JPH0312564A - 電極の絶縁/短絡検出方法 - Google Patents
電極の絶縁/短絡検出方法Info
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- JPH0312564A JPH0312564A JP1147181A JP14718189A JPH0312564A JP H0312564 A JPH0312564 A JP H0312564A JP 1147181 A JP1147181 A JP 1147181A JP 14718189 A JP14718189 A JP 14718189A JP H0312564 A JPH0312564 A JP H0312564A
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Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、液晶表示装置の透明電極などの、隣接して配
置される電極間の絶縁/短絡を検出するための装置に関
する。
置される電極間の絶縁/短絡を検出するための装置に関
する。
従来の技術
前記液晶表示装置などにおいて、基板上に形成された電
極が短絡しているか否かを検出するなめに、典型的な従
来技術では、検査を行うべき電極に一対のプローブを接
触し、一方のプローブを介して予め定める電圧を印加し
、他方のグローブを介して検出される電圧に基づいて、
それらの′8極問に短絡が生じているか否かを判定する
ように構成されている。
極が短絡しているか否かを検出するなめに、典型的な従
来技術では、検査を行うべき電極に一対のプローブを接
触し、一方のプローブを介して予め定める電圧を印加し
、他方のグローブを介して検出される電圧に基づいて、
それらの′8極問に短絡が生じているか否かを判定する
ように構成されている。
発明が解決しようとする課題
E述のような従来技術では、プローブの摩耗、折損、変
形などによって、プローブと電極との間に接触不良が生
じている状態でも、検出された電極間は絶縁されている
と誤判断してしまうことがある。
形などによって、プローブと電極との間に接触不良が生
じている状態でも、検出された電極間は絶縁されている
と誤判断してしまうことがある。
本発明の目的は、′:4陽間の絶縁/短絡を正確に検出
することができるTh極の絶縁/短絡検出装置を提供す
ることである。
することができるTh極の絶縁/短絡検出装置を提供す
ることである。
課題を解決するための手段
本発明は、隣接する複数の電極にそれぞれ同時に接触す
る一対のプローブと、 前記プローブを、電極の延びる方向とは交差する方向に
相対的に移動する移動手段と、前記プローブに接続され
、電極間の絶縁/短絡を検出する手段と、 前記プローブに接続され、電極間の静電容量による電圧
変化を検出する手段とを含むことを特徴とする電極の絶
縁/短絡検出装置である。
る一対のプローブと、 前記プローブを、電極の延びる方向とは交差する方向に
相対的に移動する移動手段と、前記プローブに接続され
、電極間の絶縁/短絡を検出する手段と、 前記プローブに接続され、電極間の静電容量による電圧
変化を検出する手段とを含むことを特徴とする電極の絶
縁/短絡検出装置である。
作 用
本発明に従えば、一対のグローブを、複数の電極のうち
隣接する電極に、同時にそれぞれ接触させ、移動手段に
よって該プローブと電極とを、電極の延びる方向とは交
差する方向に相対的に移動する。
隣接する電極に、同時にそれぞれ接触させ、移動手段に
よって該プローブと電極とを、電極の延びる方向とは交
差する方向に相対的に移動する。
このとき、たとえば一方のプローブに電圧を印加し、他
方のプローブの電圧を検出すると、両方のプローブが接
触していて電極が短絡しているときには、前記他方のプ
ローブからは、一方のプローブに印加した電圧とほぼ等
しいレベルで、電極の移動方向の長さに対応したパルス
幅の矩形波状の電圧が検出される。また、両方のプロー
ブが接触していて、電極間が絶縁されているときには、
該電極間の静電容量によって、他方のグローブからは前
記一方のプローブに印加した電圧より低いレベルでの電
圧変動が検出される。さらにまた、少なくとも一方のプ
ローブが接触していないときには、電圧はほとんど検出
されない このようにして、10−プが確実に電極に接
触しているかどうかと、電極の絶縁/′短絡を検出する
ことができる。
方のプローブの電圧を検出すると、両方のプローブが接
触していて電極が短絡しているときには、前記他方のプ
ローブからは、一方のプローブに印加した電圧とほぼ等
しいレベルで、電極の移動方向の長さに対応したパルス
幅の矩形波状の電圧が検出される。また、両方のプロー
ブが接触していて、電極間が絶縁されているときには、
該電極間の静電容量によって、他方のグローブからは前
記一方のプローブに印加した電圧より低いレベルでの電
圧変動が検出される。さらにまた、少なくとも一方のプ
ローブが接触していないときには、電圧はほとんど検出
されない このようにして、10−プが確実に電極に接
触しているかどうかと、電極の絶縁/′短絡を検出する
ことができる。
実施例
第1図および第2図は、本発明の一実施例の検査X1l
tの原理を説明するためのブロック図である。移動テー
ブル2上には、ガラス基板3が載置されており、このガ
ラス基板3の表面には、■互に並行な複数のt陽L1〜
Ln(以下、総称するときは9照符りで示す)が形成さ
れている。各電1iLの幅W1はたとえば125μff
lであり、またその間隔W2はたとえば20μ「口であ
る。移動テーブル2は、モータなどの移動子F’t =
lによって、矢n5で示される電iLの延びる方向とは
直角の方向に移動される。
tの原理を説明するためのブロック図である。移動テー
ブル2上には、ガラス基板3が載置されており、このガ
ラス基板3の表面には、■互に並行な複数のt陽L1〜
Ln(以下、総称するときは9照符りで示す)が形成さ
れている。各電1iLの幅W1はたとえば125μff
lであり、またその間隔W2はたとえば20μ「口であ
る。移動テーブル2は、モータなどの移動子F’t =
lによって、矢n5で示される電iLの延びる方向とは
直角の方向に移動される。
移動テーブル2上にはまた、前記矢符5で示される移動
方向に、電極りの配列ピッチ(W1+W2)に対して、
(3W1+W2)/’2の間隔をあけて、一対のプロー
ブ81.S2が配置されている。一方のプローブS1に
は、定電圧源6から予め定める電圧、たとえば15Vが
印加されており、他方のプローブS2はライン10を介
して検出回路11に接続される。ライン10は可変抵抗
12を介して接地されており、この可変抵抗12を変化
することによって、後述するようにして行われるライン
Lの絶縁判定時におけるプローブS2の出力電圧の分圧
比が変化される。
方向に、電極りの配列ピッチ(W1+W2)に対して、
(3W1+W2)/’2の間隔をあけて、一対のプロー
ブ81.S2が配置されている。一方のプローブS1に
は、定電圧源6から予め定める電圧、たとえば15Vが
印加されており、他方のプローブS2はライン10を介
して検出回路11に接続される。ライン10は可変抵抗
12を介して接地されており、この可変抵抗12を変化
することによって、後述するようにして行われるライン
Lの絶縁判定時におけるプローブS2の出力電圧の分圧
比が変化される。
ライン10を介して入力されるプローブS2の検出電圧
は、バッファB1からバッファB2を介して、レベル弁
別回路13の一方の入力に与えられる。このレベル弁別
回路13の他方の入力には、基準電圧源14から予め定
める基準電圧、たとえば4.5■が入力される。レベル
弁別回路13は、バッファB2からの出力電圧が基準電
圧より低いとき、すなわちプローブSL、$2が接触し
ているTh極、たとえばLL、L2間の抵抗値が大きい
ときには、前記電極LL、 し2間に絶縁が′li1保
されていると判断し、バッファB2からの出力電圧が前
記基準電圧以上であるときには、絶縁が不良で1p)る
と判断し、表示灯15を点灯する。
は、バッファB1からバッファB2を介して、レベル弁
別回路13の一方の入力に与えられる。このレベル弁別
回路13の他方の入力には、基準電圧源14から予め定
める基準電圧、たとえば4.5■が入力される。レベル
弁別回路13は、バッファB2からの出力電圧が基準電
圧より低いとき、すなわちプローブSL、$2が接触し
ているTh極、たとえばLL、L2間の抵抗値が大きい
ときには、前記電極LL、 し2間に絶縁が′li1保
されていると判断し、バッファB2からの出力電圧が前
記基準電圧以上であるときには、絶縁が不良で1p)る
と判断し、表示灯15を点灯する。
バッファB1からの出力はまた、バッファB3を介して
レベル弁別回路16の一方の入力に与えられており、こ
のレベル弁別回路16の他方の入力には、1!準電圧源
17から予め定める、たとえば−1,OVの基準電圧が
印加される。バッファB3は、バッファB1からの出力
を積分してレベル弁別し、後述するようにしてプローブ
SL、S2の接触不良が検出されたときには、表示灯1
8を点灯する。
レベル弁別回路16の一方の入力に与えられており、こ
のレベル弁別回路16の他方の入力には、1!準電圧源
17から予め定める、たとえば−1,OVの基準電圧が
印加される。バッファB3は、バッファB1からの出力
を積分してレベル弁別し、後述するようにしてプローブ
SL、S2の接触不良が検出されたときには、表示灯1
8を点灯する。
なお、検査される電極の種類などに応じて、デイツブス
イッチなどによって前記基準電圧源14゜17グ〕基準
電圧を変化することができ、これによって電極間の絶縁
抵抗では、たとえば0.1〜99MΩの範囲で絶縁、/
短絡の判別を行うことができる。
イッチなどによって前記基準電圧源14゜17グ〕基準
電圧を変化することができ、これによって電極間の絶縁
抵抗では、たとえば0.1〜99MΩの範囲で絶縁、/
短絡の判別を行うことができる。
上述のように構成された検査装置1において、プローブ
Sl、S2の接触している電極、たとえばLl、L2間
の絶縁抵抗と、前記可変抵抗12との分圧比に対応した
電圧がバッファB2に入力される。したがって移動テー
ブル2が前記矢符5方向に移動されると、レベル弁別図
2813への入力電圧は、電1iL1.L2の絶縁が充
分に確保されているときには前記基準電圧未満であり、
電極Ll、L2が短絡しているときには、レベル弁別回
路13の入力電圧は前記基準電圧以上となる。
Sl、S2の接触している電極、たとえばLl、L2間
の絶縁抵抗と、前記可変抵抗12との分圧比に対応した
電圧がバッファB2に入力される。したがって移動テー
ブル2が前記矢符5方向に移動されると、レベル弁別図
2813への入力電圧は、電1iL1.L2の絶縁が充
分に確保されているときには前記基準電圧未満であり、
電極Ll、L2が短絡しているときには、レベル弁別回
路13の入力電圧は前記基準電圧以上となる。
一方、プローブSL、S2のうち、少なくともいずれか
一方が前記電極LL、L2から離反しているときには、
レベル弁別回路13への入力電圧は、電極Ll、L2間
の絶縁が充分に確保されている状態とほぼ等しくなる。
一方が前記電極LL、L2から離反しているときには、
レベル弁別回路13への入力電圧は、電極Ll、L2間
の絶縁が充分に確保されている状態とほぼ等しくなる。
このため、以下のようにしてグローブ31.S2が電極
Ll、L2に接触しているかどうかが検査される。
Ll、L2に接触しているかどうかが検査される。
すなわち、プローブ31.S2がそれぞれ電極し1.L
2に接触している状態で、電iL1.L2間の絶縁が確
保されているときには、参照符20で示される該電IL
L、L2間の静電容量によ・)で、該電極Ll、L2間
の電圧は緩やかに変化する。したが′)て移動テーブル
2を矢符5方向に移動したときには、レベル弁別回路1
6の入力電圧は、第3図で示されるように、前記基準電
圧40■以上の電圧5〜6■を中心に、参照符11で示
されるように3V程度の範囲で充放電を繰返して変動す
る。
2に接触している状態で、電iL1.L2間の絶縁が確
保されているときには、参照符20で示される該電IL
L、L2間の静電容量によ・)で、該電極Ll、L2間
の電圧は緩やかに変化する。したが′)て移動テーブル
2を矢符5方向に移動したときには、レベル弁別回路1
6の入力電圧は、第3図で示されるように、前記基準電
圧40■以上の電圧5〜6■を中心に、参照符11で示
されるように3V程度の範囲で充放電を繰返して変動す
る。
また電(至)Ll、L2が短絡しているときには、レベ
ル弁別回路16の入力電圧は、一対のプローブ31.S
2を前述したように、<3W1+W2)72の間隔に配
置することにより、プローブ5IS2の軌跡が第・1図
(1)において参照符S 1 =tS 2 aで示され
るように電極り上を走査するとき、第4図〈2)で示さ
れるように、電ff1Lの配列ビツナ(W1+W2)の
1/2に対応する期間W112tだけ飽和状態となり、
同じく配列ピッチ(W1+−W2>の1/2に対応する
期間W 22 r、tだけ前記基準電圧未満のロー17
ベルとなり、電極I−の短絡が連続しているときには、
レベル弁別回路16には、このような矩形波状の電圧が
繰返し入力される。
ル弁別回路16の入力電圧は、一対のプローブ31.S
2を前述したように、<3W1+W2)72の間隔に配
置することにより、プローブ5IS2の軌跡が第・1図
(1)において参照符S 1 =tS 2 aで示され
るように電極り上を走査するとき、第4図〈2)で示さ
れるように、電ff1Lの配列ビツナ(W1+W2)の
1/2に対応する期間W112tだけ飽和状態となり、
同じく配列ピッチ(W1+−W2>の1/2に対応する
期間W 22 r、tだけ前記基準電圧未満のロー17
ベルとなり、電極I−の短絡が連続しているときには、
レベル弁別回路16には、このような矩形波状の電圧が
繰返し入力される。
さらにまたプローブSL、S2の少なくともいずれか一
方が電1i Lから離反しているときには、前記靜電容
lによる電圧変動は発生せず、レベル弁別回路16の入
力電圧は第3図において参照符e2で示されるように、
常に前記基準電圧未満となる。したがって前記レベル弁
別回路13と、このレベル弁別回路16との判別結果に
基づいて、電極しの絶縁/短絡を正確に検出することが
できる。
方が電1i Lから離反しているときには、前記靜電容
lによる電圧変動は発生せず、レベル弁別回路16の入
力電圧は第3図において参照符e2で示されるように、
常に前記基準電圧未満となる。したがって前記レベル弁
別回路13と、このレベル弁別回路16との判別結果に
基づいて、電極しの絶縁/短絡を正確に検出することが
できる。
第5図は、検査装置1の全体の構成を示す斜視図である
。前記移動テーブル2は、基台21上に配置され、電極
りの形成された被検出fjA域W5に亘って、前記矢F
!f5方向に図示しない移動手段によって変位駆動され
る。ガラス基板3は、この移動テーブル2上に吸着など
によって固定される。
。前記移動テーブル2は、基台21上に配置され、電極
りの形成された被検出fjA域W5に亘って、前記矢F
!f5方向に図示しない移動手段によって変位駆動され
る。ガラス基板3は、この移動テーブル2上に吸着など
によって固定される。
基台21にはまた一対の支柱22,23が立設されてお
り、これらの支柱22.23間にはレール24が架設さ
れており、こうして円形フレーム25が構成される。支
柱22.23はたとえば空気シリンダなどによ′ンて構
成されてよ5つ、したツバつてレール24を、移動テー
ブル2に近接・離反することができる。レール24には
、該レール24上を移動可能に、前記プローブSL、S
2をは持するヘッドH1,H2が取付けられる。
り、これらの支柱22.23間にはレール24が架設さ
れており、こうして円形フレーム25が構成される。支
柱22.23はたとえば空気シリンダなどによ′ンて構
成されてよ5つ、したツバつてレール24を、移動テー
ブル2に近接・離反することができる。レール24には
、該レール24上を移動可能に、前記プローブSL、S
2をは持するヘッドH1,H2が取付けられる。
第(′)図はヘッドH1の斜視図で1ちり、第7図はそ
の側面図であり、第80はプローブS1付近を拡大して
示す断面図である。前記レール24は、基本31グ)案
内部tt32に形成された挿通孔33内を挿通する。挿
通孔33には切欠き34が形成されており、これに対応
してレール24には突条26が形成されており、これに
よって該ヘッド1−11がレール24の軸線まわりに角
変位することが阻止される。
の側面図であり、第80はプローブS1付近を拡大して
示す断面図である。前記レール24は、基本31グ)案
内部tt32に形成された挿通孔33内を挿通する。挿
通孔33には切欠き34が形成されており、これに対応
してレール24には突条26が形成されており、これに
よって該ヘッド1−11がレール24の軸線まわりに角
変位することが阻止される。
基体31は、リニアベアリング40を介して、昇降部材
35を第6図上下方向、すなわちガラス基板3の近接・
離反方向に変位可能に支持する。
35を第6図上下方向、すなわちガラス基板3の近接・
離反方向に変位可能に支持する。
昇降部材35のフランジ35aの下面には、該昇降部材
35を上昇する方向に付勢するばね36が当接している
。フランジ35aの上面には、基体31に取付けられる
シンプル37を角変位することによって前記上下方向に
沖縮するスピンドル38が当接しており、このスピンド
ル38と前記ばね36とによって、該昇降部材35がが
たつきなく支持される。
35を上昇する方向に付勢するばね36が当接している
。フランジ35aの上面には、基体31に取付けられる
シンプル37を角変位することによって前記上下方向に
沖縮するスピンドル38が当接しており、このスピンド
ル38と前記ばね36とによって、該昇降部材35がが
たつきなく支持される。
昇降部材35は、リニアベアリング41を介して、移動
体42を前記矢符5と平行な方向、すなわちプローブS
1の走査方向に変位可能に支持する。この移動体42は
、昇降部材35のフランジ35[)に一端が固定された
ばね43によって、矢符5で示される前記移動方向にば
ね付勢されている。移動体42の中央部付近には透孔4
4が形成されており、この透孔44には、昇降部材35
のシンプル45を角変位することによって、円錐状に形
成されたスピンドル46の先端が嵌込み、このスピンド
ル46と前記ばね43とによって、該移動体42が前記
矢符5と平行な方向にがたつきなく支持される。
体42を前記矢符5と平行な方向、すなわちプローブS
1の走査方向に変位可能に支持する。この移動体42は
、昇降部材35のフランジ35[)に一端が固定された
ばね43によって、矢符5で示される前記移動方向にば
ね付勢されている。移動体42の中央部付近には透孔4
4が形成されており、この透孔44には、昇降部材35
のシンプル45を角変位することによって、円錐状に形
成されたスピンドル46の先端が嵌込み、このスピンド
ル46と前記ばね43とによって、該移動体42が前記
矢符5と平行な方向にがたつきなく支持される。
移動体42の先端には、テフロンなどの電気絶縁性t−
4Flから成る連結部材51がねじ止めされている。連
結部材51の先端には支持部材52が固定されており、
この支持部材52には、締付はポルI・53によ−)て
着脱自在に支持棒54が固定される。支持棒54の先端
には、ばね片55を介してプローブS1が固定されてお
り、支持部材52にはリード線56が接続されており、
このリード線56によってグローブS1と検出回路11
とがミス的に接続される。ヘッドH2は、このヘッド)
(1と同様に構成されている。
4Flから成る連結部材51がねじ止めされている。連
結部材51の先端には支持部材52が固定されており、
この支持部材52には、締付はポルI・53によ−)て
着脱自在に支持棒54が固定される。支持棒54の先端
には、ばね片55を介してプローブS1が固定されてお
り、支持部材52にはリード線56が接続されており、
このリード線56によってグローブS1と検出回路11
とがミス的に接続される。ヘッドH2は、このヘッド)
(1と同様に構成されている。
上述のように構成された検査装置1を用いて、1:l下
のようにして電極りの絶縁/′可絡検査が行われる。ま
ず、支柱22.23の空気シリンダが伸長した状態で、
移動テーブル2上に、電極りの延びる方向がグローブS
L、S2の配列方向、すなわちレール24とほぼ並行と
なるようにガラス基板3が吸着などによって固定される
。次に、支柱22.23の空気シリンダが縮小し、レー
ル24が下降する。
のようにして電極りの絶縁/′可絡検査が行われる。ま
ず、支柱22.23の空気シリンダが伸長した状態で、
移動テーブル2上に、電極りの延びる方向がグローブS
L、S2の配列方向、すなわちレール24とほぼ並行と
なるようにガラス基板3が吸着などによって固定される
。次に、支柱22.23の空気シリンダが縮小し、レー
ル24が下降する。
続いて、シンプル37が角変位されてプローブSt、S
2が下降され、予め定める、たとえば1〜2g程度の針
圧でガラス基板3の表面に当接するように調整される。
2が下降され、予め定める、たとえば1〜2g程度の針
圧でガラス基板3の表面に当接するように調整される。
さらにシンプル45が角変位されて10−プSL、S2
が前記矢符5方向に相互に1111Iii!変位され、
前記矢符5方向のずれが電極りの配列ピッチ(W 1
+W2 )に対し、(3W1+W2)/2とほぼ等しく
なるように調整される。このようにして検査準備が整う
と移動テーブル2が30 rn m / s e c程
度の速度で矢符5方向に移動され、前述のようにして電
極りの絶縁/短絡検査が行われる。
が前記矢符5方向に相互に1111Iii!変位され、
前記矢符5方向のずれが電極りの配列ピッチ(W 1
+W2 )に対し、(3W1+W2)/2とほぼ等しく
なるように調整される。このようにして検査準備が整う
と移動テーブル2が30 rn m / s e c程
度の速度で矢符5方向に移動され、前述のようにして電
極りの絶縁/短絡検査が行われる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、隣接する電極にそれぞれ
同時に一対のプローブを接触し、プローブと電極とを電
極の延びる方向とは交差する方向に相対的に移動し、前
記電極間の抵抗値の変化と静電容量の変化とに基づいて
電極間の絶縁/短絡を検出するようにしたので、電極間
の絶縁が確保されている状態と、プローブの少なくとも
いずれか一方が電極に接触していない状態との区別を明
確にすることができ、′IX極間の絶縁/′雉絡を正確
に検出することができる。
同時に一対のプローブを接触し、プローブと電極とを電
極の延びる方向とは交差する方向に相対的に移動し、前
記電極間の抵抗値の変化と静電容量の変化とに基づいて
電極間の絶縁/短絡を検出するようにしたので、電極間
の絶縁が確保されている状態と、プローブの少なくとも
いずれか一方が電極に接触していない状態との区別を明
確にすることができ、′IX極間の絶縁/′雉絡を正確
に検出することができる。
第1(21および第2図は本発明の一実施例の検査′A
置1の原理を説明するためのブロック図、第3図は電極
り間の絶縁が確保されている状態およびブtコープSl
、S2が1!ff1Lに接触していない状態での検出波
形図、第4図は電極りが短絡している状態での検出波形
図、第5図は検査装置1の全体力構成を示す斜視図、第
6図はプローブS1を保持するヘッドト(1の斜視図、
第7図はヘッドト11の側面図、第8図はヘッドH1の
プローブS1付近を拡大して示す断面図である。 1・・・検査装置、2・・・移動テーブル、3・・・ガ
ラス基板、6・・・定電圧源、11・・・検出回路、]
、3.16・・・レベル弁別回路、14.17・・・基
準電圧源、15.18・・・表示灯、81〜B3・・・
バッファ、l(1、)(2・・・ヘッド、L1〜L口・
・・電極、31.S2・・・10−プ
置1の原理を説明するためのブロック図、第3図は電極
り間の絶縁が確保されている状態およびブtコープSl
、S2が1!ff1Lに接触していない状態での検出波
形図、第4図は電極りが短絡している状態での検出波形
図、第5図は検査装置1の全体力構成を示す斜視図、第
6図はプローブS1を保持するヘッドト(1の斜視図、
第7図はヘッドト11の側面図、第8図はヘッドH1の
プローブS1付近を拡大して示す断面図である。 1・・・検査装置、2・・・移動テーブル、3・・・ガ
ラス基板、6・・・定電圧源、11・・・検出回路、]
、3.16・・・レベル弁別回路、14.17・・・基
準電圧源、15.18・・・表示灯、81〜B3・・・
バッファ、l(1、)(2・・・ヘッド、L1〜L口・
・・電極、31.S2・・・10−プ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 隣接する複数の電極にそれぞれ同時に接触する一対のプ
ローブと、 前記プローブを、電極の延びる方向とは交差する方向に
相対的に移動する移動手段と、 前記プローブに接続され、電極間の絶縁/短絡を検出す
る手段と、 前記プローブに接続され、電極間の静電容量による電圧
変化を検出する手段とを含むことを特徴とする電極の絶
縁/短絡検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1147181A JPH0636012B2 (ja) | 1989-06-10 | 1989-06-10 | 電極の絶縁/短絡検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1147181A JPH0636012B2 (ja) | 1989-06-10 | 1989-06-10 | 電極の絶縁/短絡検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0312564A true JPH0312564A (ja) | 1991-01-21 |
JPH0636012B2 JPH0636012B2 (ja) | 1994-05-11 |
Family
ID=15424414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1147181A Expired - Lifetime JPH0636012B2 (ja) | 1989-06-10 | 1989-06-10 | 電極の絶縁/短絡検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0636012B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011121862A1 (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-06 | 株式会社アイテス | 静電容量式タッチパネルの検査装置、及び検査方法 |
-
1989
- 1989-06-10 JP JP1147181A patent/JPH0636012B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011121862A1 (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-06 | 株式会社アイテス | 静電容量式タッチパネルの検査装置、及び検査方法 |
JP4889833B2 (ja) * | 2010-03-29 | 2012-03-07 | 株式会社アイテス | 静電容量式タッチパネルの検査装置、及び検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0636012B2 (ja) | 1994-05-11 |
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