JP2879934B2 - ステージ装置 - Google Patents
ステージ装置Info
- Publication number
- JP2879934B2 JP2879934B2 JP11461290A JP11461290A JP2879934B2 JP 2879934 B2 JP2879934 B2 JP 2879934B2 JP 11461290 A JP11461290 A JP 11461290A JP 11461290 A JP11461290 A JP 11461290A JP 2879934 B2 JP2879934 B2 JP 2879934B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- coil
- force
- coils
- base member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はステージ装置に関し、特に２次元面内で対象
物を移動させるステージ装置に関する。
物を移動させるステージ装置に関する。
［従来の技術］ 従来、対象物を２次元的に駆動する装置としては、ま
ず平面内の一方向であるＸ軸方向について駆動を行うサ
ーボモータとホールネジを備えたＸステージを形成し、
その上にＹ軸方向の駆動を行うサーボモータとボールネ
ジを備えたＹステージを重ねたXYステージ等が知られて
いる。
ず平面内の一方向であるＸ軸方向について駆動を行うサ
ーボモータとホールネジを備えたＸステージを形成し、
その上にＹ軸方向の駆動を行うサーボモータとボールネ
ジを備えたＹステージを重ねたXYステージ等が知られて
いる。
ボールネジはガタやバックラッシを完全に排除するこ
とはできない。また、サーボモータで発生した駆動力を
対象物に伝えるには、途中に動力伝達機構や案内機構を
介さねばならず、発生した駆動力を100％対象物に伝え
ることはできない。これは別の観点から見ると、何等か
の機構部材等に歪み、弾性変形等を生じさせていること
になる。
とはできない。また、サーボモータで発生した駆動力を
対象物に伝えるには、途中に動力伝達機構や案内機構を
介さねばならず、発生した駆動力を100％対象物に伝え
ることはできない。これは別の観点から見ると、何等か
の機構部材等に歪み、弾性変形等を生じさせていること
になる。
このような機構によっては、0.01μｍ程度以下の位置
決め精度を実現することは困難である。
決め精度を実現することは困難である。
［発明が解決しようとする課題］ 以上説明したような、サーボモータとボールネジによ
るステージ装置によっては、たとえば0.01μｍ以下の超
精密XYステージを実現することは難しかった。
るステージ装置によっては、たとえば0.01μｍ以下の超
精密XYステージを実現することは難しかった。
本発明の目的は、超精密精度を実現するのに適したス
テージ装置を提供することである。
テージ装置を提供することである。
本発明の他の目的は、構造が簡単で遊びがなく、位置
精度に優れたステージ装置を提供することである。
精度に優れたステージ装置を提供することである。
［課題を解決するための手段］ ベース部材上に複数のストライプ状永久磁石をその極
性を交互に反転させながら配列する。ストライプ状永久
磁石と平行な軸の周りに巻回しされた複数の第１コイル
をステージに固定する。また、第１コイルと交差する方
向を軸とし、軸の周りに巻回しされた複数の第２コイル
をステージに固定する。ストライプ状永久磁石から発す
る磁力線は第１およぶ第２コイルの下辺において上辺よ
りも大きな密度を有するように配置する。
性を交互に反転させながら配列する。ストライプ状永久
磁石と平行な軸の周りに巻回しされた複数の第１コイル
をステージに固定する。また、第１コイルと交差する方
向を軸とし、軸の周りに巻回しされた複数の第２コイル
をステージに固定する。ストライプ状永久磁石から発す
る磁力線は第１およぶ第２コイルの下辺において上辺よ
りも大きな密度を有するように配置する。
［作用］ ストライプ状永久磁石を平行に配列するので、永久磁
石から発する磁力線は空間で弧を描いて隣接する永久磁
石に達する。コイルの一部がこの磁力線と交わると、電
流の流れる方向および磁力線の向きに対して垂直な方向
に力が発生する。コイルの残りの部分で発する力を十分
小さくしておくと、コイルには所定方向の力が作用する
ようにできる。第１のコイルと第２のコイルは巻回しの
方向が異なるので、平面内の二方向に沿った力を発生す
ることができる。このようにして２次元的に駆動できる
ステージ装置が実現される。
石から発する磁力線は空間で弧を描いて隣接する永久磁
石に達する。コイルの一部がこの磁力線と交わると、電
流の流れる方向および磁力線の向きに対して垂直な方向
に力が発生する。コイルの残りの部分で発する力を十分
小さくしておくと、コイルには所定方向の力が作用する
ようにできる。第１のコイルと第２のコイルは巻回しの
方向が異なるので、平面内の二方向に沿った力を発生す
ることができる。このようにして２次元的に駆動できる
ステージ装置が実現される。
［実施例］ 第１図は本発明の実施例によるステージ装置を示す斜
視図である。
視図である。
透磁率の高い鉄等の材料で形成されたヨーク１は案内
面４の上に滑り案内、転がり案内等の案内機構を用いて
支持される。ヨーク１の上には細長いストライプ状の永
久磁石２が複数本平行に配置されている。図中、永久磁
石２は上面、下面に磁極を有し、隣接する永久磁石は交
互に磁極を反転している。すなわち、永久磁石の上面の
磁極を見ると、Ｎ極、Ｓ極、Ｎ極、Ｓ極…と交互に配置
されている。ヨーク１はマグネット部駆動用モータ３に
より、永久磁石の長さ方向と直交する方向に駆動できる
ようにされている。ヨーク１は案内面４上をＹ方向に移
動するための案内機構を持つ。この案内は、すべり案
内、ころがり案内等種々の方式で実現できる。案内面４
の上には、メインステージ７がエアパッド８を介して支
持される。メインステージ７の下面には、複数のＸ用コ
イル５がヨーク１上の永久磁石２とピッチを揃えて配列
されている。また、メインステージ７の下面にはＸ用コ
イルと直交する向きにＹ用コイル６が複数個配列されて
いる。このＹ用コイル６も永久磁石２とピッチを揃えて
配列されている。
面４の上に滑り案内、転がり案内等の案内機構を用いて
支持される。ヨーク１の上には細長いストライプ状の永
久磁石２が複数本平行に配置されている。図中、永久磁
石２は上面、下面に磁極を有し、隣接する永久磁石は交
互に磁極を反転している。すなわち、永久磁石の上面の
磁極を見ると、Ｎ極、Ｓ極、Ｎ極、Ｓ極…と交互に配置
されている。ヨーク１はマグネット部駆動用モータ３に
より、永久磁石の長さ方向と直交する方向に駆動できる
ようにされている。ヨーク１は案内面４上をＹ方向に移
動するための案内機構を持つ。この案内は、すべり案
内、ころがり案内等種々の方式で実現できる。案内面４
の上には、メインステージ７がエアパッド８を介して支
持される。メインステージ７の下面には、複数のＸ用コ
イル５がヨーク１上の永久磁石２とピッチを揃えて配列
されている。また、メインステージ７の下面にはＸ用コ
イルと直交する向きにＹ用コイル６が複数個配列されて
いる。このＹ用コイル６も永久磁石２とピッチを揃えて
配列されている。
Ｘ用コイルおよびＹ用コイルの駆動原理を、第２図
（Ａ）、（Ｂ）を参照して説明する。簡単のためそれぞ
れコイルの１ターンを取り出して例示する。
（Ａ）、（Ｂ）を参照して説明する。簡単のためそれぞ
れコイルの１ターンを取り出して例示する。
第２図（Ａ）は、Ｘ用コイルの１ターンを示す。永久
磁石２は上面にＮ極、下面にＳ極を有し、Ｎ極から発す
る磁力線は上方に向かい、やがて隣接する逆極性の永久
磁石に終端する。図に示すように、Ｘ用コイルが永久磁
石２の直上に配置されているとする。コイル５には矢印
で示すような電流が流れるとする。すると、コイル５の
下辺にはローレンツ力により、矢印で示すような力Ｆが
働く。コイル５の垂直辺は磁力線と平行な間は力が作用
しない。磁力線が曲ると左右で逆向きの力が発生する
が、複数のＸ用コイル５を用いることによりこれらの力
は相殺する。コイル５の上辺には下辺と逆向きの力が働
くがその絶対値は小さい。すなわち、Ｘ用コイルにはス
トライプ状永久磁石の長さ方向であるＸ方向に力が作用
する。
磁石２は上面にＮ極、下面にＳ極を有し、Ｎ極から発す
る磁力線は上方に向かい、やがて隣接する逆極性の永久
磁石に終端する。図に示すように、Ｘ用コイルが永久磁
石２の直上に配置されているとする。コイル５には矢印
で示すような電流が流れるとする。すると、コイル５の
下辺にはローレンツ力により、矢印で示すような力Ｆが
働く。コイル５の垂直辺は磁力線と平行な間は力が作用
しない。磁力線が曲ると左右で逆向きの力が発生する
が、複数のＸ用コイル５を用いることによりこれらの力
は相殺する。コイル５の上辺には下辺と逆向きの力が働
くがその絶対値は小さい。すなわち、Ｘ用コイルにはス
トライプ状永久磁石の長さ方向であるＸ方向に力が作用
する。
第２図（Ｂ）は、Ｙ用コイルの１ターンを示す。Ｙ用
コイルはＸ用コイルと直交する平面内にコイルが巻回し
されている。永久磁石２からは前記同様の磁力線が発生
している。Ｙ用コイル６に矢印で示すような電流を流す
と、ローレンツ力は紙面垂直方向に発生する。図示の場
合、コイル６には紙面裏側から表側に向かう力Ｆが働
く。
コイルはＸ用コイルと直交する平面内にコイルが巻回し
されている。永久磁石２からは前記同様の磁力線が発生
している。Ｙ用コイル６に矢印で示すような電流を流す
と、ローレンツ力は紙面垂直方向に発生する。図示の場
合、コイル６には紙面裏側から表側に向かう力Ｆが働
く。
第３図は、第２図（Ａ）、（Ｂ）に示したようなＸ用
コイルとＹ用コイルを合わせて有する２次元ステージの
駆動を説明する概略断面図である。図において、ヨーク
１上には細長いストライプ状の永久磁石2a、2b…2fが紙
面と垂直方向に平行に配列されている。なお、表面上に
露出する磁極は、交互にＮ、Ｓを繰り返すように配列さ
れている。従って、Ｎ極から発する磁力線は隣接するＳ
極に終端する。図中、永久磁石2a、2b、2e、2fの上には
Ｘ用コイル5a、5b、5c、5dが配置されている。また、中
央部の永久磁石2c、2dの上にはＸ用コイル6a、6bが配置
されている。Ｘ用コイル5a、5cには、図の矢印で示すよ
うな、左回りの電流を与え、Ｘ用コイル5b、5dには矢印
で示すような右回りの電流を与える。永久磁石2a上の磁
力線は上向きであり、永久磁石2b上の磁力線は下向きで
あるので、電流方向を逆転させた時に働く力は同一方向
となる。図示の場合、紙面裏面から表面に向かう力が発
生する。同様に、Ｘ用コイル5c、5dにも紙面裏面から表
面に向かう力が働く。
コイルとＹ用コイルを合わせて有する２次元ステージの
駆動を説明する概略断面図である。図において、ヨーク
１上には細長いストライプ状の永久磁石2a、2b…2fが紙
面と垂直方向に平行に配列されている。なお、表面上に
露出する磁極は、交互にＮ、Ｓを繰り返すように配列さ
れている。従って、Ｎ極から発する磁力線は隣接するＳ
極に終端する。図中、永久磁石2a、2b、2e、2fの上には
Ｘ用コイル5a、5b、5c、5dが配置されている。また、中
央部の永久磁石2c、2dの上にはＸ用コイル6a、6bが配置
されている。Ｘ用コイル5a、5cには、図の矢印で示すよ
うな、左回りの電流を与え、Ｘ用コイル5b、5dには矢印
で示すような右回りの電流を与える。永久磁石2a上の磁
力線は上向きであり、永久磁石2b上の磁力線は下向きで
あるので、電流方向を逆転させた時に働く力は同一方向
となる。図示の場合、紙面裏面から表面に向かう力が発
生する。同様に、Ｘ用コイル5c、5dにも紙面裏面から表
面に向かう力が働く。
なお、Ｙ方向に駆動する時には、Ｙ用コイル6a、6bに
図示の矢印のように、逆向きの電流を流すことにより共
にＹ方向に向かう力が発生する。
図示の矢印のように、逆向きの電流を流すことにより共
にＹ方向に向かう力が発生する。
なお、それぞれの電流方向を反転させれば、反対向き
の力が生じることは当業者に自明であろう。
の力が生じることは当業者に自明であろう。
第４図は、ステージの移動モードを説明する平面図で
ある。第４図（Ａ）においては、各Ｙ用コイルに＋Ｙ方
向の力が発生する向きの電流を与えている。各Ｙ用コイ
ルが＋Ｙ方向の力を発生するので、ステージ全体がＹ方
向に並進する。
ある。第４図（Ａ）においては、各Ｙ用コイルに＋Ｙ方
向の力が発生する向きの電流を与えている。各Ｙ用コイ
ルが＋Ｙ方向の力を発生するので、ステージ全体がＹ方
向に並進する。
第４図（Ｂ）においては、各Ｘ用コイルに−Ｘ方向の
力が発生する向きの電流を供給している。従って、各Ｘ
用コイルには−Ｘ方向の力が発生する。このためステー
ジ全体が−Ｘ方向に並進する。
力が発生する向きの電流を供給している。従って、各Ｘ
用コイルには−Ｘ方向の力が発生する。このためステー
ジ全体が−Ｘ方向に並進する。
第４図（Ｃ）においては、右側の２つのＸ用コイルに
は＋Ｘ方向の力が発生する向きの電流を与え、左側の２
つのＸ用コイルには−Ｘ方向の力が発生する向きの電流
を与えている。従って、ステージ全体としては、右側で
下向き、左側で上向きの力が働き、XY面内の回転運動を
行う。
は＋Ｘ方向の力が発生する向きの電流を与え、左側の２
つのＸ用コイルには−Ｘ方向の力が発生する向きの電流
を与えている。従って、ステージ全体としては、右側で
下向き、左側で上向きの力が働き、XY面内の回転運動を
行う。
このように、各コイルを所望の向きに励磁することに
より、XY平面内での並進と回転を任意に行うことができ
る。
より、XY平面内での並進と回転を任意に行うことができ
る。
第５図は、第１図に示したエアパッドの部分拡大図を
示す。エアパッド８は中央に空気等の気体を噴出するた
めのダクトを有し、周辺部に磁気的吸引力を働かせるた
めのリング状磁石９を有している。なお、案内面４は鉄
等の磁性体で形成する。エアパッドから一定圧力の空気
が噴出している場合、エアパッド８の案内面４に対する
間隙が狭まれば、空気の押す力が強くなり、バッドは押
し上げられる。間隙が広くなると、空気の流れに対する
抵抗が減り、磁石による吸引力が勝ってパッドは引き付
けられる。すなわち、エアパッドは第１図に示すステー
ジ７を案内面４に対して吸引させ、その距離を一定に保
つ。ステージ７はその面内運動に関してはほとんど抵抗
を持たない。Ｘ用コイル５及びＹ用コイル６が磁場内で
力を発揮し、案内面に沿って平行に駆動力を発揮する
と、ステージ７はその面方向に沿って駆動力に従う運動
を行う。この際、エアパッドはほとんど摩擦力を示さな
いので、ステージ７が摩擦力によって歪むということは
防止される。
示す。エアパッド８は中央に空気等の気体を噴出するた
めのダクトを有し、周辺部に磁気的吸引力を働かせるた
めのリング状磁石９を有している。なお、案内面４は鉄
等の磁性体で形成する。エアパッドから一定圧力の空気
が噴出している場合、エアパッド８の案内面４に対する
間隙が狭まれば、空気の押す力が強くなり、バッドは押
し上げられる。間隙が広くなると、空気の流れに対する
抵抗が減り、磁石による吸引力が勝ってパッドは引き付
けられる。すなわち、エアパッドは第１図に示すステー
ジ７を案内面４に対して吸引させ、その距離を一定に保
つ。ステージ７はその面内運動に関してはほとんど抵抗
を持たない。Ｘ用コイル５及びＹ用コイル６が磁場内で
力を発揮し、案内面に沿って平行に駆動力を発揮する
と、ステージ７はその面方向に沿って駆動力に従う運動
を行う。この際、エアパッドはほとんど摩擦力を示さな
いので、ステージ７が摩擦力によって歪むということは
防止される。
第６図は、SOR露光用垂直型ステージを示す。ベース2
0内にSOR光15が進行するダクト21が形成されており、窓
23を通ってSOR光が供給される。ベース20と対向するよ
うに他のベース25が形成されており、この上に案内面を
有するヨーク24が配置されている。ヨーク24上には紙面
と垂直方向にストライプ上の磁石２が複数本配列されて
いる。この永久磁石２と対向するように、Ｘ用コイル５
およびＹ用コイル６が配置されたステージ７がエアパッ
ド８によって保持されている。エアパッド８はベース20
に磁力によって吸い付けられている。ステージ７の左面
にはウエハチャック11が取り付けられており、半導体ウ
エハ12を保持する。ステージ７はエアパッド８によって
支持されつつ、Ｘ用コイル５およびＹ用コイル６によっ
て駆動されて所望の位置に移動する。なお、図示してい
ないが、ヨーク24はベース25に対して図中垂直方向に微
動する機構を備えている。
0内にSOR光15が進行するダクト21が形成されており、窓
23を通ってSOR光が供給される。ベース20と対向するよ
うに他のベース25が形成されており、この上に案内面を
有するヨーク24が配置されている。ヨーク24上には紙面
と垂直方向にストライプ上の磁石２が複数本配列されて
いる。この永久磁石２と対向するように、Ｘ用コイル５
およびＹ用コイル６が配置されたステージ７がエアパッ
ド８によって保持されている。エアパッド８はベース20
に磁力によって吸い付けられている。ステージ７の左面
にはウエハチャック11が取り付けられており、半導体ウ
エハ12を保持する。ステージ７はエアパッド８によって
支持されつつ、Ｘ用コイル５およびＹ用コイル６によっ
て駆動されて所望の位置に移動する。なお、図示してい
ないが、ヨーク24はベース25に対して図中垂直方向に微
動する機構を備えている。
以上説明した実施例においては、Ｘ方向には任意の駆
動を行うことができるが、Ｙ方向の駆動に関しては、Ｙ
用コイル６が永久磁石２の上からずれるに従って駆動力
が弱まる。すなわち、Ｙ方向の駆動はリップル的な振動
を伴う。
動を行うことができるが、Ｙ方向の駆動に関しては、Ｙ
用コイル６が永久磁石２の上からずれるに従って駆動力
が弱まる。すなわち、Ｙ方向の駆動はリップル的な振動
を伴う。
第７図は、Ｙ方向の力のリップルを低減することので
きる他の実施例を示す。
きる他の実施例を示す。
第７図（Ａ）は平面図を示す。細長い永久磁石２が複
数本平行に配置されている。その上に左側に２つのＸ用
コイル5a、5b、右側に２つのＸ用コイル5c、5dが配置さ
れ、中央部に３つの永久磁石2c、2d、2eが露出されてい
る。中央部の３つの永久磁石に対して、Ｙ用コイル6a、
6bは永久磁石2d、2eと対向するように配置され、他の２
つのＹ用コイル6c、6dは永久磁石の中間に配置されてい
る。すなわち、第７図（Ｂ）に示すように、永久磁石2
d、2eの上にＹ用コイル6a、6bが配置されると、他のＹ
用コイル6c、6dは、第７図（Ｃ）に示すように、永久磁
石2cと2dの間および永久磁石2dと2eの間に配置される。
ところが、ステージ全体がＹ方向に移動すると、Ｙ用コ
イル6a、6bは次第に永久磁石の上から離れ、永久磁石と
永久磁石の中間の位置に移動される。この時、他のＹ用
コイル6c、6dは永久磁石と永久磁石の中間領域からそれ
ぞれ永久磁石の上へと移動する。このようにして、コイ
ル6a、6bが力を失う時には、他のコイル6c、6dが力を発
揮するようになりリップルが低減される。
数本平行に配置されている。その上に左側に２つのＸ用
コイル5a、5b、右側に２つのＸ用コイル5c、5dが配置さ
れ、中央部に３つの永久磁石2c、2d、2eが露出されてい
る。中央部の３つの永久磁石に対して、Ｙ用コイル6a、
6bは永久磁石2d、2eと対向するように配置され、他の２
つのＹ用コイル6c、6dは永久磁石の中間に配置されてい
る。すなわち、第７図（Ｂ）に示すように、永久磁石2
d、2eの上にＹ用コイル6a、6bが配置されると、他のＹ
用コイル6c、6dは、第７図（Ｃ）に示すように、永久磁
石2cと2dの間および永久磁石2dと2eの間に配置される。
ところが、ステージ全体がＹ方向に移動すると、Ｙ用コ
イル6a、6bは次第に永久磁石の上から離れ、永久磁石と
永久磁石の中間の位置に移動される。この時、他のＹ用
コイル6c、6dは永久磁石と永久磁石の中間領域からそれ
ぞれ永久磁石の上へと移動する。このようにして、コイ
ル6a、6bが力を失う時には、他のコイル6c、6dが力を発
揮するようになりリップルが低減される。
第７図に示すような、Ｙ用コイルを有するステージ
を、第１図に示すステージ装置に組み込むことにより、
リップル成分の低減したステージ装置を得ることができ
る。同様に、第６図に示したような、SOR露光用垂直型
ステージに、第７図に示すような、Ｙ用コイルを用いる
ことができる。
を、第１図に示すステージ装置に組み込むことにより、
リップル成分の低減したステージ装置を得ることができ
る。同様に、第６図に示したような、SOR露光用垂直型
ステージに、第７図に示すような、Ｙ用コイルを用いる
ことができる。
なお、限られた実施例に沿って本発明を説明したが、
本発明はこれらに限定されるものではない。たとえば、
種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者
に自明であろう。
本発明はこれらに限定されるものではない。たとえば、
種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者
に自明であろう。
たとえば、永久磁石やコイルの数は任意に変化させる
ことができる。また、メインステージの保持はエアパッ
ド以外の形態を用いることもできる。
ことができる。また、メインステージの保持はエアパッ
ド以外の形態を用いることもできる。
駆動用のコイルは、コアレスタイプのみでなく、有芯
タイプでもよい。コイルの巻線形状も図示の物に限らな
い。
タイプでもよい。コイルの巻線形状も図示の物に限らな
い。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、ステージに直
接Ｘ方向、Ｙ方向の力を与えてステージを駆動すること
ができる。
接Ｘ方向、Ｙ方向の力を与えてステージを駆動すること
ができる。
動力伝達系を排除したことにより、高い運動精度を実
現できる。
現できる。
ステージに対して直接、Ｘ、Ｙ、θｚのトルクを与え
ることができ、位置と姿勢の制御が可能である。
ることができ、位置と姿勢の制御が可能である。
構成が簡単なため、小型かつ軽量のステージ装置を提
供することができる。
供することができる。
軽量であるため高速化に有利である。
第１図は本発明の実施例によるステージ装置の斜視図、 第２図（Ａ）、（Ｂ）は第１図に示したステージ装置の
Ｘ用コイルおよびＹ用コイル駆動原理を説明するための
概念図、 第３図はＸ用コイル、Ｙ用コイルを備えた２次元ステー
ジの駆動を説明するための概念図、 第４図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はXYステージの移動モー
ドを説明するための平面図、 第５図はエアパッドの機能を説明するための概略断面
図、 第６図はSOR露光用垂直型ステージを説明するための断
面図、 第７図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、本発明の他の実施例
を説明するための平面図および一部断面図である。 図において、 １……ヨーク ２……永久磁石 ３……駆動用モータ ４……案内面 ５……Ｘ用コイル ６……Ｙ用コイル ７……メインステージ ８……エアパッド ９……永久磁石リング 11……ウエハチャック 12……ウエハ 15……SOR光 20、25……ベース 21……SOR光ダクト 23……窓 24……ヨーク
Ｘ用コイルおよびＹ用コイル駆動原理を説明するための
概念図、 第３図はＸ用コイル、Ｙ用コイルを備えた２次元ステー
ジの駆動を説明するための概念図、 第４図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はXYステージの移動モー
ドを説明するための平面図、 第５図はエアパッドの機能を説明するための概略断面
図、 第６図はSOR露光用垂直型ステージを説明するための断
面図、 第７図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、本発明の他の実施例
を説明するための平面図および一部断面図である。 図において、 １……ヨーク ２……永久磁石 ３……駆動用モータ ４……案内面 ５……Ｘ用コイル ６……Ｙ用コイル ７……メインステージ ８……エアパッド ９……永久磁石リング 11……ウエハチャック 12……ウエハ 15……SOR光 20、25……ベース 21……SOR光ダクト 23……窓 24……ヨーク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭52−54108（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−178746（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−178747（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H02K 41/02 H02K 41/03
Claims (5)
- 【請求項１】物理的支持を与える第１の表面を有し、ヨ
ークを兼ねるベース部材と、 前記ベース部材の第１の表面上に平行に第１の方向に延
在し、互いに隣接して配置された複数のストライプ状永
久磁石であって、各々のストライプ状永久磁石は前記ベ
ース部材の第１の表面の法線方向に沿って磁極を有し、
隣接するストライプ状永久磁石の磁極は反転しているス
トライプ状永久磁石と、 前記ベース部材の第１の表面と向かい合う第２の表面を
有するステージと、 前記ステージの第２の表面上に固定され、前記ストライ
プ状永久磁石の第１の方向と平行な軸の周りに巻回され
た複数の第１コイルであって、前記ストライプ状永久磁
石に近いコイル辺に働く力の絶対値と遠いコイル辺に働
く力の絶対値が十分異なる複数の第１コイルと、 前記ステージの第２の表面上に固定され、第２の表面内
で前記第１の方向と交差する第２の方向に沿った軸の周
りに巻回された複数の第２コイルであって、前記ストラ
イプ状永久磁石に近いコイル辺に働く力の絶対値と遠い
コイル辺に働く力の絶対値が十分異なる複数の第２コイ
ルと を有するステージ装置。 - 【請求項２】請求項１において、さらに前記第２の方向
に前記ベース部材を駆動する手段を有するステージ装
置。 - 【請求項３】請求項１ないし２において、前記第２コイ
ルがその軸方向位置をずらして配置された第１群と第２
群を含むステージ装置。 - 【請求項４】前記ステージが空気圧を利用したエアパッ
ドによって浮上させられている請求項１〜３のいずれか
に記載のステージ装置。 - 【請求項５】前記ベース部材の第１の表面が垂直面であ
り、前記エアパッドが磁石を含んで磁気力によって吸引
され、空気圧によって浮上させられている請求項４記載
のステージ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11461290A JP2879934B2 (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | ステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11461290A JP2879934B2 (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | ステージ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0412657A JPH0412657A (ja) | 1992-01-17 |
| JP2879934B2 true JP2879934B2 (ja) | 1999-04-05 |
Family
ID=14642216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11461290A Expired - Fee Related JP2879934B2 (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | ステージ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2879934B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10164819A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | リニアモータを用いたｘｙステージ装置の可動コイル |
| JP3935235B2 (ja) * | 1997-02-19 | 2007-06-20 | 株式会社東芝 | Ｘｙ移動用アクチュエータおよび半導体接続装置 |
| JP7467093B2 (ja) | 2019-12-06 | 2024-04-15 | キヤノン株式会社 | 搬送システムおよび物品の製造方法 |
-
1990
- 1990-04-27 JP JP11461290A patent/JP2879934B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0412657A (ja) | 1992-01-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5387570B2 (ja) | 多自由度アクチュエータおよびステージ装置 | |
| US6147421A (en) | Platform positionable in at least three degrees of freedom by interaction with coils | |
| WO1984003007A1 (en) | An improved brushless dc motor | |
| JP2002064968A (ja) | 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置 | |
| JP3013997B2 (ja) | ２次元モータ式ステージ装置 | |
| JPS60207440A (ja) | 振動モータ | |
| JP2879934B2 (ja) | ステージ装置 | |
| JPH118263A (ja) | 積荷を高度に精密かつ動的に移動させるためのｘ−ｙテーブル | |
| CN107925336A (zh) | 横向磁通线性电机 | |
| JPWO2004059821A1 (ja) | 駆動装置 | |
| JP2005218203A (ja) | アクチュエータ及びボンディング装置 | |
| JP2000102237A (ja) | リニアスライド | |
| JPH03218249A (ja) | リニアモータ一体型直動案内ユニット | |
| JPH02246762A (ja) | リニアモータ | |
| KR100407897B1 (ko) | 기동자석형 ｖｃｍ을 이용한 정밀 액츄에이터스테이지장치 | |
| KR20030084210A (ko) | 베어링리스 리니어 모터 | |
| JP2894892B2 (ja) | ２軸ステージ装置およびｘｙプロッタ | |
| JP3268101B2 (ja) | 位置決め装置 | |
| JP3262791B2 (ja) | ステージ装置 | |
| JPH10285898A (ja) | リニアアクチュエータ | |
| JP2006034013A (ja) | 工作機械用リニアモータ | |
| JPH0591710A (ja) | スイング動作用リニアモータ | |
| JPS59156149A (ja) | リニヤモ−タ | |
| JPH03178746A (ja) | 二次元可動ステージ装置 | |
| JPS6314584B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080129 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090129 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090129 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100129 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |