JP4096249B2 - 液晶基板検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ディスプレイや有機ELディスブレイなどに使われる液晶基板の検査に使用する液晶基板検査に関し、特に、基板検査に用いるプローバに関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶基板や薄膜トランジスタアレイ基板(TFTアレイ基板)は、マトリックス状に配置された薄膜トランジスタと、この薄膜トランジスタに駆動信号を供給する信号電極とを備える。
【0003】
ガラス基板等で形成される基板上に複数のTFTアレイを備え、各TFTアレイはマトリックス状に配列された複数の薄膜トランジスタを備え、この薄膜トランジスタは、走査信号電極端子,映像信号電極端子からの信号により駆動される。
【0004】
基板に形成されるTFTアレイを検査する装置としてTFTアレイ検査装置や液晶基板検査装置等の基板検査装置が知られている。基板検査装置は、走査信号電極端子,映像信号電極端子と電気的に接続する検査用プローバと検査回路を備える。検査回路は、所定の電圧を検査用プローバに印加し、印加により流れる電流を検出して、ゲート−ソース間の短絡、点欠陥、断線等を調べる。
【0005】
液晶基板上に形成されるTFTアレイは様々なサイズや仕様があり、それぞれレイアウトが異なり、液晶基板上に形成される駆動用電極もレイアウト毎に異なる。
【0006】
そのため、液晶基板を検査する基板検査装置においても、TFTアレイのレイアウトに応じて検査用プローバ電極の電極位置を設定したものを用意しておき、検査する液晶基板に応じて交換し、検査を行っている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
液晶基板を検査する際には、プローバフレームを液晶基板の上方から被せ、液晶基板上に形成した電極に、プローバフレームに下方に向けて配置したプローブピンを接触させることにより、液晶基板とプローバとに間の電気的接続を行っている。このとき、プローバフレームを構成するフレーム材は、プローバフレーム自体の重さや、プローブピンの反力や、加工ひずみ等によりひずみが生じる。
【0008】
このフレーム材のひずみの総量が、プローブピンのストロークの範囲内であれが、プローバフレームが備える全プローブピンを液晶基板の全電極に接触させることができるが、フレーム材のひずみの総量がプローブピンのストロークの範囲を越える場合には、一部のプローブピンは液晶基板側の電極に接触することができない。
【0009】
図6,図7は、フレーム材のひずみによりプローブピンと液晶基板側の電極との非接触状態を説明するための断面図である。
【0010】
図6において、プローバ1を構成するプローバフレーム2は自重等により、中央部と端部との間にδのひずみが生じる。ひずんだ状態のプローバフレーム2を基板3上に載置すると、プローバフレーム2の中央部分(図中のAの部分)にあるプローブピン1bは基板3上に形成した電極(図6には示していない)と接触する。図7(a)は、プローブピン1bと電極3aとの接触状態を示している。プローブピン支持部1c内に所定のストロークで保持されたプローブピン1の先端の接点1dは、基板3上に形成した電極3aと接触する。
【0011】
一方、ひずみδがプローブピン1bのストロークを越える場合には、プローバフレーム2の端部(図中のBの部分)にあるプローブピン1bは基板3上に形成した電極(図6には示していない)と接触しない。図7(b)は、プローブピン1bと電極3aとの非接触状態を示している。ひずみδにより、プローブピン1の先端の接点1dは、基板3上に形成した電極3aと接触することができない。
【0012】
そのため、従来の基板検査装置では、プローバフレームのひずみにより、プローブピンと基板側電極との電気的接触が不良となるという問題がある。この問題は、基板が大型化(例えば、1100mm×1300mm)に伴って発生頻度が高まることになる。
【0013】
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、プローバフレームのひずみを低減し、液晶基板の全電極に対するプローブピンの接触不良を解消することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明は、自重等でひずんだプローバフレームに曲げモーメントを発生させ、プローバフレームのたわんだ部分を上方につり上げることによりプローバフレームのひずみを低減するものであり、プローバフレームのひずみを低減することにより、液晶基板とプローバフレームとの間の平行度を高め、液晶基板の全電極に対したプローブピンが良好に接触するようにする。
【0015】
本発明の液晶基板検査装置は、プローバを用いて液晶基板の検査を行う液晶基板検査装置において、プローバフレームを取り付けるプローバ取付フレームと、プローバフレームに曲げモーメントを発生させてプローバフレームのたわみを調整するベンディング機構とを備えた構成とし、このベンディング機構によりプローバフレームに曲げモーメントを発生させてプローバのたわみを調整する。
【0016】
ベンディング機構の第1の形態は、プローバ取付フレームにおいてプローバフレームを支持する支持部と、プローバフレームの端部に力を加える第1の付勢手段とを備えた構成とする。第1の付勢手段は、プローバフレームに力を付与することにより、支持部を支点としてプローバフレームに曲げモーメントを発生させ、この曲げモーメントによりプローバフレームのたわみを調整する。調整量は、第1の付勢手段による付与力により調整することができる。
【0017】
この第1の付勢手段は、プローバ取付フレームにボルトを締め込むネジ機構とすることができ、ボルトの締め込量によりプローバフレームのたわみの調整量を調整することができる。また、このネジ機構には、ボルトの締め込み量を表す目盛板を備える構成としてもよい。この目盛板は、ボルトの回転角度によりボルトの締め込み量を表わしており、調整時においてこの目盛板から読み取ったボルトの締め込み量をプローバフレームのたわみ調整量の目安とする他、目盛板から予めボルトの締め込み量を読み取っておき、その後の調整においてこのボルトの締め込み量を基準値として使用するようにしてもよい。
【0018】
ベンディング機構の第2の形態は、プローバフレームにプローバ取付フレームを押圧する第2の付勢手段を備えた構成とする。第2の付勢手段によりプローバ取付フレームをプローバフレームに押圧すると、プローバ取付フレームからの反作用によりプローバフレームに曲げモーメントを発生する。この曲げモーメントによりプローバフレームのたわみを調整する。
【0019】
第2の付勢手段は偏心カムを備えた構成とすることができ、この偏心カムを回転させることにより、プローバ取付フレームをプローバフレームに押圧する。また、偏心カムは、プローバフレームをプローバ取付フレームに対して止める止めネジと共にリニアロックを構成する。偏心カムによりプローバフレームを押圧し、止めネジによりこの状態を保持することにより、プローバフレームをプローバ取付フレームに固定する。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
【0021】
図1は本発明の液晶基板検査装置を説明するために各構成部分を分離して示した概略図である。
【0022】
液晶基板3は液晶基板検査装置1が検査する検査対象であり、基板上にはTFTアレイ3aが形成されている。この液晶基板3に形成されるTFTアレイ3aのレイアウトは、例えば液晶パネルのサイズや仕様に応じて種々に設定される。液晶基板3上のTFTアレイ3aには薄膜トランジスタがマトリックス状に形成され、各薄膜トランジスタを駆動する信号電極端子(例えば、走査信号電極端子,映像信号電極端子)が形成されている。また、液晶基板3のアレイ3aの外側には、液晶基板の外部と電気的に接続するための電極3bが形成される。
【0023】
本発明の液晶基板検査装置1は、液晶基板3の電極3bと電気的に接続し検査を行うためにプローバ1を備える。プローバ1はプローバフレーム1aを備え、液晶基板3の電極3bと電気的に接続するプローブピン1bを備える。プローブピン1bのピン数及び配列は、液晶基板3の電極3bに対応して設けられる。
【0024】
液晶基板3はパレット7上に配置され、プローバフレーム1aは液晶基板3上に配置される。液晶基板3とプローバフレーム1aとの間は、前記した電極3bとプローブピン1bとの電気的接触で行われ、プローバフレーム1aとパレット7との間は、プローバフレーム1a及びパレット7に設けたコネクタ7aにより行われる。なお、図1では、パレット7に設けたパレット側コネクタ7aのみを示し、プローバフレーム1a側のコネクタは省略している。
【0025】
さらに、パレット7はステージ8上に載置され、移動自在とすることができる。パレット7とステージ8との間は、パレット7側に設けたパレット側コネクタ7bとステージ8側に設けたステージ側コネクタ8aとにより行われる。
【0026】
図2は、本発明の液晶基板検査装置によるプローバフレームを説明するための断面図であり、ベンディング機構のフレーム材のひずみ調整により、プローブピンと液晶基板側の電極との間で良好な接触が得られる状態を示している。
【0027】
図2において、プローバフレーム1aは、その外側部分をプローバ取付フレーム2により支持される。プローバ取付フレーム2は、プローバフレーム1aを内側に支持する開口部を備えた枠体により形成することができ、その枠体の外周部分によりプローバ取付フレーム2を支持する。プローバフレーム1a外周部分、及びプローバ取付フレーム2のプローバフレーム1aを支持する外周部分には、ベンディング機構4が設けられる。
【0028】
ベンディング機構4は、プローバフレーム1aに曲げモーメントを発生させると共に、プローバフレーム1aをプローバ取付フレーム2に固定する。この曲げモーメントにより、プローバフレーム1aの中央部分には上方に引き上げる方向に力を加わり、プローバフレーム1aのひずみ調整が行われる。なお、ベンディング機構4は、ひずみの調整量を変更することができる。
【0029】
プローバフレーム1aのひずみ調整が行われることにより、プローバフレーム1aの設けられたプローブピン1bは、中央部分のみならず端部においても基板3側の電極(図2には示していない)と良好に電気的に接触させることができる。
【0030】
なお、ベンディング機構4は、プローバフレーム1a及びプローバ取付フレーム2の外周部分の任意の位置に配置することができるが、プローバフレーム1aが桟部分を備える場合には、この桟部分の両端位置に配置することでより高い効果を得ることができる。
【0031】
以下、本発明の液晶基板検査装置が備えるベンディング機構について、図3〜図5を用いて説明する。なお、図3はベンディング機構の第1の構成例を説明するための断面図及び平面図であり、図4,5はベンディング機構の第2の構成例を説明するための断面図及び平面図である。
【0032】
はじめに、ベンディング機構の第1の構成例について説明する。図3(a)は、ベンディング機構によるプローバフレームのひずみ調整を行っていない状態を示し、図3(b)は、ベンディング機構によるプローバフレームのひずみ調整を行っている状態を示している。
【0033】
ベンディング機構4の第1の構成例は、プローバ取付フレーム2側に形成した支持部2aと、プローバ1のプローバフレーム1aの端部に力を加える第1の付勢手段5とを備える。
【0034】
支持部2aは、プローバフレーム1aの端部において、プローバフレーム1aの下面に向かって突出して形成され、プローバフレーム1aがプローバ取付フレーム2上に配置されたとき、プローバフレーム1aの下面の一部と当接し、当該当接点を支点としてプローバフレーム1aを支持する。
【0035】
また、第1の付勢手段5は、支持部2aに対して外側位置において、プローバフレーム1aの端部に力を加え、これにより、支持部2aを支点とするプローバフレーム1aに曲げモーメントを付与する。第1の付勢手段5は、支点となる支持部2aと、ボルト5a及びボルト孔1b,2bのネジ機構とを含む。ネジ機構において、ボルト孔1bはプローバフレーム1a側に形成され、ボルト孔2bはプローバ取付フレーム2側に形成される。ボルト5aをボルト孔1b,2b内に締め込むことにより、支持部2aに対して外側となるプローバフレーム1aの端部を下方に押し下げる。これにより、プローバフレーム1aには曲げモーメントが発生し、支持部2aに対して内側となるプローバフレーム1aの中央部分は上方に引き上げられる(図3(b)中の矢印方向)。
【0036】
ベンディング機構4によるひずみ調整の調整量は、ネジ機構のボルト5aによる締め込み量に関連しており、ボルト5aの回転角度により表すことができる。
【0037】
本発明のベンディング機構4は、このひずみ調整の調整量を表示する構成として、第1付勢手段5において、ボルト5aは例えば穴付きボルトとすることができ、上端部に基準位置を示すマーカ5bを設けると共に、プローバフレーム1aの上表面のボルト5aの外周部分に目盛板5cを設ける。目盛板5cに対するマーカ5bの位置はボルト5aの回転位置を表しており、この位置によりボルト5aの締め込みの程度を知ることができ、ひずみ調整の調整量を知ることができる。
【0038】
このマーカ5b及び目盛板5cの使い方として、例えば、ひずみ調整の操作において、現在行っているひずみの調整量を確認する他、あらかじめ行った調整により得られた調整量のデータを記録しておき、以後のひずみ調整において、この調整量データを読み出し基準値として調整を行うことができる。
【0039】
次に、ベンディング機構の第2の構成例について説明する。図4(a)は、ベンディング機構によるプローバフレームのひずみ調整を行っていない状態を示し、図4(b)は、ベンディング機構によるプローバフレームのひずみ調整を行っている状態を示している。また、図5(a),(c)は、ベンディング機構を上方又は下方から見た図であり、図5(b)は、ベンディング機構の断面図である。なお、図4,5には、図4で示したベンディング機構の第2の構成例も合わせて示している。
【0040】
ベンディング機構4の第2の構成例は、プローバフレーム1a側に形成した第2の付勢手段6を備える。
【0041】
第2の付勢手段6は、プローバフレーム1a側からプローバ取付フレーム2の端部に力を加え(図4(b)中の矢印P1)、これにより、プローバ取付フレーム2側からの反作用によりプローバフレーム1aを中央部に向かう押力を(図4(b)中の矢印P2)プローバフレーム1aに付与する。この押力は、前記したベンディング機構4の第1の構成によりプローバフレーム1aを上方に引き上げる作用力を増やす方向に働く(図4(c)中の矢印P3)。
【0042】
第2の付勢手段6は、偏心カム6bとこの偏心カム6bを回転させるネジ6a、及びプローバフレーム1aとプローバ取付フレーム2との位置関係を保持する止めネジ6cとを含む。偏心カム6bはリニアロックとも呼ばれる機構を構成し、図5(c)に示すように、ネジ6aを回転させることにより、プローバ取付フレーム2の端部を外側に押す。プローバ取付フレーム2は図示しない構成により固定されているため、プローバフレーム1aはプローバ取付フレーム2側から反作用を受ける。
【0043】
この反作用は、プローバフレーム1aを中央部に向かう押力となる(図4(b)中の矢印P2)。プローバフレーム1aは、第1の付勢手段5によりプローバフレーム1aの中央部分が上方に引き上げられる方向の作用力が働いているため、この反作用力は、プローバフレーム1aの中央部分を上方に引き上げる方向の力を増やす方向に働く。
【0044】
また、第2の付勢手段6は、プローバフレーム1aを任意の締め込み位置で固定し、ひずみの調整状態を保持する。
【0045】
なお、上記説明では、第2の付勢手段6をプローバフレーム1a側に形成した例を示しているが、プローバ取付フレーム2側に形成する構成としてもよい。この場合には、プローバ取付フレーム2側からプローバフレーム1a側を押圧し、プローバフレーム1aを上方に押し上げてひずみを調整する。
【0046】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、プローバフレームのひずみを低減し、液晶基板の全電極に対するプローブピンの接触不良を解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液晶基板検査装置を説明するために各構成部分を分離して示した概略図である。
【図2】本発明の液晶基板検査装置によるプローバフレームを説明するための断面図である。
【図3】ベンディング機構の第1の構成例を説明するための断面図及び平面図である。
【図4】ベンディング機構の第1,2の構成例を説明するための断面図である。
【図5】ベンディング機構の第1,2の構成例を説明するための断面図及び平面図である。
【図6】フレーム材のひずみによりプローブピンと液晶基板側の電極との非接触状態を説明するための断面図である。
【図7】フレーム材のひずみによりプローブピンと液晶基板側の電極との非接触状態を説明するための断面図である。
【符号の説明】
1…プローバ、1a…プローバフレーム、1b…プローブピン、2…プローバ取付フレーム、2a…支持部、2b…ボルト孔、3…基板、3a…TFTアレイ、3b…電極、4…ベンディング機構、5…第1付勢手段、5a…ボルト、5b…マーカ、5c…目盛板、6…第2付勢手段、6a…ネジ、6b…偏心カム、7…パレット、7a,7b…パレット側コネクタ、8…ステージ、8a…ステージ側コネクタ、10…液晶基板検査装置。
Claims (4)
- プローバを用いて液晶基板の検査を行う液晶基板検査装置において、
前記プローバを取り付けるプローバ取付フレームと、
前記プローバのプローバフレームに曲げモーメントを発生させてプローバフレームのたわみを調整するベンディング機構とを備え、
前記ベンディング機構は、
前記プローバ取付フレームにおいてプローバフレームを支持する支持部と、
プローバの端部に力を加える第1の付勢手段とを備え、
前記支持部は、プローバフレームの端部の下面と当接し、当該当接点を支点として支持する突出部を有し、
前記第1の付勢手段は、前記支持部の外側位置において、プローバフレームの端部に下方に向かう力を付加し、
前記第1の付勢手段による力により前記支持部を支点としてプローバフレームに曲げモーメントを発生させ、当該曲げモーメントによりプローバフレームのたわみを補正することを特徴とする、液晶基板検査装置。 - 前記第1の付勢手段はプローバ取付フレームにボルトを締め込むネジ機構を備え、当該ボルトの締め込み量を表す目盛板を備えることを特徴とする、請求項1に記載の液晶基板検査装置。
- プローバを用いて液晶基板の検査を行う液晶基板検査装置において、
前記プローバを取り付けるプローバ取付フレームと、
前記プローバのプローバフレームに曲げモーメントを発生させてプローバフレームのたわみを調整するベンディング機構とを備え、
前記ベンディング機構は、
前記プローバフレームに前記プローバ取付フレームを押圧する第2の付勢手段を設け、
前記第2の付勢手段は、プローバフレーム側からプローバ取付フレームの端部に押力を加え、当該押圧によるプローバ取付フレームからの反作用によりプローバフレームに中央部に向かう力を付与して、プローバフレームを上方に引き上げる作用力を生じさせて曲げモーメントを発生させ、当該曲げモーメントによりプローバフレームのたわみを補正することを特徴とする、液晶基板検査装置。 - 前記第2の付勢手段は偏心カムを備え、
当該偏心カムは、プローバフレームをプローバ取付フレームに対して止める止めネジと共に、プローバフレームを固定することを特徴とする、請求項3に記載の液晶基板検査装置。
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