JPH0283137A - 放電加工装置 - Google Patents

放電加工装置

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Publication number
JPH0283137A
JPH0283137A JP23252488A JP23252488A JPH0283137A JP H0283137 A JPH0283137 A JP H0283137A JP 23252488 A JP23252488 A JP 23252488A JP 23252488 A JP23252488 A JP 23252488A JP H0283137 A JPH0283137 A JP H0283137A
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JP
Japan
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fixed
linear motor
linear
permanent magnet
motor
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Pending
Application number
JP23252488A
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English (en)
Inventor
Shoji Ishihara
石原 紹治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Publication of JPH0283137A publication Critical patent/JPH0283137A/ja
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/62Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
    • B23Q1/621Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/28Electric drives

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、放電加工装置に係り、さらに詳しくは、該
装置における被加工物の位置決めを行う駆動機構に関す
るものである。
[従来の技術] 従来、放電加工装置における被加工物の位置決めを行う
には、X、Y方向に移動するテーブル、サドルの駆動源
として回転式モータを使用し、動力伝達には歯車やボー
ルねじ等で構成された直線変位に変換する構造になって
いた。
第5図は放電加工装置における従来の被加工物駆動系の
構成例を示す斜視図である。図において、(1)は放電
加工装置本体側に固定されたベッド、(2)はベッド(
1)に平行に突設された一対のレールで、サドル(3)
が摺動して移動する。(4)はレール(2)に直交して
サドル(3)に突設された一対のレールで、被加工物を
載置するテーブル(5)が摺動して移動する。(6)は
放電加工装置本体側に固定され、サドル(3)を駆動す
る回転式モータ、(7)は回転式モータ(6)の回転角
を検出する角度検出器、(8)は回転式モータ(6)の
出力軸に結合した伝達ギヤ、(9)は伝達ギヤ(8)に
噛み合うとともに、サドル(3)に固定されたボールめ
ねじ(lO)に噛み合うボールおねじ(11)に結合さ
れた伝達ギヤである。
(12)は放電加工装置本体側に固定され、テーブル(
5)を駆動する回転式モータ、(13)は回転式モータ
(12)の回転角を検出する角度検出器、(14)は回
転式モータ(12)の出力軸に結合した伝達ギヤ、(1
5)は伝達ギヤ(14)に噛み合うとともに、テーブル
(5)に固定された図示しないボールめねじに噛み合う
ボールおねじ(16)に結合した伝達ギヤである。
次に、動作について説明する。回転式モータ(6)、<
12)が図示のない設定部よりの制御指令に応じて回転
すると、サドル(3)の駆動系では、回転式モータ(6
)、伝達ギヤ(8)、(9) 、ボールおねじ(11)
に回転運動が伝達され、この回転運動がボールめねじ(
10)によって直線運動に変換され、ボールめねじ(1
0)が固定されたサドル(3)をレール(2)に沿って
摺動させる。また、テーブル(5)の駆動系では、回転
式モータ(12)、伝達ギヤ(14)。
(15)、ボールおねじ(1B)に回転運動が伝達され
、この回転運動がボールおねじ(16)に噛み合うボー
ルめねじによって直線運動に変換され、テーブル(5)
をレール(4)に沿って摺動させる。
以上のように回転式モータ(6) 、 (12)のそれ
ぞれの回転運動によって、サドル(3)とテーブル(5
)とは互いに直交する直線運動に変換され、テーブル(
5)上に載置した被加工物を所定の位置に位置決めする
なお、モータ回転角検出器(7) 、 (13)は、上
述の動作における回転式モータ(8) 、 (12)の
それぞれの回転角を検出し、これらの回転角に対応する
サドル(3)およびテーブル(5)のX−Y方向の変位
を読取る。
[発明が解決しようとする課8] 上記のような従来の放電加工装置では、回転式モータに
よる回転運動を伝達ギヤやボールねじを介して直線運動
に変換し、テーブル上に載置、固定した被加工物を移動
して加工電極と被加工物との相対位置を変えるようにし
ているので、伝達ギヤの噛み合いのバックラッシュ、ボ
ールねじに対する負荷変動による変位、これらの駆動系
における摩擦が起因するヒステリシス等によって被加工
物の位置決め精度が低下し易く、またこの精度低下を防
止するためのメンテナンスが容易にできないなどの課題
があった。
この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、安定した高精度の位置決めを行うことができる
とともに、部品数が少なく、精度維持のためのメンテナ
ンスが簡単な放電加工装置を得ることを目的とする。
〔課題を解決するための手段] この発明に係る放電加工装置は、等間隔に並設された第
1の突極群を有しベット上に固設された固定部と、第1
の突極群の上方に対向して設けられた電磁石と永久磁石
等を有する可動部とからなる第1のリニアパルスモータ
と、第2の突極群を有し第1のリニアパルスモータの可
動部に直交して固設された固定部と、第2の突極群の上
方に対向して設けられた電磁石と永久磁石等を有し被加
工物を載置・固定する可動部とからなる第2のリニアパ
ルスモータとを具備したものである。
[作用] この発明における第2のリニアパルスモータの可動部上
に載置・固定された被加工物は、第1のリニアパルスモ
ータによる可動部の移動と、この移動方向に直交する第
2のリニアパルスモータの可動部の移動とで合成された
X−Y座標によって位置決めされる。
[実施例] 第1図(a) 、(b)はこの発明の一実施例の構成を
示す正面図である。図において、(1)はベッド、(2
1)はベッド(1)に固定され、軟磁鋼の突極(21a
)が設けられた第1のりニアモータ固定部、(22)は
永久磁石(22a)及び永久磁石(22a)のNS極に
固定した一対の電磁石(22b) 、 (22c)等よ
りなり、ガイド(22d)によって支持され、後述する
パルスモータの駆動作用によって第1のりニアモータ固
定部(21)面上を摺動する第1のりニアモータ可動部
、(23)は第1のりニアモータ可動部(22’)に固
定され、第1のりニアモータ固定部(21)に直交して
設けられた軟磁鋼の突極(23a)を有する第2のりニ
アモータ固定部、(24)は永久磁石(24a)及び永
久磁石(24a)のNS極に固定した一対の電磁石(2
4b)。
(24c)等よりなり、ガイド(24d)で支持されて
第2のりニアモータ固定部(23)面上を摺動する第2
のりニアモータ可動部(24)で、被加工物(25)を
載置・固定している= 第2図は第1図における突極(21a) 、永久磁石(
22a) 、電磁石(22b) 、 (22c)の詳細
図である。
図において、永久磁石(22a)の両極のそれぞれに電
磁石(22b) 、 (22c)が固定され、さらに電
磁石(22b) 、 (22c)のそれぞれの極(22
bl)、 (22b2) 。
(22cl)、(22c2)にはコイル(27)、(2
8)が極性が互いに逆になるようにして直列に巻回され
、かつ、コイル(27)、(28)にはそれぞれに2相
のパルス電流が給電されるようになっている。
なお、第2のりニアモータ可動部(24)の永久磁石(
24a) 、電磁石(24b) 、 (24c)も上記
と同様に構成され、電磁石(24b) 、 (24c)
のそれぞれの極に2相のパルス電流を給電するコイルが
巻回されている。
上記のように構成された被加工物の駆動機構において、
例えば第1のりニアモータ固定部(21)の突極(21
a)と、第1のりニアモータ可動部(22)の極(22
b) 、 (22c)とが第3図(a)に示すような位
置関係にあるとき、コイル(28)に矢印方向に電流を
流して電磁石(22c)を励磁すると、極(22el)
の磁界が増強し、極(22c2)においては永久磁石(
22a)よる磁界と電磁石(22c)による磁界とが互
いに打ち消し合うので、第1のりニアモータ可動部(2
2)は、第1のりニアモータ固定部(21)に対して極
(22cl)の磁力によって保持される。
次に、コイル(28)の電流が断たれ、第3図(b)に
示すような方向に電流を流して電磁石(22b)を励磁
すると、極(22b2)の磁界が増強し、極(22bl
)においては永久磁石(22a)による磁界と電磁石(
22b)による磁界とが打ち消し合い、永久磁石(22
a)等、すなわち第1のりニアモータ可動部(22)は
、第1のりニアモータ固定部ぐ21)に対して1/4 
pだけ図の右方へ移動してから、極(22b2)の磁力
に保持される。
次に、コイル(27)の電流が断たれ、第3図(e)に
示すような方向に電流を流して電磁石(22c)を励磁
すると、極(22c2)の磁界が増強し、極(22el
)においては永久磁石(22a)による磁界と電磁石(
22c)による磁界とが打ち消し合うので、第1のりニ
アモータ可動部(22)は、第1のりニアモータ固定部
(21)に対してさらにl/4 pだけ図の右方へ移動
した後にコイル(’28 )の電流が断たれると、極(
22c2)における永久磁石(22a)の磁力によって
保持される。
以上のように、図示のない設定部より出力するパルス数
に応じて第1のりニアモータ可動部(22)は所定量の
移動を行ない、停止位置においてコイル(27)、(2
8)の電流による励磁が断たれると、永久磁石(22a
)の磁力によって保持される。
第2のりニアモータ固定部(23)と第2のりニアモー
タ可動部(24)も上述と全く同様の動作を行うので、
互いに直交する第1のりニアモータ可動部(22)と第
2のりニアモータ可動部(24)とは、設定部よりのそ
れぞれへの所定のパルス数に応じた移動をして、被加工
物(25)の位置決め等が行なわれる。
また、以上の動作によって得られる被加工物(25)の
位置決めの精度は、電磁石の励磁方式や突極(21a)
 、 (23a)のピッチ等によって定まるが、ステッ
プ位置精度:±0.03+sms繰り返し位置決め精度
:±O、OO5關、ヒステリシス: 0 、04 ra
ts程度の精度が得られる。
なお、上述の実施例では互いに直交する第1、第2のり
ニアモータ可動部(22) 、 (24)が、それぞれ
が対向する突極(21a) 、 (23a)との磁力変
化によって移動する構成について説明したが、第4図に
示すように被加工物を載置・固定するりニアモータ可動
部に固定して設けられて、互いに直交する永久磁石(2
7)、(2B>等を部分的に示した突極(29)上に配
置する構成にしても、X、Y軸方向への被加工物の移動
を交互にそれぞれ行うようにすれば、上述の実施例と同
等のものが得られる。
また、上述の実施例ではリニアパルスモータを放電加工
装置における被加工物の駆動系に使用した例について説
明したが、他の加工装置等における被加工物の位置決め
を行う装置に適用しても、同様の効果を奏する。
[発明の効果] 以上のように、この発明によれば、固定部の突極群に対
向して設けた可動部の永久磁石と電磁石とによる磁力で
、設定部より出力するパルス数に応じて被加工物をX−
Y方向に移動させて位置決めを行うようにしたので、歯
車やねじの摩耗等による精度維持のためのメンテナンス
が必要なく、また安定した高精度の被加工物の位置決め
ができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図(a) 、 (b)はこの発明の一実施例の構成
を示す正面図及び側面図、第2図は第1図の要部を示す
詳細図、第3図(a) 、(b) 、(c)はりニアモ
ータ可動部の動作説明図、第4図はこの発明の他の実施
例を示す斜視図、第5図は従来の放電加工装置における
被加工物の駆動機構の一例を示す斜視図である。 図において、(1)はベッド、(21)は第1のりニア
モータ固定部、(21a) 、 (23a)は突極、(
22)は第1のりニアモータ可動部、(22a) 、 
(24a)は永久磁石、(22b) 、 (22c) 
、 (24b) 、 (24c)は電磁石%’ (23
)は第2のりニアモータ固定部、(24)は第2のりニ
アモータ可動部、(25)は被加工物。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  等間隔に並設された第1の突極群を有しベッド上に固
    設された固定部と、上記第1の突極群の上方に対向して
    設けられた電磁石と永久磁石等を有する可動部とからな
    る第1のリニアパルスモータと、等間隔に並設された第
    2の突極群を有し上記第1のリニアパルスモータの可動
    部に直交して固設された固定部と、上記第2の突極群の
    上方に対向して設けられた電磁石と永久磁石等を有し被
    加工物を載置・固定する可動部とからなる第2のリニア
    パルスモータとを具備した放電加工装置。
JP23252488A 1988-09-19 1988-09-19 放電加工装置 Pending JPH0283137A (ja)

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JP23252488A JPH0283137A (ja) 1988-09-19 1988-09-19 放電加工装置

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JP23252488A JPH0283137A (ja) 1988-09-19 1988-09-19 放電加工装置

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JPH0283137A true JPH0283137A (ja) 1990-03-23

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ID=16940683

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JP23252488A Pending JPH0283137A (ja) 1988-09-19 1988-09-19 放電加工装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6353199B1 (en) * 1998-11-17 2002-03-05 Sodick Co., Ltd. Apparatus for electric discharge machining
US6509538B2 (en) * 2000-03-10 2003-01-21 Sodick Co., Ltd. Wire cut electric discharge machine using linear motors
CN106180937A (zh) * 2016-08-29 2016-12-07 大连銮艺精密模塑制造有限公司 精定位磁性转换工作台

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6353199B1 (en) * 1998-11-17 2002-03-05 Sodick Co., Ltd. Apparatus for electric discharge machining
US6509538B2 (en) * 2000-03-10 2003-01-21 Sodick Co., Ltd. Wire cut electric discharge machine using linear motors
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