JP2719367B2 - 多層膜表面反射鏡 - Google Patents
多層膜表面反射鏡Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は反射鏡に係り、特に防眩性、高視認性、装飾
性、生産性、コスト性等に優れた多層膜表面反射鏡に関
する。本発明の多層膜表面反射鏡は、自動車用バックミ
ラー、路上の危険防止用凸面鏡（カーブミラー）、装飾
ミラー等に主として用いられるが、その他の用途にも幅
広く利用される。
性、生産性、コスト性等に優れた多層膜表面反射鏡に関
する。本発明の多層膜表面反射鏡は、自動車用バックミ
ラー、路上の危険防止用凸面鏡（カーブミラー）、装飾
ミラー等に主として用いられるが、その他の用途にも幅
広く利用される。
［従来技術］ 多層膜表面反射鏡の一例として、特開昭63-165805号
公報には、ガラス基板の片面に誘電体多層膜を設け、さ
らに同一基板の裏面に光吸収膜を設けてなり、前記誘電
体多層膜は交互に異なる屈折率を有する誘電体膜を３〜
６層順次積層して構成されており、かつ誘電体多層膜を
構成する３〜６層の誘電体膜の少くとも１層はλ/2の光
学膜厚を有する多層膜表面反射鏡が開示されている。
公報には、ガラス基板の片面に誘電体多層膜を設け、さ
らに同一基板の裏面に光吸収膜を設けてなり、前記誘電
体多層膜は交互に異なる屈折率を有する誘電体膜を３〜
６層順次積層して構成されており、かつ誘電体多層膜を
構成する３〜６層の誘電体膜の少くとも１層はλ/2の光
学膜厚を有する多層膜表面反射鏡が開示されている。
第８図に示す、人間の目の暗順応比視感度Ｖ′（λ）
（同図、曲線（１）参照）及び自動車ヘッドライト（ハ
ロゲンランプ）の分光エネルギー特性Ｐ（λ）（同図、
直線（２）参照）並びにそれらの積Ｐ（λ）×Ｖ′
（λ）（同図、曲線（３）参照）から明らかなように、
夜間の追従車のヘッドライトが目に感じる光の波長は主
に480nm〜550nmであり、この波長領域での反射率が低い
ことが防眩効果を得るための重要な要素であるが、前記
特開昭63-165805号公報に記載の多層膜表面反射鏡は、
その分光反射特性を第９図に示すように、480nm〜580nm
の波長領域において反射率が低く防眩効果に優れてい
る。またこの反射鏡は防眩に必要な波長領域では、反射
率が低く、その他の波長領域では、反射率が高くなって
いるので視認性にも優れている。
（同図、曲線（１）参照）及び自動車ヘッドライト（ハ
ロゲンランプ）の分光エネルギー特性Ｐ（λ）（同図、
直線（２）参照）並びにそれらの積Ｐ（λ）×Ｖ′
（λ）（同図、曲線（３）参照）から明らかなように、
夜間の追従車のヘッドライトが目に感じる光の波長は主
に480nm〜550nmであり、この波長領域での反射率が低い
ことが防眩効果を得るための重要な要素であるが、前記
特開昭63-165805号公報に記載の多層膜表面反射鏡は、
その分光反射特性を第９図に示すように、480nm〜580nm
の波長領域において反射率が低く防眩効果に優れてい
る。またこの反射鏡は防眩に必要な波長領域では、反射
率が低く、その他の波長領域では、反射率が高くなって
いるので視認性にも優れている。
［従来技術の問題点］ しかしながら、特開昭63-165805号公報に記載の多層
膜表面反射鏡は、ガラス基板の片面に設けられる誘電体
多層膜の層数が３〜６層を多く、誘電体多層膜の形成の
ための真空蒸着工程が複雑となるばかりでなく、同一基
板の裏面に、前記真空蒸着工程と別工程で塗装、焼成し
て光吸収体膜を形成する必要があるので、生産性が悪
く、コストアップにつながるという欠点があった。
膜表面反射鏡は、ガラス基板の片面に設けられる誘電体
多層膜の層数が３〜６層を多く、誘電体多層膜の形成の
ための真空蒸着工程が複雑となるばかりでなく、同一基
板の裏面に、前記真空蒸着工程と別工程で塗装、焼成し
て光吸収体膜を形成する必要があるので、生産性が悪
く、コストアップにつながるという欠点があった。
［発明が解決しようとする問題点］ 本発明の目的は従来の表面反射鏡の上述の如き問題点
を解消し、防眩性、視認性に優れているだけでなく、生
産性、コスト性等にも優れた表面反射鏡を提供すること
にある。
を解消し、防眩性、視認性に優れているだけでなく、生
産性、コスト性等にも優れた表面反射鏡を提供すること
にある。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は上述の問題点を解決するためになされたもの
であり、本発明の多層膜表面反射鏡は、基材の片面に金
属ないし半導体膜を設け、さらにその上に誘電体多層膜
を設けてなり、前記誘電体多層膜は、光学膜厚が0.05〜
0.4λ０（λ０は設計の中心となる波長であり、多層膜
表面反射鏡の分光反射率特性が波長域480nm〜580nmに反
射率の低い谷を有することになるように設定される）で
ある１層の低屈折率物質膜と、光学膜厚がλ0/2である
１層の高屈折率物質膜とからなり、前記低屈折率物質膜
は、前記高屈折率物質膜との関係において前記金属ない
し半導体膜側に存在し、一方、前記高屈折率物質膜は、
前記低屈折率物質膜との関係において空気側に存在し、
該構成を有する多層膜表面反射鏡の分光反射率特性が波
長域480nm〜580nmに反射率の低い谷を有することを特徴
とする。
であり、本発明の多層膜表面反射鏡は、基材の片面に金
属ないし半導体膜を設け、さらにその上に誘電体多層膜
を設けてなり、前記誘電体多層膜は、光学膜厚が0.05〜
0.4λ０（λ０は設計の中心となる波長であり、多層膜
表面反射鏡の分光反射率特性が波長域480nm〜580nmに反
射率の低い谷を有することになるように設定される）で
ある１層の低屈折率物質膜と、光学膜厚がλ0/2である
１層の高屈折率物質膜とからなり、前記低屈折率物質膜
は、前記高屈折率物質膜との関係において前記金属ない
し半導体膜側に存在し、一方、前記高屈折率物質膜は、
前記低屈折率物質膜との関係において空気側に存在し、
該構成を有する多層膜表面反射鏡の分光反射率特性が波
長域480nm〜580nmに反射率の低い谷を有することを特徴
とする。
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の多層膜表面反射鏡において用いられる基材と
しては、透明基材が好ましいが、基材は透明でなくても
良い。この基材は両面が平面を有する基板や、少なくと
も一面が凸面又は凹面を有する基板（例えば平凹板、平
凸板、凹凸板、両凹板、両凸板など）であるのが好まし
い。基材の好ましい材質としてはガラスやプラスチック
が挙げられるが、その他の材質のものを用いることもで
きる。
しては、透明基材が好ましいが、基材は透明でなくても
良い。この基材は両面が平面を有する基板や、少なくと
も一面が凸面又は凹面を有する基板（例えば平凹板、平
凸板、凹凸板、両凹板、両凸板など）であるのが好まし
い。基材の好ましい材質としてはガラスやプラスチック
が挙げられるが、その他の材質のものを用いることもで
きる。
本発明の多層膜表面反射鏡においては、上記基材の片
面に金属ないし半導体膜が設けられ、さらにその上に誘
電体多層膜が設けられている。
面に金属ないし半導体膜が設けられ、さらにその上に誘
電体多層膜が設けられている。
そこで先ず、本発明の多層膜表面反射鏡において、基
材の片面に設けられる金属ないし半導体膜について説明
する。
材の片面に設けられる金属ないし半導体膜について説明
する。
この金属ないし半導体膜は、反射膜として機能するも
のであり、反射率が30％以上、特に50〜80％であるもの
を用いるのが好ましい。このような金属ないし半導体膜
としては、Cr、Ni、Al、Ag、Co、Fe、Si、Geなどの金属
ないし半導体の単体や、これらの金属ないし半導体の少
なくとも１種を含む合金などが用いられる。合金の例と
しては、インコネル（Ni80重量％、Cr14重量％、Fe6重
量％から主として構成され、その他の不純物を微量含
む）やクロメル（Ni80重量％、Cr20重量％から主として
構成され、その他の不純物を微量含む）が挙げられる。
のであり、反射率が30％以上、特に50〜80％であるもの
を用いるのが好ましい。このような金属ないし半導体膜
としては、Cr、Ni、Al、Ag、Co、Fe、Si、Geなどの金属
ないし半導体の単体や、これらの金属ないし半導体の少
なくとも１種を含む合金などが用いられる。合金の例と
しては、インコネル（Ni80重量％、Cr14重量％、Fe6重
量％から主として構成され、その他の不純物を微量含
む）やクロメル（Ni80重量％、Cr20重量％から主として
構成され、その他の不純物を微量含む）が挙げられる。
この金属ないし半導体膜の形成方法としては、後記誘
電体多層膜の場合と同様のコーティング方法（蒸着法、
スパッタリング法、イオンプレーティング法、CVD法な
ど）が採用される。
電体多層膜の場合と同様のコーティング方法（蒸着法、
スパッタリング法、イオンプレーティング法、CVD法な
ど）が採用される。
次に、前記金属ないし半導体膜上に設けられる誘電体
多層膜について説明すると、この誘電体多層膜は、１層
の低屈折率物質膜と１層の高屈折率物質膜とを有する。
ここの前記低屈折率物質膜は、屈折率が1.3〜1.5の低屈
折率物質によって形成するのが好ましく、このような低
屈折率物質としては、SiO2等の酸化物やMgF2等の弗化物
およびこれらの混合物が適宜用いられる。また前記高屈
折率物質膜は、屈折率が1.5〜2.4の高屈折率物質によっ
て形成するのが好ましく、このような高屈折率物質とし
てはSiO,TiO2，Ta2O5，ZrO2，HfO2，Al2O3等の酸化物や
CeF3等の弗化物やZnS等の硫化物およびこれらの混合物
が適宜用いられる。
多層膜について説明すると、この誘電体多層膜は、１層
の低屈折率物質膜と１層の高屈折率物質膜とを有する。
ここの前記低屈折率物質膜は、屈折率が1.3〜1.5の低屈
折率物質によって形成するのが好ましく、このような低
屈折率物質としては、SiO2等の酸化物やMgF2等の弗化物
およびこれらの混合物が適宜用いられる。また前記高屈
折率物質膜は、屈折率が1.5〜2.4の高屈折率物質によっ
て形成するのが好ましく、このような高屈折率物質とし
てはSiO,TiO2，Ta2O5，ZrO2，HfO2，Al2O3等の酸化物や
CeF3等の弗化物やZnS等の硫化物およびこれらの混合物
が適宜用いられる。
上記の低屈折率物質膜の光学膜厚は0.05〜0.4λ０
（λ０は設計の中心となる波長であり、多層膜表面反射
鏡の分光反射率特性が波長域480nm〜580nmに反射率の低
い谷を有することになるように設定されるに限定され、
一方、上記の高屈折率物質膜の光学膜厚は、λ0/2に限
定される。これらの膜の膜厚を上記範囲に限定した理由
は、これらの限定によりはじめて防眩性および視認性共
にすぐれた反射特性が得られるからである。なお低屈折
率物質膜の光学膜厚はλ0/8又はλ0/4であるのが特に好
ましい。
（λ０は設計の中心となる波長であり、多層膜表面反射
鏡の分光反射率特性が波長域480nm〜580nmに反射率の低
い谷を有することになるように設定されるに限定され、
一方、上記の高屈折率物質膜の光学膜厚は、λ0/2に限
定される。これらの膜の膜厚を上記範囲に限定した理由
は、これらの限定によりはじめて防眩性および視認性共
にすぐれた反射特性が得られるからである。なお低屈折
率物質膜の光学膜厚はλ0/8又はλ0/4であるのが特に好
ましい。
また光学膜厚がλ0/4の１種の高屈折率物質膜と、こ
れに隣接する、光学膜厚がλ0/4の他種の高屈折率物質
膜とによって光学膜厚がλ0/2の高屈折率物質膜を形成
しても良い。
れに隣接する、光学膜厚がλ0/4の他種の高屈折率物質
膜とによって光学膜厚がλ0/2の高屈折率物質膜を形成
しても良い。
本発明の多層膜表面反射鏡を構成する誘電体多層膜に
おいては、前記低屈折率物質膜と前記高屈折率物質膜と
の相対的位置も定められ、前者の低屈折率物質膜は金属
ないし半導体膜側に設けられ、後者の高屈折率物質膜は
空気側に設けられる。このように両膜の相対的位置を限
定した理由は、両膜の相対的位置をこのように限定する
ことによりはじめて防眩性および視認性共にすぐれた反
射特性が得られるからである。
おいては、前記低屈折率物質膜と前記高屈折率物質膜と
の相対的位置も定められ、前者の低屈折率物質膜は金属
ないし半導体膜側に設けられ、後者の高屈折率物質膜は
空気側に設けられる。このように両膜の相対的位置を限
定した理由は、両膜の相対的位置をこのように限定する
ことによりはじめて防眩性および視認性共にすぐれた反
射特性が得られるからである。
この誘電体多層膜の形成方法としては、蒸着法、スパ
ッタ法、イオンプレーティング法等の物理的コーティン
グ方法あるいはCVD法、有機溶液からの薄膜形成法等の
コーティング方法が挙げられる。
ッタ法、イオンプレーティング法等の物理的コーティン
グ方法あるいはCVD法、有機溶液からの薄膜形成法等の
コーティング方法が挙げられる。
［実施例］ 以下実施例を挙げて本発明の好ましい具体例を説明す
るが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。
るが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。
実施例１ 第１図（Ａ）は本発明の多層膜表面反射鏡の好ましい
実施例の要部拡大断面図であり、図中、１はガラス基
板、２はCr膜、３は屈折率1.38のMgF2からなる光学膜厚
λ0/4（本実施例において、設計の中心となる光の波長
λ０は540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の低
屈折率膜層（Ｌ層）、４は屈折率2.05のZrO2からなる光
学膜厚λ0/2（270nm）の高屈折率物質膜（2H層）であ
る。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス
基板の片面に基板側からCr膜→Ｌ層→2H層の順で多層膜
が形成されている。この多層膜表面反射鏡の分光反射特
性を第２図に示す。第２図から明らかなように、この実
施例の多層膜表面反射鏡は、従来の多層膜表面反射鏡に
比べて、暗順応比視感度とヘッドライトの分光エネルギ
ーの積の高い領域480nm〜550nmを含む480nm〜580nmにほ
ぼ対応する480nm〜580nmの反射率が低下しているので防
眩性にすぐれ、かつ人間の目にとって明るさの感度の低
い青及び赤の波長である400nm〜480nm（青）及び580nm
〜700nm（赤）における反射率が上昇しているので、視
認性にすぐれている。
実施例の要部拡大断面図であり、図中、１はガラス基
板、２はCr膜、３は屈折率1.38のMgF2からなる光学膜厚
λ0/4（本実施例において、設計の中心となる光の波長
λ０は540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の低
屈折率膜層（Ｌ層）、４は屈折率2.05のZrO2からなる光
学膜厚λ0/2（270nm）の高屈折率物質膜（2H層）であ
る。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス
基板の片面に基板側からCr膜→Ｌ層→2H層の順で多層膜
が形成されている。この多層膜表面反射鏡の分光反射特
性を第２図に示す。第２図から明らかなように、この実
施例の多層膜表面反射鏡は、従来の多層膜表面反射鏡に
比べて、暗順応比視感度とヘッドライトの分光エネルギ
ーの積の高い領域480nm〜550nmを含む480nm〜580nmにほ
ぼ対応する480nm〜580nmの反射率が低下しているので防
眩性にすぐれ、かつ人間の目にとって明るさの感度の低
い青及び赤の波長である400nm〜480nm（青）及び580nm
〜700nm（赤）における反射率が上昇しているので、視
認性にすぐれている。
実施例２ 第１図（Ｂ）は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、11はガラス基板、12
はCr膜、13は屈折率1.38のMgF2からなる光学膜厚λ0/8
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０は
600nmであり、従ってλ0/8は75nmである）の低屈折率膜
層（L/2層）、14は屈折率2.05のZrO2からなる光学膜厚
λ0/2（300nm）の高屈折率物質膜（2H層）である。すな
わち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片
面に基板側からCr膜→L/2層→2H層の順で多層膜が形成
されている。
例の要部拡大断面図であり、図中、11はガラス基板、12
はCr膜、13は屈折率1.38のMgF2からなる光学膜厚λ0/8
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０は
600nmであり、従ってλ0/8は75nmである）の低屈折率膜
層（L/2層）、14は屈折率2.05のZrO2からなる光学膜厚
λ0/2（300nm）の高屈折率物質膜（2H層）である。すな
わち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片
面に基板側からCr膜→L/2層→2H層の順で多層膜が形成
されている。
この多層膜表面反射鏡は第３図より明らかなように、
実施例１の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例１の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例３ 第１図（Ｃ）は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、21はガラス基板、22
はCr膜、23は屈折率1.38のMgF2からなる光学膜厚λ0/4
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０は
540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の低屈折率
膜層（Ｌ層）、24は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜
厚λ0/2（270nm）の高屈折率膜層（2H層）である。すな
わち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片
面に基板側からCr膜→Ｌ層→2H層の順で多層膜が形成さ
れている。
例の要部拡大断面図であり、図中、21はガラス基板、22
はCr膜、23は屈折率1.38のMgF2からなる光学膜厚λ0/4
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０は
540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の低屈折率
膜層（Ｌ層）、24は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜
厚λ0/2（270nm）の高屈折率膜層（2H層）である。すな
わち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片
面に基板側からCr膜→Ｌ層→2H層の順で多層膜が形成さ
れている。
この多層膜表面反射鏡は、第４図より明らかなよう
に、実施例１の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性
を示し、防眩性および視認性にすぐれている。
に、実施例１の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性
を示し、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例４ 第１図（Ｄ）は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、31はガラス基板、32
はGe膜、33は屈折率1.38のMgF2からなる光学膜厚λ0/4
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０は
540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の低屈折率
膜層（Ｌ層）、34は屈折率2.05のZrO2からなる光学膜厚
λ0/2（270nm）の高屈折率膜層（2H層）である。すなわ
ち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片面
に基板側からGe膜→Ｌ層→2H層の順で多層膜が形成され
ている。
例の要部拡大断面図であり、図中、31はガラス基板、32
はGe膜、33は屈折率1.38のMgF2からなる光学膜厚λ0/4
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０は
540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の低屈折率
膜層（Ｌ層）、34は屈折率2.05のZrO2からなる光学膜厚
λ0/2（270nm）の高屈折率膜層（2H層）である。すなわ
ち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片面
に基板側からGe膜→Ｌ層→2H層の順で多層膜が形成され
ている。
この多層膜表面反射鏡は、第５図より明らかなよう
に、実施例１の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性
を示し、防眩性および視認性にすぐれている。
に、実施例１の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性
を示し、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例５ 第１図（Ｅ）は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、41はガラス基板、42
はCr膜、43は屈折率1.38のMgF2からなる光学膜厚λ0/4
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０は
540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の低屈折率
膜層（Ｌ層）、44は屈折率2.30のTiO2からなる光学膜厚
λ0/4（135nm）の高屈折率膜層（H1層）、45は屈折率2.
05のZrO2からなる光学膜厚λ0/4（135nm）の高屈折率膜
層（H2層）である。すなわち、この実施例の多層膜表面
反射鏡は、ガラス基板の片面に基板側からCr膜→Ｌ層→
H1層→H2層の順で多層膜が形成されている。（なおH1層
とH2層によって光学膜厚λ0/2の高屈折率膜層（2H層）
が形成されている）。
例の要部拡大断面図であり、図中、41はガラス基板、42
はCr膜、43は屈折率1.38のMgF2からなる光学膜厚λ0/4
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０は
540nmであり、従ってλ0/4は135nmである）の低屈折率
膜層（Ｌ層）、44は屈折率2.30のTiO2からなる光学膜厚
λ0/4（135nm）の高屈折率膜層（H1層）、45は屈折率2.
05のZrO2からなる光学膜厚λ0/4（135nm）の高屈折率膜
層（H2層）である。すなわち、この実施例の多層膜表面
反射鏡は、ガラス基板の片面に基板側からCr膜→Ｌ層→
H1層→H2層の順で多層膜が形成されている。（なおH1層
とH2層によって光学膜厚λ0/2の高屈折率膜層（2H層）
が形成されている）。
この多層膜表面反射鏡は第６図より明らかなように、
実施例１の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例１の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例６ 第１図（Ｆ）は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、51はガラス基板、52
はCr膜、53は屈折率1.38のMgF2からなる光学膜厚λ0/8
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０は
600nmであり、従ってλ0/8は75nmである）の低屈折率膜
層（L/2層）、54は屈折率2.30のTiO2からなる光学膜厚
λ0/4（150nm）の高屈折率膜層（H1層）55は屈折率2.05
のZrO2からなる光学膜厚λ0/4（150nm）の高屈折率膜層
（H2層）である。すなわち、この実施例の多層膜表面反
射鏡はガラス基板の片面に基板からCr膜→L/2層→H1層
→H2層の順で多層膜が形成されている。（なおH1層とH2
層によって光学膜厚λ0/2の高屈折率膜層（2H層）が形
成されている）。
例の要部拡大断面図であり、図中、51はガラス基板、52
はCr膜、53は屈折率1.38のMgF2からなる光学膜厚λ0/8
（本実施例において、設計の中心となる光の波長λ０は
600nmであり、従ってλ0/8は75nmである）の低屈折率膜
層（L/2層）、54は屈折率2.30のTiO2からなる光学膜厚
λ0/4（150nm）の高屈折率膜層（H1層）55は屈折率2.05
のZrO2からなる光学膜厚λ0/4（150nm）の高屈折率膜層
（H2層）である。すなわち、この実施例の多層膜表面反
射鏡はガラス基板の片面に基板からCr膜→L/2層→H1層
→H2層の順で多層膜が形成されている。（なおH1層とH2
層によって光学膜厚λ0/2の高屈折率膜層（2H層）が形
成されている）。
この多層膜表面反射鏡は第７図より明らかなように、
実施例１の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例１の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にすぐれている。
以上、実施例１〜６により本発明の多層膜表面反射鏡
について説明してきたが、実施例１〜４の誘電体多層膜
において2H層をH1層→H2層またはH2層→H1層にした場合
にも同様の結果が得られる。また実施例５および実施例
６におけるH1層→H2層をH2層→H1層にしても同様の結果
が得られる。
について説明してきたが、実施例１〜４の誘電体多層膜
において2H層をH1層→H2層またはH2層→H1層にした場合
にも同様の結果が得られる。また実施例５および実施例
６におけるH1層→H2層をH2層→H1層にしても同様の結果
が得られる。
実施例１〜６における誘電体多層膜の各層を等価膜に
置き換えても同様の反射特性が得られる。
置き換えても同様の反射特性が得られる。
さらに基板としてガラスの代りにプラスチックを用い
ても同等の反射特性が得られる。
ても同等の反射特性が得られる。
比較例 第10図は、本発明の実施例１の多層膜表面反射鏡にお
いて、低屈折率膜層（Ｌ層）をなくした、比較のための
多層膜表面反射鏡の要部拡大断面図であり、図中、61は
ガラス基板、62はCr膜、63は屈折率2.05のZrO2からなる
光学膜厚λ0/2（本比較例において、設計の中心となる
光の波長λ０は540nmであり、従ってλ0/2は270nmであ
る）の高屈折率膜層（2H層）である。すなわち、この比
較例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側か
らCr膜→2H層の順で多層膜が形成されている。この多層
膜表面反射鏡の分光特性を第11図に示す。第11図から明
らかなように本比較例の表面反射鏡は実施例１〜６の表
面反射鏡とは異なり暗順応比視感度とヘッドライトの分
光エネルギーの積の高い領域480nm〜550nmを含む480nm
〜580nmの反射率が高くなっているので、防眩性が悪
く、かつ人間の目にとって明るさの感度の低い青及び赤
の波長のうち430nm-480nm（青）における反射率が低く
なっているため視認性も悪い。
いて、低屈折率膜層（Ｌ層）をなくした、比較のための
多層膜表面反射鏡の要部拡大断面図であり、図中、61は
ガラス基板、62はCr膜、63は屈折率2.05のZrO2からなる
光学膜厚λ0/2（本比較例において、設計の中心となる
光の波長λ０は540nmであり、従ってλ0/2は270nmであ
る）の高屈折率膜層（2H層）である。すなわち、この比
較例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側か
らCr膜→2H層の順で多層膜が形成されている。この多層
膜表面反射鏡の分光特性を第11図に示す。第11図から明
らかなように本比較例の表面反射鏡は実施例１〜６の表
面反射鏡とは異なり暗順応比視感度とヘッドライトの分
光エネルギーの積の高い領域480nm〜550nmを含む480nm
〜580nmの反射率が高くなっているので、防眩性が悪
く、かつ人間の目にとって明るさの感度の低い青及び赤
の波長のうち430nm-480nm（青）における反射率が低く
なっているため視認性も悪い。
前記実施例および比較例の結果から、防眩性と視認性
を有する表面反射鏡を得るためには、１層の誘電体膜で
は不十分であり、前記所定膜厚の１層の低屈折率物質膜
と、前記所定膜厚の、１層の高屈折率物質膜からなる誘
電体多層膜が必要であることが判明した。
を有する表面反射鏡を得るためには、１層の誘電体膜で
は不十分であり、前記所定膜厚の１層の低屈折率物質膜
と、前記所定膜厚の、１層の高屈折率物質膜からなる誘
電体多層膜が必要であることが判明した。
［発明の効果］ 本発明の多層膜表面反射鏡は次のような技術的効果を
有する。
有する。
（ｉ） 防眩性にすぐれている。
本発明の反射鏡は第２〜７図から明らかなように、第
８図、曲線（３）によって示されるＰ（λ）×Ｖ′
（λ）の値の大きな480nm〜550nmを含む480nm〜580nmに
ほぼ対応する480nmから580nmの波長域で反射率の低い谷
を有するので防眩効果にすぐれている。
８図、曲線（３）によって示されるＰ（λ）×Ｖ′
（λ）の値の大きな480nm〜550nmを含む480nm〜580nmに
ほぼ対応する480nmから580nmの波長域で反射率の低い谷
を有するので防眩効果にすぐれている。
（ii） 視認性にすぐれている。
本発明の反射鏡は第２〜７図に示すように防眩に必要
な波長領域では反射率が低く、その他の波長領域で反射
率が高くなっているので、すぐれた視認性が確保され
る。
な波長領域では反射率が低く、その他の波長領域で反射
率が高くなっているので、すぐれた視認性が確保され
る。
また本発明の反射鏡は明るさの感度の良い緑の領域
（490nm〜580nm）の反射率を青の領域（400nm〜480nm）
や赤の領域（590nm〜750nm）よりも下げてあり、結果と
して青、赤の目の感度の低い色を増感することから色の
分別性（コントラスト）が向上するという利点もある。
（490nm〜580nm）の反射率を青の領域（400nm〜480nm）
や赤の領域（590nm〜750nm）よりも下げてあり、結果と
して青、赤の目の感度の低い色を増感することから色の
分別性（コントラスト）が向上するという利点もある。
（iii） 装飾性、ファッション性にすぐれている。
本発明の反射鏡は防眩性及び視認性を追及した結果、
その反射色がマゼンタ色を帯びている。このマゼンタ色
は高級感を与え、他の反射鏡との差別化が可能となる。
その反射色がマゼンタ色を帯びている。このマゼンタ色
は高級感を与え、他の反射鏡との差別化が可能となる。
（iv） 生産性、コスト性にすぐれている。
本発明の反射鏡の製造においては、形成される誘電体
多層膜の層数が少ないことおよびこの誘電体多層膜と金
属なしい半導体膜とを同一の成膜手段によって形成する
ことができること等の利点を有するので、形成される誘
電体多層膜の層数が多く、かつ光吸収体膜の塗装、焼成
の必要な、前記特開昭63-165805号公報の反射鏡の場合
と異なり、生産性及びコスト性にすぐれている。
多層膜の層数が少ないことおよびこの誘電体多層膜と金
属なしい半導体膜とを同一の成膜手段によって形成する
ことができること等の利点を有するので、形成される誘
電体多層膜の層数が多く、かつ光吸収体膜の塗装、焼成
の必要な、前記特開昭63-165805号公報の反射鏡の場合
と異なり、生産性及びコスト性にすぐれている。
以上、要するに本発明によれば、誘電体多層膜の層数
が少ないにも拘らず、防眩性、視認性、装飾性、有害光
カット性等の利点を有する多層表面反射鏡を生産性、コ
スト性良く提供することができる。
が少ないにも拘らず、防眩性、視認性、装飾性、有害光
カット性等の利点を有する多層表面反射鏡を生産性、コ
スト性良く提供することができる。
第１図は本発明の多層膜表面反射鏡の要部拡大断面図、
第２図、第３図、第４図、第５図、第６図及び第７図は
本発明の反射鏡の分光反射特性図、第８図は人間の目の
暗順応比視感度および自動車ヘッドライトの分光エネル
ギー特性並びにそれらの積である人間の目に感じる自動
車ヘッドライトの分光エネルギー特性図、第９図は特開
昭63-165805号公報に記載の多層膜表面反射鏡の分光反
射特性図、第10図は比較例の多層膜表面反射鏡の要部拡
大断面図、第11図は比較例の多層膜表面反射鏡の分光反
射特性図である。 1,11,21,31,41,51,61……ガラス基板、2,12,22,32,42,5
2,62……金属ないし半導体膜、3,4,13,14,23,24,33,34,
43,44,45,53,54,55,63……誘電体膜。
第２図、第３図、第４図、第５図、第６図及び第７図は
本発明の反射鏡の分光反射特性図、第８図は人間の目の
暗順応比視感度および自動車ヘッドライトの分光エネル
ギー特性並びにそれらの積である人間の目に感じる自動
車ヘッドライトの分光エネルギー特性図、第９図は特開
昭63-165805号公報に記載の多層膜表面反射鏡の分光反
射特性図、第10図は比較例の多層膜表面反射鏡の要部拡
大断面図、第11図は比較例の多層膜表面反射鏡の分光反
射特性図である。 1,11,21,31,41,51,61……ガラス基板、2,12,22,32,42,5
2,62……金属ないし半導体膜、3,4,13,14,23,24,33,34,
43,44,45,53,54,55,63……誘電体膜。
Claims (3)
- 【請求項１】基材の片面に金属ないし半導体膜を設け、
さらにその上に誘電体多層膜を設けてなり、 前記誘電体多層膜は、光学膜厚が0.05〜0.4λ０（λ０
は設計の中心となる波長であり、多層膜表面反射鏡の分
光反射率特性が波長域480nm〜580nmに反射率の低い谷を
有することになるように設定される）である１層の低屈
折率物質膜と、光学膜厚がλ0/2である１層の高屈折率
物質膜とからなり、 前記低屈折率物質膜は、前記高屈折率物質膜との関係に
おいて前記金属ないし半導体膜側に存在し、一方、前記
高屈折率物質膜は、前記低屈折率物質膜との関係におい
て空気側に存在し、 該構成を有する多層膜表面反射鏡の分光反射率特性が波
長域480nm〜580nmに反射率の低い谷を有する ことを特徴とする多層膜表面反射鏡。 - 【請求項２】前記低屈折率物質膜の光学膜厚が、λ0/8
又はλ0/4である、請求項１に記載の多層膜表面反射
鏡。 - 【請求項３】光学膜厚がλ0/2の前記高屈折率物質膜
が、光学膜厚がλ0/4の１種の高屈折率物質膜と、これ
に隣接する、光学膜厚がλ/4の他種の高屈折率物質膜と
によって形成されている、請求項１または請求項２に記
載の多層膜表面反射鏡。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63275097A JP2719367B2 (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | 多層膜表面反射鏡 |
| US07/425,119 US5007710A (en) | 1988-10-31 | 1989-10-23 | Multi-layered surface reflecting mirror |
| GB8923984A GB2224366B (en) | 1988-10-31 | 1989-10-25 | Multi-layered surface reflecting mirror |
| IT06792889A IT1238097B (it) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Specchio riflettente a superficie multi-strato. |
| DE3936282A DE3936282C2 (de) | 1988-10-31 | 1989-10-31 | Mehrschichtiger Oberflächenreflektierspiegel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63275097A JP2719367B2 (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | 多層膜表面反射鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02120801A JPH02120801A (ja) | 1990-05-08 |
| JP2719367B2 true JP2719367B2 (ja) | 1998-02-25 |
Family
ID=17550733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63275097A Expired - Lifetime JP2719367B2 (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | 多層膜表面反射鏡 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5007710A (ja) |
| JP (1) | JP2719367B2 (ja) |
| DE (1) | DE3936282C2 (ja) |
| GB (1) | GB2224366B (ja) |
| IT (1) | IT1238097B (ja) |
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| GB9400323D0 (en) * | 1994-01-10 | 1994-03-09 | Pilkington Glass Ltd | Coatings on glass |
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