JPH0221312A - 制振用支持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、地震に起因する振動とか、自動車等に起因し
て発生される微振動などに起因する床やそれに載置され
る装置載置台の鉛直方向における振動を吸収ならびに抑
制する制量支持構造を構成するのに用いられる制振用支
持装置に関する。

〈従来の技術〉 ＬＳＩ製造工場やレーザ一応用製品工場などでは、微振
動によっても製品の不良発生を招くため、それらの振動
を抑制することが必要であり、従来では、第４図の制振
支持構造の全体平面図および第５図の全体側面図それぞ
れに示すように、製造装置を１ａ置する装置ｔｉ置台０
１等と構造体の床等の支持体０２との間の周方向４箇所
それぞれに、積層ゴムと空気バネといったバネ要素０３
を介在し、それらのバネ要素０３によって装置！！載置
台１を弾性支持し、振動による衝撃を緩和しながら、空
気バネにより微振動を効率良く吸収するようにし、そし
て、上記バネ要素０３とは別の箇所において、装！１６
ｉ１ｆ台Ｏ１と支持体０２との間に、リニアモータなど
のアクチュエータ０４を介在し、装置！！載置台１の振
動に応じてアクチエエータ０４により制御力を付与し、
装置載置台０１の振動を抑制するように構成していた。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、従来例の構成によれば、振動による衝撃
緩和のためのバネ要素０３と、制御力付与のためのアク
チュエータ０４とが、互いに分離された個別の部材で構
成されているため、装置載置台０１と支持体０２それぞ
れに組み付けるに際して多数の手間を要する欠点があり
、また、装置載置台０１と支持体０２間にそれら多数の
部材を設置するスペースを確保しなければならず、制振
支持構造全体として大型になる欠点があった。

更に、バネ要素０３による装置載置台Ｏ１の支持位置と
、アクチエエータ０４によって装Ｋ　ｈｌ　Ｋ台Ｏ１に
制御力を作用させる位置とが異なるため、例えば、図示
のような平面視で矩形状の装置ｉ５！置装０１に適用す
る場合、アクチュエータ０４を４隅部分に設けるとバネ
要素０３を４隅部分に設けることができず、制御力を有
効に作用させることはできてもバネ要素０３による支持
が不安定になってしまい、逆に、バネ要素０３を４隅部
分に設けるとアクチュエータ０４を４隅部分に設けるこ
とができず、ハネ要素０３によって安定支持できても制
御力を有効に作用させることができないというように、
装置載置台０１の形状によっては、支持力と制御力のい
ずれか一方が不十分になる欠点があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、制振支持構造を組み付は手間少なくかつコンパクト
に構成できながら、装置載置台に対して、その形状のい
かんにかかわらず、支持力および制御力のいずれをも有
効に作用できる制振用支持装置を提供することを目的と
する。

〈課題を解決するための手段〉 本発明の制振用支持装置は、このような目的を達成する
ために、装置′Ｒ載置台連結する連結部材とエアータン
クとの間に、前記エアータンクにオリフィスを介して連
通接続する状態で空気ハネを設け、かつ、前記エアータ
ンク内にアクチュエータを設けるとともに、そのアクチ
ュエータと前記連結部材とを、前記オリフィスを通した
つなぎ材を介して連動連結して構成する。

〈作用〉 上記構成によれば、エアータンクを支持体側に固定し、
一方、装置載置台に連結部材を取り付けることにより、
空気バネとアクチュエータとを半に組み付けることがで
き、かつ、空気バネによる弾性支持力を”ＪＷＲ置台に
伝達する連結部材そのものにアクチュエータによる制御
２′１力を付与し、装置載置台の振動の緩和と制御ｎと
を行うことができる。

〈実施例〉 次に、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

く第１実施例〉 第１図は、本発明に係る制振用支持装置の一部切欠概略
全体正面図である。

この図において、■は装置載置台を示し、この装置載置
台ｌに連結された連結部材２と、支持体としての床３ａ
に設置されたエアータンク３との間に空気ハネ４が設け
られ、その空気ハネ４とエアータンク３とがオリフィス
５を介して連通接続されている。

前記エアータンク３内には、アクチュエータとしてのボ
イスコイル型のりニアモータ６が設けられるとともに、
そのリニアモータ６と連結部材２とが、オリフィス５を
通したつなぎ材７を介して連動連結されている。

前記エアータンク３には、開閉弁８を介してコンプレッ
サー９が連通接続され、空気バネ４およびエアータンク
３内にエアーを供給するとともに、そのエアー供給量を
調整することにより、空気ハネ４の内圧、即ち、装置載
置台ｌに対する弾性支持力を調節し、静的な力に対する
受は止め力を調整できるように構成されている。

また、前記リニアモータ６には制御装置ＩＯが接続され
、装置載置台１に付設された鉛直方向の振動センサ１０
ａからの信号に応答して制御装置ｌＯからりニアモータ
６に制御信号を出力し、装置！３！置自重が振動したと
きに、リニアモータ６を作動して装置載置台１に動的な
力を付与し、装置Ｒ置台ｌが絶対的な静止状態を維持す
るように床３ａに対して変位させるように構成されてい
る。

上述のようにして構成された制振用支持装置Ａが、第２
図の制振支持構造の全体平面図および第３図の全体正面
図それぞれに示すように、平面視矩形状の装置載置台ｌ
と床３ａとの間に、その装置載置台ｌの４隅部分それぞ
れに位置させて介装され、振動センサ１０ａからの信号
に応答した制御装置１０からの制御信号によりリニアモ
ータ６を作動し、所定の強さの動的な力を付与し、装置
ｉａｚ台１の振動の吸収および制御ｎのいずれをも有効
に行うことができるように制振支持構造が構成されてい
る。

ここでは、平面視矩形状の装置１２置台１に適用したも
のを示しているが、平面視円形状の装置載置台ｌにも適
用でき、その場合であれば、装置載置台１に対して、周
方向に９０°ずつあるいは１２０°ずつ等しく中心角を
異ならせた位置に制振用支持装置Ａを介在するようにす
れば良い。

上記実施例では、装置載置台１に動的な力を付与するア
クチュエータとして、応答性を高める上で有利なように
リニアモータ６を用いているが、それに代えて油圧シリ
ンダ等のアクチュエータを用いても良い。

〈発明の効果〉 本発明の制振用支持装置によれば、アクチュエータを空
気バネおよびエアータンクに内蔵するとともに、装置載
置台に組み付ける連結部材を共用するから、空気バ名お
よびアクチュエータそれぞれを個別に組み付ける場合に
比べて組み付は手間を半減できるとともに、それらの設
置スペースが小さくて制振支持構造をコンパクトに構成
できる制振用支持装置を提供できた。

しかも、装置載置台の振動の緩和と制御とを、同じ連結
部材を介して、装置載置台に対する同じ位置に作用させ
て行うから、たとえ平面視矩形状の装置ｆ２装台に組み
付ける場合でも、装置載置台の振動の緩和と制御のいず
れをも４隅部分に作用させることができるなど、装置！
！載置台形状のいかんにかかわらず、装置載置台に対し
て支持力および制御力のいずれをも有効に作用させるこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

図面は、本発明に係る制振用支持装置の実施例を示し、
第１図は、制振用支持装置の一部切欠概略全体正面図、
第２図は、制振支持構造の全体平面図、第３図はその全
体正面図、第４図は、従来例を示す制振支持構造の全体
平面図、第５図はその全体正面図である。 ｌ・・・装置載置台 ２・・・連結部材 ３・・・エアータンク ４・・・空気バネ ５・・・オリフィス ６・・・アクチュエータとしてのりニアモータ７・・・
つなぎ材 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）装置載置台に連結する連結部材とエアータンクと
   の間に、前記エアータンクにオリフィスを介して連通接
   続する状態で空気バネを設け、かつ、前記エアータンク
   内にアクチュエータを設けるとともに、そのアクチュエ
   ータと前記連結部材とを、前記オリフィスを通したつな
   ぎ材を介して連動連結したことを特徴とする制振用支持
   装置。