JPH0312564A - 電極の絶縁／短絡検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、液晶表示装置の透明電極などの、隣接して配
置される電極間の絶縁／短絡を検出するための装置に関
する。

従来の技術 前記液晶表示装置などにおいて、基板上に形成された電
極が短絡しているか否かを検出するなめに、典型的な従
来技術では、検査を行うべき電極に一対のプローブを接
触し、一方のプローブを介して予め定める電圧を印加し
、他方のグローブを介して検出される電圧に基づいて、
それらの′８極問に短絡が生じているか否かを判定する
ように構成されている。

発明が解決しようとする課題 Ｅ述のような従来技術では、プローブの摩耗、折損、変
形などによって、プローブと電極との間に接触不良が生
じている状態でも、検出された電極間は絶縁されている
と誤判断してしまうことがある。

本発明の目的は、′：４陽間の絶縁／短絡を正確に検出
することができるＴｈ極の絶縁／短絡検出装置を提供す
ることである。

課題を解決するための手段 本発明は、隣接する複数の電極にそれぞれ同時に接触す
る一対のプローブと、 前記プローブを、電極の延びる方向とは交差する方向に
相対的に移動する移動手段と、前記プローブに接続され
、電極間の絶縁／短絡を検出する手段と、 前記プローブに接続され、電極間の静電容量による電圧
変化を検出する手段とを含むことを特徴とする電極の絶
縁／短絡検出装置である。

作　　用 本発明に従えば、一対のグローブを、複数の電極のうち
隣接する電極に、同時にそれぞれ接触させ、移動手段に
よって該プローブと電極とを、電極の延びる方向とは交
差する方向に相対的に移動する。

このとき、たとえば一方のプローブに電圧を印加し、他
方のプローブの電圧を検出すると、両方のプローブが接
触していて電極が短絡しているときには、前記他方のプ
ローブからは、一方のプローブに印加した電圧とほぼ等
しいレベルで、電極の移動方向の長さに対応したパルス
幅の矩形波状の電圧が検出される。また、両方のプロー
ブが接触していて、電極間が絶縁されているときには、
該電極間の静電容量によって、他方のグローブからは前
記一方のプローブに印加した電圧より低いレベルでの電
圧変動が検出される。さらにまた、少なくとも一方のプ
ローブが接触していないときには、電圧はほとんど検出
されない　このようにして、１０−プが確実に電極に接
触しているかどうかと、電極の絶縁／′短絡を検出する
ことができる。

実施例 第１図および第２図は、本発明の一実施例の検査Ｘ１ｌ
ｔの原理を説明するためのブロック図である。移動テー
ブル２上には、ガラス基板３が載置されており、このガ
ラス基板３の表面には、■互に並行な複数のｔ陽Ｌ１〜
Ｌｎ（以下、総称するときは９照符りで示す）が形成さ
れている。各電１ｉＬの幅Ｗ１はたとえば１２５μｆｆ
ｌであり、またその間隔Ｗ２はたとえば２０μ「口であ
る。移動テーブル２は、モータなどの移動子Ｆ’ｔ　＝
ｌによって、矢ｎ５で示される電ｉＬの延びる方向とは
直角の方向に移動される。

移動テーブル２上にはまた、前記矢符５で示される移動
方向に、電極りの配列ピッチ（Ｗ１＋Ｗ２）に対して、
（３Ｗ１＋Ｗ２）／’２の間隔をあけて、一対のプロー
ブ８１．Ｓ２が配置されている。一方のプローブＳ１に
は、定電圧源６から予め定める電圧、たとえば１５Ｖが
印加されており、他方のプローブＳ２はライン１０を介
して検出回路１１に接続される。ライン１０は可変抵抗
１２を介して接地されており、この可変抵抗１２を変化
することによって、後述するようにして行われるライン
Ｌの絶縁判定時におけるプローブＳ２の出力電圧の分圧
比が変化される。

ライン１０を介して入力されるプローブＳ２の検出電圧
は、バッファＢ１からバッファＢ２を介して、レベル弁
別回路１３の一方の入力に与えられる。このレベル弁別
回路１３の他方の入力には、基準電圧源１４から予め定
める基準電圧、たとえば４．５■が入力される。レベル
弁別回路１３は、バッファＢ２からの出力電圧が基準電
圧より低いとき、すなわちプローブＳＬ、＄２が接触し
ているＴｈ極、たとえばＬＬ、Ｌ２間の抵抗値が大きい
ときには、前記電極ＬＬ、　し２間に絶縁が′ｌｉ１保
されていると判断し、バッファＢ２からの出力電圧が前
記基準電圧以上であるときには、絶縁が不良で１ｐ）る
と判断し、表示灯１５を点灯する。

バッファＢ１からの出力はまた、バッファＢ３を介して
レベル弁別回路１６の一方の入力に与えられており、こ
のレベル弁別回路１６の他方の入力には、１！準電圧源
１７から予め定める、たとえば−１，ＯＶの基準電圧が
印加される。バッファＢ３は、バッファＢ１からの出力
を積分してレベル弁別し、後述するようにしてプローブ
ＳＬ、Ｓ２の接触不良が検出されたときには、表示灯１
８を点灯する。

なお、検査される電極の種類などに応じて、デイツブス
イッチなどによって前記基準電圧源１４゜１７グ〕基準
電圧を変化することができ、これによって電極間の絶縁
抵抗では、たとえば０．１〜９９ＭΩの範囲で絶縁、／
短絡の判別を行うことができる。

上述のように構成された検査装置１において、プローブ
Ｓｌ、Ｓ２の接触している電極、たとえばＬｌ、Ｌ２間
の絶縁抵抗と、前記可変抵抗１２との分圧比に対応した
電圧がバッファＢ２に入力される。したがって移動テー
ブル２が前記矢符５方向に移動されると、レベル弁別図
２８１３への入力電圧は、電１ｉＬ１．Ｌ２の絶縁が充
分に確保されているときには前記基準電圧未満であり、
電極Ｌｌ、Ｌ２が短絡しているときには、レベル弁別回
路１３の入力電圧は前記基準電圧以上となる。

一方、プローブＳＬ、Ｓ２のうち、少なくともいずれか
一方が前記電極ＬＬ、Ｌ２から離反しているときには、
レベル弁別回路１３への入力電圧は、電極Ｌｌ、Ｌ２間
の絶縁が充分に確保されている状態とほぼ等しくなる。

このため、以下のようにしてグローブ３１．Ｓ２が電極
Ｌｌ、Ｌ２に接触しているかどうかが検査される。

すなわち、プローブ３１．Ｓ２がそれぞれ電極し１．Ｌ
２に接触している状態で、電ｉＬ１．Ｌ２間の絶縁が確
保されているときには、参照符２０で示される該電ＩＬ
Ｌ、Ｌ２間の静電容量によ・）で、該電極Ｌｌ、Ｌ２間
の電圧は緩やかに変化する。したが′）て移動テーブル
２を矢符５方向に移動したときには、レベル弁別回路１
６の入力電圧は、第３図で示されるように、前記基準電
圧４０■以上の電圧５〜６■を中心に、参照符１１で示
されるように３Ｖ程度の範囲で充放電を繰返して変動す
る。

また電（至）Ｌｌ、Ｌ２が短絡しているときには、レベ
ル弁別回路１６の入力電圧は、一対のプローブ３１．Ｓ
２を前述したように、＜３Ｗ１＋Ｗ２）７２の間隔に配
置することにより、プローブ５ＩＳ２の軌跡が第・１図
（１）において参照符Ｓ　１　＝ｔＳ　２　ａで示され
るように電極り上を走査するとき、第４図〈２）で示さ
れるように、電ｆｆ１Ｌの配列ビツナ（Ｗ１＋Ｗ２）の
１／２に対応する期間Ｗ１１２ｔだけ飽和状態となり、
同じく配列ピッチ（Ｗ１＋−Ｗ２＞の１／２に対応する
期間Ｗ　２２　ｒ、ｔだけ前記基準電圧未満のロー１７
ベルとなり、電極Ｉ−の短絡が連続しているときには、
レベル弁別回路１６には、このような矩形波状の電圧が
繰返し入力される。

さらにまたプローブＳＬ、Ｓ２の少なくともいずれか一
方が電１ｉ　Ｌから離反しているときには、前記靜電容
ｌによる電圧変動は発生せず、レベル弁別回路１６の入
力電圧は第３図において参照符ｅ２で示されるように、
常に前記基準電圧未満となる。したがって前記レベル弁
別回路１３と、このレベル弁別回路１６との判別結果に
基づいて、電極しの絶縁／短絡を正確に検出することが
できる。

第５図は、検査装置１の全体の構成を示す斜視図である
。前記移動テーブル２は、基台２１上に配置され、電極
りの形成された被検出ｆｊＡ域Ｗ５に亘って、前記矢Ｆ
！ｆ５方向に図示しない移動手段によって変位駆動され
る。ガラス基板３は、この移動テーブル２上に吸着など
によって固定される。

基台２１にはまた一対の支柱２２，２３が立設されてお
り、これらの支柱２２．２３間にはレール２４が架設さ
れており、こうして円形フレーム２５が構成される。支
柱２２．２３はたとえば空気シリンダなどによ′ンて構
成されてよ５つ、したツバつてレール２４を、移動テー
ブル２に近接・離反することができる。レール２４には
、該レール２４上を移動可能に、前記プローブＳＬ、Ｓ
２をは持するヘッドＨ１，Ｈ２が取付けられる。

第（′）図はヘッドＨ１の斜視図で１ちり、第７図はそ
の側面図であり、第８０はプローブＳ１付近を拡大して
示す断面図である。前記レール２４は、基本３１グ）案
内部ｔｔ３２に形成された挿通孔３３内を挿通する。挿
通孔３３には切欠き３４が形成されており、これに対応
してレール２４には突条２６が形成されており、これに
よって該ヘッド１−１１がレール２４の軸線まわりに角
変位することが阻止される。

基体３１は、リニアベアリング４０を介して、昇降部材
３５を第６図上下方向、すなわちガラス基板３の近接・
離反方向に変位可能に支持する。

昇降部材３５のフランジ３５ａの下面には、該昇降部材
３５を上昇する方向に付勢するばね３６が当接している
。フランジ３５ａの上面には、基体３１に取付けられる
シンプル３７を角変位することによって前記上下方向に
沖縮するスピンドル３８が当接しており、このスピンド
ル３８と前記ばね３６とによって、該昇降部材３５がが
たつきなく支持される。

昇降部材３５は、リニアベアリング４１を介して、移動
体４２を前記矢符５と平行な方向、すなわちプローブＳ
１の走査方向に変位可能に支持する。この移動体４２は
、昇降部材３５のフランジ３５［）に一端が固定された
ばね４３によって、矢符５で示される前記移動方向にば
ね付勢されている。移動体４２の中央部付近には透孔４
４が形成されており、この透孔４４には、昇降部材３５
のシンプル４５を角変位することによって、円錐状に形
成されたスピンドル４６の先端が嵌込み、このスピンド
ル４６と前記ばね４３とによって、該移動体４２が前記
矢符５と平行な方向にがたつきなく支持される。

移動体４２の先端には、テフロンなどの電気絶縁性ｔ−
４Ｆｌから成る連結部材５１がねじ止めされている。連
結部材５１の先端には支持部材５２が固定されており、
この支持部材５２には、締付はポルＩ・５３によ−）て
着脱自在に支持棒５４が固定される。支持棒５４の先端
には、ばね片５５を介してプローブＳ１が固定されてお
り、支持部材５２にはリード線５６が接続されており、
このリード線５６によってグローブＳ１と検出回路１１
とがミス的に接続される。ヘッドＨ２は、このヘッド）
（１と同様に構成されている。

上述のように構成された検査装置１を用いて、１：ｌ下
のようにして電極りの絶縁／′可絡検査が行われる。ま
ず、支柱２２．２３の空気シリンダが伸長した状態で、
移動テーブル２上に、電極りの延びる方向がグローブＳ
Ｌ、Ｓ２の配列方向、すなわちレール２４とほぼ並行と
なるようにガラス基板３が吸着などによって固定される
。次に、支柱２２．２３の空気シリンダが縮小し、レー
ル２４が下降する。

続いて、シンプル３７が角変位されてプローブＳｔ、Ｓ
２が下降され、予め定める、たとえば１〜２ｇ程度の針
圧でガラス基板３の表面に当接するように調整される。

さらにシンプル４５が角変位されて１０−プＳＬ、Ｓ２
が前記矢符５方向に相互に１１１１Ｉｉｉ！変位され、
前記矢符５方向のずれが電極りの配列ピッチ（Ｗ　１　
＋Ｗ２　）に対し、（３Ｗ１＋Ｗ２）／２とほぼ等しく
なるように調整される。このようにして検査準備が整う
と移動テーブル２が３０　ｒｎ　ｍ　／　ｓ　ｅ　ｃ程
度の速度で矢符５方向に移動され、前述のようにして電
極りの絶縁／短絡検査が行われる。

発明の効果 以上のように本発明によれば、隣接する電極にそれぞれ
同時に一対のプローブを接触し、プローブと電極とを電
極の延びる方向とは交差する方向に相対的に移動し、前
記電極間の抵抗値の変化と静電容量の変化とに基づいて
電極間の絶縁／短絡を検出するようにしたので、電極間
の絶縁が確保されている状態と、プローブの少なくとも
いずれか一方が電極に接触していない状態との区別を明
確にすることができ、′ＩＸ極間の絶縁／′雉絡を正確
に検出することができる。

【図面の簡単な説明】

第１（２１および第２図は本発明の一実施例の検査′Ａ
置１の原理を説明するためのブロック図、第３図は電極
り間の絶縁が確保されている状態およびブｔコープＳｌ
、Ｓ２が１！ｆｆ１Ｌに接触していない状態での検出波
形図、第４図は電極りが短絡している状態での検出波形
図、第５図は検査装置１の全体力構成を示す斜視図、第
６図はプローブＳ１を保持するヘッドト（１の斜視図、
第７図はヘッドト１１の側面図、第８図はヘッドＨ１の
プローブＳ１付近を拡大して示す断面図である。 １・・・検査装置、２・・・移動テーブル、３・・・ガ
ラス基板、６・・・定電圧源、１１・・・検出回路、］
、３．１６・・・レベル弁別回路、１４．１７・・・基
準電圧源、１５．１８・・・表示灯、８１〜Ｂ３・・・
バッファ、ｌ（１、）（２・・・ヘッド、Ｌ１〜Ｌ口・
・・電極、３１．Ｓ２・・・１０−プ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 隣接する複数の電極にそれぞれ同時に接触する一対のプ
   ローブと、 前記プローブを、電極の延びる方向とは交差する方向に
   相対的に移動する移動手段と、 前記プローブに接続され、電極間の絶縁／短絡を検出す
   る手段と、 前記プローブに接続され、電極間の静電容量による電圧
   変化を検出する手段とを含むことを特徴とする電極の絶
   縁／短絡検出装置。