JPH03218473A - 表示パネル用プローブ - Google Patents
表示パネル用プローブInfo
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- JPH03218473A JPH03218473A JP1416990A JP1416990A JPH03218473A JP H03218473 A JPH03218473 A JP H03218473A JP 1416990 A JP1416990 A JP 1416990A JP 1416990 A JP1416990 A JP 1416990A JP H03218473 A JPH03218473 A JP H03218473A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、表示パネル用プローブに関し、例えば液晶
表示パネル又はそれを構成するガラス基板の試験に用い
られるものに利用して有効な技術に関するものである。
表示パネル又はそれを構成するガラス基板の試験に用い
られるものに利用して有効な技術に関するものである。
液晶パネルの試験に用いられるプローブボードの例とし
て、例えば特開昭63−173971号公報がある。こ
の公報に開示されるでいるプローブボードは、ゴムに金
を混入してちりばめて導電部分を持たせ、それをガラス
基板の電極へ接触させるプロープとして用いるものであ
る。
て、例えば特開昭63−173971号公報がある。こ
の公報に開示されるでいるプローブボードは、ゴムに金
を混入してちりばめて導電部分を持たせ、それをガラス
基板の電極へ接触させるプロープとして用いるものであ
る。
上記構成のプローブボードでは、ゴムに金を混入させる
必要があり、その製造に格別の技術ないし装置を必要と
しその分コストが高くなるという問題を有する。また、
その電極の接触面積が広くなるため、単位面積当たりの
接触圧が小さくなる。
必要があり、その製造に格別の技術ないし装置を必要と
しその分コストが高くなるという問題を有する。また、
その電極の接触面積が広くなるため、単位面積当たりの
接触圧が小さくなる。
このように接触圧が小さくなると、上記プローブ電極又
は被試験液晶パネルの電極の表面における絶縁性のゴミ
や酸化膜等により安定した電気的接触が得られないとい
う問題が存在する.この発明の目的は、簡単な構成で安
定した電タ的接触を得ることのできる基板用プローバを
提{Jlすることにある. この発明の前記ならびにそのほかの目的と新矧な特徴は
、本明細書の記述および添付図面からヴらかになるであ
ろう。
は被試験液晶パネルの電極の表面における絶縁性のゴミ
や酸化膜等により安定した電気的接触が得られないとい
う問題が存在する.この発明の目的は、簡単な構成で安
定した電タ的接触を得ることのできる基板用プローバを
提{Jlすることにある. この発明の前記ならびにそのほかの目的と新矧な特徴は
、本明細書の記述および添付図面からヴらかになるであ
ろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りであるすなわち、適度
の硬さと柔軟性を持つフィルムベースの表面に測定すべ
き電極のピッチに合わせて配線を形成し、それをプロー
ブとして用いるようにする. 〔作 用〕 上記した手段にれば、タブ(TAB)技術を利用するこ
とにより、簡単な構成により良好な電気的接触が可能な
多数からなるプローブを得ることができる. 〔実施例〕 第1図には、この発明に係る表示パネル用プロ一プの一
実施例の要部斜視図が示され、第2図にはその概略断面
図が示されている。
を簡単に説明すれば、下記の通りであるすなわち、適度
の硬さと柔軟性を持つフィルムベースの表面に測定すべ
き電極のピッチに合わせて配線を形成し、それをプロー
ブとして用いるようにする. 〔作 用〕 上記した手段にれば、タブ(TAB)技術を利用するこ
とにより、簡単な構成により良好な電気的接触が可能な
多数からなるプローブを得ることができる. 〔実施例〕 第1図には、この発明に係る表示パネル用プロ一プの一
実施例の要部斜視図が示され、第2図にはその概略断面
図が示されている。
同図では、図面が複雑化されてしまうのを防ぐために、
方形からなる液晶表示パネルの1つの辺に対応して設け
られる表示パネル用プローブが代表として例示的に示さ
れている。
方形からなる液晶表示パネルの1つの辺に対応して設け
られる表示パネル用プローブが代表として例示的に示さ
れている。
この実施例のプローブは、特に制限されないが、T A
B (Tape Automated Bondin
g)を利用してプローブを構成する。すなわち、ポリイ
ミドフィルムのような適度の硬さと柔軟性を持つフィリ
ムベースの表面(第1図、第2図では下面側)に、写真
技術を利用して表示パネルの電極に対応したピンチの配
線を形成し、それをプローブとして用いる。表示パネル
は多数からなる電極を持つため、上記複数のプローブが
写真印刷されたTABが複数個組み合わされ、TAB取
付基板により一体化される。これにより、表示パネルの
1つの辺に対応して設けられる多数の電極に対応して設
けられる多数のブロープが構成される。液晶表示パネル
の4つの辺に設けられる全電極に、プローブを接触させ
るようにするとき、上記各辺に対応して設けられるTA
B取付基板は、共通の取付板に取り付けられる。この取
付板は、その一部しか図示されていないが、その全体の
形状はTABの先端側が液晶表示パネルに対応した開口
を持つような方形板から構成される.言い換えるならば
、上記液晶表示パネルに対応した枠の形状となるもので
ある。
B (Tape Automated Bondin
g)を利用してプローブを構成する。すなわち、ポリイ
ミドフィルムのような適度の硬さと柔軟性を持つフィリ
ムベースの表面(第1図、第2図では下面側)に、写真
技術を利用して表示パネルの電極に対応したピンチの配
線を形成し、それをプローブとして用いる。表示パネル
は多数からなる電極を持つため、上記複数のプローブが
写真印刷されたTABが複数個組み合わされ、TAB取
付基板により一体化される。これにより、表示パネルの
1つの辺に対応して設けられる多数の電極に対応して設
けられる多数のブロープが構成される。液晶表示パネル
の4つの辺に設けられる全電極に、プローブを接触させ
るようにするとき、上記各辺に対応して設けられるTA
B取付基板は、共通の取付板に取り付けられる。この取
付板は、その一部しか図示されていないが、その全体の
形状はTABの先端側が液晶表示パネルに対応した開口
を持つような方形板から構成される.言い換えるならば
、上記液晶表示パネルに対応した枠の形状となるもので
ある。
上記プローブとしての配線を液晶パネル等の表示パネル
の電極表面に所望の接触圧を持って接触させるために、
上記TABの裏面(第1図、第2図では上面側)先端部
にはそれと平行に押え金具を芯にした弾性体としてのシ
リコンゴムチューブが設けられる. 上記TABには、第2図に示されているように、上面側
にドライブ用ICが搭載される。すなわち、上記プロー
ブとしての配線はドライブ用ICにより形成された駆動
信号が伝えられる.このようにプローブとしての配線が
そのまま延びてドライブ用ICに接続されるので、試験
用の回路が簡単に構成でき、実際の駆動状態と同様に液
晶表示パネルの駆動を行うことができる。
の電極表面に所望の接触圧を持って接触させるために、
上記TABの裏面(第1図、第2図では上面側)先端部
にはそれと平行に押え金具を芯にした弾性体としてのシ
リコンゴムチューブが設けられる. 上記TABには、第2図に示されているように、上面側
にドライブ用ICが搭載される。すなわち、上記プロー
ブとしての配線はドライブ用ICにより形成された駆動
信号が伝えられる.このようにプローブとしての配線が
そのまま延びてドライブ用ICに接続されるので、試験
用の回路が簡単に構成でき、実際の駆動状態と同様に液
晶表示パネルの駆動を行うことができる。
この実施例の表示パネル用プローブは、第2図に示すよ
うに、測定すべき液晶パネルの電極と、プローブとして
の配線の位置合わせを行う。
うに、測定すべき液晶パネルの電極と、プローブとして
の配線の位置合わせを行う。
この後、第3図に示すように、プローブ側(取付板)を
押し下げ、又は液晶パネル側を押し上げることにより、
TABの配線と液晶パネルの電極ととの接触を開始させ
る。このとき、TABのポリイミドフィルムが適度の硬
さと柔軟性を持つため、TABのプローブとしての配線
は液晶パネルの電極表面を擦りながら接触を開始する。
押し下げ、又は液晶パネル側を押し上げることにより、
TABの配線と液晶パネルの電極ととの接触を開始させ
る。このとき、TABのポリイミドフィルムが適度の硬
さと柔軟性を持つため、TABのプローブとしての配線
は液晶パネルの電極表面を擦りながら接触を開始する。
これにより、被測定部のI To (Indium T
in Oxide)電極をスクランチし、表面酸化膜を
破壊して接触を行うものとなり、良好な電気的接触が可
能となる。
in Oxide)電極をスクランチし、表面酸化膜を
破壊して接触を行うものとなり、良好な電気的接触が可
能となる。
すなわち、第4図に示すように、最終的にはシリコンゴ
ムチューブが押し潰されることにより、所望の接触圧を
持つようにTABが変形し、それに伴いプロープが上記
電極表面を擦るため上記のような表面酸化膜やゴミ等を
除去し、かつ広い接触面により測定電極と接触を行うも
のとなる。これにより、良好で安定的な電気的接触が可
能になるものである。
ムチューブが押し潰されることにより、所望の接触圧を
持つようにTABが変形し、それに伴いプロープが上記
電極表面を擦るため上記のような表面酸化膜やゴミ等を
除去し、かつ広い接触面により測定電極と接触を行うも
のとなる。これにより、良好で安定的な電気的接触が可
能になるものである。
なお、より良好で確実な電気的接触を可能にするために
、上記シリコンゴムチューブの芯である押さ金具を超音
波振動させるようにするものであってもよい.これによ
り、プローブとしての配線と液晶パネルの電極とが互い
に摩れ合うため、上記ゴミや酸化膜をよりいっそう完全
に除去して良好な電気的接触を得ることができる。
、上記シリコンゴムチューブの芯である押さ金具を超音
波振動させるようにするものであってもよい.これによ
り、プローブとしての配線と液晶パネルの電極とが互い
に摩れ合うため、上記ゴミや酸化膜をよりいっそう完全
に除去して良好な電気的接触を得ることができる。
上記表示用プローブを用いた液晶パネルの試験の概略は
、次の通りである。
、次の通りである。
液晶パネルが単純マトリックス構成である場合、表示パ
ネルの横方向と縦方向に走査線と信号線が配置される。
ネルの横方向と縦方向に走査線と信号線が配置される。
この場合、上記信号線と走査線の両端に上記プローブを
押し当てて、その断線チェックを行う。この後、必要に
応じて駆動信号を供給して全点灯試験と全非点灯試験等
のような液晶の表示試験を行う. 液晶表示パネルがアクティブマトリックス構成である場
合、上記のような信号線と走査線の断線チェックの他に
、各画素毎に設けられるTPT トランジスタのオン,
オフ試験を行うことが必要である。このため、最低でも
全点灯状態や全非点灯状態の確認を通して上記TPT}
ランジスタのオン状Li/オフ状態のチェックを行うこ
とが必要とされる。この場合、この実施例のように、表
示パネルの全電極に対して同時接触を行うものであるた
め、実際の可動状態と同じ条件での試験が可能になる。
押し当てて、その断線チェックを行う。この後、必要に
応じて駆動信号を供給して全点灯試験と全非点灯試験等
のような液晶の表示試験を行う. 液晶表示パネルがアクティブマトリックス構成である場
合、上記のような信号線と走査線の断線チェックの他に
、各画素毎に設けられるTPT トランジスタのオン,
オフ試験を行うことが必要である。このため、最低でも
全点灯状態や全非点灯状態の確認を通して上記TPT}
ランジスタのオン状Li/オフ状態のチェックを行うこ
とが必要とされる。この場合、この実施例のように、表
示パネルの全電極に対して同時接触を行うものであるた
め、実際の可動状態と同じ条件での試験が可能になる。
上記の実施例から得られる作用効果は、下記の通りであ
る.すなわち、 (11適度の硬さと柔軟性を持つフィルムベースの表面
に測定すべき電極のピッチに合わせて配線を形成し、そ
れをプローブとして用いるようにすることにより、TA
B技術を応用して簡単な構成で良好な電気的接触が可能
な多数からなるプローブを得ることができるという効果
が得られる。
る.すなわち、 (11適度の硬さと柔軟性を持つフィルムベースの表面
に測定すべき電極のピッチに合わせて配線を形成し、そ
れをプローブとして用いるようにすることにより、TA
B技術を応用して簡単な構成で良好な電気的接触が可能
な多数からなるプローブを得ることができるという効果
が得られる。
(2)シリコンゴムチューブ等の弾性体を介して上記プ
ロープとして作用するTABと表示パネルとを相互に押
し付けることにより、プローブとしての配線が表示パネ
ルの電極表面を擦るため、表面酸化膜やゴミを除去する
ので確実で良好な電気的接触を得ることができるという
効果が得られる。
ロープとして作用するTABと表示パネルとを相互に押
し付けることにより、プローブとしての配線が表示パネ
ルの電極表面を擦るため、表面酸化膜やゴミを除去する
ので確実で良好な電気的接触を得ることができるという
効果が得られる。
(3)上記プローブとして作用させられるTABにドラ
イブ用ICを実装させることにより、製品実装条件と実
質的に等価となり、高信幀性の試験を行うことができる
という効果が得られる。
イブ用ICを実装させることにより、製品実装条件と実
質的に等価となり、高信幀性の試験を行うことができる
という効果が得られる。
(4)上記(3)により電気的接続部が少なくできるか
ら、接続部での不良を生じる虞れが少なく、構造が極め
て簡単なため、製造の作業性がよいとともに、組立調整
等の工数が少なく、かつ部品交換の場合の作業性がよい
のでメンテナンス性がよいという効果が得られる。
ら、接続部での不良を生じる虞れが少なく、構造が極め
て簡単なため、製造の作業性がよいとともに、組立調整
等の工数が少なく、かつ部品交換の場合の作業性がよい
のでメンテナンス性がよいという効果が得られる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない.例えば、プローブとして
のTABに形成された配線と表示パネルの電極との間で
程度の接触圧を持たせるための手段としては、前記実施
例のようなシリコンゴムチューブのような弾性体を用い
るもの他、TABの上面側に板バネを用いる等種々の実
施形態を採ることができる。また、TABを構成するフ
ィルムベースは、前記実施例のようなポリイミドフィル
ムの他、同様な機能を持つものであれば何であってもよ
い。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない.例えば、プローブとして
のTABに形成された配線と表示パネルの電極との間で
程度の接触圧を持たせるための手段としては、前記実施
例のようなシリコンゴムチューブのような弾性体を用い
るもの他、TABの上面側に板バネを用いる等種々の実
施形態を採ることができる。また、TABを構成するフ
ィルムベースは、前記実施例のようなポリイミドフィル
ムの他、同様な機能を持つものであれば何であってもよ
い。
被測定物である液晶パネルは、完成された表示パネルの
他、信号線電極や走査線電極及びTPTや画素電極が形
成された半完成状態のガラス基板であってもよい。
他、信号線電極や走査線電極及びTPTや画素電極が形
成された半完成状態のガラス基板であってもよい。
この発明に係る表示パネル用プローブは、前記液晶パネ
ル等のガラス基板の他、各種表示パネルに広く利用する
ことができる。
ル等のガラス基板の他、各種表示パネルに広く利用する
ことができる。
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。すなわち、適度の硬さと柔軟性を持つフィルムベース
の表面に測定すべき電極のピッチに合わせて配線を形成
し、それをプローブとして用いるようにすることにより
、TAB技術を応用して簡単な構成で良好な電気的接触
が可能な多数からなるプローブを得ることができる。そ
して、プローブとドライブICとを一体にできるから多
数配線の組立作業が不要でかつ信転性が向上する。
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。すなわち、適度の硬さと柔軟性を持つフィルムベース
の表面に測定すべき電極のピッチに合わせて配線を形成
し、それをプローブとして用いるようにすることにより
、TAB技術を応用して簡単な構成で良好な電気的接触
が可能な多数からなるプローブを得ることができる。そ
して、プローブとドライブICとを一体にできるから多
数配線の組立作業が不要でかつ信転性が向上する。
第1図は、この発明に係る表示パネル用プローブの一実
施例を示す要部概略斜視図、 第2図は、この発明に係る表示パネル用プローブの一実
施例を示す要部断面図、 第3図は、この発明に係る表示パネル用プローブの接触
開始状態を示す要部断面図、 第4図は、この発明に係る表示パネル用プローブの接触
状態を示す要部断面図である。
施例を示す要部概略斜視図、 第2図は、この発明に係る表示パネル用プローブの一実
施例を示す要部断面図、 第3図は、この発明に係る表示パネル用プローブの接触
開始状態を示す要部断面図、 第4図は、この発明に係る表示パネル用プローブの接触
状態を示す要部断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、適度の硬さと柔軟性を持つフィルムベースの表面に
測定すべき電極のピッチに合わせて形成さされた配線を
プローブとして用いることを特徴とする表示パネル用プ
ローブ。 2、上記表示パネル用プローブの裏面側には、上記プロ
ーブとしての配線を表示パネルの電極に押し付ける弾性
体が設けられるものであることを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の表示パネル用プローブ。 3、上記フィルムベースには、上記表示パネルを駆動す
るドライブ用ICが実装されるものであることを特徴と
する特許請求の範囲第1又は第2項記載の表示パネル用
プローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014169A JP3069360B2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | 表示パネル用プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014169A JP3069360B2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | 表示パネル用プローブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03218473A true JPH03218473A (ja) | 1991-09-26 |
JP3069360B2 JP3069360B2 (ja) | 2000-07-24 |
Family
ID=11853641
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014169A Expired - Fee Related JP3069360B2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | 表示パネル用プローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3069360B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07209335A (ja) * | 1994-01-12 | 1995-08-11 | Noboru Shinkai | コンタクトヘッド及びその製造方法と接続方法 |
WO2001036987A1 (fr) * | 1999-11-16 | 2001-05-25 | Toray Engineering Co., Ltd. | Sonde, son procede de fabrication, et procede de verification d'un substrat a l'aide de la sonde |
JP2002286750A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-03 | Hioki Ee Corp | コンタクトプローブ装置 |
JP2014228506A (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-08 | 三菱電機株式会社 | コンタクトプローブ |
CN107025871A (zh) * | 2017-06-13 | 2017-08-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示面板检测装置及检测方法 |
-
1990
- 1990-01-23 JP JP2014169A patent/JP3069360B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07209335A (ja) * | 1994-01-12 | 1995-08-11 | Noboru Shinkai | コンタクトヘッド及びその製造方法と接続方法 |
WO2001036987A1 (fr) * | 1999-11-16 | 2001-05-25 | Toray Engineering Co., Ltd. | Sonde, son procede de fabrication, et procede de verification d'un substrat a l'aide de la sonde |
US6859053B1 (en) | 1999-11-16 | 2005-02-22 | Toray Engineering Co., Ltd. | Probe apparatus manufacturing method thereof and substrate inspecting method using the same |
KR100715724B1 (ko) * | 1999-11-16 | 2007-05-08 | 토레 엔지니어링 가부시키가이샤 | 프로브장치 및 그것의 제조방법 그리고 그것을 이용하는기판검사방법 |
JP4782964B2 (ja) * | 1999-11-16 | 2011-09-28 | 東レエンジニアリング株式会社 | プローブ装置及びそれの製造方法並びにそれを用いる基板検査方法 |
JP2002286750A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-03 | Hioki Ee Corp | コンタクトプローブ装置 |
JP2014228506A (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-08 | 三菱電機株式会社 | コンタクトプローブ |
CN107025871A (zh) * | 2017-06-13 | 2017-08-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示面板检测装置及检测方法 |
CN107025871B (zh) * | 2017-06-13 | 2021-01-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示面板检测装置及检测方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3069360B2 (ja) | 2000-07-24 |
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