JP2847717B2 - アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法 - Google Patents
アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法Info
- Publication number
- JP2847717B2 JP2847717B2 JP63219011A JP21901188A JP2847717B2 JP 2847717 B2 JP2847717 B2 JP 2847717B2 JP 63219011 A JP63219011 A JP 63219011A JP 21901188 A JP21901188 A JP 21901188A JP 2847717 B2 JP2847717 B2 JP 2847717B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- electrode foil
- electrolytic capacitor
- acid
- aluminum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はアルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッ
チング方法に関するものである。
チング方法に関するものである。
従来の技術 一般にアルミニウム電解コンデンサはアルミニウム電
極箔と絶縁紙とを巻回し駆動用電解液を含浸させること
により構成されているが、アルミニウム電極箔は単位面
積当たりの静電容量を増すために、その表面をエッチン
グして凹凸を形成し、表面積を拡大したものが使用され
ている。
極箔と絶縁紙とを巻回し駆動用電解液を含浸させること
により構成されているが、アルミニウム電極箔は単位面
積当たりの静電容量を増すために、その表面をエッチン
グして凹凸を形成し、表面積を拡大したものが使用され
ている。
つまり、近年IC,LSI等の発達により電解コンデンサに
おいても更なる小形化・薄型化が要求されており、この
ためには使用される電極箔の単位面積当たりの静電容量
を増加することが必要である。
おいても更なる小形化・薄型化が要求されており、この
ためには使用される電極箔の単位面積当たりの静電容量
を増加することが必要である。
従来よりアルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッ
チング方法としては強度の強い点を生かした交流電流に
よるものがあり、種々の添加剤または波形に関する特許
も出願されている（例えば特開昭58−22390号公報）。
チング方法としては強度の強い点を生かした交流電流に
よるものがあり、種々の添加剤または波形に関する特許
も出願されている（例えば特開昭58−22390号公報）。
発明が解決しようとする課題 しかしながら単純な従来の波形（正弦波など）と従来
の添加剤では、拡面倍率（＝エッチング後の電極箔の単
位面積当たりの静電容量／エッチング前の単位面積当た
りの静電容量）が不十分であるという問題点があった。
の添加剤では、拡面倍率（＝エッチング後の電極箔の単
位面積当たりの静電容量／エッチング前の単位面積当た
りの静電容量）が不十分であるという問題点があった。
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、高い拡
面倍率を有するアルミニウム電極箔が得られるアルミニ
ウム電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法を提供す
ることを目的とするものである。
面倍率を有するアルミニウム電極箔が得られるアルミニ
ウム電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法を提供す
ることを目的とするものである。
課題を解決するための手段 上記目的を達成するために本発明のエッチング方法
は、塩化アルミニウムを含む濃度３〜25％の塩酸溶液中
で、液温10〜70℃で交流電流を用いてアルミニウム箔の
表面をエッチングする際に、添加剤として硝酸，硫酸，
リン酸，シュウ酸のうちいずれか１種類以上の酸化性の
酸を濃度が0.01〜10％の範囲で含み、かつ交流電流の各
サイクルの極大電流値までの立上り時間が3ms以下であ
る正負対称波形でエッチングするようにしたものであ
る。
は、塩化アルミニウムを含む濃度３〜25％の塩酸溶液中
で、液温10〜70℃で交流電流を用いてアルミニウム箔の
表面をエッチングする際に、添加剤として硝酸，硫酸，
リン酸，シュウ酸のうちいずれか１種類以上の酸化性の
酸を濃度が0.01〜10％の範囲で含み、かつ交流電流の各
サイクルの極大電流値までの立上り時間が3ms以下であ
る正負対称波形でエッチングするようにしたものであ
る。
作用 上記したエッチング方法によれば、酸化性の酸を含
み、かつ交流電流の各サイクルの極大電流値までの立上
り時間が3ms以下である正負対称波形でエッチングする
ようにしているため、次のようなすぐれた効果を有する
ものである。
み、かつ交流電流の各サイクルの極大電流値までの立上
り時間が3ms以下である正負対称波形でエッチングする
ようにしているため、次のようなすぐれた効果を有する
ものである。
一般的に塩酸中での交流電流によるエッチングでは、
アノード（正）サイクルでのピット発生とカソード
（負）サイクルでの化学溶解・皮膜形成を交互に繰り返
しながらエッチングが進行していく。そこで酸化性の酸
化を添加することによりカソード（負）サイクル時に均
一で強固な皮膜が形成されるため、化学溶解が抑制さ
れ、そしてアノード（正）サイクル時のエッチング電流
を3ms以下で急激に立上げることにより強固な皮膜の欠
陥部から均一にエッチピットを発生させることができる
ものである。このようにして従来より約20％高い拡面倍
率を持ったアルミニウム電極箔を得ることができるもの
である。
アノード（正）サイクルでのピット発生とカソード
（負）サイクルでの化学溶解・皮膜形成を交互に繰り返
しながらエッチングが進行していく。そこで酸化性の酸
化を添加することによりカソード（負）サイクル時に均
一で強固な皮膜が形成されるため、化学溶解が抑制さ
れ、そしてアノード（正）サイクル時のエッチング電流
を3ms以下で急激に立上げることにより強固な皮膜の欠
陥部から均一にエッチピットを発生させることができる
ものである。このようにして従来より約20％高い拡面倍
率を持ったアルミニウム電極箔を得ることができるもの
である。
実施例 第１図は本発明による電流波形の例であり、ｔは立上
り時間を示す。
り時間を示す。
第２図は塩酸溶液中で下記条件でエッチングした後、
アジピン酸アンモニウム溶液中で70Vの電圧を印加して
化成した時の静電容量を示したものである。
アジピン酸アンモニウム溶液中で70Vの電圧を印加して
化成した時の静電容量を示したものである。
〔エッチング液〕 ５％HCl＋２％AlCl3 〔添加剤〕 １％HNO3 〔アルミニウム箔〕 純度99.99％、90μｍ、軟質
材 〔エッチング温度〕 40℃ 〔エッチング時間〕 5min 〔周波数〕 20Hz 〔立上り時間〕 1,3,5,7,10ms 第２図に示されるように立上り時間を早くする程静電
容量は高い傾向を示し、5msで従来レベルと同レベルに
なり、3msでは従来レベルとの差が顕著になり、1ms以下
では約20％以上の拡面倍率のアップが認められた。ま
た、この効果は添加剤との相互作用も大きく、硝酸，硫
酸，リン酸，シュウ酸のいずれか１種類以上の酸化性の
酸を濃度が0.01〜10％の範囲で含むことが不可欠であ
る。
材 〔エッチング温度〕 40℃ 〔エッチング時間〕 5min 〔周波数〕 20Hz 〔立上り時間〕 1,3,5,7,10ms 第２図に示されるように立上り時間を早くする程静電
容量は高い傾向を示し、5msで従来レベルと同レベルに
なり、3msでは従来レベルとの差が顕著になり、1ms以下
では約20％以上の拡面倍率のアップが認められた。ま
た、この効果は添加剤との相互作用も大きく、硝酸，硫
酸，リン酸，シュウ酸のいずれか１種類以上の酸化性の
酸を濃度が0.01〜10％の範囲で含むことが不可欠であ
る。
発明の効果 以上のように本発明のアルミニウム電解コンデンサ用
電極箔のエッチング方法は、塩化アルミニウムを含む濃
度３〜25％の塩酸溶液中で、液温10〜70℃で交流電流を
用いてアルミニウム箔の表面をエッチングする際に、添
加剤として硝酸，硫酸，リン酸，シュウ酸のうちいずれ
か１種類以上の酸化性の酸を濃度が0.01〜10％の範囲で
含み、かつ交流電流の各サイクルの極大電流値までの立
上り時間が3ms以下である正負対称波形でエッチングす
るようにしたもので、一般的に塩酸中での交流電流によ
るエッチングでは、アノード（正）サイクルでのピット
発生とカソード（負）サイクルでの化学溶解・皮膜形成
を交互に繰り返しながらエッチングが進行していくが、
本発明は塩酸溶液中に添加剤として酸化性の酸を添加し
ているため、カソード（負）サイクル時に均一で強固な
皮膜が形成されて化学溶解が抑制されることになる、そ
してアノード（正）サイクル時のエッチング電流を3ms
以下で急激に立上げるようにしているため、強固な皮膜
の欠陥部から均一にエッチピットを発生させることがで
き、これにより、従来より約20％高い拡面倍率を持った
アルミニウム電極箔を得ることができるものである。
電極箔のエッチング方法は、塩化アルミニウムを含む濃
度３〜25％の塩酸溶液中で、液温10〜70℃で交流電流を
用いてアルミニウム箔の表面をエッチングする際に、添
加剤として硝酸，硫酸，リン酸，シュウ酸のうちいずれ
か１種類以上の酸化性の酸を濃度が0.01〜10％の範囲で
含み、かつ交流電流の各サイクルの極大電流値までの立
上り時間が3ms以下である正負対称波形でエッチングす
るようにしたもので、一般的に塩酸中での交流電流によ
るエッチングでは、アノード（正）サイクルでのピット
発生とカソード（負）サイクルでの化学溶解・皮膜形成
を交互に繰り返しながらエッチングが進行していくが、
本発明は塩酸溶液中に添加剤として酸化性の酸を添加し
ているため、カソード（負）サイクル時に均一で強固な
皮膜が形成されて化学溶解が抑制されることになる、そ
してアノード（正）サイクル時のエッチング電流を3ms
以下で急激に立上げるようにしているため、強固な皮膜
の欠陥部から均一にエッチピットを発生させることがで
き、これにより、従来より約20％高い拡面倍率を持った
アルミニウム電極箔を得ることができるものである。
また、このアルミニウム電極箔の採用により、アルミ
ニウム電解コンデンサの小形化およびコストダウンに寄
与できるというすぐれた効果を有するものである。
ニウム電解コンデンサの小形化およびコストダウンに寄
与できるというすぐれた効果を有するものである。
第１図は本発明のアルミニウム電解コンデンサ用電極箔
のエッチング方法によるエッチング波形を示す波形図、
第２図は本発明の効果を説明するための立上り時間と静
電容量との関係を示す特性図である。
のエッチング方法によるエッチング波形を示す波形図、
第２図は本発明の効果を説明するための立上り時間と静
電容量との関係を示す特性図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−113416（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−158133（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01G 9/04
Claims (1)
- 【請求項１】塩化アルミニウムを含む濃度３〜25％の塩
酸溶液中で、液温10〜70℃で交流電流を用いてアルミニ
ウム箔の表面をエッチングする際に、添加剤として硝
酸，硫酸，リン酸，シュウ酸のうちいずれか１種類以上
の酸化性の酸を濃度が0.01〜10％の範囲で含み、かつ交
流電流の各サイクルの極大電流値までの立上り時間が3m
s以下である正負対称波形でエッチングすることを特徴
とするアルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチン
グ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63219011A JP2847717B2 (ja) | 1988-09-01 | 1988-09-01 | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63219011A JP2847717B2 (ja) | 1988-09-01 | 1988-09-01 | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0266925A JPH0266925A (ja) | 1990-03-07 |
| JP2847717B2 true JP2847717B2 (ja) | 1999-01-20 |
Family
ID=16728861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63219011A Expired - Fee Related JP2847717B2 (ja) | 1988-09-01 | 1988-09-01 | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2847717B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3185453B2 (ja) * | 1993-03-19 | 2001-07-09 | 松下電器産業株式会社 | アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法 |
| US6620306B2 (en) | 2000-11-29 | 2003-09-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing electrode foil for aluminum electrolytic capacitor and AC power supply unit |
| CN114678221B (zh) * | 2022-05-05 | 2024-06-21 | 肇庆绿宝石电子科技股份有限公司 | 一种可提高堆片电容器容量的化成铝箔的处理方法、化成铝箔和堆片电容器 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0616469B2 (ja) * | 1984-12-28 | 1994-03-02 | 松下電器産業株式会社 | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエツチング方法 |
| JPS62113416A (ja) * | 1985-11-13 | 1987-05-25 | エルナ−株式会社 | 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエツチング方法 |
-
1988
- 1988-09-01 JP JP63219011A patent/JP2847717B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0266925A (ja) | 1990-03-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5500101A (en) | Method of etching aluminum foil for electrolytic capacitor | |
| JP2847717B2 (ja) | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法 | |
| JP2802730B2 (ja) | 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法 | |
| JP4653644B2 (ja) | 電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法 | |
| JPH0620029B2 (ja) | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエツチング方法 | |
| JP2758040B2 (ja) | 電解コンデンサ用電極のエッチング方法 | |
| JP3582451B2 (ja) | アルミ電解コンデンサ用陽極箔の製造方法 | |
| JPS6357935B2 (ja) | ||
| JPH10256096A (ja) | アルミ電解コンデンサ用電極箔およびその製造方法 | |
| JP3480311B2 (ja) | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造方法 | |
| JPS61158133A (ja) | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエツチング方法 | |
| JP3460418B2 (ja) | アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法 | |
| JPS61198710A (ja) | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエツチング方法 | |
| JP2002246274A (ja) | アルミ電解コンデンサ用電極箔およびその製造方法 | |
| JPH0787166B2 (ja) | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造方法 | |
| JP2005251884A (ja) | アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法 | |
| JPH10223484A (ja) | アルミ電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法 | |
| JPH0561769B2 (ja) | ||
| JPS61145817A (ja) | アルミニウム固体電解コンデンサの製造方法 | |
| JP2002164261A (ja) | アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法 | |
| JPH0561770B2 (ja) | ||
| JPS6398116A (ja) | 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエツチング方法 | |
| KR920006723B1 (ko) | 에칭방법 | |
| KR920010627B1 (ko) | 에칭 방법 | |
| JPS62113416A (ja) | 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエツチング方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |