JPS59155769A - 電子デイバイスの検査装置 - Google Patents
電子デイバイスの検査装置Info
- Publication number
- JPS59155769A JPS59155769A JP58030256A JP3025683A JPS59155769A JP S59155769 A JPS59155769 A JP S59155769A JP 58030256 A JP58030256 A JP 58030256A JP 3025683 A JP3025683 A JP 3025683A JP S59155769 A JPS59155769 A JP S59155769A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- conductive pattern
- crystal display
- flexible film
- electrode terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子デバイス特に液晶表示体の検査装置に関す
るもので、特に液晶表示体の保持部分、および液晶表示
体の電極端子と外部電気信号の入力端子の接点部につい
ての発明である。
るもので、特に液晶表示体の保持部分、および液晶表示
体の電極端子と外部電気信号の入力端子の接点部につい
ての発明である。
近年電子ディバイスの高密度化が進み、液晶表示体もそ
の例にもれない。それに伴い液晶表示体などは、外部電
気信号の入力端子は当初数字表示の場合は数十本程度で
あったが、表示内容がグラフィック化する傾向になシそ
の数も数百本という多数になって来ている。従って電極
端子の占有する巾も半導体チップにおけるバットと同等
程度で１００μ前後となっている。
の例にもれない。それに伴い液晶表示体などは、外部電
気信号の入力端子は当初数字表示の場合は数十本程度で
あったが、表示内容がグラフィック化する傾向になシそ
の数も数百本という多数になって来ている。従って電極
端子の占有する巾も半導体チップにおけるバットと同等
程度で１００μ前後となっている。
従来、電気端子が数十本程度の場合の液晶表示体の検査
装置について図−１において説明するとｌＦｉ偏光板が
、上下に貼シつけられた液晶表示体で液晶表示体はその
外形形状の溝部を持っ治具板４にセットされる。治具板
４には液晶表示体を駆動させる電気信号を入力するため
の電極端子に対応する位置にプローブピン３Ｂが押し圧
によって２− 上下する、プローブ３が設置される。
装置について図−１において説明するとｌＦｉ偏光板が
、上下に貼シつけられた液晶表示体で液晶表示体はその
外形形状の溝部を持っ治具板４にセットされる。治具板
４には液晶表示体を駆動させる電気信号を入力するため
の電極端子に対応する位置にプローブピン３Ｂが押し圧
によって２− 上下する、プローブ３が設置される。
プローブ３のソケット３Ａは直径２ｍｓ、プローブピン
は直径１．５ｕ前後である。液晶表示体は、その表示部
が見える面積を〈シ抜かれた枠板５によシ押しつけられ
、電極端子とプローブピン３Ｂが接触し、外部電気信号
が液晶表示体内に入力できるようになる。
は直径１．５ｕ前後である。液晶表示体は、その表示部
が見える面積を〈シ抜かれた枠板５によシ押しつけられ
、電極端子とプローブピン３Ｂが接触し、外部電気信号
が液晶表示体内に入力できるようになる。
このような直径２ｍｓのプローブピンを使用しての液晶
表示体の検査は電極端子ピッチが５ ｍｓ前後が限度で
あった。
表示体の検査は電極端子ピッチが５ ｍｓ前後が限度で
あった。
前述したように高密度化した液晶表示体の場合電極端子
数に対応したプローブ３の設置はプローブピン１本の直
径がその端子中よル大きいため面積的にセツティングで
きず、事実上高密度化した液晶表示体ではプローブの利
用によ多接触を得ることができないととが分った。また
マルチプレックス駆動の液晶表示体は別として、特に薄
膜トランジスタを高密度に集積されるアクティブマトリ
ックス方式の液晶表示体の場合、トランジスタ部分のコ
ンデンサ容量が配線の引き回し方により異な３− るため検査特性としては前記液晶表示体と同一のパター
ンで行い、インピーダンスを一致させることが有利と考
えられた。
数に対応したプローブ３の設置はプローブピン１本の直
径がその端子中よル大きいため面積的にセツティングで
きず、事実上高密度化した液晶表示体ではプローブの利
用によ多接触を得ることができないととが分った。また
マルチプレックス駆動の液晶表示体は別として、特に薄
膜トランジスタを高密度に集積されるアクティブマトリ
ックス方式の液晶表示体の場合、トランジスタ部分のコ
ンデンサ容量が配線の引き回し方により異な３− るため検査特性としては前記液晶表示体と同一のパター
ンで行い、インピーダンスを一致させることが有利と考
えられた。
本発明はかかる欠点を除去するためになされたものであ
る。本発明の一実施例を第２図、第３図について説明す
ると、１１は、高密度の液晶表示体で、２枚のガラスセ
ル中に液晶が充填され、一方のガラス表面にこの液晶表
示体を駆動させるために必要な電気信号を入力させる電
極端子１８が外周に多数配置されている。１２は例えば
銅箔などが固着された可撓性フィルムでその内端は電極
端子１８に対応するように銅箔などをエツチングして導
電パターンが形成される。導電パターン１３は弾性体１
５の形状になじむような凸部１３が成形される。その成
形を容易にするために可撓性フィルムは除去されている
。１５は弾性体でゴム管などで治具板ｎには凹状の溝部
１６がつくられておシ弾性体１５はとの溝内に設置され
る。この弾性体１５上に凸状の導電パターン１３が設置
され、その凸部頂点と前述した電極端子１８とが接触す
ることになる。可撓性フ４− イルム上の導電パターンの内端は電極端子と対応するた
め細かなピッチ例えば０．２ ｖｌピッチとなっている
が外端は、外部電気信号入力端子１４となるために、粗
らいピッチ例えば２．５ ｖｘピッチ間隔となっている
可撓性フィルム／ｒｉηに接着剤などで固着する。２３
Ｆｉ液晶表示体１１を保持、固定するための保持部を示
す。これは電気的絶縁材料で作られている。またこれは
図には示されていないがＸ方向１９、Ｙ方向およびθ回
転方向２１に移動可能な機構と連結されている。液晶表
示体には製作時よシ合わせ啼−り１７がパターニングさ
れておシまた治具板ｎ上にもそれに対応する合わせマー
ク１８が対角上に作成されている。落射照明材の顕微鏡
で液晶表示体および、治具板上の合せマーク１７ 、１
８を拡大し一致するようにＸ、Ｙ、θ方向に保持部を移
動し、一致後保持具は上下方向Ｕに移動する機構を具備
するために電極端子１８と導電パターン１３が接触する
ように下げる。このようにすると液晶表示体の全ての電
極端子が導電パターンと接触することとなシ外部の電気
信号によ〕液晶表示体を５− 駆動することが可能となる。
る。本発明の一実施例を第２図、第３図について説明す
ると、１１は、高密度の液晶表示体で、２枚のガラスセ
ル中に液晶が充填され、一方のガラス表面にこの液晶表
示体を駆動させるために必要な電気信号を入力させる電
極端子１８が外周に多数配置されている。１２は例えば
銅箔などが固着された可撓性フィルムでその内端は電極
端子１８に対応するように銅箔などをエツチングして導
電パターンが形成される。導電パターン１３は弾性体１
５の形状になじむような凸部１３が成形される。その成
形を容易にするために可撓性フィルムは除去されている
。１５は弾性体でゴム管などで治具板ｎには凹状の溝部
１６がつくられておシ弾性体１５はとの溝内に設置され
る。この弾性体１５上に凸状の導電パターン１３が設置
され、その凸部頂点と前述した電極端子１８とが接触す
ることになる。可撓性フ４− イルム上の導電パターンの内端は電極端子と対応するた
め細かなピッチ例えば０．２ ｖｌピッチとなっている
が外端は、外部電気信号入力端子１４となるために、粗
らいピッチ例えば２．５ ｖｘピッチ間隔となっている
可撓性フィルム／ｒｉηに接着剤などで固着する。２３
Ｆｉ液晶表示体１１を保持、固定するための保持部を示
す。これは電気的絶縁材料で作られている。またこれは
図には示されていないがＸ方向１９、Ｙ方向およびθ回
転方向２１に移動可能な機構と連結されている。液晶表
示体には製作時よシ合わせ啼−り１７がパターニングさ
れておシまた治具板ｎ上にもそれに対応する合わせマー
ク１８が対角上に作成されている。落射照明材の顕微鏡
で液晶表示体および、治具板上の合せマーク１７ 、１
８を拡大し一致するようにＸ、Ｙ、θ方向に保持部を移
動し、一致後保持具は上下方向Ｕに移動する機構を具備
するために電極端子１８と導電パターン１３が接触する
ように下げる。このようにすると液晶表示体の全ての電
極端子が導電パターンと接触することとなシ外部の電気
信号によ〕液晶表示体を５− 駆動することが可能となる。
以上の如く本発明によれば、高密度化した液晶表示体の
電極端子に外部の駆動電気信号を入力することができ、
液晶表示体の性能検査を可能にすることができ、かつ液
晶表示体の組みこまれる機器と同一のパターン形状をも
つ回路上のインピーダンスを一致でき表示性能が組みこ
まれた機器と等価であるため検査評価を容易にすること
ができた。
電極端子に外部の駆動電気信号を入力することができ、
液晶表示体の性能検査を可能にすることができ、かつ液
晶表示体の組みこまれる機器と同一のパターン形状をも
つ回路上のインピーダンスを一致でき表示性能が組みこ
まれた機器と等価であるため検査評価を容易にすること
ができた。
本発明の詳細な説明には、電子ディバイスとして液晶表
示体で説明したが、他の外周部に電極端子の配置される
ディバイス、例えば、エレクトロクロミックディスプレ
イ、エレクトロ、ルミネセンスパネル、Ｐ、Ｄ、Ｐ、な
どの平面なパネルディスプレイの性能検査機にも本発明
は適用可能である。
示体で説明したが、他の外周部に電極端子の配置される
ディバイス、例えば、エレクトロクロミックディスプレ
イ、エレクトロ、ルミネセンスパネル、Ｐ、Ｄ、Ｐ、な
どの平面なパネルディスプレイの性能検査機にも本発明
は適用可能である。
第１図は従来のプローブによって接触を得て、液晶表示
体の検査を行う検査機の液晶表示体の保持部分の概略図
を示す。 第２図は、本発明における接触の方法を示す第６− １図に対応した概略図で、第３図は、その構成を示した
概略図である。 ｌ・拳液晶表示体 ２＠・偏光板 ３・・プローブ ３Ａ・・ソケット３Ｂ・・プロー
ブビン ４・・治具板 ５・・枠板 １１・・液晶表示体１２・・可
撓性フィルム １３・・内端の導電パターン１４ Ｃ・
外端の導電パターン １５−・弾性体 １６・・溝部１７・・合わせ
マーク １８・・電極端子２２・・治具部
Ｚ３・・保持部５・・合わせマーク 以 上 ７− ？１図
体の検査を行う検査機の液晶表示体の保持部分の概略図
を示す。 第２図は、本発明における接触の方法を示す第６− １図に対応した概略図で、第３図は、その構成を示した
概略図である。 ｌ・拳液晶表示体 ２＠・偏光板 ３・・プローブ ３Ａ・・ソケット３Ｂ・・プロー
ブビン ４・・治具板 ５・・枠板 １１・・液晶表示体１２・・可
撓性フィルム １３・・内端の導電パターン１４ Ｃ・
外端の導電パターン １５−・弾性体 １６・・溝部１７・・合わせ
マーク １８・・電極端子２２・・治具部
Ｚ３・・保持部５・・合わせマーク 以 上 ７− ？１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 外周部に電極端子を有する電子ディバイスの検査装置に
おいて、前記電極端子と対応する位置に可撓性フィルム
上の内端に形成された導電パターンと、外部電気信号の
出力端子位置と対応する位置に前記可撓性フィルムの外
端に形成された導電パターンとを有する可撓性フィルム
と、前記可撓性フィルムの凸状に成形された内端の導電
パターンの厘下に設置された弾性体と、前記弾性体を凹
状の溝部に設置しかつ前記可撓性フィルムが固着された
治具部と、Ｘ、Ｙおよび回転機構を具備した前記電子形
バイスの保持部とからな）、かつ前記治具部あるいは保
持部の少なくとも一方が前記電極端子と内端の導電パタ
ーンとを接触させるための上、下に移動する機構を有す
ることを特徴とする電子ディバイスの検査装置。 １−
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58030256A JPS59155769A (ja) | 1983-02-25 | 1983-02-25 | 電子デイバイスの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58030256A JPS59155769A (ja) | 1983-02-25 | 1983-02-25 | 電子デイバイスの検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59155769A true JPS59155769A (ja) | 1984-09-04 |
| JPH0542633B2 JPH0542633B2 (ja) | 1993-06-29 |
Family
ID=12298622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58030256A Granted JPS59155769A (ja) | 1983-02-25 | 1983-02-25 | 電子デイバイスの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59155769A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62233774A (ja) * | 1986-04-03 | 1987-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路基板の検査方法 |
| JPS62233775A (ja) * | 1986-04-03 | 1987-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路基板の検査方法 |
| JPS6370433A (ja) * | 1986-09-11 | 1988-03-30 | Tokyo Electron Ltd | プロ−ブ装置 |
| JPS63206671A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-25 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
| JPS6473392A (en) * | 1987-09-14 | 1989-03-17 | Tokyo Electron Ltd | Probe |
| JPH01245536A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-09-29 | Tokyo Electron Ltd | 液晶表示体プローブ装置 |
| JPH0264473A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネル検査装置 |
| JPH06194385A (ja) * | 1992-09-29 | 1994-07-15 | Sony Tektronix Corp | プローブ・アダプタ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5367878A (en) * | 1976-11-29 | 1978-06-16 | Fujitsu Ltd | Device for inspecting electrode |
| JPS56112680U (ja) * | 1980-01-29 | 1981-08-31 |
-
1983
- 1983-02-25 JP JP58030256A patent/JPS59155769A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5367878A (en) * | 1976-11-29 | 1978-06-16 | Fujitsu Ltd | Device for inspecting electrode |
| JPS56112680U (ja) * | 1980-01-29 | 1981-08-31 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62233774A (ja) * | 1986-04-03 | 1987-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路基板の検査方法 |
| JPS62233775A (ja) * | 1986-04-03 | 1987-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路基板の検査方法 |
| JPS6370433A (ja) * | 1986-09-11 | 1988-03-30 | Tokyo Electron Ltd | プロ−ブ装置 |
| JPS63206671A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-25 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
| JPS6473392A (en) * | 1987-09-14 | 1989-03-17 | Tokyo Electron Ltd | Probe |
| JPH0785196B2 (ja) * | 1987-09-14 | 1995-09-13 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
| JPH01245536A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-09-29 | Tokyo Electron Ltd | 液晶表示体プローブ装置 |
| JPH0719823B2 (ja) * | 1988-03-28 | 1995-03-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 液晶表示体プローブ装置 |
| JPH0264473A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネル検査装置 |
| JPH06194385A (ja) * | 1992-09-29 | 1994-07-15 | Sony Tektronix Corp | プローブ・アダプタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0542633B2 (ja) | 1993-06-29 |
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