JPH03217055A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JPH03217055A
JPH03217055A JP1235390A JP1235390A JPH03217055A JP H03217055 A JPH03217055 A JP H03217055A JP 1235390 A JP1235390 A JP 1235390A JP 1235390 A JP1235390 A JP 1235390A JP H03217055 A JPH03217055 A JP H03217055A
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JP
Japan
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cmos
circuit
basic cells
basic
logic circuit
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Application number
JP1235390A
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English (en)
Inventor
Shinji Katono
上遠野 臣司
Manabu Shibata
学 柴田
Masataka Sakamoto
昌隆 坂本
Toru Komatsu
徹 小松
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/04Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
    • H01L27/10Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
    • H01L27/118Masterslice integrated circuits
    • H01L27/11896Masterslice integrated circuits using combined field effect/bipolar technology

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体集積回路装置に関し、例えば、Nチ
ャンネルMOSFET (絶縁ゲート型電界効果トラン
ジスタ、以下同じ)とPチャンネルMO S F ET
からなる相補型MOS (以下、単にCMOSという)
回路と上記CMOS回路の出力部にバイポーラ型l一ラ
ンジスタを配置したBi−CMOS回路との組み合わせ
からなるゲートアレイに利用して有効な技術に関するも
のである。
〔従来の技術〕
ゲートアレイは、シリコンチップにゲート(基本セル)
を規則的に並べた半導体集積回路装置(ゲートアレイの
拡散したウェハ)をメーカーが用意し、これを使用する
ユーザーが論理設計や回路設計を施し、それに基づいて
メーカーがその配線マスクを作り、ウェハを作り上げる
ことによってユーザー専用の半導体集積回路装置を提供
するものである。ゲートアレイに関しては、例えば、特
開昭59−149425号公報がある。
〔発明が解決しようとする課題〕
ゲートアレイとしてCMOS回路が一般的に用いられて
いる。しかし、CMOSゲートアレイは、負荷依存性が
弱いという欠点があるため、近年ではCMOS回路の出
力部にハ′イボーラ型トランジスタを配置したBi−C
MOS回路が脚光をあびるようになっている。
すなわち、2人力のナンド(NAND)ゲート回路で比
較したとき、Bi−CMOS回路の負荷容量依存性は、
例えば0.2ns/pFというように、CMOS回路の
負荷容量依存性1. 0 〜1. 2 ns/ pFに
比べて約5〜6倍強いとい利点を持つ。しかし、B i
 −CMOS回路により基本セルを構成すると、上記パ
イボーラ型トランジスタを作り込むために基本セルのサ
イズが大きくなり、同等のゲー1・数を得るためにはチ
ンプサイズが大きくなるという欠点がある。
本願発明者は、第6図の負荷容量対遅延時間特性図に示
すように、負荷容量が0.3pF程度以下の小さいとき
には、CMOS回路の方が高速であること及び上記のよ
うな0.3pF程度以下の軽負荷の論理回路の割合が大
きいことに着目し、高速化と高集積化とを兼ね合わせて
持つゲートアレイ等の半導体集積回路装置を得ることを
考えた。
この発明の目的は、高集積化を維持しつつ、高速化を実
現した半導体集積回路装置を提供することにある。
この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は
、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。
〔課題を解決するだめの手段〕
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
すなわち、CMOS用の基本セルとBi−CMOS用の
基本セルとを混在させて作り込んでおき、負荷容量が比
較的大きいときにはBi−CMOS用の基本セルを用い
て特定の論理回路を構成し、負荷容量が比較的小さいと
きにはCMOS用の基本セルを用いて特定の論理回路を
構成する。
〔作 用〕
上記した手段によれば、CMOS@路とBiCMOS回
路との混在により、集積度の低下を最小に抑えつつ、負
荷による基本セルの使い分けにより高速化を実現できる
〔実施例〕
第1図には、この発明が適用されたゲー1・アレイの一
実施例のブロソク図が示されている。
この実施例のゲートアレイは、チップの周辺に入出力回
路rOBが設けられる。この入出力回路IOBは、各端
子に一対一に対応された単位回路(セル)を形成する素
子が作り込まれており、ユーザーの使用に応じて、入力
回路又は出力回路あるいは入出力回路を構成するように
される。特に制限されないが、出力回路は、比較的大き
な負荷容量を駆動することが必要とされるため、BiC
MOS回路により構成される。あるいは、入出力回路I
OBのうちの入力回路部分は、外部装置に応じて、例え
ばCMOS入力回路又はT T L入力回路を構成する
ようにされる。TTL入力回路の場合には、TTI−レ
ヘルをCMOSレヘルに変換するレベル変換機能が持た
させる。上記入出力回路10Bのうちの出力回路部分は
、前記のようにBi−CMOS回路の他、1”TL出力
回路により構成するものとしてもよい。
この実施例では、内部論理回路での高速化と高集積化を
実現するため、内部論理回路を構成する基本セルとして
Bi−CMOS用の基本セルとCMOS用の基本セルか
らなる2種類が用意ざれる。
特に制限されないが、第1列目にはBi−CMOS用の
基本セルからなるゲート列が配置され、第2列目及び第
3列目には、CMOS用の基本セルからなるゲート列が
配列される。そして、第4列目には、上記第1列目と同
様にBi−CMOS用の基本セルからなるゲート列が配
置される。以下、上記同様にBi−CMOS用の基本セ
ルの間に挾まれるように2列のCMOS用の基本セルか
らなるゲート列を配置する。これにより、内部論理回路
を構成する基本セルの混合比率は、Bi−CMOS用の
基本セルが1に対してCMOS用の基本セルが2の割合
で配置される。
本願発明者の分析によれば、通常のゲートアレイにより
構成されるデータ処理システムでは、比較的負荷容量が
大きくかつ高速性が要求されることにより、Bi−CM
OS回路を用いることが必要な基本セルの数は、全体の
20%ないし30%である。このことから、上記のよう
にBi−CMOS用の基本セルを全体の約33%を用意
することにより、大半のゲートアイレに適用できる。こ
のようにB i −CMOS用の基本セルを多めに設定
したのは、Bi−CMOS用の基本セルは、後述するよ
うにCMOS回路に転用することができるからである。
上記のように2種類の基本セルを混在させて配置すると
き、Bi−CMOS用の基本セルは、CMOS用の基本
セルに比べて素子数が大きく全体のサイズが大きくされ
ししまう。そこで、列方向(横方向)のピッチを合わせ
るために、Bi−CMOS用の基本セルはその高さを高
くするものである。このように、異なる2つの基本セル
のピッチを合わせることにより、コンピュータシステム
を用いたレイアウト設計を容易にする。すなわち、上記
基本セルのピッチに規則性を持たせることにより、自動
レイアウトによる配置や自動配線のソフトウェアによる
配線設計を容易にするものである。上記自動レイアウト
設計では、回路の配置替えを何度か繰り返して最適配置
を求めるものであるので上記のような基本セルのピッチ
が規則的になついることが必要となるものである。
第3図には、2人力のCMOSゲート回路の一実施例の
回路図が示されている。
2人力のCMOSゲート回路を構成するために、2つの
PチャンネルMOSFETQIとQ2及び2つのNチャ
ンネルMOSFETQ3とQ4とから基本セルが構成さ
れいてる。このような4つのMOSFETQIないしQ
4からなる基本セルを用いて、2人力のナンド(NAN
D)ゲート回路を構成する場合、PチャンネルMOSF
ETQIとQ2のそれぞれSを電源線Vccに接続し、
トレインDを互いに共通接続する。上記共通接続された
PチャンネルMO S F ETQ 1とQ2のドレイ
ンとNチャンネルMOSFETQ3のドレインDを接続
する。NチャンネルMOSFETQ3のソースSはNヂ
ャンネルMOSFETQ4のドレインDに接続する。N
チャンネルMOSFETQ4のソースSは回路の接地電
位点に接続する。
また、PチャンネルMOSFETQIとNチャンネルM
OSFETQ3のゲー1〜Gを共通接続して入力端子I
NAとし、PチャンネルMOSFETQ2とNチャンネ
ルMOSFETQ4のゲートGを共通接続して入力端子
INBとする。そして、上記MO S F ETQ I
ないしQ3の共通化されたドレインDを出力端子OUT
とするものである。
上記構成に代え、ノア(NOR)ゲート回路を構成する
ときには、上記の場合とは逆にPチャンネルMOSFE
TQIとQ2を直列形態に、NチャンネルMOSFET
Q3とQ4を並列形態にすればよい。また、インハータ
回路を構成するときには、Pチ中ンネノレMOSFET
QIとエミソタQ3等を用いればよい。
基本セルとして、3人力を可能にするためには、上記P
チャンネルMOSFETを3個と、NチャンネルMOS
FETを3個づつ作り込むものとすればよい。
このようなCMOS回路は、例えば負荷容量か約0. 
3 pp以下の比較的小さな論理ゲート回路の場合、あ
るいは高速性を特に必要としない場合に意図的に用いる
ものである。このような軽負荷回路にCMOS回路を利
用することによって、第6図の特性図から明らかなよう
に、少ない素子数により13i −CMOS回路を用い
る場合に比べて動作の高速化を図ることができる。また
、上記CMOS回路を用いることにより、低消費電力化
も実現することができる。
第4図には、2人力のBi−CMOSゲート回路の一実
施例の回路図が示されている。
10 2人力のBi−CMOSゲート回路を構成するために、
前記同様な2つのPチャンネルMOSFETQ1とQ2
及び2つのNチャンネルMOSFETQ3とQ4に加え
て、出力部を構成する2つのパイボーラ型トランジスタ
TI,T2及び抵抗Rl,R2から基本セルが構成され
いてる。
このような4つのMOSFETQIないしQ4と2つの
パイポーラ型トランジスタTl.T2及び2つの抵抗R
l,R2からなる基本セルを用いて、2人力のナンド(
NAND)ゲート回路を構成する場合、論理部は前記C
MOS回路と同様に、PチャンネルMOSFETQIと
Q2のそれぞれSを電源線Vccに接続し、ドレインD
を互いに共通接続する。上記共通接続されたPチャンネ
ルMOSFETQIとQ2のドレインとNチャンネルM
OSFETQ3のドレインDを接続,する。Nチャンネ
ルMOSFETQ3のソースSはNチャンネルMOSF
ETQ4のドレインDに接続する。
NチャンネルMOSFETQ4のソースSは、上記CM
OS回路と異なり抵抗R2を介在させて回11 路の接地電位点に接続される。PチャンネルMOSFE
TQIとNチャンネルMOSFETQ3のゲートGを共
通接続して入力端子rNAとし、PチャンネルMOSF
ETQ2とNチャンネルM○SFETQ4のゲートGを
共通接続して入力端子INBとする。そして、上記MO
SFETQIないしQ3の共通化されたドレインDは、
トランジスタTlのヘースBに接続される。このトラン
ジスタTIのコレクタCは電源線Vccに接続され、エ
ミノタEはトランジスタT2のコレクタCと接続される
。上記トランジスタT1のヘースBとエミソクEの間に
は抵抗R1が接続される。トランジスタT2のヘースB
は、上記MOSFETQ4のソースSに接続される。
上記トランジスタT1とT2は、}・−テンボール型プ
ッシュプル回路を構成し、共通接続されたトランジスタ
T1のエミソタEとトランジスタT2のコレクタCが出
力端子OUTとされる。
この実施例における出力部の動作は、次の通りである。
12 入力端子INAとrNBの信号のいずれか一方がロウレ
ベルのとき、直列形態のNチャンネルMOSFETQ3
又はQ4がオフ状態になること、及びPチャンネルMO
SFBTQI又はQ2のいずれか一方がオン状態になる
ことに応じて、1一ランジスタT1のベースには電源電
圧Vccのようなハイレヘルが供給される。これにより
、トランジスタT1がオン状態になり、出力端子OUT
に接続される負荷容量に電荷が蓄積されていないなら高
速にチャージアソプされる。このようにして、比較的大
きな負荷容量が存在しても、出力レヘルは高速にロウレ
ベルからハイレベルに変化するものとなる。
入力端子INAとINBの信号が共にハイレベルにされ
ると、直列形態のNチャンネルMOSFETQ3及びQ
4がオン状態になり、NチャンネルMOSFETQIと
Q2が共にオフ状態になる。
上記NチャンネルMOSFETQ3とQ4のオン状態に
より、出力端子OUTに接続される負荷容量のディスチ
ャージ電流が抵抗R2に流れ、トラ13 ンジスクT2をオン状態にする。これにより、上記出力
端子OUTの負荷容量は、高速にデイスチャージされる
。上記PチャンネルMOSFETQ1とQ2のオフ状態
により、1・ランジスタT1のヘース,エミソタ間に蓄
積された電荷は抵抗R1により放電されてオフ状態にさ
れるものである。
このようにして、出力信号のハイレベルは高速にロウレ
ヘルに切り換えられる。
上記構成に代え、ノア(NOR)ゲート回路を構成する
ときには、上記の場合とは逆にPチャンネルMOSFE
TQIとQ2を直列形態に、NチャンネルMOSFET
Q3とQ4を並列形態にすればよい。インハー夕回路を
構成するときには、PチャンネルMOSFETQIとN
チャンネルMOSFETQ3等を用いればよい。また、
基本セルとして、3人力を可能にするためには、上記P
チャンネルMOSFETを3個と、NチャンネルMOS
FETを3個づつ作り込むものとすればよい。
このようなBi−CMOS回路は、例えば負荷14 容量が約0. 3 pF以上の比較的大きな論理ゲー1
・回路の場合に用いるものである。このような重負荷回
路にBi−CMOS回路を利用することによって、第6
図の特性図から明らかなように、動作の高速化を図るこ
とができる。
第2図には、内部論理回路を構成する基本セルの他の一
実施例のブロソク図が示されている。
この実施例では、Bi−CMOS用の基本セル列と、C
MOS用の基本セル列とが同じ高さにされる。上記のよ
うに、Bi−CMOS用の基本セルは、バイボーラ型ト
ランジスタと抵抗とを2個づつ追加する必要があること
、及び素子分離領域を必要とすることからBi−CMO
S用の基本セルのサイズが大きい。そこで、基本セルの
列方向(横方向)の長さを、CMOS用の基本セルの2
倍に設定する。このように基本セルの配置により、B 
i −CMOS用とCMOS用のセル列の縦方向のピッ
チを合わせることができることの他、横方向のピッチも
、上記のような2倍(整数倍)にすることにより前記ソ
フトウェア的に合わせるとみ15 なすことができる。
第5図には、内部論理回路を構成する基本セルの更に他
の一実施例のブロソク図が示されている。
この実施例では、前記第2図の実施例のようにBi−C
MOS用の基本セル列と、CMOS用の基本セル列とが
同じ高さにされ、かつ横方向の寸法が整数倍の関係にあ
る場合の変形例である。すなわち、1つのセル列の中に
、Bi−CMOS用の基本セルとCMOS用の基本セル
を混在させるものである。このとき、上記のようにBi
−CMOS用の基本セルの横方向の寸法がCSMOS用
の基本セルの2倍であることから、この実施例のように
混在させてもゲートアレイとしての規則性が損なわれる
ことはない。
上記の実施例から得られる作用効果は、下記の通りであ
る。すなわち、 +11 C M O S用の基本セルとBi−CMOS
用の基本セルとを混在させて作り込んでおき、負荷容量
が比較的大きいときにば13i −CMOS用の基本セ
ルを用いて特定の論理回路を構成し、負荷容量16 が比較的小さいときにはCMOS用の基本セルを用いて
特定の論理回路を構成するというような基本セルの使い
分けにより集積度の低下を最小に抑えつつ、動作の高速
化を実現できるという効果が得られる。
(2)上記(1)により、高集積化が可能になるから1
つウェハから形成される半導体集積回路装置の数を多く
できるから、生産性の向上を図ることができるという効
果が得られる。
以上本発明者によりなされた発明を実施例に基づき具体
的に説明したが、本願発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。例えば、内部回路を構成
するセル列の配置は、第1図又は第2図の実施例のよう
に各列毎にCMOS用か13i−CMOS用の基本セル
列を配置したものと、第5図の実施例のように同一列内
でCMOS用とBi−CMOS用との基本セルを混在さ
せたものとを適当に配分して配置するものであってもよ
い。
17 ウェハとしては、CMOS用とB4 −CMOS用との
基本セルの配列及びその比率が異なるものが作り込まれ
たものを何種類かを用意しておいて、その中からユーザ
ーの希望する論理回路に最適なものを選ぶようにしても
よい。
この発明は、ゲートアレイのように基本セルをウェハに
作り込んでおいて、配線設計により所望の回路を実現す
る半導体集積回路装置に広く利用することができる。
〔発明の効果〕
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。すなわち、CMOS用の基本セルとB i−CMOS
用の基本セルとを混在させて作り込んでおき、負荷容量
が比較的大きいときにはBi−CMOS用の基本セルを
用いて特定の論理回路を構成し、負荷容量が比較的小さ
いときにはCMOS用の基本セルを用いて特定の論理回
路を構成するというような基本セルの使い分けにより集
積度の低下を最小に抑えつつ、動作の高速化18 を実現できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明が適用されたゲートアレイの一実施
例を示すブロソク図、 第2図は、内部論理回路を構成する基本セルの他の一実
施例を示すブロック図、 第3図は、2人力のCMOSゲート回路の一実施例を示
す回路図、 第4図は、2人力のBi−CMOSゲート回路の一実施
例を示す回路図、 第5図は、内部論理回路を構成する基本セルの更に他の
一実施例を示すブロソク図、 第6図は、この発明を説明するためのCMO S回路と
Bi−CMOS回路における負荷容量一遅延時間特性図
である。 10B・・入出力回路、01〜Q4・・MOSFET,
TI,  1”2・・トランジスタ、Rl,R2・・抵

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、内部論理回路として、CMOS用の基本セルとBi
    −CMOS用の基本セルとを混在させて作り込み、その
    負荷容量が比較的大きいときにはBi−CMOS用の基
    本セルを用いて特定の論理回路を構成し、その負荷容量
    が比較的小さいときにはCMOS用の基本セルを用いて
    特定の論理回路を構成することを特徴とする半導体集積
    回路装置。 2、上記CMOS用の複数からなる基本セルとBi−C
    MOS用の複数からなる基本セルによりそれぞれ構成さ
    れるセル列は、その列方向のピッチ又は高さが等しくさ
    れ、あるいは整数倍にされるものであることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の半導体集積回路装置。 3、上記CMOS用の基本セルとBi−CMOS用の基
    本セルとは、同一列内に混在させて配置されるとともに
    、Bi−CMOS用の基本セルの1つの大きさに対して
    、CMOS用の複数からなる基本セルの大きさが等しく
    されるものであることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項記載の半導体集積回路装置。
JP1235390A 1990-01-22 1990-01-22 半導体集積回路装置 Pending JPH03217055A (ja)

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