に押しつけられて、いわゆ
るくさび状態により基板２を一対のスペーサ６、および
スペーサ６と下部体（図１参照）とで挟持する。なお前
記くさび状態を確実にするために、基板３の上面に表面
穴１５を設けるようにするのが好ましい。このばあいの
表面穴１５の深さは、基板３の挟持力が緩まない程度の
深さにするのが好ましい。
支柱５の上端部５ａに形成されるネジ部９と該ネジ部９
に螺着されるナット１０とから構成されている。ナット
部１０を締めることでスペーサ６と弾性体７が押し下げ
られるため、収納された基板２の側辺部２ａを一対のス
ペーサ６のあいだに挟持（固定）することができる。逆
にナット部１０を緩めると弾性体７が伸びて一対のスペ
ーサ６の間隔が広がる。このため、基板の挿入および取
り出しが容易になり、自動機による自動挿入・取り出し
が可能となる。また本発明における移動機構Ｂとして
は、図３〜４に示すように上部体３に挿通される支柱５
の上端部５ａに設けられるカム部材１１から構成されて
いる。このカム部材１１は、一対の曲面１２を有するカ
ム１２ａ、１２ｂからなり一端部が指示ピン１３により
支柱５の上端部５ａに指示され、他端部が保持ピン１４
により同時回動できるように保持されている。またカム
部材１１が自由状態にあるときは、前記指示ピン１３の
中心から上部体３までの距離ｈ１は、支持ピン１３と保
持ピン１４との距離ｈ２よりも小さくされている。そし
て前記カム部材１１を押し下げると、カム１２ａ、１２
ｂはその曲面１２に沿って順次上部体３を介してスペー
サ６と弾性体７を押し下げる。ついでカム１２ａ、１２
ｂの他端部が上部体３の表面に押しつけられて、いわゆ
るくさび状態により基板２を一対のスペーサ６、および
スペーサ６と下部体（図１参照）とで挟持する。なお前
記くさび状態を確実にするために、基板３の上面に表面
穴１５を設けるようにするのが好ましい。このばあいの
表面穴１５の深さは、基板３の挟持力が緩まない程度の
深さにするのが好ましい。
【００１１】つぎに本発明のカセットの他の実施例を説
明する。本実施例は、図５〜６に示すように、スペーサ
１６の形状が楔状にされている点で、前記実施例とは相
違している。
明する。本実施例は、図５〜６に示すように、スペーサ
１６の形状が楔状にされている点で、前記実施例とは相
違している。
【００１２】スペーサ１６は、側面１６ａがテーパ面に
形成されており、その側面１６ａに弾性体１７であるコ
イルバネの受座１８が形成されている。本実施例では、
ナット２０を締めることでスペーサ１６と弾性体１７が
押し下げられるため、挿入された基板２の側縁部（稜）
２ｂのみを一対のスペーサ１６のあいだに挟持（固定）
することができる。逆にナット２０を緩めると弾性体１
７が伸びて一対のスペーサ１６の間隔が広がる。したが
って、本実施例では、前記実施例が基板の周辺部を挟持
していたのに対し、側縁部のみを挟持しているため、基
板の接触面に傷が付きにくく、また接触によるゴミの付
着が発生しにくくなっている。
形成されており、その側面１６ａに弾性体１７であるコ
イルバネの受座１８が形成されている。本実施例では、
ナット２０を締めることでスペーサ１６と弾性体１７が
押し下げられるため、挿入された基板２の側縁部（稜）
２ｂのみを一対のスペーサ１６のあいだに挟持（固定）
することができる。逆にナット２０を緩めると弾性体１
７が伸びて一対のスペーサ１６の間隔が広がる。したが
って、本実施例では、前記実施例が基板の周辺部を挟持
していたのに対し、側縁部のみを挟持しているため、基
板の接触面に傷が付きにくく、また接触によるゴミの付
着が発生しにくくなっている。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明のカセット
では、スペーサと弾性体とからなる基板の挟持手段が、
移動機構により自由自在に基板の収納部を広げたり、狭
くできるため、基板の挿入および取り出しの作業を容易
に行なうことができ、自動化を図ることができる。
では、スペーサと弾性体とからなる基板の挟持手段が、
移動機構により自由自在に基板の収納部を広げたり、狭
くできるため、基板の挿入および取り出しの作業を容易
に行なうことができ、自動化を図ることができる。
【００１４】また基板の搬送時は、基板の周辺部または
周縁部（稜）に一定の力を加えることで搬送時に基板が
移動しなくなるため、基板のカケ、チップ、割れなどが
なくなる。またカセット内の基板の移動によるゴミの発
生がなくなるため、基板表面のゴミ付着がなくなり、基
板の洗浄も短時間で済む。
周縁部（稜）に一定の力を加えることで搬送時に基板が
移動しなくなるため、基板のカケ、チップ、割れなどが
なくなる。またカセット内の基板の移動によるゴミの発
生がなくなるため、基板表面のゴミ付着がなくなり、基
板の洗浄も短時間で済む。
【００１５】さらにカセットに付くゴミも少なくなるの
で、カセットの洗浄も短時間で済む。
で、カセットの洗浄も短時間で済む。
【図１】本発明のカセットの一実施例を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】図１における挟持手段を示す要部切欠拡大図で
ある。
ある。
【図３】図１における移動機構の他の実施例を示す斜視
図である。
図である。
【図４】図３における移動機構の動作を示す説明図であ
る。
る。
【図５】本発明のカセットの他の実施例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図６】図３における挟持手段を示す要部切欠拡大図で
ある。
ある。
【図７】従来のカセットの一例を示す斜視図である。
【図８】従来のカセットの他の例を示す斜視図である。
１ カセット ２ 基板 ２ａ 側辺部 ２ｂ 側縁部 ３ 上部体 ４ 下部体 ５ 支柱 ６、１６ スペーサ ７、１７ 弾性体 ８、１８ 受座 １６ａ 側面 Ａ 挟持手段 Ｂ 移動機構
Claims (7)
- 【請求項１】 複数枚の基板を収納する箱型のカセット
であって、該カセットは、上部体と、下部体と、前記上
部体と下部体のあいだに立設される支柱と、該支柱に挿
通され、前記基板の側部を支持するための複数の挟持手
段と、該挟持手段を移動させる移動機構とからなること
を特徴とするカセット。 - 【請求項２】 前記挟持手段がスペーサと弾性体とから
なる請求項１記載のカセット。 - 【請求項３】 前記移動機構が前記支柱の上端部に形成
されるネジ部と該ネジ部に螺着されるナットとからなる
請求項１または２記載のカセット。 - 【請求項４】 前記移動機構が前記支柱の上端部に設け
られるカム部材からなる請求項１または２記載のカセッ
ト。 - 【請求項５】 前記弾性体がコイルバネである請求項
２、３または４記載のカセット。 - 【請求項６】 前記コイルバネの端部に受座が取り付け
られてなる請求項５記載のカセット。 - 【請求項７】 前記スペーサの側面がテーパ面にされて
なる請求項２、３、４、５または６記載のカセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24167295A JPH0982791A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | カセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24167295A JPH0982791A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | カセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0982791A true JPH0982791A (ja) | 1997-03-28 |
Family
ID=17077810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24167295A Pending JPH0982791A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | カセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0982791A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004008524A1 (ja) * | 2002-06-20 | 2004-01-22 | Disco Corporation | ウェーハカセット |
| JP2013149704A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Nippon Steel & Sumikin Fine Technology Co Ltd | カセット保持機構およびウエハ格納ユニット |
| CN107310845A (zh) * | 2017-08-18 | 2017-11-03 | 杨招榕 | 压滤机用滤板回收集中存放架 |
-
1995
- 1995-09-20 JP JP24167295A patent/JPH0982791A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004008524A1 (ja) * | 2002-06-20 | 2004-01-22 | Disco Corporation | ウェーハカセット |
| JP2013149704A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Nippon Steel & Sumikin Fine Technology Co Ltd | カセット保持機構およびウエハ格納ユニット |
| CN107310845A (zh) * | 2017-08-18 | 2017-11-03 | 杨招榕 | 压滤机用滤板回收集中存放架 |
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