JPH0982791A - カセット - Google Patents
カセットInfo
- Publication number
- JPH0982791A JPH0982791A JP24167295A JP24167295A JPH0982791A JP H0982791 A JPH0982791 A JP H0982791A JP 24167295 A JP24167295 A JP 24167295A JP 24167295 A JP24167295 A JP 24167295A JP H0982791 A JPH0982791 A JP H0982791A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- substrate
- moving mechanism
- wafers
- spacer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板の挿入および取出作業を容易に行なうこ
とができるとともに、基板の搬送時におけるクラックの
発生やゴミの付着などをなくすことができるカセットを
提供する。 【解決手段】 複数枚の基板を収納する箱型のカセット
であって、該カセット1は、上部体3と、下部体4と、
前記上部体3と下部体4のあいだに立設される支柱5
と、該支柱5に挿通され、前記基板2の側部を支持する
ための複数のスペーサ6とコイルバネ7からなる挟持手
段Aと、該挟持手段Aを移動させるネジ部9とナット1
0からなる移動機構Bとからなる。
とができるとともに、基板の搬送時におけるクラックの
発生やゴミの付着などをなくすことができるカセットを
提供する。 【解決手段】 複数枚の基板を収納する箱型のカセット
であって、該カセット1は、上部体3と、下部体4と、
前記上部体3と下部体4のあいだに立設される支柱5
と、該支柱5に挿通され、前記基板2の側部を支持する
ための複数のスペーサ6とコイルバネ7からなる挟持手
段Aと、該挟持手段Aを移動させるネジ部9とナット1
0からなる移動機構Bとからなる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はカセットに関する。
さらに詳しくは、液晶用ガラス基板または半導体ウエハ
などの薄板状の基板を搬送や保管などするためのカセッ
トに関する。
さらに詳しくは、液晶用ガラス基板または半導体ウエハ
などの薄板状の基板を搬送や保管などするためのカセッ
トに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のカセットとしては、図7に示すよ
うに、箱型の本体51の内面に所定数の縦溝52を入れ
た枠53が固定され、その溝に沿って基板54を溝の数
だけ挿入し、そののち箱の蓋55により密封するように
したものがある。また図8に示すように、所定数の溝6
1が入ったコーナパット62を4個用いて、所定数の整
列した基板63の4隅を固定したものがある。
うに、箱型の本体51の内面に所定数の縦溝52を入れ
た枠53が固定され、その溝に沿って基板54を溝の数
だけ挿入し、そののち箱の蓋55により密封するように
したものがある。また図8に示すように、所定数の溝6
1が入ったコーナパット62を4個用いて、所定数の整
列した基板63の4隅を固定したものがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
のカセットでは搬送の振動、落下、掘投げなどに対して
基板が、溝の中で激しく移動を繰り返すため、基板の周
辺にカケ、クラックまたは割れが発生したり、溝部の壁
面が擦れて微細なゴミが発生し基板に付着して表面を汚
す問題がある。また、これらのカセットの溝のピッチは
狭いため自動機での挿入、取り出しができないという問
題がある。
のカセットでは搬送の振動、落下、掘投げなどに対して
基板が、溝の中で激しく移動を繰り返すため、基板の周
辺にカケ、クラックまたは割れが発生したり、溝部の壁
面が擦れて微細なゴミが発生し基板に付着して表面を汚
す問題がある。また、これらのカセットの溝のピッチは
狭いため自動機での挿入、取り出しができないという問
題がある。
【0004】本発明は、叙上の事情に鑑み、基板の挿入
および取出作業を容易に行なうことができるとともに、
基板の搬送時におけるクラックの発生やゴミの付着など
をなくすことができるカセットを提供することを目的と
する。
および取出作業を容易に行なうことができるとともに、
基板の搬送時におけるクラックの発生やゴミの付着など
をなくすことができるカセットを提供することを目的と
する。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明のカセットは、複
数枚の基板を収納する箱型のカセットであって、該カセ
ットは、上部体と、下部体と、前記上部体と下部体のあ
いだに立設される支柱と、該支柱に挿通され、前記基板
の側部を支持するための複数の挟持手段と、該挟持手段
を移動させる移動機構とからなることを特徴としてい
る。
数枚の基板を収納する箱型のカセットであって、該カセ
ットは、上部体と、下部体と、前記上部体と下部体のあ
いだに立設される支柱と、該支柱に挿通され、前記基板
の側部を支持するための複数の挟持手段と、該挟持手段
を移動させる移動機構とからなることを特徴としてい
る。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
のカセットを説明する。
のカセットを説明する。
【0007】図1は本発明のカセットの一実施例を示す
斜視図、図2は図1における挟持手段を示す要部切欠拡
大図、図3は図1における移動機構の他の実施例を示す
斜視図、図4は図3における移動機構の動作を示す説明
図、図5は本発明のカセットの他の実施例を示す斜視
図、図6は図5における挟持手段を示す要部切欠拡大図
である。
斜視図、図2は図1における挟持手段を示す要部切欠拡
大図、図3は図1における移動機構の他の実施例を示す
斜視図、図4は図3における移動機構の動作を示す説明
図、図5は本発明のカセットの他の実施例を示す斜視
図、図6は図5における挟持手段を示す要部切欠拡大図
である。
【0008】図1〜2に示すように、カセット1は複数
枚の基板2を収納する箱型をしている。該カセット1
は、上部体3と、下部体4と、前記上部体3と下部体4
のあいだに立設される支柱5と、該支柱5に挿通され、
前記基板2の側部を支持するための複数の挟持手段A
と、該挟持手段Aを移動させる移動機構Bとから構成さ
れている。前記下部体4は、一対の保持片4a、4bと
されているが、一枚の下蓋とすることもできる。
枚の基板2を収納する箱型をしている。該カセット1
は、上部体3と、下部体4と、前記上部体3と下部体4
のあいだに立設される支柱5と、該支柱5に挿通され、
前記基板2の側部を支持するための複数の挟持手段A
と、該挟持手段Aを移動させる移動機構Bとから構成さ
れている。前記下部体4は、一対の保持片4a、4bと
されているが、一枚の下蓋とすることもできる。
【0009】前記挟持手段Aは、矩形のスペーサ6と弾
性体7とから構成されており、該スペーサ6と弾性体7
とは交互に支柱5に挿通されている。この弾性体7とし
ては、本実施例では、コイルバネが用いられているが、
本発明においては、これに限定されるものではなく、ゴ
ム、皿バネ、ポリウレタンゴムなどを用いることもでき
る。また前記スペーサ6の下面には、たとえばコイルバ
ネの端部を嵌め込むための環状の凹部8aを有する受座
8が取り付けられている。この受座8により基板2とコ
イルバネとが接触しないようにすることができる。な
お、上部体、下部体、支柱、スペーサおよび受座の材質
としては、ポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹
脂、ナイロンまたは発塵性の低いプラスチック材料、た
とえばPEI(ポリエーテルイミド)や導電性フィラー
(セラミックウイスカー)入りPEIなどを用いること
ができる。
性体7とから構成されており、該スペーサ6と弾性体7
とは交互に支柱5に挿通されている。この弾性体7とし
ては、本実施例では、コイルバネが用いられているが、
本発明においては、これに限定されるものではなく、ゴ
ム、皿バネ、ポリウレタンゴムなどを用いることもでき
る。また前記スペーサ6の下面には、たとえばコイルバ
ネの端部を嵌め込むための環状の凹部8aを有する受座
8が取り付けられている。この受座8により基板2とコ
イルバネとが接触しないようにすることができる。な
お、上部体、下部体、支柱、スペーサおよび受座の材質
としては、ポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹
脂、ナイロンまたは発塵性の低いプラスチック材料、た
とえばPEI(ポリエーテルイミド)や導電性フィラー
(セラミックウイスカー)入りPEIなどを用いること
ができる。
【0010】前記移動機構Bは、上部体3に挿通される
支柱5の上端部5aに形成されるネジ部9と該ネジ部9
に螺着されるナット10とから構成されている。ナット
部10を締めることでスペーサ6と弾性体7が押し下げ
られるため、収納された基板2の側辺部2aを一対のス
ペーサ6のあいだに挟持(固定)することができる。逆
にナット部10を緩めると弾性体7が伸びて一対のスペ
ーサ6の間隔が広がる。このため、基板の挿入および取
り出しが容易になり、自動機による自動挿入・取り出し
が可能となる。また本発明における移動機構Bとして
は、図3〜4に示すように上部体3に挿通される支柱5
の上端部5aに設けられるカム部材11から構成されて
いる。このカム部材11は、一対の曲面12を有するカ
ム12a、12bからなり一端部が指示ピン13により
支柱5の上端部5aに指示され、他端部が保持ピン14
により同時回動できるように保持されている。またカム
部材11が自由状態にあるときは、前記指示ピン13の
中心から上部体3までの距離h1は、支持ピン13と保
持ピン14との距離h2よりも小さくされている。そし
て前記カム部材11を押し下げると、カム12a、12
bはその曲面12に沿って順次上部体3を介してスペー
サ6と弾性体7を押し下げる。ついでカム12a、12
bの他端部が上部体3の表面に押しつけられて、いわゆ
るくさび状態により基板2を一対のスペーサ6、および
スペーサ6と下部体(図1参照)とで挟持する。なお前
記くさび状態を確実にするために、基板3の上面に表面
穴15を設けるようにするのが好ましい。このばあいの
表面穴15の深さは、基板3の挟持力が緩まない程度の
深さにするのが好ましい。
支柱5の上端部5aに形成されるネジ部9と該ネジ部9
に螺着されるナット10とから構成されている。ナット
部10を締めることでスペーサ6と弾性体7が押し下げ
られるため、収納された基板2の側辺部2aを一対のス
ペーサ6のあいだに挟持(固定)することができる。逆
にナット部10を緩めると弾性体7が伸びて一対のスペ
ーサ6の間隔が広がる。このため、基板の挿入および取
り出しが容易になり、自動機による自動挿入・取り出し
が可能となる。また本発明における移動機構Bとして
は、図3〜4に示すように上部体3に挿通される支柱5
の上端部5aに設けられるカム部材11から構成されて
いる。このカム部材11は、一対の曲面12を有するカ
ム12a、12bからなり一端部が指示ピン13により
支柱5の上端部5aに指示され、他端部が保持ピン14
により同時回動できるように保持されている。またカム
部材11が自由状態にあるときは、前記指示ピン13の
中心から上部体3までの距離h1は、支持ピン13と保
持ピン14との距離h2よりも小さくされている。そし
て前記カム部材11を押し下げると、カム12a、12
bはその曲面12に沿って順次上部体3を介してスペー
サ6と弾性体7を押し下げる。ついでカム12a、12
bの他端部が上部体3の表面に押しつけられて、いわゆ
るくさび状態により基板2を一対のスペーサ6、および
スペーサ6と下部体(図1参照)とで挟持する。なお前
記くさび状態を確実にするために、基板3の上面に表面
穴15を設けるようにするのが好ましい。このばあいの
表面穴15の深さは、基板3の挟持力が緩まない程度の
深さにするのが好ましい。
【0011】つぎに本発明のカセットの他の実施例を説
明する。本実施例は、図5〜6に示すように、スペーサ
16の形状が楔状にされている点で、前記実施例とは相
違している。
明する。本実施例は、図5〜6に示すように、スペーサ
16の形状が楔状にされている点で、前記実施例とは相
違している。
【0012】スペーサ16は、側面16aがテーパ面に
形成されており、その側面16aに弾性体17であるコ
イルバネの受座18が形成されている。本実施例では、
ナット20を締めることでスペーサ16と弾性体17が
押し下げられるため、挿入された基板2の側縁部(稜)
2bのみを一対のスペーサ16のあいだに挟持(固定)
することができる。逆にナット20を緩めると弾性体1
7が伸びて一対のスペーサ16の間隔が広がる。したが
って、本実施例では、前記実施例が基板の周辺部を挟持
していたのに対し、側縁部のみを挟持しているため、基
板の接触面に傷が付きにくく、また接触によるゴミの付
着が発生しにくくなっている。
形成されており、その側面16aに弾性体17であるコ
イルバネの受座18が形成されている。本実施例では、
ナット20を締めることでスペーサ16と弾性体17が
押し下げられるため、挿入された基板2の側縁部(稜)
2bのみを一対のスペーサ16のあいだに挟持(固定)
することができる。逆にナット20を緩めると弾性体1
7が伸びて一対のスペーサ16の間隔が広がる。したが
って、本実施例では、前記実施例が基板の周辺部を挟持
していたのに対し、側縁部のみを挟持しているため、基
板の接触面に傷が付きにくく、また接触によるゴミの付
着が発生しにくくなっている。
【0013】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明のカセット
では、スペーサと弾性体とからなる基板の挟持手段が、
移動機構により自由自在に基板の収納部を広げたり、狭
くできるため、基板の挿入および取り出しの作業を容易
に行なうことができ、自動化を図ることができる。
では、スペーサと弾性体とからなる基板の挟持手段が、
移動機構により自由自在に基板の収納部を広げたり、狭
くできるため、基板の挿入および取り出しの作業を容易
に行なうことができ、自動化を図ることができる。
【0014】また基板の搬送時は、基板の周辺部または
周縁部(稜)に一定の力を加えることで搬送時に基板が
移動しなくなるため、基板のカケ、チップ、割れなどが
なくなる。またカセット内の基板の移動によるゴミの発
生がなくなるため、基板表面のゴミ付着がなくなり、基
板の洗浄も短時間で済む。
周縁部(稜)に一定の力を加えることで搬送時に基板が
移動しなくなるため、基板のカケ、チップ、割れなどが
なくなる。またカセット内の基板の移動によるゴミの発
生がなくなるため、基板表面のゴミ付着がなくなり、基
板の洗浄も短時間で済む。
【0015】さらにカセットに付くゴミも少なくなるの
で、カセットの洗浄も短時間で済む。
で、カセットの洗浄も短時間で済む。
【図1】本発明のカセットの一実施例を示す斜視図であ
る。
る。
【図2】図1における挟持手段を示す要部切欠拡大図で
ある。
ある。
【図3】図1における移動機構の他の実施例を示す斜視
図である。
図である。
【図4】図3における移動機構の動作を示す説明図であ
る。
る。
【図5】本発明のカセットの他の実施例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図6】図3における挟持手段を示す要部切欠拡大図で
ある。
ある。
【図7】従来のカセットの一例を示す斜視図である。
【図8】従来のカセットの他の例を示す斜視図である。
1 カセット 2 基板 2a 側辺部 2b 側縁部 3 上部体 4 下部体 5 支柱 6、16 スペーサ 7、17 弾性体 8、18 受座 16a 側面 A 挟持手段 B 移動機構
Claims (7)
- 【請求項1】 複数枚の基板を収納する箱型のカセット
であって、該カセットは、上部体と、下部体と、前記上
部体と下部体のあいだに立設される支柱と、該支柱に挿
通され、前記基板の側部を支持するための複数の挟持手
段と、該挟持手段を移動させる移動機構とからなること
を特徴とするカセット。 - 【請求項2】 前記挟持手段がスペーサと弾性体とから
なる請求項1記載のカセット。 - 【請求項3】 前記移動機構が前記支柱の上端部に形成
されるネジ部と該ネジ部に螺着されるナットとからなる
請求項1または2記載のカセット。 - 【請求項4】 前記移動機構が前記支柱の上端部に設け
られるカム部材からなる請求項1または2記載のカセッ
ト。 - 【請求項5】 前記弾性体がコイルバネである請求項
2、3または4記載のカセット。 - 【請求項6】 前記コイルバネの端部に受座が取り付け
られてなる請求項5記載のカセット。 - 【請求項7】 前記スペーサの側面がテーパ面にされて
なる請求項2、3、4、5または6記載のカセット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24167295A JPH0982791A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | カセット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24167295A JPH0982791A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | カセット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0982791A true JPH0982791A (ja) | 1997-03-28 |
Family
ID=17077810
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24167295A Pending JPH0982791A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | カセット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0982791A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004008524A1 (ja) * | 2002-06-20 | 2004-01-22 | Disco Corporation | ウェーハカセット |
JP2013149704A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Nippon Steel & Sumikin Fine Technology Co Ltd | カセット保持機構およびウエハ格納ユニット |
CN107310845A (zh) * | 2017-08-18 | 2017-11-03 | 杨招榕 | 压滤机用滤板回收集中存放架 |
-
1995
- 1995-09-20 JP JP24167295A patent/JPH0982791A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004008524A1 (ja) * | 2002-06-20 | 2004-01-22 | Disco Corporation | ウェーハカセット |
JP2013149704A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Nippon Steel & Sumikin Fine Technology Co Ltd | カセット保持機構およびウエハ格納ユニット |
CN107310845A (zh) * | 2017-08-18 | 2017-11-03 | 杨招榕 | 压滤机用滤板回收集中存放架 |
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