JP2656801B2 - 制振用支持装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、地震に起因する振動とか、自動車等に起因
して発生される微震動などに起因する床やそれに載置さ
れる装置載置台の鉛直方向における振動を吸収ならびに
抑制する制振支持構造を構成するのに用いられる制振用
支持装置に関する。

＜従来の技術＞ LSI製造工場やレーザー応用製品工場などでは、微振
動によっても製品の不良発生を招くため、それらの振動
を抑制することが必要であり、従来では、第４図の制振
支持構造の全体平面図および第５図の全体側面図それぞ
れに示すように、製造装置を載置する装置載置台01等と
構造体の床等の支持体02との間の周方向４箇所それぞれ
に、積層ゴムと空気バネといったバネ要素03を介在し、
それらのバネ要素03によって装置載置台01を弾性支持
し、振動による衝撃を緩和しながら、空気バネにより微
振動を効率良く吸収するようにし、そして、上記バネ要
素03とは別の箇所において、装置載置台01と支持体02と
の間に、リニアモータなどのアクチュエータ04を介在
し、装置載置台01の振動に応じてアクチュエータ04によ
り制御力を付与し、装置載置台01の振動を抑制するよう
に構成していた。

＜発明が解決しようとする課題＞ しかしながら、従来例の構成によれば、振動による衝
撃緩和のためのバネ要素03と、制御力付与のためのアク
チュエータ04とが、互いに分離された個別の部材で構成
されているため、装置載置台01と支持体02それぞれに組
み付けるに際して多数の手間を要する欠点があり、ま
た、装置載置台01と支持体02間にそれら多数の部材を設
置するスペースを確保しなければならず、制振支持構造
全体として大型になる欠点があった。

更に、バネ要素03による装置載置台01の支持位置と、
アクチュエータ04によって装置載置台01に制御力を作用
させる位置とが異なるため、例えば、図示のような平面
視で矩形状の装置載置台01に適用する場合、アクチュエ
ータ04を４隅部分に設けるとバネ要素03を４隅部分に設
けることができず、制御力を有効に作用させることはで
きてもバネ要素03による支持が不安定になってしまい、
逆に、バネ要素03を４隅部分に設けるとアクチュエータ
04を４隅部分に設けることができず、バネ要素03によっ
て安定支持できても制御力を有効に作用させることがで
きないというように、装置載置台01の形状によっては、
支持力と制御力のいずれか一方が不十分になる欠点があ
った。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであ
って、制振支持構造を組み付け手間少なくかつコンパク
トに構成できながら、装置載置台に対して、その形状の
いかんにかかわらず、支持力および制御力のいずれをも
有効に作用できる制振用支持装置を提供することを目的
とする。

＜課題を解決するための手段＞ 本発明の制振用支持装置は、このような目的を達成す
るために、装置載置台に連結する連結部材とエアータン
クとの間に、前記エアータンクにオリフィスを介して連
通接続する状態で空気バネを設け、かつ、前記エアータ
ンク内にアクチュエータを設けるとともに、そのアクチ
ュエータと前記連結部材とを、前記オリフィスを通した
つなぎ材を介して連動連結して構成する。

＜作用＞ 上記構成によれば、エアータンクを支持体側に固定
し、一方、装置載置台に連結部材を取り付けることによ
り、空気バネとアクチュエータとを一挙に組み付けるこ
とができ、かつ、空気バネによる弾性支持力を装置載置
台に伝達する連結部材そのものにアクチュエータによる
制御力を付与し、装置載置台の振動の緩和と制御とを行
うことができる。

＜実施例＞ 次に、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。

＜第１実施例＞ 第１図は、本発明に係る制振用支持装置の一部切欠概
略全体正面図である。

この図において、１は装置載置台を示し、この装置載
置台１に連結された連係部材２と、支持体としての床3a
に設置されたエアータンク３との間に空気バネ４が設け
られ、その空気バネ４とエアータンク３とがオリフィス
５を介して連通接続されている。

前記エアータンク３内には、アクチュエータとしての
ボイスコイル型のリニアモータ６が設けられるととも
に、そのリニアモータ６と連結部材２とが、オリフィス
５を通したつなぎ材７を介して連動連結されている。

前記エアータンク３には、開閉弁８を介してコンプレ
ッサー９が連通接続され、空気バネ４およびエアータン
ク３内にエアーを供給するとともに、そのエアー供給量
を調整することにより、空気バネ４の内圧、即ち、装置
載置台１に対する弾性支持力を調節し、静的な力に対す
る受け止め力を調整できるように構成されている。

また、前記リニアモータ６には制御装置10が接続さ
れ、装置載置台１に付設された鉛直方向の振動センサ10
aからの信号に応答して制御装置10からリニアモータ６
に制御信号を出力し、装置載置台１を振動したときに、
リニアモータ６を作動して装置載置台１に動的な力を付
与し、装置載置台１が絶対的な静止状態を維持するよう
に床3aに対して変位させるように構成されている。

上述のようにして構成された制振用支持装置Ａが、第
２図の制振支持構造の全体平面図および第３図の全体正
面図それぞれに示すように、平面視矩形状の装置載置台
１と床3aとの間に、その装置載置台１の４隅部分それぞ
れに位置させて介装され、振動センサ10aからの信号に
応答した制御装置10からの制御信号によりリニアモータ
６を作動し、所定の強さの動的な力を付与し、装置載置
台１の振動の吸収および制御のいずれをも有効に行うこ
とができるように制振支持構造が構成されている。

ここでは、平面視矩形状の装置載置台１に適用したも
のを示しているが、平面視円形状の装置載置台１にも適
用でき、その場合であれば、装置載置台１に対して、周
方向に90゜ずつあるいは120゜ずつ等しく中心角を異な
らせた位置に制振支持装置Ａを介在するようにすれば良
い。

上記実施例では、装置載置台１に動的な力を付与する
アクチュエータとして、応答性を高める上で有利なよう
にリニアモータ６を用いているが、それに代えて油圧シ
リンダ等のアクチュエータを用いても良い。

＜発明の効果＞ 本発明の制振用支持装置によれば、アクチュエータを
空気バネおよびエアータンクに内蔵するとともに、装置
載置台に組み付ける連結部材を共用するから、空気バネ
およびアクチュエータそれぞれを個別に組み付ける場合
に比べて組み付け手間を半減できるとともに、それらの
設置スペースが小さくて制振支持構造をコンパクトに構
成できる制振用支持装置を提供できた。

しかも、装置載置台の振動の緩和と制御とを、同じ連
結部材を介して、装置載置台に対する同じ位置に作用さ
せて行うから、たとえ平面視矩形状の装置載置台に組み
付ける場合でも、装置載置台の振動の緩和と制御のいず
れをも４隅部分に作用させることができるなど、装置載
置台の形状のいかんにもかかわらず、装置載置台に対し
て支持力および制御力のいずれをも有効に作用させるこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

図面は、本発明に係る制振用支持装置の実施例を示し、
第１図は、制振用支持装置の一部切欠概略全体正面図、
第２図は、制振支持構造の全体平面図、第３図はその全
体正面図、第４図は、従来例を示す制振支持構造の全体
平面図、第５図はその全体正面図である。 １……装置載置台 ２……連結部材 ３……エアータンク ４……空気バネ ５……オリフィス ６……アクチュエータとしてのリニアモータ ７……つなぎ材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 片山 和喜 大阪府南河内郡美原町木材通３丁目１番 ８号 株式会社竹中工務店技術研究所大 阪支所内 (72)発明者 安田 正志 兵庫県尼崎市南塚口町５丁目17番43号 特許機器株式会社内 (72)発明者 森 淳彦 大阪府茨木市北春日丘１丁目１番33号 株式会社森技術研究所内 (56)参考文献 特開 昭62−114011（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】装置載置台に連結する連結部材とエアータ
   ンクとの間に、前記エアータンクにオリフィスを介して
   連通接続する状態で空気バネを設け、かつ、前記エアー
   タンク内にアクチュエータを設けるとともに、そのアク
   チュエータと前記連結部材とを、前記オリフィスを通し
   たつなぎ材を介して連動連結したことを特徴とする制振
   用支持装置。