JPH0266925A - アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法 - Google Patents

アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法

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JPH0266925A
JPH0266925A JP21901188A JP21901188A JPH0266925A JP H0266925 A JPH0266925 A JP H0266925A JP 21901188 A JP21901188 A JP 21901188A JP 21901188 A JP21901188 A JP 21901188A JP H0266925 A JPH0266925 A JP H0266925A
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浩一 小島
Akihiro Gejiyou
重城 明広
Nobuyoshi Kanzaki
神崎 信義
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はアルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエツチ
ング方法に関するものである。
従来の技術 いわゆるアルミニウム電解コンデンサはアルミニウム電
極箔と絶縁紙とを巻回し駆動用電解液を含浸して構成さ
れているが、アルミニウム電極箔には単位面積当りの静
電容量を増すために、その表面をエツチングして凹凸を
形成し表面積を拡大したものが使用されている。
つまシ、近年IC、LSI等の発達により電解コンデン
サにおいても更に小形化・薄型化が要求されており、こ
のためには使用される電極箔の単位面積当りの静電容量
を増加することが必要なのである。
従来よりアルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエツチ
ング方法としては強度の強い点を生かした交流電流によ
るものかあシ、種々の添加剤又は波形に関する特許も出
願されている(例えば特開昭58−22390号)。
発明が解決しようとする課題 しかしながら単純な従来の波形(正弦波など)と従来の
添加剤では、波面倍率(=エツチング後の電極箔の単位
面積当りの静電容量/エツチング前の単位面積当りの静
電容量)が不十分であるという欠点があった。
本発明は高い波面倍率を有するアルミニウム電極箔を得
ることを可能にするものである。
課題を解決するだめの手段 このような従来の問題点を解決するために本発明は、塩
化アルミニウムを含む濃度3〜25係の塩酸溶液中で、
液温10〜了Q℃でアルミニウム箔の表面を又流電流を
用いてエツチングする際に、添加剤として硝酸、硫酸、
リン酸、シュウ酸のうちいずれか1種類以上の酸化性の
酸又はイオンを含みかつ交流電流の各サイクルの極大電
流値までの立上り時間がe5ms以内の正負対称波形で
エツチングするものである。
また、添加剤の濃度としては、0.01〜10%とする
ものである。
作用 上記のように、酸化性の酸を含みかつ交流電流の各サイ
クルの極大電流値までの立上り時間が5!IIS以内の
波形でエツチングする作用は以下のようである。
一般的に塩酸中での交流電流によるエツチングでは、ア
ノード(正)サイクルでのビット発生とカンード(負)
サイクルでの化学溶解・皮膜形成を交互にくり返しなが
ら進行していく。そこで酸化性の酸を添加することによ
りカソード時に均一で強固な皮膜を形成して化学溶解を
抑制しかつアノード時のエツチング電流を51115以
下で急激に立上げることにより強固な皮膜の欠陥部から
均一にエッチビットを発生させるものである。このよう
にして従来より約20%高い波面倍率を持ったアルミニ
ウム箔を得ることができる。
実施例 第1図は本発明による電流波形の例であり、tは立上り
時間を示す。
第2図は塩酸溶液中で下記条件でエツチングした後、ア
ジピン酸アンモニウム溶液で70vで化成した静電容量
である。
CXッfン’fH)   5%HCl+2%人7!ce
s〔添加剤〕     1%HNO。
〔アルミニウム箔34N、90μ重い軟質材〔エツチン
グ温度〕 40°C 〔エツチング時間〕5m工n 〔周波数)      20 Hz [立上り時間]    1.3,5,7.10m5第2
図に示されるように立上り時間を早くする程静電容量は
高い傾向を示し、5 ms以下で従来レベルより高くな
り、I  ms以下では約20チ以上の波面倍率のアッ
プが認められた0又、この効果は添加剤との交互作用も
大きく、硝酸、硫酸。
リン酸、シュウ酸のいずれか一種類以上を含むことが不
可欠である。
発明の効果 以上述べたように本発明のエツチング方法によれば、従
来に比べ20チ以上拡面倍率の高いアルミ電解コンデン
サ用電極箔を製造することができ、製品の小形化及びコ
ストダウンに大きな効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のエツチング方法によるエツチング波形
を示す波形図、第2図は本発明の詳細な説明するだめの
立上り時間と静電容量との関係を示す特性図である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)塩化アルミニウムを含む濃度3〜25%の塩酸溶
    液中で、液温10〜70℃で交流電流を用いてアルミニ
    ウム箔の表面を電解エッチングする際に、添加剤として
    硝酸,硫酸,リン酸,シュウ酸のうちいずれか1種類以
    上の酸又はイオンを含みかつ交流電流の各サイクルの極
    大電流値までの立上り時間が5ms以内の正電対称波形
    でエッチングすることを特徴とするアルミニウム電解コ
    ンデンサ用電極箔のエッチング方法。
  2. (2)添加剤の濃度が0.01〜10%である請求項1
    記載のアルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチン
    グ方法。
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