JPH03297705A - 平坦な物品を中間ラックを備えたカセット内に配置しまたは収納する装置 - Google Patents
平坦な物品を中間ラックを備えたカセット内に配置しまたは収納する装置Info
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- JPH03297705A JPH03297705A JP2409100A JP40910090A JPH03297705A JP H03297705 A JPH03297705 A JP H03297705A JP 2409100 A JP2409100 A JP 2409100A JP 40910090 A JP40910090 A JP 40910090A JP H03297705 A JPH03297705 A JP H03297705A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［０００１］
本発明の分野はカセット内に配置しまたはカセットから
取り出そうとする平坦な物品を取り扱う分野である。こ
れは、特に、シリコンウェーハがカセット内に配置され
、その後その他の生産のための加工操作をうけるために
カセットから取り出されるように操作される集積回路の
製造時にあてはまるものである。 ［０００２］
取り出そうとする平坦な物品を取り扱う分野である。こ
れは、特に、シリコンウェーハがカセット内に配置され
、その後その他の生産のための加工操作をうけるために
カセットから取り出されるように操作される集積回路の
製造時にあてはまるものである。 ［０００２］
シリコンウェーハを使用して集積回路を製造するために
、ウェーハが横方向に配置された収納カセットからの前
記ウェーハの制御および取扱いを行わなければならない
。各々のカセットは横方向支持部により構成された一連
のラックを有している。これらのラックは同一の寸法を
有する一連のウェーハを受は入れ、収納することができ
る。 ［０００３］
、ウェーハが横方向に配置された収納カセットからの前
記ウェーハの制御および取扱いを行わなければならない
。各々のカセットは横方向支持部により構成された一連
のラックを有している。これらのラックは同一の寸法を
有する一連のウェーハを受は入れ、収納することができ
る。 ［０００３］
カセットに対してウェーハをつかみ、そして所定位置に
もどすこれらの操作を行なうために、カセットから１個
のウェーハを取り出し、その後ウェーハをカセットにも
どすことができるグリップフィンガーにより本質的に構
成されたグリップ機構を使用することが知られている。 ２個の隣接したウェーハを隔離する高さ方向のスペース
が極めて限られており、ＪＳＥＭＩ−ＥＮＧＩＮＥＥＲ
ＩＮＧＪの規格ではほぼ５ｍｍであることから、前記グ
リップフィンガーの移動は非常に正確でなければならな
い。したがって、いかなるグリップ装置も、上側のウェ
ーハを引っ掻くことなく、取り出そうとするウェーハの
下に挿入可能でなければならない。グリップフィンガー
の高さ方向の位置決めは、フィンガーおよびそのサポー
トを垂直方向に移動する非常に正確で、しかも面倒な機
械的な装置により保証されている。また、グリップフィ
ンガーを固定し、そして正確な垂直方向の並進移動をカ
セットを移動する別の機械的な装置により行なうことが
できる。後者の場合には、カセット並進機構は、精度が
高いために、非常に高価である。 ［０００４］
もどすこれらの操作を行なうために、カセットから１個
のウェーハを取り出し、その後ウェーハをカセットにも
どすことができるグリップフィンガーにより本質的に構
成されたグリップ機構を使用することが知られている。 ２個の隣接したウェーハを隔離する高さ方向のスペース
が極めて限られており、ＪＳＥＭＩ−ＥＮＧＩＮＥＥＲ
ＩＮＧＪの規格ではほぼ５ｍｍであることから、前記グ
リップフィンガーの移動は非常に正確でなければならな
い。したがって、いかなるグリップ装置も、上側のウェ
ーハを引っ掻くことなく、取り出そうとするウェーハの
下に挿入可能でなければならない。グリップフィンガー
の高さ方向の位置決めは、フィンガーおよびそのサポー
トを垂直方向に移動する非常に正確で、しかも面倒な機
械的な装置により保証されている。また、グリップフィ
ンガーを固定し、そして正確な垂直方向の並進移動をカ
セットを移動する別の機械的な装置により行なうことが
できる。後者の場合には、カセット並進機構は、精度が
高いために、非常に高価である。 ［０００４］
本発明の第１の目的は、カセットに対してウェーハをつ
かみ、そして釈放する装置を提供することにあり、この
装置は非常に細長くなければならず、すなわち前記カセ
ットのラックの間になんら困難を伴なうことなく進入す
ることが可能でなければならない。そのうえ、この装置
の取扱い、すなわち、操作が容易であり、しかもそのコ
ストが前記のグリップ装置と比較して低くなければなら
”ない。 ［０００５］ 本発明の第２の目的は、カセット内の異なる段における
１個またはそれ以上のウェーハをつかむことと、カセッ
ト内の異なる段において同じ段でのウェーハの衝突を生
ずることなくその他のウェーハを配置することとを同時
に実施できるようにすることである。 ［０００６］ この目的のために、本発明の目的は、収納カセット内に
平行に収納され、そして明確に規定された数（Ｎ）を有
しカリ規定された間隙（Ｅ）と等しいかまたはそれより
も大きい第２支持部により構成されたラック上に配置さ
れた平坦な物品を配列する装置を１提供することにある
。 ［０００７］ 本発明によれば、この装置は所定の数（Ｎ）だけ相互に
隔置されかつ各々がグリップ端部において終端した同じ
数（Ｎ）の水平トラックを有するグリップ装置を備え、
該グリップ端部においては、カセットの対応したラック
に対して平坦な物品をつかみかつ釈放する装置が配置さ
れており、さらに、平坦な物品を一時的に収納するため
に収納ラックの第１の数（Ｎ）と等しいかまたはそれよ
りも大きい所定の第２の数（Ｍ）を有しかつ数（Ｎ）だ
け相互に隔置された中間カセットと、グリップ装置と中
間カセットとの間で少なくとも１個の平坦な物品を両方
の方向に転送可能にするためにグリップ装置と中間カセ
ットとの間に設けられた相対水平並進装置とを備えてお
り、前記中間カセットはグリップ装置上に配置された平
坦な物品を一時的に収納可能ならしめ、それによりグリ
ップ装置のラック上の物品と収納カセット内の対応した
ラック上に配置された平坦な物品との衝突が起こらない
ようにしである。 ［０００８］ 本発明による平坦な物品をつかみかつ釈放する装置の好
ましい構造は、トラックの可動部分を持ち上げることに
より平坦な物品をつかみ、そして該トラックの前記可動
部分を再び下降することにより平坦な物品を釈放するよ
うに構成されている。 ［０００９］ このグリップ装置の好ましい実施例によれば、該グリッ
プ装置の各々は変形可能なベローズにより構成され、該
ベローズは第１の下端部によりトラックに固定されかつ
第２の上端部により可動部分に固定されており、そして
前記ベローズは真空源と接続されている。 ［００１０］ 本発明の一つの特徴によれば、カセットの各々のラック
は二つの横方向の支持部により構成され、これらの横方
向の支持部の間には、グリップ装置の対応したトラック
を横方向の支持部に対して平行に並進させることにより
該トラックを該支持部に相互に嵌合可能にするための空
間が残されており、可動部分の上面はカセットの対応し
た段の横方向の支持部の上面よりも極めて僅かだけ下方
に配置されている。可動部分の垂直方向の行程は、可動
部分が上昇する間に中間カセットの横方向支持部上に配
置された平坦な物品を離脱させ、そして可動部分が再び
下降する間に平坦な物品を中間カセットの横方向支持部
上に配置するために十分な値に設定されなければならな
い。 ［００１１］ この装置は、その好ましい態様において、収納カセット
または中間カセット内に配置されまたはトラック上に配
置された任意のランダムな平坦な物品をつかみまたは所
定位置にもどすことができるように前記の物品をつかみ
かつ釈放する装置を相互に独立して作動させるための選
択制御装置により完成される。 ［００１２］ 本発明の主な実施例においては、中間カセット中へのグ
リップ装置の嵌合は、中間カセットが可動トラックに後
方から到達できるようにするために、グリップ装置のト
ラックの各々の後部に形成された凹部により行なわれる
。この場合には中間カセットを垂直方向に並進させる装
置が設けられており、それにより中間カセットおよびグ
リップ装置のそれぞれのラックを該垂直並進装置の移動
により合致させるようになっている。 ［００１３］ 本発明の構造的な変型実施例においては、中間カセット
中へのグリップ装置の嵌合がトラックの前側部分により
行なわ゛れ、該トラックの幅は収納カセットの横方向の
支持部の間の自由空間の幅および中間カセットの横方向
の支持部の間の自由空間の幅よりも小さく、それにより
これらの二つのカセットを同一方向の並進移動において
横切ることができるようにしている。この場合には、グ
リップ装置の垂直並進装置が設けられ、該グリップ装置
を移動することにより、中間カセットのラックとグリッ
プ装置のラックとを合致させるようになっている。 ［００１４］
かみ、そして釈放する装置を提供することにあり、この
装置は非常に細長くなければならず、すなわち前記カセ
ットのラックの間になんら困難を伴なうことなく進入す
ることが可能でなければならない。そのうえ、この装置
の取扱い、すなわち、操作が容易であり、しかもそのコ
ストが前記のグリップ装置と比較して低くなければなら
”ない。 ［０００５］ 本発明の第２の目的は、カセット内の異なる段における
１個またはそれ以上のウェーハをつかむことと、カセッ
ト内の異なる段において同じ段でのウェーハの衝突を生
ずることなくその他のウェーハを配置することとを同時
に実施できるようにすることである。 ［０００６］ この目的のために、本発明の目的は、収納カセット内に
平行に収納され、そして明確に規定された数（Ｎ）を有
しカリ規定された間隙（Ｅ）と等しいかまたはそれより
も大きい第２支持部により構成されたラック上に配置さ
れた平坦な物品を配列する装置を１提供することにある
。 ［０００７］ 本発明によれば、この装置は所定の数（Ｎ）だけ相互に
隔置されかつ各々がグリップ端部において終端した同じ
数（Ｎ）の水平トラックを有するグリップ装置を備え、
該グリップ端部においては、カセットの対応したラック
に対して平坦な物品をつかみかつ釈放する装置が配置さ
れており、さらに、平坦な物品を一時的に収納するため
に収納ラックの第１の数（Ｎ）と等しいかまたはそれよ
りも大きい所定の第２の数（Ｍ）を有しかつ数（Ｎ）だ
け相互に隔置された中間カセットと、グリップ装置と中
間カセットとの間で少なくとも１個の平坦な物品を両方
の方向に転送可能にするためにグリップ装置と中間カセ
ットとの間に設けられた相対水平並進装置とを備えてお
り、前記中間カセットはグリップ装置上に配置された平
坦な物品を一時的に収納可能ならしめ、それによりグリ
ップ装置のラック上の物品と収納カセット内の対応した
ラック上に配置された平坦な物品との衝突が起こらない
ようにしである。 ［０００８］ 本発明による平坦な物品をつかみかつ釈放する装置の好
ましい構造は、トラックの可動部分を持ち上げることに
より平坦な物品をつかみ、そして該トラックの前記可動
部分を再び下降することにより平坦な物品を釈放するよ
うに構成されている。 ［０００９］ このグリップ装置の好ましい実施例によれば、該グリッ
プ装置の各々は変形可能なベローズにより構成され、該
ベローズは第１の下端部によりトラックに固定されかつ
第２の上端部により可動部分に固定されており、そして
前記ベローズは真空源と接続されている。 ［００１０］ 本発明の一つの特徴によれば、カセットの各々のラック
は二つの横方向の支持部により構成され、これらの横方
向の支持部の間には、グリップ装置の対応したトラック
を横方向の支持部に対して平行に並進させることにより
該トラックを該支持部に相互に嵌合可能にするための空
間が残されており、可動部分の上面はカセットの対応し
た段の横方向の支持部の上面よりも極めて僅かだけ下方
に配置されている。可動部分の垂直方向の行程は、可動
部分が上昇する間に中間カセットの横方向支持部上に配
置された平坦な物品を離脱させ、そして可動部分が再び
下降する間に平坦な物品を中間カセットの横方向支持部
上に配置するために十分な値に設定されなければならな
い。 ［００１１］ この装置は、その好ましい態様において、収納カセット
または中間カセット内に配置されまたはトラック上に配
置された任意のランダムな平坦な物品をつかみまたは所
定位置にもどすことができるように前記の物品をつかみ
かつ釈放する装置を相互に独立して作動させるための選
択制御装置により完成される。 ［００１２］ 本発明の主な実施例においては、中間カセット中へのグ
リップ装置の嵌合は、中間カセットが可動トラックに後
方から到達できるようにするために、グリップ装置のト
ラックの各々の後部に形成された凹部により行なわれる
。この場合には中間カセットを垂直方向に並進させる装
置が設けられており、それにより中間カセットおよびグ
リップ装置のそれぞれのラックを該垂直並進装置の移動
により合致させるようになっている。 ［００１３］ 本発明の構造的な変型実施例においては、中間カセット
中へのグリップ装置の嵌合がトラックの前側部分により
行なわ゛れ、該トラックの幅は収納カセットの横方向の
支持部の間の自由空間の幅および中間カセットの横方向
の支持部の間の自由空間の幅よりも小さく、それにより
これらの二つのカセットを同一方向の並進移動において
横切ることができるようにしている。この場合には、グ
リップ装置の垂直並進装置が設けられ、該グリップ装置
を移動することにより、中間カセットのラックとグリッ
プ装置のラックとを合致させるようになっている。 ［００１４］
本発明をその非限定実施例および添付図面について以下
にさらに詳細に説明する。 本発明により解決された問題の一つは図１の（Ａ）に示
しである。この図の右側には、本発明による装置の第１
実施例を示しである。この図の左側には、平坦な物品（
２０）、例えば、マイクロエレクトロニクスにおいて集
積回路の製造に使用しようとするシリコンウェーハを収
納する収納カセット（１８）が設けられている。 ［００１５］ 本発明による装置は、平坦な物品（２０）、 （２１
）、 （２２）、 （２５）を収納カセット（１８
）内に配置し、すなわち、収納することができる。この
明細書において、「収納」という用語は、平坦な物品を
収納カセット（１８）内に配置し、しかも該物品を別の
収納カセット内に配置しまたは該物品の異なるラック上
への配置をも行うために、カセットから物品を取り出す
行為をも含む広い意味で使用している。 ［００１６］ 図１の（Ａ）から、もしも収納カセット（１８）内に、
本発明による装置の第２トラツク（２）および第５トラ
ツク（２）上にそれぞれ配置された第２の平坦な物品（
２２）および第５の平坦な物品（２５）を配置すること
が所望されれば、前記操作が不可能になることを推測す
ることができよう。このように、装置の第１トラツクお
よび収納カセット（１８）の第１トラツクは、両方共、
平坦な物品により占有されている。平坦な第２物品（２
２）および第５物品（２５）を収納カセット（１８）の
対応したラックに挿入しようと試みると、必然的に、本
発明の装置の第１の平坦な物品（２１）が収納カセット
（１８）の第１ラツク上に配置された平坦な物品に対し
て入れ子穴にはめ込まれることになる。 ［００１７］ 本発明によれば、中間カセット（６０）が利用される。 中間カセット（６０）はグリップ装置（５０）のトラッ
ク２の数と少なくとも等しい同数のトラック（６２）を
有している。中間カセット（６０）の各々の中間トラッ
ク（６２）はグリップ装置（５０）のトラック（２）と
対応するように配置されている。これらのトラック（２
）および（６２）の二つのグループは相互に非常に近接
して配置することができる。中間トラック（６２）の機
能は、グリップ装置（５０）が平坦な第２物品（２２）
および第５物品（２５）を収納カセット（１８）内のそ
れぞれのラック上に配置することができるように、１個
またはそれ以上の平坦な物品、そしてこの場合には、第
１ラツク上に配置された第１物品（２１）を−時的に受
は入れることである。 ［００１８］ 図１の（Ｂ）に示した操作は第１の平坦な物品（２１）
を対応した中間ラック上に配置することからなる。この
目的のために、そして収納カセット（１８）内での操作
を行うために、各々のトラック（２）は平坦な物品をつ
かみカリ釈放する装置を有している。 ［００１９］ この明細書に記載した構造においては、前記の物品をつ
かみかつ釈放する装置は、収納カセット（１８）内に配
置しようとする平坦な物品（２２）、 （２５）を持
ち上げた位置に維持すると共に、対応した中間ラック（
６２）上に配置しようとする平坦な物品（２１）を降ろ
すように作動する。前記の物品をつかみかつ釈放する装
置の構造の詳細は図２の（Ａ）および（Ｂ）について以
下に説明する［００２０１ 平坦な物品（２１）が中間カセット（６０）の対応した
中間トラック（６２）上にいったん配置されると、グリ
ップ装置（５０）が収納カセット（１８）内に係合する
ことができる。これは収納カセット（１８）内に配置し
ようとする２個の平坦な物品（２２）、 （２５）が
収納カセット（１８）のそれぞれの収納ラックの真上に
図１の（Ｃ）に示したように配置されるように行われる
。 【００２月 図１の（Ｄ）はそれぞれの収納ラックに配置された第２
の平坦な物品（２２）及び第５の平坦な物品（２５）を
示す。また、この図は、収納カセット（１８）内に以前
に収納された物品（２４）を持ち上げているときのグリ
ップ装置（５０）の第４トラツク用の物品をつかみかつ
釈放する装置を示す。 ［００２２］ 最後に、図１の（Ｅ）は、第４の平坦な物品（２４）と
共に収納カセット（１８）外に移動したグリップ装置（
５０）を示す。そのときには、第２の平坦な物品（２２
）および（２５）は収納カセット（１８）内に配置され
ている。 ［００２３］ 図２の（Ａ、）および（Ｂ）について述べると、物品を
つかみかつ釈放する装置はトラック（２）の可動部分（
４）を上昇しまたは下降する空気ベローズ（３０）の形
態に構成することができる。ベローズ（３０）は可動部
分（４）の下方のグリップ装置の各々のトラック（２）
の端部（６）に配置されている。ベローズ（３０）の下
端部（３２）はトラック（２）に固定されている。ベロ
ーズ（３０）の上端部（３４）は可動部分（４）に固定
されている。ベローズ（３０）の内部は、トラック（２
）内の第１パイプ（３６）により、図示していない下圧
装置と接続されている。 ［００２４］ この装置がこのような平坦な物品（２０）の真下に配置
されたときに、ベローズ（３０）の主室（２６）が空気
圧により加圧されると、ベローズ（３０）の上端部（３
４）が上昇して物品（２０）が持ち上げられる。ベロー
ズ（３０）内が周囲圧力にもどされると、ベローズ（３
０）の上端部（３４）が重力により再び下降され、その
結果、物品（２０）が再び下降される。物品（２０）の
下降がカセット（１８）の横方向の数（Ｍ）上で行われ
るときに、平坦な物品（２０）が前記の横方向の数（Ｍ
）上に配置される。 ［００２５］ トラック（２）の各々の可動部分（４）は可動部分（４
）の上面に接続したオリフィス（４０）を備えている。 オリフィス（４０）は中央の室（２８）および第２パイ
プ（３８）により図示していない真空装置と接続されて
いる。 ［００２６］ パイプ（３８）およびオリフィス（４０）内に真空が作
用するときに、可動部分（４）の上面には吸引現象が起
こり、可動部（４）の前記上面上に配置された平坦な物
品（２０）に対して保持力が作用する。その結果、この
装置の種々の操作中に、平坦な物品（２０）を固定する
ことができる。この構成は本発明の装置の操作にとって
不可欠ではない。 ［００２７］ 異なるラックの間の高さ方向の隙間が非常に小さい場合
にベローズ（３０）を使用可能にするために、ベローズ
（３０）をトラック（２）の厚さ以内に収納することが
できるように、最下位置においてベローズ（３０）を扁
平化可能にし、すなわち、折りたたみ可能にすることが
必要である。これにより、トラック（２）を収納カセッ
ト（１８）内に配置された２個の隣接した平坦な物品の
間に挿入することが可能になる。 ［００２８］ 図３および図４を参照すると、本発明による装置、特に
そのグリップ装置の効果および信頼性を理解することが
できよう。 ［００２９］ 平坦な物品（２０）が収納力セラ）（１８）に配置され
た状態を示しである。 これらの図の縮尺は使用される構造と同じ程度にしであ
る。トラック（２）を収納カセット（１８）内に挿入可
能にするために、トラック（２）の幅をカセット（１８
）の内壁部（１６）の間の間隙よりも小さくしであるこ
とが理解できよう。前記のトラック（２）の幅を横方向
の数（Ｍ）の端部により形成されたスペースよりも小さ
くして、それによりこれらのトラック（２）が適切な高
さ、すなわち、１対の横方向の数（Ｍ）と向き合うよう
に配置されていない場合ですらも、トラック（２）を収
納カセット（１８）中に挿入できるようにすることが好
ましい。 ［００３０１ しかしながら、収納カセット（１８）に対して１個また
はそれ以上の平坦な物品（２０）を装填しまたは該カセ
ットから抜き取るために、トラック（２）の上面がつか
もうとする物品（２０）を担持しまたは上に前記物品（
２０）を配置しようとする横方向の数（Ｍ）の上面によ
り規定された平面の真下に位置する平面内に位置するよ
うにトラック（２）を導入することが必要である。各々
のトラック（２）の可動部分（４）の垂直方向の移動（
Ｈ）は、物品を抜き取る場合に横方向の数（Ｍ）に対し
て各々の平坦な物品（２０）を離脱可能にしかつ物品を
カセット内に装填する場合にもとの位置にもどすために
適切な値でなければならない。 ［００３１］ 図４において、左向きの矢印は平坦な物品（２０）の下
方にトラック（２０）をつかみかつ釈放した状態を示し
、トラック（２）の可動部分（４）は休止位置にある。 この図の下方には、可動部分（４）を所定の高さ（Ｈ）
だけ垂直方向に移動することにより持ち上げる操作を示
しである。この所定の高さＨは可動部分（４）の上面と
横方向の数（Ｍ）の上面との間の当初の高さの差よりも
大きくなければならない。この図の下方には、平坦な物
品（２０）をカセットから抜き出すため特開平３−２９
７７０５ （１２）に、平坦な物品（２０）を支持した
トラック（２）を右方に横方向に移動させる状態を示し
である。 ［００３２］ 図５の右側には、本発明による装置の断面平面図を示し
てあり、そして図５の左側には、収納カセットの断面平
面図を示しである。収納カセットは各々が二つの横方向
の支持部（２，３）により構成されたラックを備えた状
態で示しである。 数（Ｍ）上には、平坦な物品（２０）、この場合にはシ
リコンウェーハが配置されている。その右側には、別の
平坦な物品（２１）がグリップ装置（５０）のトラック
（２）上に配置され、かつ前記トラック（２）の可動部
分（４）に対して心出しされている。中間カセット（６
０）のトラックがトラック（２）の凹部（６５）内に入
る２個の横方向のアーム（６６）を介してグリップ装置
（５０）内に挿入されている。 ［００３３］ 図５に示した形態は、グリップ装置（５０）および中間
カセット（６０）を相互に嵌合させる実施例を構成して
いるカミ前記形態に限定されるものではなく、その他の
形態も使用することができる。これらの形状に関する唯
一の制約条件は、平坦な物品を単に垂直方向に並進させ
ることによりトラック（２）の可動部分（４）または中
間カセット（６０）の２個の横方向のアーム（６６）ま
たはその他の部分上に支えることができるようにするこ
とである。また、トラック（２）のパイプ（３６）は任
意のランダムの形態とすることができ、その要諦は該パ
イプが可動部分（４）の下方に配置されたベローズ（４
０）の中央の凹部（４０）と連絡されることである。前
記パイプ（３６）は真空源（５３）と接続されている。 真空源（５３）はグリップ装置（５０）の二つの側壁部
（５１）のうちの−方に配置することができる。 ［００３４］ 平坦な物品（２１）の下方に配置された中間トラック（
６０）のトラックの部分には、同様に、オリフィス（６
１）を形成することができ、それにより本発明による装
置の移送中に物品（２１）に吸引力を作用させて物品（
２１）を所定位置に保持することができる。このオリフ
ィス（６１）はパイプ（８２）により別４２− の真空源（６３）と接続されている。真空源（６３）は
中間カセット（６０）の中央本体に配置することができ
る。 ［００３５］ 図６はグリップ装置（５０）を構成しうる形態を理解し
易くするために示したものである。第１トラツク（２）
上には、可動部分（４）を支持するベローズ（４０）を
示しである。可動部分（４）上には、第１の平坦な物品
（２１）を配置することができる。四部（６５）がトラ
ック（２）の中央部をグリップ装置（５０）の側壁部（
５１）、（５２）から隔離している。中間カセット（６
０）のトラックを凹部（６５）内に妨害されることなく
挿入することができるようにするために、これらの二つ
の側壁部（５１）および（５２）の間にスペース（５７
）を設けなければならないことが理解できよう。この装
置の剛性は側壁部（５１）（５２）により保証されてい
る。トラック（２）の幅は収納カセットの横方向の数（
Ｍ）の間の自由空間の幅よりも小さくしである。 ［００３６］ グリップ装置（５０）の側壁部（５１）、（５２）は真
空源と接続されたダク）（５３）、 （５６）を収納
できるようになっている。真空源はグリップ装置（５０
）の異なるラックの選択制御装置により制御される。こ
の選択制御装置はグリップ装置（５０）の内部に配置さ
れている。これにより、収納カセット（１８）または中
間カセット（６０）内に配置されまたはトラック（２）
上に配置された任意のランダムな物品をつかみまたは再
び降ろすために、個々のトラック（２）の可動部分（４
）を独立して作動させることができる。 ［００３７］ グリップ装置（５０）および中間カセット（６０）は、
図６に示したように、各々の場合に、好ましくは、（Ｎ
）段または（Ｍ）段の積重ねにより構成することができ
る。これにより、これらの二つの装置のモジュール構造
をより容易に理解することができよう。このモジュール
構造はこれらの要素の製造において重要な利点になる。 それ故に、各々の場合に、異なる段数を有する異なるグ
リップ装置または中間カセットを製造することが容易で
ある６［００３８］ 本発明による装置は、図７に例示したように中間カセッ
トに適用されまたは図８に例示したようにグリップ装置
に適用される垂直並進装置を備えることにより完成する
ことができる。 ［００３９］ したがって、収納カセット（１８）内の平坦な物品の位
置を変えるように、これらの物品を配列しまたは収納す
る間に該物品を操作することが必要になるかもしれない
。このような操作は１組のトランプ等のカードを混ぜる
操作になぞらえることができる。 ［００４０１ 図７の（Ａ）はこのような装置により解決することがで
きる問題を示す。この装置の操作中、グリップ装置（５
０）、さらに特定すると、その第１ラツク上に配置され
た第１物品（２１）が、収納カセット（１８）の第１ラ
ツク上に配置された第、１物品（２０）と衝突する。し
たがって、もしも平坦な物品（２２）を収納カセット（
１８）内に配置することが所望されれば、第１ラツク上
に配置された物品（２０）に物品（２０）を入れ子穴に
はめ込む作用が生ずることになろう［００４１］ 図７の（Ｂ）は第２トラツク（２）の可動部分により持
ち上げられた第２の平坦な物品（２２）と、中間カセッ
ト（６０）の第１ラツクの横方向のアーム（６６）上に
静止し続ける第１の平坦な物品（２１）を示す。そのと
き、グリップ装置（５０）が前進せしめられ、それによ
りグリップ装置（５０）内に中間カセット（６０）がも
はや挿入されなくなる。 ［００４２］ 中間カセット（６０）は２個のすべり軸受（６７）によ
り示した垂直並進装置に装着されている。それ故に、中
間カセット（６０）は、図７の（Ｃ）に例示したように
、所定量だけ再び下降させることができる。そのときに
、第１の平坦な物品（２１）をグリップ装置（５０）の
使用されていないラックと向き合うように配置すること
ができる。このグリップ装置（５０）の使用されていな
いラックの前方のカセット（１８）の対応したラック、
この場合には、第４ラツクには、物品が収納されていな
い。 ［００４３］ 操作の順序は、グリップ装置（５０）をカセット（６０
）と新しく相互に嵌合させることができるように、グリ
ップ装置（５０）を引っ込めることからなっている。図
７の（Ｄ）に示すように、この操作がいったん実施され
、そして第１物品（２１）がグリップ装置（５０）の第
４ラツクと同じレベルに配置されると、前記物品（２１
）は第４トラツク（２）の可動部分により持ち上げるこ
とができる。 ＼ ［００４４］ 図示していない最終の操作は、平坦な物品（２１）をカ
セット（’１８）の第４ラツク上に配置すると共に、第
２の平坦な物品（２２）をカセット（１８）の第２ラツ
ク内に配置させることからなっている。また、収納カセ
ット（１８）内に収納された平坦な第１物品、第３物品
および第５物品を取り出すことができる。 ［００４５］ 図８は垂直並進装置を使用した本発明による装置の第２
実施例を示す。この実施例によれば、中間カセット（８
０）はグリップ装置（７０）の前方に配置されている。 それ故に、グリップ装置（７０）が垂直並進装置と連結
されている。グリップ装置（７０）は垂直並進軸（６９
）上に摺動するように装着された支持アーム（７０）上
で水平方向に並進して摺動するように装着されている。 ［００４６］ この実施例においては、トラック（２）は中間カセット
（８０）を横切った後、収納カセット（１８）の内部に
挿入できるような十分な長さを有している。中間カセッ
ト（８０）は収納カセット（１８）の周囲のフレームと
類似の周囲フレームにより所定位置に維持された重ねら
れたラックにより構成されているカミ底部（１９）を備
えていない。 ［００４７］ 中間カセット（８０）は、図８に例示したように、収納
カセット（１８）の前方に恒久的に配置することができ
る。 ［００４８］ 図８の（Ａ）は収納カセット（１８）内に収納された平
坦な第１物品（２ｏ）第２物品（２０）、第１０物品（
２０）および第１１物品（２０）の取出しを示し、この
取出しは各々のトラック（２）の可動部分を担持したベ
ローズを持ち上げることにより行なわれる。 ［００４９］ 図８の（Ｂ）は第１０物品（７１）および第１１物品（
７２）を中間カセット（８０）内に配置する状態を示し
、そしてそれらのそれぞれのベローズが折りたたまれた
状態を例示している。それ故に、これらの第１０物品（
７１）および第１１物品（７２）を中間カセット（８０
）の対応したラック上に配置することができる。 ［００５０１ グリップ装置（７０）の引込み移動を続はカリグリップ
装置（７０）を下降させると、平坦な第１物品（２０）
および第２物品（２０）を中間カセット（８０）の第１
ラツクおよび第２ラツクと異なる使用されていないラッ
ク上に再び配置することが可能になる。そのときに、収
納カセット（１８）の第１ラツクおよび第２ラツクに向
かってグリップ装置を移動させることが自由になる。 ［００５１３ 図８の（Ｃ）に示したように、グリップ装置（７０）を
持ち上げることにより平坦な第１０物品（７１）および
第１１物品（７２）を収納カセット（１８）の第１ラツ
クおよび第２ラツクの前方に配置することが可能になる
。その後、図示していない移動により、前記第１０物品
（７１）および第１１物品（７２）を中間カセット（１
８）の二つの第１ラツク上に配置することが可能になる
。また二つの矢印で示したように、第１物品（２０）お
よび第２物品（２０）を収納カセット（１８）内の使用
されていない第１０ラツクおよび第１１ラツク上に再び
配置するために、同様な操作を行なうことができる。こ
の操作はグリップ装置（７０）を再び並進し、そして下
降することにより行なうことができる。 ［００５２］ 図８の（Ａ）には、グリップ装置（７０）の全体の寸法
を最小限にとどめるために、グリップ装置（７０）の外
部に制御装置（９０）を設けた状態を示してぃる。また
、制御装置（９０）は本発明による完成した装置を遠隔
制御することができる。 ［００５３］ 図示したすべての場合において、グリップ装置および中
間カセットのラックはこれらのラックに対して使用され
る収納カセットの中心間垂直距離と同じ中心間垂直距離
（Ｅ）を有していなければならない。 ［００５４］ 垂直並進装置を使用する変型実施例においては、中間カ
セットを真のバッファー収納装置として使用することが
可能である。この目的を達成するために、前記中間カセ
ットに適当な数（Ｍ）の補足的なラックを設けさえすれ
ばよい。垂直および水平並進装置は慣用の機械的な装置
である。 ［００５５］ 上記の構造は、平坦な物品の収納と、自由選択により前
記物品の取扱いとを容易にするために中間カセットを使
用することからなる本発明の詳細な説明するために記載
したものである。しかしながら、当業者は中間カセット
またはグリップ装置の形態を本発明による装置のこれら
の二つの主な組立体に帰因する機能を十分に考慮して変
更することができよう。
にさらに詳細に説明する。 本発明により解決された問題の一つは図１の（Ａ）に示
しである。この図の右側には、本発明による装置の第１
実施例を示しである。この図の左側には、平坦な物品（
２０）、例えば、マイクロエレクトロニクスにおいて集
積回路の製造に使用しようとするシリコンウェーハを収
納する収納カセット（１８）が設けられている。 ［００１５］ 本発明による装置は、平坦な物品（２０）、 （２１
）、 （２２）、 （２５）を収納カセット（１８
）内に配置し、すなわち、収納することができる。この
明細書において、「収納」という用語は、平坦な物品を
収納カセット（１８）内に配置し、しかも該物品を別の
収納カセット内に配置しまたは該物品の異なるラック上
への配置をも行うために、カセットから物品を取り出す
行為をも含む広い意味で使用している。 ［００１６］ 図１の（Ａ）から、もしも収納カセット（１８）内に、
本発明による装置の第２トラツク（２）および第５トラ
ツク（２）上にそれぞれ配置された第２の平坦な物品（
２２）および第５の平坦な物品（２５）を配置すること
が所望されれば、前記操作が不可能になることを推測す
ることができよう。このように、装置の第１トラツクお
よび収納カセット（１８）の第１トラツクは、両方共、
平坦な物品により占有されている。平坦な第２物品（２
２）および第５物品（２５）を収納カセット（１８）の
対応したラックに挿入しようと試みると、必然的に、本
発明の装置の第１の平坦な物品（２１）が収納カセット
（１８）の第１ラツク上に配置された平坦な物品に対し
て入れ子穴にはめ込まれることになる。 ［００１７］ 本発明によれば、中間カセット（６０）が利用される。 中間カセット（６０）はグリップ装置（５０）のトラッ
ク２の数と少なくとも等しい同数のトラック（６２）を
有している。中間カセット（６０）の各々の中間トラッ
ク（６２）はグリップ装置（５０）のトラック（２）と
対応するように配置されている。これらのトラック（２
）および（６２）の二つのグループは相互に非常に近接
して配置することができる。中間トラック（６２）の機
能は、グリップ装置（５０）が平坦な第２物品（２２）
および第５物品（２５）を収納カセット（１８）内のそ
れぞれのラック上に配置することができるように、１個
またはそれ以上の平坦な物品、そしてこの場合には、第
１ラツク上に配置された第１物品（２１）を−時的に受
は入れることである。 ［００１８］ 図１の（Ｂ）に示した操作は第１の平坦な物品（２１）
を対応した中間ラック上に配置することからなる。この
目的のために、そして収納カセット（１８）内での操作
を行うために、各々のトラック（２）は平坦な物品をつ
かみカリ釈放する装置を有している。 ［００１９］ この明細書に記載した構造においては、前記の物品をつ
かみかつ釈放する装置は、収納カセット（１８）内に配
置しようとする平坦な物品（２２）、 （２５）を持
ち上げた位置に維持すると共に、対応した中間ラック（
６２）上に配置しようとする平坦な物品（２１）を降ろ
すように作動する。前記の物品をつかみかつ釈放する装
置の構造の詳細は図２の（Ａ）および（Ｂ）について以
下に説明する［００２０１ 平坦な物品（２１）が中間カセット（６０）の対応した
中間トラック（６２）上にいったん配置されると、グリ
ップ装置（５０）が収納カセット（１８）内に係合する
ことができる。これは収納カセット（１８）内に配置し
ようとする２個の平坦な物品（２２）、 （２５）が
収納カセット（１８）のそれぞれの収納ラックの真上に
図１の（Ｃ）に示したように配置されるように行われる
。 【００２月 図１の（Ｄ）はそれぞれの収納ラックに配置された第２
の平坦な物品（２２）及び第５の平坦な物品（２５）を
示す。また、この図は、収納カセット（１８）内に以前
に収納された物品（２４）を持ち上げているときのグリ
ップ装置（５０）の第４トラツク用の物品をつかみかつ
釈放する装置を示す。 ［００２２］ 最後に、図１の（Ｅ）は、第４の平坦な物品（２４）と
共に収納カセット（１８）外に移動したグリップ装置（
５０）を示す。そのときには、第２の平坦な物品（２２
）および（２５）は収納カセット（１８）内に配置され
ている。 ［００２３］ 図２の（Ａ、）および（Ｂ）について述べると、物品を
つかみかつ釈放する装置はトラック（２）の可動部分（
４）を上昇しまたは下降する空気ベローズ（３０）の形
態に構成することができる。ベローズ（３０）は可動部
分（４）の下方のグリップ装置の各々のトラック（２）
の端部（６）に配置されている。ベローズ（３０）の下
端部（３２）はトラック（２）に固定されている。ベロ
ーズ（３０）の上端部（３４）は可動部分（４）に固定
されている。ベローズ（３０）の内部は、トラック（２
）内の第１パイプ（３６）により、図示していない下圧
装置と接続されている。 ［００２４］ この装置がこのような平坦な物品（２０）の真下に配置
されたときに、ベローズ（３０）の主室（２６）が空気
圧により加圧されると、ベローズ（３０）の上端部（３
４）が上昇して物品（２０）が持ち上げられる。ベロー
ズ（３０）内が周囲圧力にもどされると、ベローズ（３
０）の上端部（３４）が重力により再び下降され、その
結果、物品（２０）が再び下降される。物品（２０）の
下降がカセット（１８）の横方向の数（Ｍ）上で行われ
るときに、平坦な物品（２０）が前記の横方向の数（Ｍ
）上に配置される。 ［００２５］ トラック（２）の各々の可動部分（４）は可動部分（４
）の上面に接続したオリフィス（４０）を備えている。 オリフィス（４０）は中央の室（２８）および第２パイ
プ（３８）により図示していない真空装置と接続されて
いる。 ［００２６］ パイプ（３８）およびオリフィス（４０）内に真空が作
用するときに、可動部分（４）の上面には吸引現象が起
こり、可動部（４）の前記上面上に配置された平坦な物
品（２０）に対して保持力が作用する。その結果、この
装置の種々の操作中に、平坦な物品（２０）を固定する
ことができる。この構成は本発明の装置の操作にとって
不可欠ではない。 ［００２７］ 異なるラックの間の高さ方向の隙間が非常に小さい場合
にベローズ（３０）を使用可能にするために、ベローズ
（３０）をトラック（２）の厚さ以内に収納することが
できるように、最下位置においてベローズ（３０）を扁
平化可能にし、すなわち、折りたたみ可能にすることが
必要である。これにより、トラック（２）を収納カセッ
ト（１８）内に配置された２個の隣接した平坦な物品の
間に挿入することが可能になる。 ［００２８］ 図３および図４を参照すると、本発明による装置、特に
そのグリップ装置の効果および信頼性を理解することが
できよう。 ［００２９］ 平坦な物品（２０）が収納力セラ）（１８）に配置され
た状態を示しである。 これらの図の縮尺は使用される構造と同じ程度にしであ
る。トラック（２）を収納カセット（１８）内に挿入可
能にするために、トラック（２）の幅をカセット（１８
）の内壁部（１６）の間の間隙よりも小さくしであるこ
とが理解できよう。前記のトラック（２）の幅を横方向
の数（Ｍ）の端部により形成されたスペースよりも小さ
くして、それによりこれらのトラック（２）が適切な高
さ、すなわち、１対の横方向の数（Ｍ）と向き合うよう
に配置されていない場合ですらも、トラック（２）を収
納カセット（１８）中に挿入できるようにすることが好
ましい。 ［００３０１ しかしながら、収納カセット（１８）に対して１個また
はそれ以上の平坦な物品（２０）を装填しまたは該カセ
ットから抜き取るために、トラック（２）の上面がつか
もうとする物品（２０）を担持しまたは上に前記物品（
２０）を配置しようとする横方向の数（Ｍ）の上面によ
り規定された平面の真下に位置する平面内に位置するよ
うにトラック（２）を導入することが必要である。各々
のトラック（２）の可動部分（４）の垂直方向の移動（
Ｈ）は、物品を抜き取る場合に横方向の数（Ｍ）に対し
て各々の平坦な物品（２０）を離脱可能にしかつ物品を
カセット内に装填する場合にもとの位置にもどすために
適切な値でなければならない。 ［００３１］ 図４において、左向きの矢印は平坦な物品（２０）の下
方にトラック（２０）をつかみかつ釈放した状態を示し
、トラック（２）の可動部分（４）は休止位置にある。 この図の下方には、可動部分（４）を所定の高さ（Ｈ）
だけ垂直方向に移動することにより持ち上げる操作を示
しである。この所定の高さＨは可動部分（４）の上面と
横方向の数（Ｍ）の上面との間の当初の高さの差よりも
大きくなければならない。この図の下方には、平坦な物
品（２０）をカセットから抜き出すため特開平３−２９
７７０５ （１２）に、平坦な物品（２０）を支持した
トラック（２）を右方に横方向に移動させる状態を示し
である。 ［００３２］ 図５の右側には、本発明による装置の断面平面図を示し
てあり、そして図５の左側には、収納カセットの断面平
面図を示しである。収納カセットは各々が二つの横方向
の支持部（２，３）により構成されたラックを備えた状
態で示しである。 数（Ｍ）上には、平坦な物品（２０）、この場合にはシ
リコンウェーハが配置されている。その右側には、別の
平坦な物品（２１）がグリップ装置（５０）のトラック
（２）上に配置され、かつ前記トラック（２）の可動部
分（４）に対して心出しされている。中間カセット（６
０）のトラックがトラック（２）の凹部（６５）内に入
る２個の横方向のアーム（６６）を介してグリップ装置
（５０）内に挿入されている。 ［００３３］ 図５に示した形態は、グリップ装置（５０）および中間
カセット（６０）を相互に嵌合させる実施例を構成して
いるカミ前記形態に限定されるものではなく、その他の
形態も使用することができる。これらの形状に関する唯
一の制約条件は、平坦な物品を単に垂直方向に並進させ
ることによりトラック（２）の可動部分（４）または中
間カセット（６０）の２個の横方向のアーム（６６）ま
たはその他の部分上に支えることができるようにするこ
とである。また、トラック（２）のパイプ（３６）は任
意のランダムの形態とすることができ、その要諦は該パ
イプが可動部分（４）の下方に配置されたベローズ（４
０）の中央の凹部（４０）と連絡されることである。前
記パイプ（３６）は真空源（５３）と接続されている。 真空源（５３）はグリップ装置（５０）の二つの側壁部
（５１）のうちの−方に配置することができる。 ［００３４］ 平坦な物品（２１）の下方に配置された中間トラック（
６０）のトラックの部分には、同様に、オリフィス（６
１）を形成することができ、それにより本発明による装
置の移送中に物品（２１）に吸引力を作用させて物品（
２１）を所定位置に保持することができる。このオリフ
ィス（６１）はパイプ（８２）により別４２− の真空源（６３）と接続されている。真空源（６３）は
中間カセット（６０）の中央本体に配置することができ
る。 ［００３５］ 図６はグリップ装置（５０）を構成しうる形態を理解し
易くするために示したものである。第１トラツク（２）
上には、可動部分（４）を支持するベローズ（４０）を
示しである。可動部分（４）上には、第１の平坦な物品
（２１）を配置することができる。四部（６５）がトラ
ック（２）の中央部をグリップ装置（５０）の側壁部（
５１）、（５２）から隔離している。中間カセット（６
０）のトラックを凹部（６５）内に妨害されることなく
挿入することができるようにするために、これらの二つ
の側壁部（５１）および（５２）の間にスペース（５７
）を設けなければならないことが理解できよう。この装
置の剛性は側壁部（５１）（５２）により保証されてい
る。トラック（２）の幅は収納カセットの横方向の数（
Ｍ）の間の自由空間の幅よりも小さくしである。 ［００３６］ グリップ装置（５０）の側壁部（５１）、（５２）は真
空源と接続されたダク）（５３）、 （５６）を収納
できるようになっている。真空源はグリップ装置（５０
）の異なるラックの選択制御装置により制御される。こ
の選択制御装置はグリップ装置（５０）の内部に配置さ
れている。これにより、収納カセット（１８）または中
間カセット（６０）内に配置されまたはトラック（２）
上に配置された任意のランダムな物品をつかみまたは再
び降ろすために、個々のトラック（２）の可動部分（４
）を独立して作動させることができる。 ［００３７］ グリップ装置（５０）および中間カセット（６０）は、
図６に示したように、各々の場合に、好ましくは、（Ｎ
）段または（Ｍ）段の積重ねにより構成することができ
る。これにより、これらの二つの装置のモジュール構造
をより容易に理解することができよう。このモジュール
構造はこれらの要素の製造において重要な利点になる。 それ故に、各々の場合に、異なる段数を有する異なるグ
リップ装置または中間カセットを製造することが容易で
ある６［００３８］ 本発明による装置は、図７に例示したように中間カセッ
トに適用されまたは図８に例示したようにグリップ装置
に適用される垂直並進装置を備えることにより完成する
ことができる。 ［００３９］ したがって、収納カセット（１８）内の平坦な物品の位
置を変えるように、これらの物品を配列しまたは収納す
る間に該物品を操作することが必要になるかもしれない
。このような操作は１組のトランプ等のカードを混ぜる
操作になぞらえることができる。 ［００４０１ 図７の（Ａ）はこのような装置により解決することがで
きる問題を示す。この装置の操作中、グリップ装置（５
０）、さらに特定すると、その第１ラツク上に配置され
た第１物品（２１）が、収納カセット（１８）の第１ラ
ツク上に配置された第、１物品（２０）と衝突する。し
たがって、もしも平坦な物品（２２）を収納カセット（
１８）内に配置することが所望されれば、第１ラツク上
に配置された物品（２０）に物品（２０）を入れ子穴に
はめ込む作用が生ずることになろう［００４１］ 図７の（Ｂ）は第２トラツク（２）の可動部分により持
ち上げられた第２の平坦な物品（２２）と、中間カセッ
ト（６０）の第１ラツクの横方向のアーム（６６）上に
静止し続ける第１の平坦な物品（２１）を示す。そのと
き、グリップ装置（５０）が前進せしめられ、それによ
りグリップ装置（５０）内に中間カセット（６０）がも
はや挿入されなくなる。 ［００４２］ 中間カセット（６０）は２個のすべり軸受（６７）によ
り示した垂直並進装置に装着されている。それ故に、中
間カセット（６０）は、図７の（Ｃ）に例示したように
、所定量だけ再び下降させることができる。そのときに
、第１の平坦な物品（２１）をグリップ装置（５０）の
使用されていないラックと向き合うように配置すること
ができる。このグリップ装置（５０）の使用されていな
いラックの前方のカセット（１８）の対応したラック、
この場合には、第４ラツクには、物品が収納されていな
い。 ［００４３］ 操作の順序は、グリップ装置（５０）をカセット（６０
）と新しく相互に嵌合させることができるように、グリ
ップ装置（５０）を引っ込めることからなっている。図
７の（Ｄ）に示すように、この操作がいったん実施され
、そして第１物品（２１）がグリップ装置（５０）の第
４ラツクと同じレベルに配置されると、前記物品（２１
）は第４トラツク（２）の可動部分により持ち上げるこ
とができる。 ＼ ［００４４］ 図示していない最終の操作は、平坦な物品（２１）をカ
セット（’１８）の第４ラツク上に配置すると共に、第
２の平坦な物品（２２）をカセット（１８）の第２ラツ
ク内に配置させることからなっている。また、収納カセ
ット（１８）内に収納された平坦な第１物品、第３物品
および第５物品を取り出すことができる。 ［００４５］ 図８は垂直並進装置を使用した本発明による装置の第２
実施例を示す。この実施例によれば、中間カセット（８
０）はグリップ装置（７０）の前方に配置されている。 それ故に、グリップ装置（７０）が垂直並進装置と連結
されている。グリップ装置（７０）は垂直並進軸（６９
）上に摺動するように装着された支持アーム（７０）上
で水平方向に並進して摺動するように装着されている。 ［００４６］ この実施例においては、トラック（２）は中間カセット
（８０）を横切った後、収納カセット（１８）の内部に
挿入できるような十分な長さを有している。中間カセッ
ト（８０）は収納カセット（１８）の周囲のフレームと
類似の周囲フレームにより所定位置に維持された重ねら
れたラックにより構成されているカミ底部（１９）を備
えていない。 ［００４７］ 中間カセット（８０）は、図８に例示したように、収納
カセット（１８）の前方に恒久的に配置することができ
る。 ［００４８］ 図８の（Ａ）は収納カセット（１８）内に収納された平
坦な第１物品（２ｏ）第２物品（２０）、第１０物品（
２０）および第１１物品（２０）の取出しを示し、この
取出しは各々のトラック（２）の可動部分を担持したベ
ローズを持ち上げることにより行なわれる。 ［００４９］ 図８の（Ｂ）は第１０物品（７１）および第１１物品（
７２）を中間カセット（８０）内に配置する状態を示し
、そしてそれらのそれぞれのベローズが折りたたまれた
状態を例示している。それ故に、これらの第１０物品（
７１）および第１１物品（７２）を中間カセット（８０
）の対応したラック上に配置することができる。 ［００５０１ グリップ装置（７０）の引込み移動を続はカリグリップ
装置（７０）を下降させると、平坦な第１物品（２０）
および第２物品（２０）を中間カセット（８０）の第１
ラツクおよび第２ラツクと異なる使用されていないラッ
ク上に再び配置することが可能になる。そのときに、収
納カセット（１８）の第１ラツクおよび第２ラツクに向
かってグリップ装置を移動させることが自由になる。 ［００５１３ 図８の（Ｃ）に示したように、グリップ装置（７０）を
持ち上げることにより平坦な第１０物品（７１）および
第１１物品（７２）を収納カセット（１８）の第１ラツ
クおよび第２ラツクの前方に配置することが可能になる
。その後、図示していない移動により、前記第１０物品
（７１）および第１１物品（７２）を中間カセット（１
８）の二つの第１ラツク上に配置することが可能になる
。また二つの矢印で示したように、第１物品（２０）お
よび第２物品（２０）を収納カセット（１８）内の使用
されていない第１０ラツクおよび第１１ラツク上に再び
配置するために、同様な操作を行なうことができる。こ
の操作はグリップ装置（７０）を再び並進し、そして下
降することにより行なうことができる。 ［００５２］ 図８の（Ａ）には、グリップ装置（７０）の全体の寸法
を最小限にとどめるために、グリップ装置（７０）の外
部に制御装置（９０）を設けた状態を示してぃる。また
、制御装置（９０）は本発明による完成した装置を遠隔
制御することができる。 ［００５３］ 図示したすべての場合において、グリップ装置および中
間カセットのラックはこれらのラックに対して使用され
る収納カセットの中心間垂直距離と同じ中心間垂直距離
（Ｅ）を有していなければならない。 ［００５４］ 垂直並進装置を使用する変型実施例においては、中間カ
セットを真のバッファー収納装置として使用することが
可能である。この目的を達成するために、前記中間カセ
ットに適当な数（Ｍ）の補足的なラックを設けさえすれ
ばよい。垂直および水平並進装置は慣用の機械的な装置
である。 ［００５５］ 上記の構造は、平坦な物品の収納と、自由選択により前
記物品の取扱いとを容易にするために中間カセットを使
用することからなる本発明の詳細な説明するために記載
したものである。しかしながら、当業者は中間カセット
またはグリップ装置の形態を本発明による装置のこれら
の二つの主な組立体に帰因する機能を十分に考慮して変
更することができよう。
【図１】
本発明による装置の操作を示した図。
【図２】
本発明による装置に使用されかつグリップ装置を備えた
トラックの端部の側面図。
トラックの端部の側面図。
【図３】
平坦な物品が収納されかつ間に本発明による装置が挿入
された収納カセットの正面断面図。
された収納カセットの正面断面図。
【図４】
本発明による装置を使用して収納カセット内の平坦な物
品をつかむ三つの段階を示した側面断面図。
品をつかむ三つの段階を示した側面断面図。
【図５】
収納カセットと向き合って配置された本発明による第１
実施例の斜視図。
実施例の斜視図。
【図６】
本発明による装置の斜視図。
【図７】
改良を施した本発明による装置の操作および使用方法を
示した図。
示した図。
【図８】
図７に例示した原理に適応した本発明による装置の構造
的な変型実施例の側面図。
的な変型実施例の側面図。
２ トラック
４ 可動部分
６ グリップ端部
１８ 収納カセット
２０ 物品
２１ 物品
２２ 物品
２４ 物品
２５ 物品
２３ 横方向支持部
３０ ベローズ
３２ 第１端部
３２ 第２端部
５０ グリップ装置
６０ 中間カセット
６９ 垂直並進軸
７０ グリップ装置
８０ 中間カセット
９０、選択制御装置
Ｎ
第１の数
第２の数
図面
【図３】
【図４】
【図６】
【図７】
【図８】
Claims (10)
- 【請求項１】平坦な物品（２０）を収納カセット（１８
）内に配置しまたは収納する装置であって、前記物品が
相互に平行に収納され、所定数（Ｎ）のラックを備えか
つ所定の間隔（Ｅ）だけ相互に隔置された横方向の支持
部（２３）上に配置されるような前記装置において、所
定の同じ間隔（Ｅ）だけ相互に隔置されかつ各々がグリ
ップ端部（６）において終端した同じ数（Ｎ）の水平ト
ラック（２）を有するグリップ装置（５０，７０）を備
え、該グリップ端部においては、収納カセット（１８）
の対応したラックに対して平坦な物品（２０）をつかみ
かつ釈放する装置が配置されており、さらに、平坦な物
品（２０，２１，２２，２５）を一時的に受け入れるた
めに収納カセット（１８）のラックの第１の数（Ｎ）と
等しいかまたはそれよりも大きい第２の数（Ｍ）を有し
かつ前記間隔（Ｅ）だけ相互に隔置された中間カセット
（６０，８０）と、グリップ装置（５０，７０）と中間
カセット（６０，８０）との間で少なくとも１個の平坦
な物品（２０）を両方の方向に転送可能にするためにグ
リップ装置（５０，７０）と中間カセット（６０，８０
）の間に設けられた相対水平並進装置とを備えたことを
特徴とする前記装置。 - 【請求項２】平坦な物品（２０）をつかみかつ釈放する
装置が対応したトラック（２）の可動部分（４）を持ち
上げる作用をなし、物品（２０）の釈放がトラック（２
）の同じ可動部分（４）を再び下降させることにより行
なわれることを特徴とする請求項１記載の装置。 - 【請求項３】グリップ装置（５０，７０）の各々が変形
可能なベローズ（３０）により構成され、該ベローズ（
３０）が第１下端部（３２）によりトラック（２）に固
定されかつ第２上端部（３４）により可動部分（４）に
固定されたかつ真空源（５１）と接続されたことを特徴
とする請求項２記載の装置。 - 【請求項４】カセット（１８）の各々のラックが二つの
横方向の支持部（２３）により構成され、これらの横方
向の支持部（２３）の間には、グリップ装置（５０，７
０）の対応したトラックを横方向の支持部（２３）に平
行に並進させることにより該トラックを該支持部に相互
に嵌合可能にするための空間が残されており、可動部分
（４）の上面がカセット（１８）の対応した段の横方向
の支持部（２３）の上面よりも極めて僅かだけ下方に配
置され、可動部分（４）の垂直方向の行程（Ｈ）が該可
動部分が上昇する間に中間カセット（６０，８０）の横
方向の支持部上に配置された平坦な物品（２０）の離脱
を生じ、そして可動部分（４）が再び下降する間に平坦
な物品（２０）を中間カセット（６０，８０）の横方向
の支持部上に配置するために十分な値に設定されたこと
を特徴とする請求項２記載の装置。 - 【請求項５】収納カセット（１８）または中間カセット
（６０，８０）内に配置されまたはグリップ装置（５０
，７０）のトラック（２）上に配置された任意のランダ
ムな平坦な物品（２０）をつかみまたは降ろすために前
記の物品をつかみかつ釈放する装置を相互に独立して作
動させるための選択制御装置（９０）を備えたことを特
徴とする請求項１記載の装置。 - 【請求項６】中間カセット（８０）中へのグリップ装置
（７０）の嵌合がトラック（２）の前側部分により行な
われ、トラック（２）の幅を収納カセット（１８）およ
び中間カセット（８０）のそれぞれの横方向の支持部の
間の自由空間の幅よりも小さくして、それにより前記の
二つのカセット（１８）および（８０）を同一方向の並
進移動において横切ることができるようにしたことを特
徴とする請求項４記載の装置。 - 【請求項７】グリップ装置（７０）の垂直並進装置が中
間カセット（８０）のラックとグリップ装置（７０）の
ラックとをグリップ装置の移動により合致させる作用を
することを特徴とする請求項６記載の装置。 - 【請求項８】中間カセット（６０）をグリップ装置（５
０）内に該グリップ装置の後部により可動部分（４）ま
で嵌合可能にするために、中間カセット（６０）中への
グリップ装置（５０）の嵌合がグリップ装置（５０）の
トラック（２）の各々の後部に形成された凹部（６５）
を介して行なわれることを特徴とする請求項４記載の装
置。 - 【請求項９】中間カセット（６０）の垂直並進装置が中
間カセット（６０）およびグリップ装置（５０）のそれ
ぞれのラックを移動により合致させる作用をすることを
特徴とする請求項８記載の装置。 - 【請求項１０】バッファー収納装置を構成するために、
中間カセット（６０）のラックの第２の数（Ｍ）をグリ
ップ装置（５０）のトラック（２）の第１の数（Ｎ）よ
りも大きくしたことを特徴とする請求項９記載の装置。
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