JPH0312564A - Insulation/short circuit detecting device for electrode - Google Patents
Insulation/short circuit detecting device for electrodeInfo
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、液晶表示装置の透明電極などの、隣接して配
置される電極間の絶縁／短絡を検出するための装置に関
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a device for detecting insulation/short circuits between adjacently arranged electrodes, such as transparent electrodes of liquid crystal displays.
従来の技術
前記液晶表示装置などにおいて、基板上に形成された電
極が短絡しているか否かを検出するなめに、典型的な従
来技術では、検査を行うべき電極に一対のプローブを接
触し、一方のプローブを介して予め定める電圧を印加し
、他方のグローブを介して検出される電圧に基づいて、
それらの′８極問に短絡が生じているか否かを判定する
ように構成されている。BACKGROUND OF THE INVENTION In order to detect whether or not electrodes formed on a substrate are short-circuited in the above-mentioned liquid crystal display device, in a typical conventional technique, a pair of probes is brought into contact with the electrodes to be tested; Apply a predetermined voltage through one probe and based on the voltage detected through the other globe,
It is configured to determine whether or not a short circuit has occurred in those '8 poles.
発明が解決しようとする課題
Ｅ述のような従来技術では、プローブの摩耗、折損、変
形などによって、プローブと電極との間に接触不良が生
じている状態でも、検出された電極間は絶縁されている
と誤判断してしまうことがある。Problem to be Solved by the Invention In the prior art as described in E, even when there is poor contact between the probe and the electrode due to wear, breakage, deformation, etc. of the probe, the detected electrodes are not insulated. You may misjudge the situation.
本発明の目的は、′：４陽間の絶縁／短絡を正確に検出
することができるＴｈ極の絶縁／短絡検出装置を提供す
ることである。An object of the present invention is to provide a Th electrode insulation/short-circuit detection device that can accurately detect insulation/short-circuit between ':4 positives.
課題を解決するための手段
本発明は、隣接する複数の電極にそれぞれ同時に接触す
る一対のプローブと、
前記プローブを、電極の延びる方向とは交差する方向に
相対的に移動する移動手段と、前記プローブに接続され
、電極間の絶縁／短絡を検出する手段と、
前記プローブに接続され、電極間の静電容量による電圧
変化を検出する手段とを含むことを特徴とする電極の絶
縁／短絡検出装置である。Means for Solving the Problems The present invention provides: a pair of probes that simultaneously contact a plurality of adjacent electrodes; a moving means that relatively moves the probes in a direction that intersects the direction in which the electrodes extend; Electrode insulation/short circuit detection comprising: means connected to a probe to detect insulation/short circuit between the electrodes; and means connected to the probe to detect voltage change due to capacitance between the electrodes. It is a device.
作 用
本発明に従えば、一対のグローブを、複数の電極のうち
隣接する電極に、同時にそれぞれ接触させ、移動手段に
よって該プローブと電極とを、電極の延びる方向とは交
差する方向に相対的に移動する。According to the present invention, a pair of gloves is brought into contact with adjacent electrodes among a plurality of electrodes at the same time, and the moving means moves the probe and the electrodes relative to each other in a direction that intersects the direction in which the electrodes extend. Move to.
このとき、たとえば一方のプローブに電圧を印加し、他
方のプローブの電圧を検出すると、両方のプローブが接
触していて電極が短絡しているときには、前記他方のプ
ローブからは、一方のプローブに印加した電圧とほぼ等
しいレベルで、電極の移動方向の長さに対応したパルス
幅の矩形波状の電圧が検出される。また、両方のプロー
ブが接触していて、電極間が絶縁されているときには、
該電極間の静電容量によって、他方のグローブからは前
記一方のプローブに印加した電圧より低いレベルでの電
圧変動が検出される。さらにまた、少なくとも一方のプ
ローブが接触していないときには、電圧はほとんど検出
されない このようにして、１０−プが確実に電極に接
触しているかどうかと、電極の絶縁／′短絡を検出する
ことができる。At this time, for example, if a voltage is applied to one probe and the voltage of the other probe is detected, if both probes are in contact and the electrodes are short-circuited, the voltage from the other probe will be applied to one probe. A rectangular wave voltage with a pulse width corresponding to the length of the electrode in the direction of movement is detected at a level approximately equal to the voltage. Also, when both probes are in contact and the electrodes are insulated,
Due to the capacitance between the electrodes, voltage fluctuations at a level lower than the voltage applied to the one probe are detected from the other globe. Furthermore, when at least one probe is not in contact, almost no voltage is detected.In this way, it is possible to ensure that the 10-probe is in contact with the electrode and to detect electrode insulation/short circuits. can.
実施例
第１図および第２図は、本発明の一実施例の検査Ｘ１ｌ
ｔの原理を説明するためのブロック図である。移動テー
ブル２上には、ガラス基板３が載置されており、このガ
ラス基板３の表面には、■互に並行な複数のｔ陽Ｌ１〜
Ｌｎ（以下、総称するときは９照符りで示す）が形成さ
れている。各電１ｉＬの幅Ｗ１はたとえば１２５μｆｆ
ｌであり、またその間隔Ｗ２はたとえば２０μ「口であ
る。移動テーブル２は、モータなどの移動子Ｆ’ｔ ＝
ｌによって、矢ｎ５で示される電ｉＬの延びる方向とは
直角の方向に移動される。Embodiment FIG. 1 and FIG. 2 show the test X1l of one embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a block diagram for explaining the principle of t. A glass substrate 3 is placed on the moving table 2, and on the surface of the glass substrate 3,
Ln (hereinafter, when referred to generically, it is indicated by 9 arrows) is formed. The width W1 of each electrode 1iL is, for example, 125μff
1, and the interval W2 is, for example, 20μ.
1, the electric current iL is moved in a direction perpendicular to the direction in which the electric current iL extends, which is indicated by the arrow n5.
移動テーブル２上にはまた、前記矢符５で示される移動
方向に、電極りの配列ピッチ（Ｗ１＋Ｗ２）に対して、
（３Ｗ１＋Ｗ２）／’２の間隔をあけて、一対のプロー
ブ８１．Ｓ２が配置されている。一方のプローブＳ１に
は、定電圧源６から予め定める電圧、たとえば１５Ｖが
印加されており、他方のプローブＳ２はライン１０を介
して検出回路１１に接続される。ライン１０は可変抵抗
１２を介して接地されており、この可変抵抗１２を変化
することによって、後述するようにして行われるライン
Ｌの絶縁判定時におけるプローブＳ２の出力電圧の分圧
比が変化される。Also on the moving table 2, in the moving direction indicated by the arrow 5, with respect to the arrangement pitch (W1+W2) of the electrodes,
A pair of probes 81. with an interval of (3W1+W2)/'2. S2 is located. A predetermined voltage, for example 15V, is applied from a constant voltage source 6 to one probe S1, and the other probe S2 is connected to a detection circuit 11 via a line 10. The line 10 is grounded via a variable resistor 12, and by changing the variable resistor 12, the voltage division ratio of the output voltage of the probe S2 when determining the insulation of the line L, which will be described later, is changed. .
ライン１０を介して入力されるプローブＳ２の検出電圧
は、バッファＢ１からバッファＢ２を介して、レベル弁
別回路１３の一方の入力に与えられる。このレベル弁別
回路１３の他方の入力には、基準電圧源１４から予め定
める基準電圧、たとえば４．５■が入力される。レベル
弁別回路１３は、バッファＢ２からの出力電圧が基準電
圧より低いとき、すなわちプローブＳＬ、＄２が接触し
ているＴｈ極、たとえばＬＬ、Ｌ２間の抵抗値が大きい
ときには、前記電極ＬＬ、 し２間に絶縁が′ｌｉ１保
されていると判断し、バッファＢ２からの出力電圧が前
記基準電圧以上であるときには、絶縁が不良で１ｐ）る
と判断し、表示灯１５を点灯する。The detection voltage of probe S2 input via line 10 is applied to one input of level discrimination circuit 13 via buffer B1 and buffer B2. The other input of the level discrimination circuit 13 receives a predetermined reference voltage, for example 4.5 cm, from the reference voltage source 14. When the output voltage from the buffer B2 is lower than the reference voltage, that is, when the resistance value between the Th pole that the probes SL and $2 are in contact with, for example, LL and L2 is large, the level discrimination circuit 13 detects that the electrode LL, When it is determined that the insulation is maintained between 'li1' and the output voltage from the buffer B2 is equal to or higher than the reference voltage, it is determined that the insulation is defective (1p), and the indicator lamp 15 is turned on.
バッファＢ１からの出力はまた、バッファＢ３を介して
レベル弁別回路１６の一方の入力に与えられており、こ
のレベル弁別回路１６の他方の入力には、１！準電圧源
１７から予め定める、たとえば−１，ＯＶの基準電圧が
印加される。バッファＢ３は、バッファＢ１からの出力
を積分してレベル弁別し、後述するようにしてプローブ
ＳＬ、Ｓ２の接触不良が検出されたときには、表示灯１
８を点灯する。The output from the buffer B1 is also given to one input of the level discrimination circuit 16 via the buffer B3, and the other input of this level discrimination circuit 16 has 1! A predetermined reference voltage of, for example, -1, OV is applied from a quasi-voltage source 17. The buffer B3 integrates the output from the buffer B1 to discriminate the level, and when a contact failure of the probes SL and S2 is detected as described later, the indicator light 1 is activated.
Turn on 8.
なお、検査される電極の種類などに応じて、デイツブス
イッチなどによって前記基準電圧源１４゜１７グ〕基準
電圧を変化することができ、これによって電極間の絶縁
抵抗では、たとえば０．１〜９９ＭΩの範囲で絶縁、／
短絡の判別を行うことができる。Note that depending on the type of electrode to be inspected, the reference voltage of the reference voltage source 14 to 17 can be changed using a date switch or the like. Insulated in the range of 99MΩ, /
Short circuits can be determined.
上述のように構成された検査装置１において、プローブ
Ｓｌ、Ｓ２の接触している電極、たとえばＬｌ、Ｌ２間
の絶縁抵抗と、前記可変抵抗１２との分圧比に対応した
電圧がバッファＢ２に入力される。したがって移動テー
ブル２が前記矢符５方向に移動されると、レベル弁別図
２８１３への入力電圧は、電１ｉＬ１．Ｌ２の絶縁が充
分に確保されているときには前記基準電圧未満であり、
電極Ｌｌ、Ｌ２が短絡しているときには、レベル弁別回
路１３の入力電圧は前記基準電圧以上となる。In the inspection apparatus 1 configured as described above, a voltage corresponding to the voltage division ratio between the insulation resistance between the contacting electrodes of the probes Sl and S2, for example Ll and L2, and the variable resistor 12 is input to the buffer B2. be done. Therefore, when the moving table 2 is moved in the direction of the arrow 5, the input voltage to the level discrimination diagram 2813 is changed to 1iL1. When the insulation of L2 is sufficiently ensured, it is less than the reference voltage,
When the electrodes Ll and L2 are short-circuited, the input voltage of the level discrimination circuit 13 becomes equal to or higher than the reference voltage.
一方、プローブＳＬ、Ｓ２のうち、少なくともいずれか
一方が前記電極ＬＬ、Ｌ２から離反しているときには、
レベル弁別回路１３への入力電圧は、電極Ｌｌ、Ｌ２間
の絶縁が充分に確保されている状態とほぼ等しくなる。On the other hand, when at least one of the probes SL and S2 is separated from the electrodes LL and L2,
The input voltage to the level discrimination circuit 13 is approximately equal to the state in which sufficient insulation between the electrodes Ll and L2 is ensured.
このため、以下のようにしてグローブ３１．Ｓ２が電極
Ｌｌ、Ｌ２に接触しているかどうかが検査される。For this reason, the glove 31. It is checked whether S2 is in contact with electrodes Ll, L2.
すなわち、プローブ３１．Ｓ２がそれぞれ電極し１．Ｌ
２に接触している状態で、電ｉＬ１．Ｌ２間の絶縁が確
保されているときには、参照符２０で示される該電ＩＬ
Ｌ、Ｌ２間の静電容量によ・）で、該電極Ｌｌ、Ｌ２間
の電圧は緩やかに変化する。したが′）て移動テーブル
２を矢符５方向に移動したときには、レベル弁別回路１
６の入力電圧は、第３図で示されるように、前記基準電
圧４０■以上の電圧５〜６■を中心に、参照符１１で示
されるように３Ｖ程度の範囲で充放電を繰返して変動す
る。That is, probe 31. S2 is the electrode, respectively.1. L
2, the electric iL1. When the insulation between L2 is ensured, the electrical IL indicated by reference numeral 20
Due to the capacitance between L and L2, the voltage between the electrodes Ll and L2 changes gradually. However, when the moving table 2 is moved in the direction of the arrow 5, the level discrimination circuit 1
As shown in FIG. 3, the input voltage of 6 fluctuates by repeating charging and discharging in a range of about 3V, as shown by reference numeral 11, centering on voltages 5 to 6 which are higher than the reference voltage 40. do.
また電（至）Ｌｌ、Ｌ２が短絡しているときには、レベ
ル弁別回路１６の入力電圧は、一対のプローブ３１．Ｓ
２を前述したように、＜３Ｗ１＋Ｗ２）７２の間隔に配
置することにより、プローブ５ＩＳ２の軌跡が第・１図
（１）において参照符Ｓ １ ＝ｔＳ ２ ａで示され
るように電極り上を走査するとき、第４図〈２）で示さ
れるように、電ｆｆ１Ｌの配列ビツナ（Ｗ１＋Ｗ２）の
１／２に対応する期間Ｗ１１２ｔだけ飽和状態となり、
同じく配列ピッチ（Ｗ１＋−Ｗ２＞の１／２に対応する
期間Ｗ ２２ ｒ、ｔだけ前記基準電圧未満のロー１７
ベルとなり、電極Ｉ−の短絡が連続しているときには、
レベル弁別回路１６には、このような矩形波状の電圧が
繰返し入力される。Further, when the voltages Ll and L2 are short-circuited, the input voltage of the level discrimination circuit 16 is applied to the pair of probes 31. S
2 at an interval of <3W1+W2) 72 as described above, the trajectory of the probe 5IS2 scans over the electrode plate as indicated by the reference mark S 1 =tS 2 a in FIG. 1(1). At this time, as shown in FIG. 4 (2), the voltage is saturated for a period W112t corresponding to 1/2 of the array bitna (W1+W2) of the electric current ff1L,
Similarly, the row 17 is lower than the reference voltage by a period W 22 r, t corresponding to 1/2 of the array pitch (W1+-W2>).
When the short circuit of electrode I- continues,
Such a rectangular wave voltage is repeatedly input to the level discrimination circuit 16.
さらにまたプローブＳＬ、Ｓ２の少なくともいずれか一
方が電１ｉ Ｌから離反しているときには、前記靜電容
ｌによる電圧変動は発生せず、レベル弁別回路１６の入
力電圧は第３図において参照符ｅ２で示されるように、
常に前記基準電圧未満となる。したがって前記レベル弁
別回路１３と、このレベル弁別回路１６との判別結果に
基づいて、電極しの絶縁／短絡を正確に検出することが
できる。Furthermore, when at least one of the probes SL and S2 is separated from the voltage 1iL, no voltage fluctuation occurs due to the static capacitance 1, and the input voltage of the level discrimination circuit 16 is indicated by reference numeral e2 in FIG. As shown,
The voltage is always below the reference voltage. Therefore, based on the results of discrimination between the level discrimination circuit 13 and this level discrimination circuit 16, insulation/short circuit between the electrodes can be accurately detected.
第５図は、検査装置１の全体の構成を示す斜視図である
。前記移動テーブル２は、基台２１上に配置され、電極
りの形成された被検出ｆｊＡ域Ｗ５に亘って、前記矢Ｆ
！ｆ５方向に図示しない移動手段によって変位駆動され
る。ガラス基板３は、この移動テーブル２上に吸着など
によって固定される。FIG. 5 is a perspective view showing the overall configuration of the inspection device 1. The movable table 2 is arranged on a base 21, and moves along the arrow F over the detection area W5 where electrodes are formed.
! It is displaced and driven in the f5 direction by a moving means (not shown). The glass substrate 3 is fixed onto the moving table 2 by suction or the like.
基台２１にはまた一対の支柱２２，２３が立設されてお
り、これらの支柱２２．２３間にはレール２４が架設さ
れており、こうして円形フレーム２５が構成される。支
柱２２．２３はたとえば空気シリンダなどによ′ンて構
成されてよ５つ、したツバつてレール２４を、移動テー
ブル２に近接・離反することができる。レール２４には
、該レール２４上を移動可能に、前記プローブＳＬ、Ｓ
２をは持するヘッドＨ１，Ｈ２が取付けられる。A pair of columns 22 and 23 are also erected on the base 21, and a rail 24 is installed between these columns 22 and 23, thus forming a circular frame 25. The pillars 22 and 23 are constructed of air cylinders, for example, and can move the rail 24 close to and away from the movable table 2. On the rail 24, the probes SL and S are movable on the rail 24.
Heads H1 and H2 having two heads H1 and H2 are attached.
第（′）図はヘッドＨ１の斜視図で１ちり、第７図はそ
の側面図であり、第８０はプローブＳ１付近を拡大して
示す断面図である。前記レール２４は、基本３１グ）案
内部ｔｔ３２に形成された挿通孔３３内を挿通する。挿
通孔３３には切欠き３４が形成されており、これに対応
してレール２４には突条２６が形成されており、これに
よって該ヘッド１−１１がレール２４の軸線まわりに角
変位することが阻止される。Figure (') is a perspective view of the head H1, Figure 7 is a side view thereof, and Figure 80 is an enlarged sectional view showing the vicinity of the probe S1. The rail 24 is inserted through the insertion hole 33 formed in the guide portion tt32. A notch 34 is formed in the insertion hole 33, and a protrusion 26 is formed in the rail 24 corresponding to the notch 34, whereby the head 1-11 can be angularly displaced around the axis of the rail 24. is prevented.
基体３１は、リニアベアリング４０を介して、昇降部材
３５を第６図上下方向、すなわちガラス基板３の近接・
離反方向に変位可能に支持する。The base body 31 moves the elevating member 35 in the vertical direction in FIG.
It is supported so that it can be displaced in the direction of separation.
昇降部材３５のフランジ３５ａの下面には、該昇降部材
３５を上昇する方向に付勢するばね３６が当接している
。フランジ３５ａの上面には、基体３１に取付けられる
シンプル３７を角変位することによって前記上下方向に
沖縮するスピンドル３８が当接しており、このスピンド
ル３８と前記ばね３６とによって、該昇降部材３５がが
たつきなく支持される。A spring 36 that biases the elevating member 35 in the upward direction is in contact with the lower surface of the flange 35a of the elevating member 35. A spindle 38 that retracts in the vertical direction by angularly displacing a simple 37 attached to the base body 31 is in contact with the upper surface of the flange 35a, and the elevating member 35 is moved by the spindle 38 and the spring 36. It is supported without wobbling.
昇降部材３５は、リニアベアリング４１を介して、移動
体４２を前記矢符５と平行な方向、すなわちプローブＳ
１の走査方向に変位可能に支持する。この移動体４２は
、昇降部材３５のフランジ３５［）に一端が固定された
ばね４３によって、矢符５で示される前記移動方向にば
ね付勢されている。移動体４２の中央部付近には透孔４
４が形成されており、この透孔４４には、昇降部材３５
のシンプル４５を角変位することによって、円錐状に形
成されたスピンドル４６の先端が嵌込み、このスピンド
ル４６と前記ばね４３とによって、該移動体４２が前記
矢符５と平行な方向にがたつきなく支持される。The elevating member 35 moves the movable body 42 in a direction parallel to the arrow 5, that is, the probe S, via a linear bearing 41.
It is supported so that it can be displaced in one scanning direction. The movable body 42 is biased in the moving direction indicated by the arrow 5 by a spring 43 whose one end is fixed to the flange 35 [ ) of the elevating member 35 . A through hole 4 is provided near the center of the moving body 42.
4 is formed, and this through hole 44 has an elevating member 35.
By angularly displacing the simple 45, the tip of a conical spindle 46 is fitted, and the moving body 42 is caused to wobble in a direction parallel to the arrow 5 by this spindle 46 and the spring 43. Fully supported.
移動体４２の先端には、テフロンなどの電気絶縁性ｔ−
４Ｆｌから成る連結部材５１がねじ止めされている。連
結部材５１の先端には支持部材５２が固定されており、
この支持部材５２には、締付はポルＩ・５３によ−）て
着脱自在に支持棒５４が固定される。支持棒５４の先端
には、ばね片５５を介してプローブＳ１が固定されてお
り、支持部材５２にはリード線５６が接続されており、
このリード線５６によってグローブＳ１と検出回路１１
とがミス的に接続される。ヘッドＨ２は、このヘッド）
（１と同様に構成されている。The tip of the moving body 42 is coated with electrically insulating material such as Teflon.
A connecting member 51 made of 4Fl is screwed. A supporting member 52 is fixed to the tip of the connecting member 51,
A support rod 54 is removably fixed to this support member 52 by tightening with a pin 53. A probe S1 is fixed to the tip of the support rod 54 via a spring piece 55, and a lead wire 56 is connected to the support member 52.
This lead wire 56 connects the globe S1 to the detection circuit 11.
is connected incorrectly. Head H2 is this head)
(It is configured in the same way as 1.
上述のように構成された検査装置１を用いて、１：ｌ下
のようにして電極りの絶縁／′可絡検査が行われる。ま
ず、支柱２２．２３の空気シリンダが伸長した状態で、
移動テーブル２上に、電極りの延びる方向がグローブＳ
Ｌ、Ｓ２の配列方向、すなわちレール２４とほぼ並行と
なるようにガラス基板３が吸着などによって固定される
。次に、支柱２２．２３の空気シリンダが縮小し、レー
ル２４が下降する。Using the inspection apparatus 1 constructed as described above, the insulation/failability inspection of the electrodes is performed in the following manner. First, with the air cylinders of struts 22 and 23 extended,
On the moving table 2, the direction in which the electrodes extend is the globe S.
The glass substrate 3 is fixed by suction or the like in the arrangement direction of L and S2, that is, almost parallel to the rail 24. The air cylinders of the struts 22.23 then contract and the rails 24 are lowered.
続いて、シンプル３７が角変位されてプローブＳｔ、Ｓ
２が下降され、予め定める、たとえば１〜２ｇ程度の針
圧でガラス基板３の表面に当接するように調整される。Subsequently, the simple 37 is angularly displaced to probe St, S
2 is lowered and adjusted to contact the surface of the glass substrate 3 with a predetermined stylus pressure of, for example, about 1 to 2 g.
さらにシンプル４５が角変位されて１０−プＳＬ、Ｓ２
が前記矢符５方向に相互に１１１１Ｉｉｉ！変位され、
前記矢符５方向のずれが電極りの配列ピッチ（Ｗ １
＋Ｗ２ ）に対し、（３Ｗ１＋Ｗ２）／２とほぼ等しく
なるように調整される。このようにして検査準備が整う
と移動テーブル２が３０ ｒｎ ｍ ／ ｓ ｅ ｃ程
度の速度で矢符５方向に移動され、前述のようにして電
極りの絶縁／短絡検査が行われる。Furthermore, simple 45 is angularly displaced and 10-pu SL, S2
are mutually 1111Iii! in the direction of the arrow 5! displaced,
The deviation in the direction of the arrow 5 is the arrangement pitch of the electrodes (W 1
+W2) is adjusted to be approximately equal to (3W1+W2)/2. When preparations for inspection are completed in this manner, the moving table 2 is moved in the direction of arrow 5 at a speed of about 30 rnm/sec, and the insulation/short circuit inspection of the electrodes is performed as described above.
発明の効果
以上のように本発明によれば、隣接する電極にそれぞれ
同時に一対のプローブを接触し、プローブと電極とを電
極の延びる方向とは交差する方向に相対的に移動し、前
記電極間の抵抗値の変化と静電容量の変化とに基づいて
電極間の絶縁／短絡を検出するようにしたので、電極間
の絶縁が確保されている状態と、プローブの少なくとも
いずれか一方が電極に接触していない状態との区別を明
確にすることができ、′ＩＸ極間の絶縁／′雉絡を正確
に検出することができる。Effects of the Invention As described above, according to the present invention, a pair of probes is brought into contact with adjacent electrodes at the same time, and the probes and the electrodes are moved relative to each other in a direction that intersects the direction in which the electrodes extend. Since the insulation/short circuit between the electrodes is detected based on the change in resistance value and the change in capacitance of the probe, the insulation between the electrodes is ensured and at least one of the probes It is possible to clearly distinguish the state from a state of no contact, and it is possible to accurately detect insulation between the IX electrodes and a short circuit.
第１（２１および第２図は本発明の一実施例の検査′Ａ
置１の原理を説明するためのブロック図、第３図は電極
り間の絶縁が確保されている状態およびブｔコープＳｌ
、Ｓ２が１！ｆｆ１Ｌに接触していない状態での検出波
形図、第４図は電極りが短絡している状態での検出波形
図、第５図は検査装置１の全体力構成を示す斜視図、第
６図はプローブＳ１を保持するヘッドト（１の斜視図、
第７図はヘッドト１１の側面図、第８図はヘッドＨ１の
プローブＳ１付近を拡大して示す断面図である。
１・・・検査装置、２・・・移動テーブル、３・・・ガ
ラス基板、６・・・定電圧源、１１・・・検出回路、］
、３．１６・・・レベル弁別回路、１４．１７・・・基
準電圧源、１５．１８・・・表示灯、８１〜Ｂ３・・・
バッファ、ｌ（１、）（２・・・ヘッド、Ｌ１〜Ｌ口・
・・電極、３１．Ｓ２・・・１０−プ1 (21 and 2 are inspections of an embodiment of the present invention 'A')
Figure 3 is a block diagram for explaining the principle of installation 1.
, S2 is 1! Fig. 4 is a detection waveform diagram when the electrodes are not in contact with ff1L, Fig. 5 is a perspective view showing the overall force configuration of the inspection device 1, Fig. 6 is a perspective view of the head (1) that holds the probe S1;
FIG. 7 is a side view of the head 11, and FIG. 8 is an enlarged sectional view showing the vicinity of the probe S1 of the head H1. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Inspection device, 2... Moving table, 3... Glass substrate, 6... Constant voltage source, 11... Detection circuit,]
, 3.16...Level discrimination circuit, 14.17...Reference voltage source, 15.18...Indicator light, 81-B3...
Buffer, l (1,) (2...head, L1~L port/
...electrode, 31. S2...10-P
Claims (1)
ローブと、 前記プローブを、電極の延びる方向とは交差する方向に
相対的に移動する移動手段と、 前記プローブに接続され、電極間の絶縁／短絡を検出す
る手段と、 前記プローブに接続され、電極間の静電容量による電圧
変化を検出する手段とを含むことを特徴とする電極の絶
縁／短絡検出装置。[Scope of Claims] A pair of probes that respectively contact a plurality of adjacent electrodes at the same time; a moving means that relatively moves the probes in a direction crossing the direction in which the electrodes extend; connected to the probes; An electrode insulation/short circuit detection device comprising: means for detecting insulation/short circuit between electrodes; and means connected to the probe and detecting a voltage change due to capacitance between the electrodes.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1147181A JPH0636012B2 (en) | 1989-06-10 | 1989-06-10 | Electrode insulation / short circuit detection method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1147181A JPH0636012B2 (en) | 1989-06-10 | 1989-06-10 | Electrode insulation / short circuit detection method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0312564A true JPH0312564A (en) | 1991-01-21 |
| JPH0636012B2 JPH0636012B2 (en) | 1994-05-11 |
Family
ID=15424414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1147181A Expired - Lifetime JPH0636012B2 (en) | 1989-06-10 | 1989-06-10 | Electrode insulation / short circuit detection method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0636012B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011121862A1 (en) * | 2010-03-29 | 2011-10-06 | 株式会社アイテス | Inspection device of capacitive touch panel and method of inspection |
-
1989
- 1989-06-10 JP JP1147181A patent/JPH0636012B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011121862A1 (en) * | 2010-03-29 | 2011-10-06 | 株式会社アイテス | Inspection device of capacitive touch panel and method of inspection |
| JP4889833B2 (en) * | 2010-03-29 | 2012-03-07 | 株式会社アイテス | Capacitive touch panel inspection device and inspection method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0636012B2 (en) | 1994-05-11 |
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