JPH0264601A - 多層膜裏面反射鏡 - Google Patents
多層膜裏面反射鏡Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は反射鏡に係り、特に防眩性、高視認性、装飾性
、生産性、コスト性等に優れた多層膜裏面反射鏡に関す
る。本発明の多層膜裏面反射鏡は、自動車用バックミラ
ー、路上の危険防止用凸面鏡(カーブミラー)、装飾ミ
ラー等に主として用いられるが、その他の用途にも幅広
く利用される。
、生産性、コスト性等に優れた多層膜裏面反射鏡に関す
る。本発明の多層膜裏面反射鏡は、自動車用バックミラ
ー、路上の危険防止用凸面鏡(カーブミラー)、装飾ミ
ラー等に主として用いられるが、その他の用途にも幅広
く利用される。
[従来技術]
ガラス基板の裏面に誘電体多層膜を形成し、その外側に
金属膜を設けてなる多層膜裏面反射鏡として、特開昭6
0−212704号公報には、誘電体多層膜が高屈折率
物質からなるλ/4波長膜と、低屈折率物質からなるλ
/4波長膜を交互に積層した後、高屈折率物質からなる
λ/2波長膜を積層してなるものが開示されている。ま
た特開昭60−212705号公報には、高屈折率物質
からなるλ/4波長膜と、低屈折率物質からなるλ/4
波長膜とを交互に4層積層してなるものが開示されてい
る。さらに米国時a1第4673248号明細書には、
ガラス基板上に、順次、1層の低屈折率物質と1層の高
屈折率物質とを積層したものが開示されている。
金属膜を設けてなる多層膜裏面反射鏡として、特開昭6
0−212704号公報には、誘電体多層膜が高屈折率
物質からなるλ/4波長膜と、低屈折率物質からなるλ
/4波長膜を交互に積層した後、高屈折率物質からなる
λ/2波長膜を積層してなるものが開示されている。ま
た特開昭60−212705号公報には、高屈折率物質
からなるλ/4波長膜と、低屈折率物質からなるλ/4
波長膜とを交互に4層積層してなるものが開示されてい
る。さらに米国時a1第4673248号明細書には、
ガラス基板上に、順次、1層の低屈折率物質と1層の高
屈折率物質とを積層したものが開示されている。
さらに他の多層膜裏面反射鏡として、特開昭63−74
005号公報には、ガラス基板の片面に誘電体多層膜を
設け、さらにその上に光吸収膜を設けてなり、前記誘電
体多層膜は交互に異なる屈折率を有する誘電体膜を4〜
8層、11暇次積層して構成されており、かつ誘電体多
層膜を構成する4・〜8層の誘電体膜の少くとも1層は
λ/2の光学膜厚を有する多層膜裏面反射鏡が開示され
ている。
005号公報には、ガラス基板の片面に誘電体多層膜を
設け、さらにその上に光吸収膜を設けてなり、前記誘電
体多層膜は交互に異なる屈折率を有する誘電体膜を4〜
8層、11暇次積層して構成されており、かつ誘電体多
層膜を構成する4・〜8層の誘電体膜の少くとも1層は
λ/2の光学膜厚を有する多層膜裏面反射鏡が開示され
ている。
[従来技術の問題点]
ガラス基板の裏面に誘電体多層膜を形成し、その外側に
金属膜を設けてなる、上述の従来の多層膜裏面反射鏡の
分光反射特性を第2図に示す。
金属膜を設けてなる、上述の従来の多層膜裏面反射鏡の
分光反射特性を第2図に示す。
第2図において、前記特開昭60−212704号公報
の多層膜裏面反射鏡の分光反射特性は曲線(a)によっ
て示されるが、曲線(a)より明らかなように、この多
層膜裏面反射鏡の場合には、反射率が430nmから5
50nmにかけて高く、逆に、550nmから700n
mにかけて著しく減少しており、反射色が青色を帯びる
ことになる。このため、反射鏡を通して見る背景の色バ
ランスが大幅にくずれ、特に赤色が見えにくくなり、視
認性が悪いという欠点がある。
の多層膜裏面反射鏡の分光反射特性は曲線(a)によっ
て示されるが、曲線(a)より明らかなように、この多
層膜裏面反射鏡の場合には、反射率が430nmから5
50nmにかけて高く、逆に、550nmから700n
mにかけて著しく減少しており、反射色が青色を帯びる
ことになる。このため、反射鏡を通して見る背景の色バ
ランスが大幅にくずれ、特に赤色が見えにくくなり、視
認性が悪いという欠点がある。
また第3図に示す、人間の11の比視感度V′(λ)
(同図、曲線(1)参照)および自動車の前照灯(ヘッ
ドライト)の分光エネルギー特性P(λ) (同図、直
線(2)参照〉並びにそれらの積P(λ)XV’ (
λ) (同図、曲線(3)参照)がら明らかなように、
夜間の追従車のヘッドライトが目に感じる光の波長は主
に480−550nmである。この特開昭60−212
704号公報記載の反射鏡の場合に、第2図の曲線(a
)の分光反射特性の反射率の高い領域がちょうど上記の
波長。
(同図、曲線(1)参照)および自動車の前照灯(ヘッ
ドライト)の分光エネルギー特性P(λ) (同図、直
線(2)参照〉並びにそれらの積P(λ)XV’ (
λ) (同図、曲線(3)参照)がら明らかなように、
夜間の追従車のヘッドライトが目に感じる光の波長は主
に480−550nmである。この特開昭60−212
704号公報記載の反射鏡の場合に、第2図の曲線(a
)の分光反射特性の反射率の高い領域がちょうど上記の
波長。
領域と一致するなめ、夜間の追従車の前照灯に対する防
眩効果は期待される程には良くない。
眩効果は期待される程には良くない。
また前記特開昭60−212705号公報の多層膜裏面
反射鏡の分光反射特性及び前記米国特許第467324
8号明細書の多層膜裏面反射鏡の分光反射特性は第2図
の曲線(b)及び(C)によってそれぞれ示されるが、
これらの曲線<b)及び(C)は前記曲線(a)とほぼ
同様のパターンを有するので、これらの裏面反射鏡も前
記裏面反射鏡と同様に視認性及び防眩性が良くないこと
が明らかである。
反射鏡の分光反射特性及び前記米国特許第467324
8号明細書の多層膜裏面反射鏡の分光反射特性は第2図
の曲線(b)及び(C)によってそれぞれ示されるが、
これらの曲線<b)及び(C)は前記曲線(a)とほぼ
同様のパターンを有するので、これらの裏面反射鏡も前
記裏面反射鏡と同様に視認性及び防眩性が良くないこと
が明らかである。
一方、従来技術として最後に挙げた特開昭63−740
05号公報の多層膜裏面反射鏡は、視認性、防眩性はず
ぐれているが、誘電体多層膜の層数が4〜8層と多く、
また光吸収膜の塗装、焼成を、誘電体多層膜形成のため
の真空蒸着と別工程で行なわなければならないため、生
産性も悪く、コストアップにつながる欠点があった。
05号公報の多層膜裏面反射鏡は、視認性、防眩性はず
ぐれているが、誘電体多層膜の層数が4〜8層と多く、
また光吸収膜の塗装、焼成を、誘電体多層膜形成のため
の真空蒸着と別工程で行なわなければならないため、生
産性も悪く、コストアップにつながる欠点があった。
[発明が解決しようとする問題点]
本発明の目的は従来の裏面反射鏡の上述の如き問題点を
解消し、視認性、防眩性、装飾性、生産性、コスト性等
に優れた裏面反射鏡を提供することにある。
解消し、視認性、防眩性、装飾性、生産性、コスト性等
に優れた裏面反射鏡を提供することにある。
[問題点を解決するための手段]
本発明は上述の間開点を解決するためになされたもので
あり、本発明の多層膜裏面反射鏡は、基材の片面に誘電
体多層膜を設け、さらにその上に金属ないし半導体膜を
設けてなり、前記誘電体多層膜は、1層の、光学膜厚が
λO/2(λOは設計の中心となる波長である)の高屈
折率+!j8貫膜と、1層の、光学膜厚が0.05λ0
(λo/20)〜0,4λo (215λ0)の低屈折
率物質膜とを少なくとも有し、 前記高屈折率物質膜は、前記低屈折率物質膜との関係に
おいて基材側に存在し、一方、前記低屈折率物質膜は前
記高屈折率物質膜との関係において前記金属ないし半導
体膜側に存在することを特徴とする。
あり、本発明の多層膜裏面反射鏡は、基材の片面に誘電
体多層膜を設け、さらにその上に金属ないし半導体膜を
設けてなり、前記誘電体多層膜は、1層の、光学膜厚が
λO/2(λOは設計の中心となる波長である)の高屈
折率+!j8貫膜と、1層の、光学膜厚が0.05λ0
(λo/20)〜0,4λo (215λ0)の低屈折
率物質膜とを少なくとも有し、 前記高屈折率物質膜は、前記低屈折率物質膜との関係に
おいて基材側に存在し、一方、前記低屈折率物質膜は前
記高屈折率物質膜との関係において前記金属ないし半導
体膜側に存在することを特徴とする。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明の多層膜裏面反射鏡−おいて用いられる基材とし
ては、透明基材が好ましいが、基材は透明でなくても良
い。この基材は両面が平面を有する基板や、少なくとも
一面が凸面又は凹面を有する基板(例えば平凹板、平凸
板、凹凸板、両凹板、両凸板など)であるのが好ましい
。基材の好ましい材質としてはガラスやプラスチックが
挙げられるが、その他の材質のものを用いることもでき
る。
ては、透明基材が好ましいが、基材は透明でなくても良
い。この基材は両面が平面を有する基板や、少なくとも
一面が凸面又は凹面を有する基板(例えば平凹板、平凸
板、凹凸板、両凹板、両凸板など)であるのが好ましい
。基材の好ましい材質としてはガラスやプラスチックが
挙げられるが、その他の材質のものを用いることもでき
る。
本発明の多層膜裏面反射鏡においては、上記基材の片面
に誘電体多層膜が設けられ、さらにその上に金属ないし
半導体膜が設けられている。
に誘電体多層膜が設けられ、さらにその上に金属ないし
半導体膜が設けられている。
そこで先ず、基材の片面に設けられる誘電体多層膜につ
いて説明すると、この誘電体多層膜は、1層の高屈折率
物質膜と1層の低屈折率物質膜とを少なくとも有する。
いて説明すると、この誘電体多層膜は、1層の高屈折率
物質膜と1層の低屈折率物質膜とを少なくとも有する。
ここに前記高屈折率物質膜は、屈折率が1.9〜2.4
の高屈折率物質によって形成するのが好ましく、このよ
うな高屈折率物質としてはSin、T”i02 、Ta
205Zr02.トIfO2等の酸化物やZ n S等
の硫化物およびこれらの混合物が適宜用いられる。また
前記低屈折率物質膜は、屈折率が1.3〜1.8の物お
よびこれらの混合物が適宜用いられる。また前記低屈折
率物質膜は、屈折率が1.3〜1゜8の低屈折率物質に
よって形成するのが好ましく、このような低屈折率物質
としては、5i02゜Al2O3等の酸化物やMgF2
、CeF3等の弗化物およびこれらの混合物が適宜用
いられる。
の高屈折率物質によって形成するのが好ましく、このよ
うな高屈折率物質としてはSin、T”i02 、Ta
205Zr02.トIfO2等の酸化物やZ n S等
の硫化物およびこれらの混合物が適宜用いられる。また
前記低屈折率物質膜は、屈折率が1.3〜1.8の物お
よびこれらの混合物が適宜用いられる。また前記低屈折
率物質膜は、屈折率が1.3〜1゜8の低屈折率物質に
よって形成するのが好ましく、このような低屈折率物質
としては、5i02゜Al2O3等の酸化物やMgF2
、CeF3等の弗化物およびこれらの混合物が適宜用
いられる。
但し、高屈折率物質及び低屈折率物質の屈折率は上述の
範囲に限定されるものではなく、例えば上で低屈折率物
質として挙げたA I 203 (屈折率1.63>
やCeF3(屈折率1.63>などを高屈折率物質とし
て用いることもできる。
範囲に限定されるものではなく、例えば上で低屈折率物
質として挙げたA I 203 (屈折率1.63>
やCeF3(屈折率1.63>などを高屈折率物質とし
て用いることもできる。
上記の高屈折率物質膜の光学膜厚は、λ0/2(λOは
設計の中心となる波長である〉に限定され、−力、上記
の低屈折率物質膜の光学膜厚は0.05〜0.4λOに
限定される。これらの膜の膜厚を上記範囲に限定した理
由は、これらの限定によりはじめて防眩性および視認性
共にずぐれた反射特性が得られるからである。
設計の中心となる波長である〉に限定され、−力、上記
の低屈折率物質膜の光学膜厚は0.05〜0.4λOに
限定される。これらの膜の膜厚を上記範囲に限定した理
由は、これらの限定によりはじめて防眩性および視認性
共にずぐれた反射特性が得られるからである。
低屈折率物質膜の光学膜厚はλ0/8又はλO/4であ
るのが特に好ましい。
るのが特に好ましい。
また光学膜厚がλo/4の1種の高屈折率物質膜と、こ
れに隣接する、光学膜厚がλO/4の他社の高屈折率物
質とによって光学膜厚がλO/′2の高屈折率物質膜を
形成しても良い。
れに隣接する、光学膜厚がλO/4の他社の高屈折率物
質とによって光学膜厚がλO/′2の高屈折率物質膜を
形成しても良い。
本発明の多層膜裏面反射鏡を構成する誘電体多層膜にお
いては、前記高屈折率物質膜と前記低屈折率物質膜との
相対的位置も定められ、前者の高屈折率物質膜は基材側
に設けられ、後者の低屈折率物質膜は金属ないし半導体
膜側に設けられる。
いては、前記高屈折率物質膜と前記低屈折率物質膜との
相対的位置も定められ、前者の高屈折率物質膜は基材側
に設けられ、後者の低屈折率物質膜は金属ないし半導体
膜側に設けられる。
このように両膜の相対的位置を限定した理由は、両膜の
相対的位置をこのように限定することによりはじめて防
眩性および視認性共にすぐれた反射特性が得られるから
である。
相対的位置をこのように限定することによりはじめて防
眩性および視認性共にすぐれた反射特性が得られるから
である。
また本発明の多層膜裏面反射鏡を構成する誘電体多層膜
においては、前記基材と前記高屈折率物質との間に、も
う1層の低屈折率物質膜を設け、この1層の低屈折率物
質膜と、前記高屈折率物質膜及び前記低屈折率物質膜と
の合計3層の誘電体膜によって誘電体多層膜を構成して
もよい。この付加的に設けられる低屈折率物質膜は前記
低屈折率物質膜と同様に、1.3〜1.8の屈折率を有
する、例えばS i 02 、 A 1203等の酸化
物やMgF2.CeF3等の弗化物およびこれらの混合
物から選択される物質により形成されるが、2つの低屈
折率物質膜は屈折率が同一であっても異なっていても良
いので、付加的低屈折率物質膜を形成する物質は前記低
屈折率物質膜を形成する物質と同種のものであっても異
種のものであっても良い。
においては、前記基材と前記高屈折率物質との間に、も
う1層の低屈折率物質膜を設け、この1層の低屈折率物
質膜と、前記高屈折率物質膜及び前記低屈折率物質膜と
の合計3層の誘電体膜によって誘電体多層膜を構成して
もよい。この付加的に設けられる低屈折率物質膜は前記
低屈折率物質膜と同様に、1.3〜1.8の屈折率を有
する、例えばS i 02 、 A 1203等の酸化
物やMgF2.CeF3等の弗化物およびこれらの混合
物から選択される物質により形成されるが、2つの低屈
折率物質膜は屈折率が同一であっても異なっていても良
いので、付加的低屈折率物質膜を形成する物質は前記低
屈折率物質膜を形成する物質と同種のものであっても異
種のものであっても良い。
この付加的低屈折率物質膜の膜厚は特に限定されないが
、0.1〜3λOであるのが好ましい。
、0.1〜3λOであるのが好ましい。
この誘電体多層膜の形成方法としては、蒸着法、スパッ
タ法、イオンブレーティング法等の物理的コーティング
方法あるいはCVD法、有機溶液からの薄膜形成法等の
コーティング方法が挙げられる。
タ法、イオンブレーティング法等の物理的コーティング
方法あるいはCVD法、有機溶液からの薄膜形成法等の
コーティング方法が挙げられる。
次に、本発明の多層膜裏面反射鏡において、前記誘電体
多層股上に設けられる金属ないし半導体膜について説明
する。
多層股上に設けられる金属ないし半導体膜について説明
する。
この金属ないし半導体膜は、反射膜として機能するもの
であり、反射率が30%以上、特に50〜80%である
ものを用いるのが好ましい。このような金属ないし半導
体膜としては、Cr、Ni、AI、Ag、Co、Fe、
Si、Geなどの金属ないし半導体の単体や、これらの
金属ないし半導体の少なくとも1種を含む合金などが用
いられる。
であり、反射率が30%以上、特に50〜80%である
ものを用いるのが好ましい。このような金属ないし半導
体膜としては、Cr、Ni、AI、Ag、Co、Fe、
Si、Geなどの金属ないし半導体の単体や、これらの
金属ないし半導体の少なくとも1種を含む合金などが用
いられる。
合金の例としては、インコネル(Ni80重量%、Cr
14重i%、Fe6重量%から主として構成され、そ
の他の不純物を微量含む)やクロメル(N i 80重
量%、Cr 20重量%から主として構成され、その他
の不純物を微量含む)が挙げられる。
14重i%、Fe6重量%から主として構成され、そ
の他の不純物を微量含む)やクロメル(N i 80重
量%、Cr 20重量%から主として構成され、その他
の不純物を微量含む)が挙げられる。
この金属ないし半導体膜の形成方法も、前記誘電体多層
膜の場合と同様のコーティング方法が採用される。
膜の場合と同様のコーティング方法が採用される。
[実施例]
以下実施例を挙げて本発明の好ましい具体例を説明する
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない
。
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない
。
実施例1
第1図(A>は本発明の多層膜裏面反射鏡の好ましい実
施例の要部拡大断面図であり、図中、1はガラス基板、
2は屈折率2.30のTiO2からなる光学膜厚λ0/
2(本実施例において、設計の中心となる光の波長λ0
は540 nmであり、従ってλ0/2は270層mで
ある)の高屈折率膜層(2層層)、3は屈折率1.38
のMgF2からなる光学膜厚λo /4 (135層m
)の低屈折率膜層(l−層)、4はCr膜である。すな
わち、この実施例の多層膜裏面反射鏡はガラス基板の片
面に基板側から2層4層−→1−層→Cr膜の順で多層
膜が形成されている。この多層膜裏面反射鏡の分光反射
特性を第4図に示す。第4図から明らかなように、この
実施例の多層膜裏面反射鏡は、従来の多層膜裏面反射鏡
に比べて、M順応比視感度とヘッドライトの分光エネル
ギーの積の高い領域48onm・〜550nmの反射率
が低下しているので防眩性にすぐれ、かつ人間の目にと
って明るさの感度の低い青及び赤の波長である4 30
nm〜480 nm(青)及び580〜700層m
(赤)における反射率が上昇しているので、視認性にす
ぐれている。
施例の要部拡大断面図であり、図中、1はガラス基板、
2は屈折率2.30のTiO2からなる光学膜厚λ0/
2(本実施例において、設計の中心となる光の波長λ0
は540 nmであり、従ってλ0/2は270層mで
ある)の高屈折率膜層(2層層)、3は屈折率1.38
のMgF2からなる光学膜厚λo /4 (135層m
)の低屈折率膜層(l−層)、4はCr膜である。すな
わち、この実施例の多層膜裏面反射鏡はガラス基板の片
面に基板側から2層4層−→1−層→Cr膜の順で多層
膜が形成されている。この多層膜裏面反射鏡の分光反射
特性を第4図に示す。第4図から明らかなように、この
実施例の多層膜裏面反射鏡は、従来の多層膜裏面反射鏡
に比べて、M順応比視感度とヘッドライトの分光エネル
ギーの積の高い領域48onm・〜550nmの反射率
が低下しているので防眩性にすぐれ、かつ人間の目にと
って明るさの感度の低い青及び赤の波長である4 30
nm〜480 nm(青)及び580〜700層m
(赤)における反射率が上昇しているので、視認性にす
ぐれている。
実施例2
第1図(B)は本発明の多層膜裏面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、11はガラス基板、]
2は屈折率2.30の1102からなる光学膜厚λO/
2(本実施例において、設計の中心となる光の波長λO
は600 nmであり、従ってλO/2は300層mで
ある)の高屈折率膜層(2)1層)、13は屈折率1.
46のS i 02からなる光学膜厚λo/8(75層
m>の低屈折率膜層(1,72層)、14はCr膜であ
る。すなわち、この実施例の多層膜裏面反射鏡はガラス
基板の片面に基板側から2)(層→L/2層−→Cr膜
の順で多層膜が形成されている。
の要部拡大断面図であり、図中、11はガラス基板、]
2は屈折率2.30の1102からなる光学膜厚λO/
2(本実施例において、設計の中心となる光の波長λO
は600 nmであり、従ってλO/2は300層mで
ある)の高屈折率膜層(2)1層)、13は屈折率1.
46のS i 02からなる光学膜厚λo/8(75層
m>の低屈折率膜層(1,72層)、14はCr膜であ
る。すなわち、この実施例の多層膜裏面反射鏡はガラス
基板の片面に基板側から2)(層→L/2層−→Cr膜
の順で多層膜が形成されている。
この多層膜裏面反射鏡は第5図より明らかなように、実
施例1の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を足腰
防眩性および視認性にすぐれている。
施例1の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を足腰
防眩性および視認性にすぐれている。
実施例3
第1図(C)は本発明の多層膜裏面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、21はガラス基板、2
2は屈折率1.46のS j、 02からなる光学膜厚
λO/4(本実施例において、設31の中心となる光の
波長λOは540 nmであり、従ってλO/4は13
5叩である)の低屈折率膜層(L層)、23は屈折率2
.30のTiO2からなる光学膜厚λ0/2(270層
m)の高屈折率膜層(2層1層)、24は屈折率1.3
8のM g F 2からなる光学膜厚λ0 /4 <、
135層m)の低屈折率膜層(L層)、25はGe膜
である。
の要部拡大断面図であり、図中、21はガラス基板、2
2は屈折率1.46のS j、 02からなる光学膜厚
λO/4(本実施例において、設31の中心となる光の
波長λOは540 nmであり、従ってλO/4は13
5叩である)の低屈折率膜層(L層)、23は屈折率2
.30のTiO2からなる光学膜厚λ0/2(270層
m)の高屈折率膜層(2層1層)、24は屈折率1.3
8のM g F 2からなる光学膜厚λ0 /4 <、
135層m)の低屈折率膜層(L層)、25はGe膜
である。
すなわち、この実施例の多層膜裏面反射鏡はガラス基板
の片面に基板側からL1層→2H層−→l−22層→G
eJ!Qの順で多層膜が形成されている。
の片面に基板側からL1層→2H層−→l−22層→G
eJ!Qの順で多層膜が形成されている。
この多層膜裏面反射鏡は、第6図より明らかなように、
実施例1の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にずぐれている。
実施例1の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にずぐれている。
実施例4
第1図(D)は、本発明の多層膜裏面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、31はガラス基板、
32は屈折率2.30の”I”io2からなる光学膜厚
λo/4(本実施例において、設J1の中心となる光の
波長λ0は540層mであり、従ってλ0/4は135
層mである)の高屈折率膜層(81層)、33は屈折率
2.05のZrO2からなる光学膜厚λO/4 (13
5層m)の高屈折率膜層(142層)、34は屈折率1
.46のS i 02からなる光学膜厚λ0 /4 (
135層m)の低屈折率膜層(■−層)、35はCr膜
である。
例の要部拡大断面図であり、図中、31はガラス基板、
32は屈折率2.30の”I”io2からなる光学膜厚
λo/4(本実施例において、設J1の中心となる光の
波長λ0は540層mであり、従ってλ0/4は135
層mである)の高屈折率膜層(81層)、33は屈折率
2.05のZrO2からなる光学膜厚λO/4 (13
5層m)の高屈折率膜層(142層)、34は屈折率1
.46のS i 02からなる光学膜厚λ0 /4 (
135層m)の低屈折率膜層(■−層)、35はCr膜
である。
ずなわら、この実施例の多層膜裏面反射鏡は、ガラス基
板の片面に基板からH1層→H2層→I−層→Cr膜の
順で多層膜が形成されている(なお81層と112層に
よって光学膜厚λo/’、2の高屈折率膜層(2H層)
が形成されている)。
板の片面に基板からH1層→H2層→I−層→Cr膜の
順で多層膜が形成されている(なお81層と112層に
よって光学膜厚λo/’、2の高屈折率膜層(2H層)
が形成されている)。
この多層膜裏面反射鏡は第7図より明らかなように、実
施例1の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にすぐれている。
施例1の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例5
第1図(E)は本発明の多層膜裏面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、41.はガラス基板、
42は屈折率1.46のS i 02からなる光学膜厚
λO/4(本実施例において、設計の中心となる光の波
長λ0は600層mであり、従ってλO/4は150r
llllである)の低屈折率膜層(1−1層)、43は
屈折率2.30の’T’ i 02からなる光学膜厚λ
O/4 (150層m)の高屈折率膜層(I41層)、
44は屈折率2.05のZrO2からなる光学膜厚λO
/4(150層m)の高屈折率膜層(82層〉、45は
屈折率1.38のMgF2からなる光学膜厚λ0/8(
75層m)の低屈折率膜層(L2/2層)、46はCr
膜である。すなわち、この実施例の多層膜裏面反射鏡は
ガラス基板の片面に基板からL1層→H1層→H2層→
L2/2層→Cr膜の順で多層膜が形成されている(な
お11層とH2層によって光学膜厚λ0/2の高屈折率
膜層(2)−1層)が形成されている)。
の要部拡大断面図であり、図中、41.はガラス基板、
42は屈折率1.46のS i 02からなる光学膜厚
λO/4(本実施例において、設計の中心となる光の波
長λ0は600層mであり、従ってλO/4は150r
llllである)の低屈折率膜層(1−1層)、43は
屈折率2.30の’T’ i 02からなる光学膜厚λ
O/4 (150層m)の高屈折率膜層(I41層)、
44は屈折率2.05のZrO2からなる光学膜厚λO
/4(150層m)の高屈折率膜層(82層〉、45は
屈折率1.38のMgF2からなる光学膜厚λ0/8(
75層m)の低屈折率膜層(L2/2層)、46はCr
膜である。すなわち、この実施例の多層膜裏面反射鏡は
ガラス基板の片面に基板からL1層→H1層→H2層→
L2/2層→Cr膜の順で多層膜が形成されている(な
お11層とH2層によって光学膜厚λ0/2の高屈折率
膜層(2)−1層)が形成されている)。
この多層膜裏面反射鏡は第8図より明らかなように、実
施例1の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にずぐれている。
施例1の多層膜裏面反射鏡と同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にずぐれている。
また実施例1〜5の多層膜裏面反射鏡は、第4〜8図か
ら明らかなように、不要かつ有害な紫外線の反射を抑え
、これをカットするという利点も確認された。
ら明らかなように、不要かつ有害な紫外線の反射を抑え
、これをカットするという利点も確認された。
以上、実施例1〜5により本発明の多層膜裏面反射鏡に
ついて説明してきたが、実施例1〜3の誘電体多層膜に
おいて2層層をH1層→H2層または[(2層→H1層
にした場合にも同様の結果が得られる。また実施例4お
よび実施例5におけるト11層→H2層をH2層→H1
層にしても同様の結果が得られる。
ついて説明してきたが、実施例1〜3の誘電体多層膜に
おいて2層層をH1層→H2層または[(2層→H1層
にした場合にも同様の結果が得られる。また実施例4お
よび実施例5におけるト11層→H2層をH2層→H1
層にしても同様の結果が得られる。
実施例1・〜5における誘電体多層膜の各層を等価膜に
置き換えても同様の反射特性が得られる。
置き換えても同様の反射特性が得られる。
さらに基板としてガラスの代りにプラスチックを用いて
も同等の反射特性が得られる。
も同等の反射特性が得られる。
裏面鏡の場合に、本来の反射像を作る裏面からの光に加
え、表面から垂直入射の場合的4%の不必要な反射があ
る。この不必要な反射を除くために本発明の多層膜裏面
鏡の表面に反射防止膜を施すことも有効である。
え、表面から垂直入射の場合的4%の不必要な反射があ
る。この不必要な反射を除くために本発明の多層膜裏面
鏡の表面に反射防止膜を施すことも有効である。
[発明の効果]
本発明の多層膜裏面反射鏡は次のような技術的効果を有
する。
する。
(i) 防眩性にすぐれている。
本発明の反射鏡は第4〜8図から明らかなように、第3
図、曲線(3)によって示されるP(λ)XV’(λ〉
の値の大きな480nmから550nnで反射率が低い
の゛で防眩効果にすぐれている。
図、曲線(3)によって示されるP(λ)XV’(λ〉
の値の大きな480nmから550nnで反射率が低い
の゛で防眩効果にすぐれている。
(ii) 視認性にすぐれている。
本発明の反射鏡は第4〜8図に示すように防眩に必要な
波長領域では反射率が低く、その他の波長領域で反射率
が高くなっているので、すぐれた視認性が確保される。
波長領域では反射率が低く、その他の波長領域で反射率
が高くなっているので、すぐれた視認性が確保される。
また本発明の反射鏡は明るさの感度の良い緑の領域(4
00〜480nm)の反射率を青の領域(400〜48
0nm)や赤の領域(590〜750nm)よりも下げ
てあり、結果として青、赤の目の感度の低い色を増感す
ることから色の分別性(コントラスト)が向上するとい
う利点もある。
00〜480nm)の反射率を青の領域(400〜48
0nm)や赤の領域(590〜750nm)よりも下げ
てあり、結果として青、赤の目の感度の低い色を増感す
ることから色の分別性(コントラスト)が向上するとい
う利点もある。
(iii)装飾性、ファツション性にすぐれている。
本発明の反射鏡は防眩性及び視認性を追及した結果、そ
の反射色がマゼンタ色を帯びている。このマゼンタ色は
高級感を与え、他の反射鏡との差別化が可能となる。
の反射色がマゼンタ色を帯びている。このマゼンタ色は
高級感を与え、他の反射鏡との差別化が可能となる。
(iV) 生産性、コスト性にすぐれている。
本発明の反射鏡の製造においては、形成される誘電体多
層膜の層数が少ないことおよびこの誘電体多層膜と金属
ないし半導体膜とを同一の成膜手段によって形成するこ
とができること等の利点を有するので、形成される誘電
体多層膜の層数が多く、かつ光吸収膜の塗装、焼成の必
要な、前記特開昭63−74005号公報の反射鏡の場
合と異なり、生産性及びコスト性にすぐれている。
層膜の層数が少ないことおよびこの誘電体多層膜と金属
ないし半導体膜とを同一の成膜手段によって形成するこ
とができること等の利点を有するので、形成される誘電
体多層膜の層数が多く、かつ光吸収膜の塗装、焼成の必
要な、前記特開昭63−74005号公報の反射鏡の場
合と異なり、生産性及びコスト性にすぐれている。
以上、要するに本発明によれば、誘電体多層膜の層数が
少ないにも拘らず、防眩性、視認性、装飾性、有害光カ
ット性等の利点を有する多層膜裏面反射鏡が提供された
。
少ないにも拘らず、防眩性、視認性、装飾性、有害光カ
ット性等の利点を有する多層膜裏面反射鏡が提供された
。
第1図は本発明の多層膜裏面反射鏡の要部拡大断面図、
第2図は従来の反射鏡の分光反射特性図、第3図は人間
の目の暗順応比視感度および自動車前照灯の分光エネル
ギー特性並びにそれらの積である人間の目に感じる自動
車前照灯の分光エネルギー特性図、第4図、第5図、第
6図、第7図及び第8図は本発明の反射鏡の分光反射特
性図である。 1.1.1.2]、31.41・・・ガラス基板、2゜
3.12,13,22,23,24,32,33゜34
.42,43,44,45.・・・誘電体膜、4゜14
.25,35.46・・・金属ないし牛導体膜。
第2図は従来の反射鏡の分光反射特性図、第3図は人間
の目の暗順応比視感度および自動車前照灯の分光エネル
ギー特性並びにそれらの積である人間の目に感じる自動
車前照灯の分光エネルギー特性図、第4図、第5図、第
6図、第7図及び第8図は本発明の反射鏡の分光反射特
性図である。 1.1.1.2]、31.41・・・ガラス基板、2゜
3.12,13,22,23,24,32,33゜34
.42,43,44,45.・・・誘電体膜、4゜14
.25,35.46・・・金属ないし牛導体膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、基材の片面に誘電体多層膜を設け、さらにその上に
金属ないし半導体膜を設けてなり、前記誘電体多層膜は
、1層の、光学膜厚が λ_0/2(λ_0は設計の中心となる波長である)の
高屈折率物質膜と、1層の、光学膜厚が0.05〜0.
4λ_0の低屈折率物質膜とを少なくとも有し、 前記高屈折率物質膜は、前記低屈折率物質膜との関係に
おいて基材側に存在し、、一方、前記低屈折率物質膜は
前記高屈折率物質膜との関係において前記金属ないし半
導体膜側に存在する ことを特徴とする多層膜裏面反射鏡。 2、前記低屈折率物質膜の光学膜厚が、λ_0/8又は
λ_0/4である、請求項1に記載の多層膜裏面反射鏡
。 3、前記誘電体多層膜が、前記基材と前記高屈折率物質
膜との間に、もう1層の低屈折率物質膜を含む、請求項
1に記載の多層膜裏面反射鏡。 4、光学膜厚がλ_0/2の前記高屈折率物質膜が、光
学膜厚がλ_0/4の1種の高屈折率物質膜と、これに
隣接する、光学膜厚がλ_0/4の他種の高屈折率物質
膜とによって形成されている、請求項1に記載の多層膜
裏面反射鏡。
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---|---|---|---|
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5700305A (en) * | 1994-01-10 | 1997-12-23 | Pilkington Glass Limited | Method of producing heatable mirrors by depositing coatings on glass |
CN1047578C (zh) * | 1992-07-11 | 1999-12-22 | 菲尔金顿玻璃有限公司 | 镜子的生产方法和包括带有涂层的玻璃基底的镜子 |
CN1100015C (zh) * | 1993-06-04 | 2003-01-29 | Ppg工业俄亥俄公司 | 中低辐射系数的涂覆的玻璃制品及其制备方法 |
JP2004503798A (ja) * | 2000-07-07 | 2004-02-05 | ソーラ インターナショナル ホールディングス リミテッド | 表面ミラーコーティングを備える光学エレメントおよびこのコーティングを形成する方法 |
JPWO2004074887A1 (ja) * | 2003-02-21 | 2006-06-01 | 三井化学株式会社 | 反射体およびその用途 |
JP2008517867A (ja) * | 2004-10-29 | 2008-05-29 | フラベグ ホルディング ゲゼルシャフト ミト ベシュレンクテル ハフツング | 二色性ミラー |
JP2018159750A (ja) * | 2017-03-22 | 2018-10-11 | 東洋アルミニウム株式会社 | 反射部材およびその製造方法 |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0282201A (ja) * | 1988-09-20 | 1990-03-22 | Olympus Optical Co Ltd | 合成樹脂製光学部品の多層膜裏面反射鏡 |
DE3941859C1 (ja) * | 1989-12-19 | 1991-01-24 | Deutsche Spezialglas Ag, 3223 Gruenenplan, De | |
US5022726A (en) * | 1989-12-20 | 1991-06-11 | Viratec Thin Films, Inc. | Magnesium film reflectors |
US5194989A (en) * | 1990-05-07 | 1993-03-16 | Mcdonnell Douglas Corporation | Dielectric combiner including first and second dielectric materials having indices of refraction greater than 2.0 |
US5179471A (en) * | 1990-10-25 | 1993-01-12 | Donnelly Corporation | Spectrally selective mirror and method for making same |
US5535056A (en) * | 1991-05-15 | 1996-07-09 | Donnelly Corporation | Method for making elemental semiconductor mirror for vehicles |
US6065840A (en) * | 1991-05-15 | 2000-05-23 | Donnelly Corporation | Elemental semiconductor mirror |
US5168406A (en) * | 1991-07-31 | 1992-12-01 | Texas Instruments Incorporated | Color deformable mirror device and method for manufacture |
US5450246A (en) * | 1992-11-04 | 1995-09-12 | Anvik Corporation | Remotely adjustable anti-glare vehicle mirror |
DE4301463A1 (de) * | 1993-01-20 | 1994-07-21 | Wissenschaftlich Tech Optikzen | Verfahren zur Beschichtung von Spiegeln hoher Reflektivität und Spiegel mit einer Beschichtung |
GB9400319D0 (en) * | 1994-01-10 | 1994-03-09 | Pilkington Glass Ltd | Coatings on glass |
GB9400320D0 (en) * | 1994-01-10 | 1994-03-09 | Pilkington Glass Ltd | Coating on glass |
US6142642A (en) * | 1995-06-29 | 2000-11-07 | Cardinal Ig Company | Bendable mirrors and method of manufacture |
CZ352497A3 (cs) * | 1996-03-07 | 1998-03-18 | Saint-Gobain Vitrage | Způsob nanášení reflexní vrstvy na sklo a produkty získané tímto způsobem |
FR2752235B3 (fr) * | 1996-08-07 | 1998-08-28 | Saint Gobain Vitrage | Substrat verrier muni d'une couche reflechissante |
US6064525A (en) * | 1997-03-25 | 2000-05-16 | Glaverbel | Optical device including a dichromatic mirror |
ES2172244T3 (es) | 1997-10-31 | 2002-09-16 | Cardinal Cg Co | Espejos termocurvables. |
US6416194B1 (en) * | 1999-02-11 | 2002-07-09 | Turkiye Sise Ve Cam Fabrikalari A.S. | Thermostable back-surface mirrors |
ITCZ20000007A1 (it) * | 2000-11-17 | 2002-05-17 | Consorzio Per Le Tecnologie Biomedi Che Avanzate T | Specchio con banda di riflessione altamente selettiva. |
FR2818263B1 (fr) * | 2000-12-14 | 2004-02-20 | Commissariat Energie Atomique | Substrat pour materiau a insoler |
KR20050001425A (ko) * | 2003-06-27 | 2005-01-06 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 고반사경 |
JP2005326434A (ja) * | 2004-05-12 | 2005-11-24 | Hitachi Ltd | 反射ミラー及びそれを用いた背面投射型映像表示装置 |
DE102004023932B4 (de) * | 2004-05-12 | 2006-04-06 | Flabeg Gmbh & Co. Kg | Rückblickspiegel für Fahrzeuge |
DE202006015876U1 (de) * | 2006-10-17 | 2008-02-21 | Mekra Lang Gmbh & Co. Kg | Blendarme Spiegelscheibe sowie Rückspiegel mit einer solchen Spiegelscheibe |
KR20160061548A (ko) * | 2014-11-21 | 2016-06-01 | 삼성디스플레이 주식회사 | 어레이 테스트 모듈레이터 및 이를 포함하는 박막트랜지스터 기판 검사 장치 |
US11530161B2 (en) * | 2015-12-22 | 2022-12-20 | Agc Glass Europe | Reflective panel |
FR3087382B1 (fr) * | 2018-10-18 | 2022-09-09 | Saint Gobain | Vitrage comprenant un revetement fonctionnel et un revetement absorbant d'ajustement colorimetrique |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60212704A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-25 | Murakami Kaimeidou:Kk | 反射鏡 |
JPS6374005A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-04 | Hoya Corp | 多層膜裏面反射鏡 |
JPS63165805A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-09 | Hoya Corp | 多層膜表面反射鏡 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2519722A (en) * | 1946-09-20 | 1950-08-22 | Bausch & Lomb | Metallic mirror and method of making same |
CH502603A (de) * | 1969-12-17 | 1971-01-31 | Balzers Patent Beteilig Ag | Vielschichtinterferenzlichtfilter mit einem breitbandigen spektralen Transmissionsbereich |
DE2457474C3 (de) * | 1974-12-05 | 1978-10-19 | Leybold-Heraeus Gmbh & Co Kg, 5000 Koeln | Verfahren zur Herstellung von reflexmindernden Mehrfachschichten und durch das Verfahren hergestellter optischer Körper |
GB1595907A (en) * | 1977-05-05 | 1981-08-19 | Bfg Glassgroup | Mirrors |
JPS58202408A (ja) * | 1982-05-20 | 1983-11-25 | Nippon Soken Inc | 熱線反射膜 |
US4673248A (en) * | 1983-04-11 | 1987-06-16 | Nippon Soken, Inc. | Reflecting mirror for an automobile |
JPS60212705A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-25 | Murakami Kaimeidou:Kk | 反射鏡 |
JPS61189501A (ja) * | 1985-02-19 | 1986-08-23 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 透明低反射板 |
JPH0679092B2 (ja) * | 1985-11-06 | 1994-10-05 | 株式会社東海理化電機製作所 | 着色鏡 |
-
1988
- 1988-08-31 JP JP63217291A patent/JP2561946B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-08-11 US US07/392,590 patent/US4955705A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-08-24 GB GB8919293A patent/GB2222466B/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-08-30 IT IT8967734A patent/IT1233190B/it active
- 1989-08-31 DE DE3928939A patent/DE3928939C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60212704A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-25 | Murakami Kaimeidou:Kk | 反射鏡 |
JPS6374005A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-04 | Hoya Corp | 多層膜裏面反射鏡 |
JPS63165805A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-09 | Hoya Corp | 多層膜表面反射鏡 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1047578C (zh) * | 1992-07-11 | 1999-12-22 | 菲尔金顿玻璃有限公司 | 镜子的生产方法和包括带有涂层的玻璃基底的镜子 |
CN1100015C (zh) * | 1993-06-04 | 2003-01-29 | Ppg工业俄亥俄公司 | 中低辐射系数的涂覆的玻璃制品及其制备方法 |
US5700305A (en) * | 1994-01-10 | 1997-12-23 | Pilkington Glass Limited | Method of producing heatable mirrors by depositing coatings on glass |
JP2004503798A (ja) * | 2000-07-07 | 2004-02-05 | ソーラ インターナショナル ホールディングス リミテッド | 表面ミラーコーティングを備える光学エレメントおよびこのコーティングを形成する方法 |
JP4796264B2 (ja) * | 2000-07-07 | 2011-10-19 | カール ツァイス ビジョン オーストラリア ホールディングス リミテッド | 表面ミラーコーティングを備える光学エレメントおよびこのコーティングを形成する方法 |
JPWO2004074887A1 (ja) * | 2003-02-21 | 2006-06-01 | 三井化学株式会社 | 反射体およびその用途 |
JP4498273B2 (ja) * | 2003-02-21 | 2010-07-07 | 三井化学株式会社 | 反射体及びその用途 |
JP2008517867A (ja) * | 2004-10-29 | 2008-05-29 | フラベグ ホルディング ゲゼルシャフト ミト ベシュレンクテル ハフツング | 二色性ミラー |
JP2018159750A (ja) * | 2017-03-22 | 2018-10-11 | 東洋アルミニウム株式会社 | 反射部材およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2222466A (en) | 1990-03-07 |
DE3928939C2 (de) | 1997-08-21 |
DE3928939A1 (de) | 1990-03-01 |
GB2222466B (en) | 1992-07-22 |
IT1233190B (it) | 1992-03-16 |
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US4955705A (en) | 1990-09-11 |
IT8967734A0 (it) | 1989-08-30 |
GB8919293D0 (en) | 1989-10-04 |
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