JP2002002695A - 基板収納トレイ及びこれを用いた基板梱包体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】複数の基板収納トレイを積み重ねた際もしくは
搬送時に、荷重や衝撃等が印加されることによって内部
に収納した基板に傷や汚れが付きやすい。 【解決手段】上面に基板３を収納する基板収納部２を、
下面で前記基板収納部の外周位置に押圧用の突起部５
を、外周部に斜めに垂下するスカート部７を有する略四
角形の基板収納トレイ１であって、前記基板収納部２は
その内壁面に基板の下面外周部が当接する段部４を有
し、且つ前記スカート部７はその各辺に上端から途中に
かけて内側に窪む凹部８が基板収納トレイ１の中心点に
対して９０°もしくは１８０°に回転させた際に非対称
となる位置に設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は磁気記録装置に用い
られる薄膜磁気ヘッド用基板、半導体装置に用いる半導
体基板、あるいはサファイア基板等を収納する基板収納
トレイ、及びこれを用いた基板梱包体に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、コンピューター等の磁気記録
装置には薄膜磁気ヘッドが用いられてきた。この薄膜磁
気ヘッドは、薄膜磁気ヘッド用基板上に、薄膜手段によ
って磁気へッド素子を形成した後、多数個に切断するこ
とによって得られるものである。

【０００３】前記薄膜磁気ヘッド用基板としては、Ａｌ
₂Ｏ₃を主成分としてＴｉＣを含むセラミック基板上にア
モルファスアルミナ絶縁膜（以下アルミナ下地膜とい
う）をスパッタリング法により成膜し、その面を片面ポ
リッシュ機にて鏡面加工したものを用いる。このアルミ
ナ下地膜の上に磁気ヘッド素子を形成するため、その表
面の面粗さ、スクラッチ、汚れの有無は非常に重要とな
るため、この薄膜磁気ヘッド用基板を収納、梱包して搬
送する場合には薄膜磁気ヘッド用基板の表面に傷や汚れ
等が付かないように保護しておくことが要求される。

【０００４】このような薄膜磁気ヘッド用基板等を収納
するための基板収納トレイとしては従来一般に、図６
（ａ），（ｂ）に示すような基板収納トレイ１１が使用
されている。

【０００５】かかる基板収納トレイ１１は、ポリスチレ
ン系樹脂やポリ塩化ビニール樹脂等の熱可塑性樹脂から
成る厚みが０．５〜２ｍｍ程度の板材に凹凸加工を施し
て製作され、上面に薄膜磁気ヘッド用基板等の基板１３
を収納するための基板収納部１２を、外周部に斜めに垂
下するスカート部１７を備えており、且つ前記基板収納
部１２の内壁面には段部１４が、底面には下方に突出す
る複数個の突起部１５が形成されている。

【０００６】前記基板収納トレイ１１による基板１３の
収納は、先ず基板収納トレイ１１に設けた基板収納部１
２の段部１４に基板１３の下面外周部を当接させて収納
し、次にこの基板収納トレイ１１の上部に他の基板収納
トレイ１１を積み重ね、上部に位置する基板収納トレイ
１１の突起部１５で前記基板１３の上面を押さえること
によって行われている（特開平１１−１０５９７０号公
報参照）。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板収納トレイ１１を用いて基板１３を収納した場合、
下部に位置する基板収納トレイ１１に収納されている基
板１３は、その上面中央域が上部に位置する基板収納ト
レイ１１の突起部１５で押圧されて固定されており、基
板１３の上面中央域と突起部１５とが接触しているた
め、基板１３の磁気ヘッド素子等が形成される中央域に
傷や汚れがつきやすく、品質の安定した薄膜磁気ヘッド
等を確実に製作することができないという欠点を有して
いた。

【０００８】また、前記基板収納トレイ１１は、その基
板収納部１２に基板１３を収納したものを多数上下に積
み重ねて基板梱包体となした際、上部に位置する基板収
納トレイ１１及びこれに収納されている基板１３の荷重
が最下部に位置する基板収納トレイ１１に収納されてい
る基板１３の上面中央域に作用し、最下部の基板収納ト
レイ１１に収納されている基板１３に傷や汚れが付くの
が顕著となるとともに、ひどい場合には基板１３に割れ
や欠けが生じるという欠点も有していた。

【０００９】本発明は、上述の欠点に鑑み案出されたも
ので、その目的は基板を傷や汚れ等が付くことなく収
納、搬送することができる基板収納トレイ及びそれを用
いた基板梱包体を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の基板収納トレイ
は、上面に基板を収納する基板収納部を、下面で前記基
板収納部の外周位置に押圧用の突起部を、外周部に斜め
に垂下するスカート部を有する略四角形の基板収納トレ
イであって、前記基板収納部はその内壁面に基板の下面
外周部が当接する段部を有し、且つ前記スカート部はそ
の各辺に上端から途中にかけて内側に窪む凹部が上面の
中心点に対して９０°もしくは１８０°回転させた際に
非対称となる位置に設けた、或いは前記スカート部の各
辺に上端から途中にかけて内側に窪む深さの深い第１凹
部及び深さの浅い第２凹部を設け、これを上面の中心点
に対して９０°もしくは１８０°回転させた際に第１凹
部同士及び第２凹部同士は非対称に、第１凹部と第２凹
部とが対称となる位置に配したことを特徴とするもので
ある。

【００１１】また、本発明の基板収納トレイを用いた基
板梱包体は、基板収納トレイを少なくとも２個互いに９
０°もしくは１８０°回転させて積み重ね、下部に位置
する基板収納トレイの基板収納部に基板の下面外周部を
段部に当接させて収納するとともに、上部に位置する基
板収納トレイの突起部で基板の上面を押圧し、且つ上部
に位置する基板収納トレイのスカート部に設けた凹部の
下面が、下部に位置する基板収納トレイの上面に当接、
もしくは、上部に位置する基板収納トレイのスカート部
に設けた第１凹部の下面が、下部に位置する基板収納ト
レイの第２凹部の底面に当接することを特徴とするもの
である。

【００１２】本発明の基板収納トレイによれば、上面に
基板を収納する基板収納部を、下面で前記基板収納部の
外周位置に押圧用の突起部を設けるとともに前記基板収
納部の内壁面に基板の下面外周部が当接する段部を形成
したことから、基板収納トレイに基板を収納した際、基
板はその外周部が下部に位置する基板収納トレイの段部
と、上部に位置する基板収納トレイの突起部とに挟まれ
強固に固定されて基板に傷や汚れが付くのを有効に防止
することができ、同時に基板の磁気ヘッド素子等が形成
される上面中央域への基板収納トレイの接触がなく、基
板の上面中央域に基板収納トレイの接触による傷や汚れ
が付くのを有効に防止することができ、これによって基
板に品質の安定した薄膜磁気ヘッド等を確実に製作する
ことが可能となる。

【００１３】また、本発明の基板収納トレイによれば、
外周部に設けたスカート部の各辺に上端から途中にかけ
て内側に窪む凹部を上面の中心点に対して９０°もしく
は１８０°回転させた際に非対称となる位置に設ける、
或いは上端から途中にかけて内側に窪む深さの深い第１
凹部及び深さの浅い第２凹部を上面の中心点に対して９
０°もしくは１８０°回転させた際に第１凹部同士及び
第２凹部同士は非対称に、第１凹部と第２凹部とが対称
となる位置に設けたことから、基板収納部に基板を収納
した基板収納トレイを９０°もしくは１８０°回転させ
て上下に多数積み重ねて基板梱包体となした際、上部に
位置する基板収納トレイの凹部の下面もしくは第１凹部
の下面が、下部に位置する基板収納トレイの上面もしく
は第２凹部の底面に当接して上部に位置する基板収納ト
レイ及びこれに収納されている基板の荷重は、下部に位
置する基板収納トレイの上面もしくは第２凹部に作用す
ることとなり、その結果、最下部に位置する基板収納ト
レイに収納されている基板に対し、その上部に位置する
基板収納トレイ及びこれに収納されている基板の全荷重
が突起部を介して作用することはなく、最下部の基板収
納トレイに収納されている基板に傷や汚れが付いたり、
割れや欠け等が発生したりするのを有効に防止すること
が可能となる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づき具体的に説明する。

【００１５】図１は、本発明の基板収納トレイの実施形
態を示す上面図であり、図２（ａ），（ｂ），（ｃ）
は、それぞれ図１のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ線にお
ける断面図である。本発明の基板収納トレイ１は、基板
を収納する基板収納部２、該基板収納部２の内壁面に備
えられた段部４、下面で前記基板収納部２の外周位置に
設けられた突起部５、外周部に斜めに垂下するスカート
部７及びスカート部７に設けられた凹部８とから構成さ
れている。

【００１６】本発明の基板収納トレイ１は、ポリスチレ
ン系樹脂やポリ塩化ビニール樹脂・ポリエステル系樹脂
等の熱可塑性樹脂から成る厚みが約０．５〜２ｍｍの板
材（不図示）に真空プレス成形法等により凹凸を加工す
ることによって製作され、例えば長さが２００ｍｍ程
度、幅が２００ｍｍ程度、高さが２０ｍｍ程度の正方形
状をなしている。

【００１７】前記基板収納トレイ１は、その上面に基板
３を収納するための基板収納部２が設けられており、例
えば薄膜磁気ヘッド用基板を収納する場合には、直径が
５０〜２００ｍｍ程度の円形状に形成されている。

【００１８】なお、前記基板収納部２は、基板収納トレ
イ１の上面に１個備えられるものに限定されず複数個備
えてもよく、その形状も円形状のものに限らず、収納さ
れる基板３の形状に応じて長方形状や正方形状等であっ
てもよい。

【００１９】また、前記基板収納部２の周囲の一部に
は、例えば、幅が５〜２０ｍｍ、長さが１〜２０ｍｍ、
深さが１〜２０ｍｍの四角形状をなす窪み６が形成され
ており、該窪み６は基板収納部２に基板３をピンセット
等の保持具を使用して出し入れする際、保持具の先端が
入り込んで基板収納部２への基板３の出し入れを容易と
する作用をなす。

【００２０】更に、前記基板収納部２は、その内壁面に
段部４が形成されており、該段部４には図２（ａ），
（ｂ），（ｃ）に示すように基板３の下面外周部が当接
し、基板３の下面中央域を基板収納トレイ１に非接触と
して収納、支持する作用をなす。この場合、基板３はそ
の下面中央域が基板収納トレイ１に対し、非接触である
ことから基板収納トレイ１との接触に起因する傷や汚れ
等の付着が有効に防止される。

【００２１】前記基板収納部２の内壁面に形成した段部
４は、該段部４に支持される基板３の一部が基板収納部
２よりはみ出すことがないように基板３の厚みより若干
深い位置に形成されている。

【００２２】前記段部４は、また、その幅Lが０．１ｍ
ｍ未満であると、基板３の支持が不安定となってしまう
恐れがある。従って、前記段部４は、その幅Ｌを０．１
ｍｍ以上としておくことが好ましく、基板３の磁気ヘッ
ド素子等が形成される領域での傷や汚れの付着を考慮す
れば、０．１ｍｍ〜２．０ｍｍの範囲としておくのがよ
い。

【００２３】更に、前記基板収納トレイ１は、その下面
で前記基板収納部２の外周位置に突起部５が設けられて
おり、該突起部５は基板３の上面外周部を押圧する作用
をなし、基板３を収納した基板収納トレイ１を上下に積
み重ねた際、下部に位置する基板収納トレイ１の基板収
納部２に収納された基板３は、その外周部が下部に位置
する基板収納トレイ１の段部４と、上部に位置する基板
収納トレイ１の突起部５とに挟まれて強固に固定され、
その結果、基板３に傷や汚れが付くのを有効に防止する
ことができ、同時に基板３の磁気ヘッド素子等が形成さ
れる上面中央域への基板収納トレイ１の接触がなく、基
板３の上面中央域に基板収納トレイ１の接触による傷や
汚れが付くのを有効に防止することができ、これによっ
て基板３に品質の安定した薄膜磁気ヘッド等を確実に製
作することが可能となる。

【００２４】なお、前記突起部５は、基板３と接する部
位にテーパ部５ａを設けておくと、該テーパ部５ａが前
記下部に位置する基板収納トレイ１に収納された基板３
の上面外周部の角部に当接し、基板３との接触領域を小
さくしつつ基板３を強固に押圧固定することができる。
従って、前記突起部５は基板３と接する部位に角度θが
１０°〜４５°のテーパ部５ａを形成しておくことが好
ましい。

【００２５】更に、前記基板収納トレイ１の外周部に
は、斜めに垂下するスカート部７が設けられており、該
スカート部７は基板収納トレイ１の強度を強くするとと
もに複数個の基板収納トレイ１を上下に積み重ねる際の
ガイドとして作用し、例えば上面外周部より外側に１°
〜２０゜程度の角度で広がるように、且つ基板収納部２
の下面より０．５ｍｍ〜５ｍｍ程度低い位置まで斜めに
垂下している。

【００２６】前記スカート部７には、更にその各辺に上
端から途中にかけて内側に窪む複数の長方形状の凹部８
が設けられており、該凹部８は前記スカート部７の剛性
を高めて基板収納トレイ１自体の強度を高いものにし、
これによって基板収納トレイ１に外力や衝撃あるいは荷
重が印加されたとしても、容易に変形することはなく、
基板収納トレイ１に収納されている基板３を外力より確
実に保護することが可能となる。

【００２７】前記凹部８は、例えば長さが１０ｍｍ、幅
が５ｍｍ、深さが１０ｍｍの長方形状の窪みが各辺に１
０〜１００ｍｍ間隔で、且つ図１に示すように基板収納
トレイ１の中心点に対して１８０°回転させた際に非対
称な位置となるように設けられており、基板収納部２に
基板３を収納した基板収納トレイ１を１８０°回転させ
て上下に積み重ねて基板梱包体となした際、上部に位置
する基板収納トレイ１の凹部８の下面が、下部に位置す
る基板収納トレイ１の上面に当接して上部に位置する基
板収納トレイ１及びこれに収納されている基板３の荷重
は、下部に位置する基板収納トレイ１の上面に作用する
こととなり、その結果、最下部に位置する基板収納トレ
イ１に収納されている基板３に対し、その上部に位置す
る基板収納トレイ１及びこれに収納されている基板３の
全荷重が突起部５を介して作用することはなく、最下部
の基板収納トレイ１に収納されている基板３に傷や汚れ
が付いたり、割れや欠け等が発生したりするのを有効に
防止することが可能となる。

【００２８】なお、前記凹部８の形状は、長方形状に限
定されるものではなく、略半円形状や略三角形状であっ
てもよく、また、凹部８の個数は、基板収納トレイ１の
大きさ、収納される基板の種類に応じて設けるもので、
各辺に複数個設けるものに限定されるものではなく、１
個であってもよい。

【００２９】次に前記基板収納トレイ１を用いた基板３
の収納について説明する。

【００３０】前記基板収納トレイ１による基板３の収納
は、先ず基板収納トレイ１の段部４に基板３の下面外周
部を当接させて収納し、次に、この基板収納トレイ１の
上部に他の基板収納トレイ１をその中心点に対して１８
０°回転させて積み重ね、上部に位置する基板収納トレ
イ１の突起部５で前記基板３の上面外周部を押圧するこ
とによって行われる。この場合、基板３はその外周部が
下部に位置する基板収納トレイ１の段部４と、上部に位
置する基板収納トレイ１の突起部５とに挟まれて強固に
固定されるため、基板３に該基板３の揺動に起因して傷
や汚れが付くのを有効に防止することができ、同時に基
板３の磁気ヘッド素子等が形成される上面中央域への基
板収納トレイ１の接触がなく、基板３の上面中央域に基
板収納トレイ１の接触による傷や汚れが付くのを有効に
防止することができ、これによって基板３に品質の安定
した薄膜磁気ヘッド等を確実に製作することが可能とな
る。

【００３１】また、外周部に設けたスカート部７の各辺
に上端から途中にかけて内側に窪む凹部８を上面の中心
点に対して１８０°回転させた際に非対称となる位置に
設けたことから基板収納部２に基板３を収納した基板収
納トレイ１を１８０°回転させて上下に多数積み重ねて
基板梱包体となした際、上部に位置する基板収納トレイ
１の凹部８の下面が、下部に位置する基板収納トレイ１
の上面に当接して上部に位置する基板収納トレイ１及び
これに収納されている基板３の荷重は下部に位置する基
板収納トレイ１の上面に作用することとなり、その結
果、最下部に位置する基板収納トレイ１に収納されてい
る基板３に対し、その上部に位置する基板収納トレイ１
及びこれに収納されている基板３の全荷重が突起部５を
介して作用することはなく、最下部の基板収納トレイ１
に収納されている基板３に傷や汚れが付いたり、割れや
欠け等が発生したりするのを有効に防止することが可能
となる。

【００３２】なお、前記凹部８は上面の中心点に対して
１８０°回転させた際に非対称となる位置に形成するも
のに限定されず、９０°回転させた際に非対称となる位
置に形成しておいてもよい。この場合、複数の基板収納
トレイ１を上下に積み重ねて、基板梱包体となる際、各
々の基板収納トレイ１は、９０°回転させて積み重ねる
こととなる。

【００３３】次に、本発明の他の実施形態を図面に基づ
いて説明する。

【００３４】図４は、本発明の基板収納トレイの他の実
施形態を示す上面図であり、図５（ａ），（ｂ）はそれ
ぞれ図４のＤ−Ｄ線、Ｅ−Ｅ線における断面図である。

【００３５】なお、図中、前述の実施形態と同一箇所に
は同一の符号が付してある。

【００３６】この基板収納トレイ１は、基板を収納する
基板収納部２、該基板収納部２の内壁面に備えられた段
部４、下面で前記基板収納部２の外周位置に設けられた
基板３を押圧する突起部５、外周部に斜めに垂下するス
カート部７及びスカート部７に設けられた深さの深い第
１凹部８ａ及び深さの浅い第２凹部８ｂとから構成され
ており、且つ前記第１凹部８ａ及び第２凹部８ｂは上面
の中心点に対して１８０°回転させた際に第１凹部８ａ
同士及び第２凹部８ｂ同士は非対称に、第１凹部８ａと
第２凹部８ｂとが対称となる位置に設けられている。

【００３７】前記第１凹部８ａ及び第２凹部８ｂは、例
えば第１凹部８ａは、長さが１５ｍｍ、幅が８ｍｍ、深
さが１８ｍｍ、第２凹部８ｂは、長さが１０ｍｍ、幅が
５ｍｍ、深さが１０ｍｍの長方形状を成し、基板収納ト
レイ１の大きさに応じて各辺に１０〜１００ｍｍ程度の
間隔で形成されている。

【００３８】なお、前記第１凹部８ａ及び第２凹部８ｂ
の形状は、長方形状に限定されるものではなく、略半円
形状や略三角形状であってもよく、また、第１凹部８ａ
及び第２凹部８ｂの個数は、基板収納トレイ１の大き
さ、収納される基板３の種類に応じて設けるもので、各
辺に複数個設けるものに限定されるものではなく、１個
であってもよい。

【００３９】前記基板収納トレイ１による基板３の収納
は、図５に示すように先ず基板収納トレイ１の段部４に
基板３の下面外周部を当接させて収納し、次に、この基
板収納トレイ１の上部に他の基板収納トレイ１をその中
心点に対して１８０°回転させて積み重ね、上部に位置
する基板収納トレイ１の突起部５で前記基板３の上面外
周部を押圧することによって行われる。この場合、基板
３はその外周部が下部に位置する基板収納トレイ１の段
部４と、上部に位置する基板収納トレイ１の突起部５と
に挟まれて強固に固定されるため基板３に該基板３の揺
動に起因して傷や汚れが付くのを有効に防止することが
でき、同時に基板３の磁気ヘッド素子等が形成される上
面中央域への基板収納トレイ１の接触がなく、基板３の
上面中央域に基板収納トレイ１の接触による傷や汚れが
付くのを有効に防止することができ、これによって基板
３に品質の安定した薄膜磁気ヘッド等を確実に製作する
ことが可能となる。

【００４０】また、外周部に設けたスカート部７の各辺
に上端から途中にかけて内側に窪む第１凹部８ａ同士及
び第２凹部８ｂを上面の中心点に対して１８０°回転さ
せた際に第１凹部８ａ同士及び第２凹部８ｂ同士は非対
称に、第１凹部８ａと第２凹部８ｂとが対称となる位置
に設けたことから基板収納部２に基板３を収納した基板
収納トレイ１を１８０°回転させて上下に積み重ねて基
板梱包体となした際、上部に位置する基板収納トレイ１
の第１凹部８ａの下面が、下部に位置する基板収納トレ
イ１の第２凹部８ｂの底面に当接して上部に位置する基
板収納トレイ１及びこれに収納されている基板３の荷重
は下部に位置する基板収納トレイ１の第２凹部８ｂに作
用することとなり、その結果、最下部に位置する基板収
納トレイ１に収納されている基板３に対し、その上部に
位置する基板収納トレイ１及びこれに収納されている基
板３の全荷重が突起部５を介して作用することはなく、
最下部の基板収納トレイ１に収納されている基板３に傷
や汚れが付いたり、割れや欠け等が発生したりするのを
有効に防止することが可能となる。

【００４１】なお、前記第１凹部８ａ、第２凹部８ｂ
は、上面の中心点に対して１８０°回転させた際に第１
凹部８ａ同士、第２凹部８ｂ同士は非対称となる位置
に、第１凹部８ａと第２凹部８ｂとが対象となる位置に
形成するものに限定されず、９０°回転させた際に第１
凹部８ａ同士、第２凹部８ｂ同士は非対称となる位置
に、第１凹部８ａと第２凹部８ｂとが対象となる位置に
形成してもよい。

【００４２】かくして、本発明の基板収納トレイ１及び
これを用いた基板梱包体によれば、基板収納トレイ１の
基板収納部２に収納される基板３に傷や汚れが付くこと
を有効に防止し、特にＡｌ₂Ｏ₃−ＴｉＣ系焼結体からな
る薄膜磁気ヘッド用基板の収納、梱包に好適に用いるこ
とができる。

【００４３】なお、本発明は上述の実施形態に限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれ
ば種々の変更は可能であり、薄膜磁気ヘッド用基板以外
にも、半導体装置を製造するためのシリコン等の半導体
基板や、ＳＯＳ基板等を製造するためのサファイア基板
等の収納、梱包にも使用することができ、また、薄膜磁
気ヘッド用基板のように様々な厚みのものが存在する基
板を収納する際は、その厚みに応じて凹部８の高さ等を
調整することで良好に基板を収納することができる。

【００４４】

【発明の効果】本発明の基板収納トレイによれば、上面
に基板を収納する基板収納部を、下面で前記基板収納部
の外周位置に押圧用の突起部を設けるとともに前記基板
収納部の内壁面に基板の下面外周部が当接する段部を形
成したことから、基板収納トレイに基板を収納した際、
基板はその外周部が下部に位置する基板収納トレイの段
部と、上部に位置する基板収納トレイの突起部とに挟ま
れ強固に固定されて基板に傷や汚れが付くのを有効に防
止することができ、同時に基板の磁気ヘッド素子等が形
成される上面中央域への基板収納トレイの接触がなく、
基板の上面中央域に基板収納トレイの接触による傷や汚
れが付くのを有効に防止することができ、これによって
基板に品質の安定した薄膜磁気ヘッド等を確実に製作す
ることが可能となる。

【００４５】また、本発明の基板収納トレイによれば、
外周部に設けたスカート部の各辺に上端から途中にかけ
て内側に窪む凹部を上面の中心点に対して９０°もしく
は１８０°回転させた際に非対称となる位置に設ける、
或いは上端から途中にかけて内側に窪む深さの深い第１
凹部及び深さの浅い第２凹部を上面の中心点に対して９
０°もしくは１８０°回転させた際に第１凹部同士及び
第２凹部同士は非対称に、第１凹部と第２凹部とが対称
となる位置に設けたことから、基板収納部に基板を収納
した基板収納トレイを９０°もしくは１８０°回転させ
て上下に多数積み重ねて基板梱包体となした際、上部に
位置する基板収納トレイの凹部の下面もしくは第１凹部
の下面が、下部に位置する基板収納トレイの上面もしく
は第２凹部の底面に当接して上部に位置する基板収納ト
レイ及びこれに収納されている基板の荷重は、下部に位
置する基板収納トレイの上面もしくは第２凹部に作用す
ることとなり、その結果、最下部に位置する基板収納ト
レイに収納されている基板に対し、その上部に位置する
基板収納トレイ及びこれに収納されている基板の全荷重
が突起部を介して作用することはなく、最下部の基板収
納トレイに収納されている基板に傷や汚れが付いたり、
割れや欠け等が発生したりするのを有効に防止すること
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板収納トレイの一実施形態を示す上
面図である。

【図２】（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ図１の切断
線Ａ−Ａ，Ｂ−Ｂ，Ｃ−Ｃ線における断面図である。

【図３】（ａ），（ｂ）は図２に示す基板収納トレイを
積み重ねた際の断面図である。

【図４】本発明の基板収納トレイの他の実施形態を示す
上面図である。

【図５】（ａ），（ｂ）はそれぞれ図４の切断線Ｄ−
Ｄ，Ｅ−Ｅ線における断面図であり、（ｃ）は同図
（ａ），（ｂ）の基板収納トレイを積み重ねた際の断面
図である。

【図６】（ａ）は従来の基板収納トレイの上面図であ
り、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線断面図及び同様の基板収
納トレイを積み重ねた断面図である。

【符号の説明】

１ ：基板収納トレイ ２，１２：基板収納部 ３，１３：基板 ４，１４：段部 ５，１５：突起部 ６ ：窪み ７，１７：スカート部 ８ ：凹部 ８ａ ：第１凹部 ８ｂ ：第２凹部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】上面に基板を収納する基板収納部を、下面
   で前記基板収納部の外周位置に押圧用の突起部を、外周
   部に斜めに垂下するスカート部を有する略四角形の基板
   収納トレイであって、前記基板収納部はその内壁面に基
   板の下面外周部が当接する段部を有し、且つ前記スカー
   ト部はその各辺に上端から途中にかけて内側に窪む凹部
   が上面の中心点に対して９０°もしくは１８０°回転さ
   せた際に非対称となる位置に設けられていることを特徴
   とする基板収納トレイ。
2. 【請求項２】上面に基板を収納する基板収納部を、下面
   で前記基板収納部の外周位置に押圧用の突起部を、外周
   部に斜めに垂下するスカート部を有する略四角形の基板
   収納トレイであって、前記基板収納部はその内壁面に基
   板の下面外周部が当接する段部を有し、且つ前記スカー
   ト部はその各辺に上端から途中にかけて内側に窪む深さ
   の深い第１凹部及び深さの浅い第２凹部が上面の中心点
   に対して９０°もしくは１８０°回転させた際に第１凹
   部同士及び第２凹部同士は非対称に、第１凹部と第２凹
   部とが対称となる位置に設けられていることを特徴とす
   る基板収納トレイ。
3. 【請求項３】請求項１記載の基板収納トレイを少なくと
   も２個互いに９０°もしくは１８０°回転させて積み重
   ね、下部に位置する基板収納トレイの基板収納部に基板
   の下面外周部を段部に当接させて収納するとともに、上
   部に位置する基板収納トレイの突起部で基板の上面を押
   圧し、且つ上部に位置する基板収納トレイのスカート部
   に設けた凹部の下面が、下部に位置する基板収納トレイ
   の上面に当接することを特徴とする基板梱包体。
4. 【請求項４】請求項２記載の基板収納トレイを少なくと
   も２個互いに９０°もしくは１８０°回転させて積み重
   ね、下部に位置する基板収納トレイの基板収納部に基板
   の下面外周部を段部に当接させて収納するとともに、上
   部に位置する基板収納トレイの突起部で基板の上面を押
   圧し、且つ上部に位置する基板収納トレイのスカート部
   に設けた第１凹部の下面が、下部に位置する基板収納ト
   レイの第２凹部の底面に当接することを特徴とする基板
   梱包体。