JPH0221312A - 制振用支持装置 - Google Patents
制振用支持装置Info
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- JPH0221312A JPH0221312A JP63172386A JP17238688A JPH0221312A JP H0221312 A JPH0221312 A JP H0221312A JP 63172386 A JP63172386 A JP 63172386A JP 17238688 A JP17238688 A JP 17238688A JP H0221312 A JPH0221312 A JP H0221312A
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Landscapes
- Fluid-Damping Devices (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
て発生される微振動などに起因する床やそれに載置され
る装置載置台の鉛直方向における振動を吸収ならびに抑
制する制量支持構造を構成するのに用いられる制振用支
持装置に関する。
動によっても製品の不良発生を招くため、それらの振動
を抑制することが必要であり、従来では、第4図の制振
支持構造の全体平面図および第5図の全体側面図それぞ
れに示すように、製造装置を1a置する装置ti置台0
1等と構造体の床等の支持体02との間の周方向4箇所
それぞれに、積層ゴムと空気バネといったバネ要素03
を介在し、それらのバネ要素03によって装置!!載置
台1を弾性支持し、振動による衝撃を緩和しながら、空
気バネにより微振動を効率良く吸収するようにし、そし
て、上記バネ要素03とは別の箇所において、装!16
i1f台O1と支持体02との間に、リニアモータなど
のアクチュエータ04を介在し、装置!!載置台1の振
動に応じてアクチエエータ04により制御力を付与し、
装置載置台01の振動を抑制するように構成していた。
緩和のためのバネ要素03と、制御力付与のためのアク
チュエータ04とが、互いに分離された個別の部材で構
成されているため、装置載置台01と支持体02それぞ
れに組み付けるに際して多数の手間を要する欠点があり
、また、装置載置台01と支持体02間にそれら多数の
部材を設置するスペースを確保しなければならず、制振
支持構造全体として大型になる欠点があった。
、アクチエエータ04によって装K hl K台O1に
制御力を作用させる位置とが異なるため、例えば、図示
のような平面視で矩形状の装置i5!置装01に適用す
る場合、アクチュエータ04を4隅部分に設けるとバネ
要素03を4隅部分に設けることができず、制御力を有
効に作用させることはできてもバネ要素03による支持
が不安定になってしまい、逆に、バネ要素03を4隅部
分に設けるとアクチュエータ04を4隅部分に設けるこ
とができず、ハネ要素03によって安定支持できても制
御力を有効に作用させることができないというように、
装置載置台01の形状によっては、支持力と制御力のい
ずれか一方が不十分になる欠点があった。
て、制振支持構造を組み付は手間少なくかつコンパクト
に構成できながら、装置載置台に対して、その形状のい
かんにかかわらず、支持力および制御力のいずれをも有
効に作用できる制振用支持装置を提供することを目的と
する。
ために、装置′R載置台連結する連結部材とエアータン
クとの間に、前記エアータンクにオリフィスを介して連
通接続する状態で空気ハネを設け、かつ、前記エアータ
ンク内にアクチュエータを設けるとともに、そのアクチ
ュエータと前記連結部材とを、前記オリフィスを通した
つなぎ材を介して連動連結して構成する。
一方、装置載置台に連結部材を取り付けることにより、
空気バネとアクチュエータとを半に組み付けることがで
き、かつ、空気バネによる弾性支持力を”JWR置台に
伝達する連結部材そのものにアクチュエータによる制御
2′1力を付与し、装置載置台の振動の緩和と制御nと
を行うことができる。
。
全体正面図である。
台lに連結された連結部材2と、支持体としての床3a
に設置されたエアータンク3との間に空気ハネ4が設け
られ、その空気ハネ4とエアータンク3とがオリフィス
5を介して連通接続されている。
イスコイル型のりニアモータ6が設けられるとともに、
そのリニアモータ6と連結部材2とが、オリフィス5を
通したつなぎ材7を介して連動連結されている。
サー9が連通接続され、空気バネ4およびエアータンク
3内にエアーを供給するとともに、そのエアー供給量を
調整することにより、空気ハネ4の内圧、即ち、装置載
置台lに対する弾性支持力を調節し、静的な力に対する
受は止め力を調整できるように構成されている。
、装置載置台1に付設された鉛直方向の振動センサ10
aからの信号に応答して制御装置lOからりニアモータ
6に制御信号を出力し、装置!3!置自重が振動したと
きに、リニアモータ6を作動して装置載置台1に動的な
力を付与し、装置R置台lが絶対的な静止状態を維持す
るように床3aに対して変位させるように構成されてい
る。
図の制振支持構造の全体平面図および第3図の全体正面
図それぞれに示すように、平面視矩形状の装置載置台l
と床3aとの間に、その装置載置台lの4隅部分それぞ
れに位置させて介装され、振動センサ10aからの信号
に応答した制御装置10からの制御信号によりリニアモ
ータ6を作動し、所定の強さの動的な力を付与し、装置
iaz台1の振動の吸収および制御nのいずれをも有効
に行うことができるように制振支持構造が構成されてい
る。
のを示しているが、平面視円形状の装置載置台lにも適
用でき、その場合であれば、装置載置台1に対して、周
方向に90°ずつあるいは120°ずつ等しく中心角を
異ならせた位置に制振用支持装置Aを介在するようにす
れば良い。
クチュエータとして、応答性を高める上で有利なように
リニアモータ6を用いているが、それに代えて油圧シリ
ンダ等のアクチュエータを用いても良い。
気バネおよびエアータンクに内蔵するとともに、装置載
置台に組み付ける連結部材を共用するから、空気バ名お
よびアクチュエータそれぞれを個別に組み付ける場合に
比べて組み付は手間を半減できるとともに、それらの設
置スペースが小さくて制振支持構造をコンパクトに構成
できる制振用支持装置を提供できた。
部材を介して、装置載置台に対する同じ位置に作用させ
て行うから、たとえ平面視矩形状の装置f2装台に組み
付ける場合でも、装置載置台の振動の緩和と制御のいず
れをも4隅部分に作用させることができるなど、装置!
!載置台形状のいかんにかかわらず、装置載置台に対し
て支持力および制御力のいずれをも有効に作用させるこ
とができる。
第1図は、制振用支持装置の一部切欠概略全体正面図、
第2図は、制振支持構造の全体平面図、第3図はその全
体正面図、第4図は、従来例を示す制振支持構造の全体
平面図、第5図はその全体正面図である。 l・・・装置載置台 2・・・連結部材 3・・・エアータンク 4・・・空気バネ 5・・・オリフィス 6・・・アクチュエータとしてのりニアモータ7・・・
つなぎ材 第4図
Claims (1)
- (1)装置載置台に連結する連結部材とエアータンクと
の間に、前記エアータンクにオリフィスを介して連通接
続する状態で空気バネを設け、かつ、前記エアータンク
内にアクチュエータを設けるとともに、そのアクチュエ
ータと前記連結部材とを、前記オリフィスを通したつな
ぎ材を介して連動連結したことを特徴とする制振用支持
装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17238688A JP2656801B2 (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 制振用支持装置 |
DE3921824A DE3921824A1 (de) | 1988-07-11 | 1989-07-03 | Daempfungssockel |
US07/376,982 US5042784A (en) | 1988-07-11 | 1989-07-07 | Damping support structure |
CA000605235A CA1304341C (en) | 1988-07-11 | 1989-07-10 | Damping support structure |
NL8901778A NL191952C (nl) | 1988-07-11 | 1989-07-11 | Dempende steunconstructie. |
KR1019890009825A KR930006503B1 (ko) | 1988-07-11 | 1989-07-11 | 진동 흡수 구조체 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17238688A JP2656801B2 (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 制振用支持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0221312A true JPH0221312A (ja) | 1990-01-24 |
JP2656801B2 JP2656801B2 (ja) | 1997-09-24 |
Family
ID=15940960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17238688A Expired - Lifetime JP2656801B2 (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 制振用支持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2656801B2 (ja) |
-
1988
- 1988-07-11 JP JP17238688A patent/JP2656801B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2656801B2 (ja) | 1997-09-24 |
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