JPH02134212A - 切断方法 - Google Patents
切断方法Info
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- JPH02134212A JPH02134212A JP28852088A JP28852088A JPH02134212A JP H02134212 A JPH02134212 A JP H02134212A JP 28852088 A JP28852088 A JP 28852088A JP 28852088 A JP28852088 A JP 28852088A JP H02134212 A JPH02134212 A JP H02134212A
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 83
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 108
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 68
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 19
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 101100008048 Caenorhabditis elegans cut-4 gene Proteins 0.000 description 5
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 5
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/02—Devices for lubricating or cooling circular saw blades
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
- B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、切断方法に関し、更に詳述すれば、例えばシ
リコンのインゴットの如く硬くて脆い材料を、円環状に
形成されており、その内周縁に刃を備えている内周刃を
高速回転させ、切断送り支持台の前記内周刃の遠心方向
への移動によって切断する方法に関するものである。
リコンのインゴットの如く硬くて脆い材料を、円環状に
形成されており、その内周縁に刃を備えている内周刃を
高速回転させ、切断送り支持台の前記内周刃の遠心方向
への移動によって切断する方法に関するものである。
シリコンのインゴットからシリコンのウェハを切り出す
場合は、板厚の極めて薄い円環状の内周刃を高速回転さ
せる切断装置を使用している。
場合は、板厚の極めて薄い円環状の内周刃を高速回転さ
せる切断装置を使用している。
第13図はその切断装置の概略構造を示しており、切断
装置本体50には、円環状の内周刃51が水平に設けら
れていて、内周刃51は高速回転するようになっている
。この内周刃51の内周側には、内周刃51の軸方向及
び径方向に独立して移動させ得る被切断材ホルダ52を
設けている。この被切断材ホルダ52には円柱状をした
シリコンのインゴット等の被切断材53をその軸方向を
鉛直に支持させる。
装置本体50には、円環状の内周刃51が水平に設けら
れていて、内周刃51は高速回転するようになっている
。この内周刃51の内周側には、内周刃51の軸方向及
び径方向に独立して移動させ得る被切断材ホルダ52を
設けている。この被切断材ホルダ52には円柱状をした
シリコンのインゴット等の被切断材53をその軸方向を
鉛直に支持させる。
内周刃51を高速回転させて、被切断材53を破線で示
すように内周刃51の遠心方向外側に向けて移動させる
と、被切断材53が内周刃51の内周縁に当接して切断
が開始される。この切断位置には被切断材53の両側に
配設した切断液ノズル54.54から切断液が連続して
送給されて、被切断材53が切断されていく。
すように内周刃51の遠心方向外側に向けて移動させる
と、被切断材53が内周刃51の内周縁に当接して切断
が開始される。この切断位置には被切断材53の両側に
配設した切断液ノズル54.54から切断液が連続して
送給されて、被切断材53が切断されていく。
ところで、シリコンのインゴットを切断する場合には、
シリコンが掻めて高価であるから、切断代による無駄を
極力排除すべく内周刃51の厚さを極めて薄いものにし
ている。それ故、硬くて脆いシリコンのインゴットを切
断すると、内周刃51がその軸方向に偏る変位が発生し
て、切断された薄いシリコンウェハの両面の平行度が損
なわれる虞がある。
シリコンが掻めて高価であるから、切断代による無駄を
極力排除すべく内周刃51の厚さを極めて薄いものにし
ている。それ故、硬くて脆いシリコンのインゴットを切
断すると、内周刃51がその軸方向に偏る変位が発生し
て、切断された薄いシリコンウェハの両面の平行度が損
なわれる虞がある。
したがって、内周刃51に変位が生じた状態の切断を防
止すべく、内周刃51の変位を検出する非接触の変位計
55を被切断材53の近傍に設けて、切断中の内周刃5
1の変°位を監視し、切断中の変位の大きさが予め設定
している限界値をこえるとそれを報知して被切断材53
の切断動作を停止させるようにしている。
止すべく、内周刃51の変位を検出する非接触の変位計
55を被切断材53の近傍に設けて、切断中の内周刃5
1の変°位を監視し、切断中の変位の大きさが予め設定
している限界値をこえるとそれを報知して被切断材53
の切断動作を停止させるようにしている。
また、このような内周刃の変位を防止すべく、特開昭4
8−101082号には、内周刃に一定圧力の流体を供
給する方法が提案させている。しかし乍ら、この方法で
切断を行うと被切断材と内周刃及び切断されていく薄板
と内周刃との間隔に不要の流体が供給されて、内周刃の
変位が逆に大きくなり、これにより薄板が割れて飛散す
る等の問題があり、実用されていない。
8−101082号には、内周刃に一定圧力の流体を供
給する方法が提案させている。しかし乍ら、この方法で
切断を行うと被切断材と内周刃及び切断されていく薄板
と内周刃との間隔に不要の流体が供給されて、内周刃の
変位が逆に大きくなり、これにより薄板が割れて飛散す
る等の問題があり、実用されていない。
(発明が解決しようとする課題〕
前述の如く、被切断材53の切断中に内周刃51の変位
が限界値を越えて切断動作が停止すると、作業者は、内
周刃51のドレッシング又は内周刃51の回転を停止さ
せて、内周刃51の取付状態を改める再張り上げ又は内
周刃51の取替え等の作業を行った後に、被切断材53
の切断を試みて、内周刃51の変位が限界値内にあるこ
とを確認した後、切断動作を再開している。このような
切断装置は切断作業を一旦中断しなければならない煩わ
しさがある。
が限界値を越えて切断動作が停止すると、作業者は、内
周刃51のドレッシング又は内周刃51の回転を停止さ
せて、内周刃51の取付状態を改める再張り上げ又は内
周刃51の取替え等の作業を行った後に、被切断材53
の切断を試みて、内周刃51の変位が限界値内にあるこ
とを確認した後、切断動作を再開している。このような
切断装置は切断作業を一旦中断しなければならない煩わ
しさがある。
一方、作業者は変位計55の出力から変位の原因を判断
して内周刃51の変位を修正する必要があり作業者は熟
練を要するという問題がある。このようなことから硬く
て脆い被切断材から薄板を切出す場合の生産性が悪く、
また切断された薄板の歩留りが悪く、切断した薄板の製
造コストを上昇させている等の問題がある。
して内周刃51の変位を修正する必要があり作業者は熟
練を要するという問題がある。このようなことから硬く
て脆い被切断材から薄板を切出す場合の生産性が悪く、
また切断された薄板の歩留りが悪く、切断した薄板の製
造コストを上昇させている等の問題がある。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、
切断中における内周刃の変位を防止して、被切断材から
薄板を切出す場合の該薄板の反り・厚さ・平行度精度を
向上できて歩留りが向上し、生産性を高め得る切断方法
を提供することを主な目的としている。
切断中における内周刃の変位を防止して、被切断材から
薄板を切出す場合の該薄板の反り・厚さ・平行度精度を
向上できて歩留りが向上し、生産性を高め得る切断方法
を提供することを主な目的としている。
本発明は、上記目的を達成するために、円環状に形成さ
れており、その内周縁に備えている内周刃を回転させ、
切断送り支持台又は前記内周刃の内周刃遠心方向への相
対移動によって切断送り支持台に支持された被切断材を
前記内周刃に当接させて被切断材を切断する切断方法に
おいて、前記内周刃の切断箇所近傍の1力所以上に刃の
変位を検出する変位センサを設け、該変位センサの信号
に基づき前記切断送り支持台の前記内周刃の遠心方向へ
の相対移動速度を制御する。
れており、その内周縁に備えている内周刃を回転させ、
切断送り支持台又は前記内周刃の内周刃遠心方向への相
対移動によって切断送り支持台に支持された被切断材を
前記内周刃に当接させて被切断材を切断する切断方法に
おいて、前記内周刃の切断箇所近傍の1力所以上に刃の
変位を検出する変位センサを設け、該変位センサの信号
に基づき前記切断送り支持台の前記内周刃の遠心方向へ
の相対移動速度を制御する。
また相対移動速度の制御に替えて内周刃の回転数を制御
することを特徴とする。
することを特徴とする。
更に被切断材と内周刃との間に0.2〜2kg / c
rAの圧力で気体を吹込むノズルを設け、前記変化セン
サの信号に基づき前記ノズルからの気体の吹込み圧力を
制御することを特徴とする。
rAの圧力で気体を吹込むノズルを設け、前記変化セン
サの信号に基づき前記ノズルからの気体の吹込み圧力を
制御することを特徴とする。
前記変位センサにて前記内周刃の切断箇所近傍の変位が
検出されて、該変位センサよりこの検出信号が前記制御
部に伝えられ、該制御部により前記信号に基づいて前記
相対切断送り支持台の前記内周刃への遠心方向への移動
速度、内周刃の回転数又は吹込み圧力が制御され、前記
内周刃の変位が補正されて内周刃の平行度が保持される
。
検出されて、該変位センサよりこの検出信号が前記制御
部に伝えられ、該制御部により前記信号に基づいて前記
相対切断送り支持台の前記内周刃への遠心方向への移動
速度、内周刃の回転数又は吹込み圧力が制御され、前記
内周刃の変位が補正されて内周刃の平行度が保持される
。
以下本発明をその実施例を示す図面によって詳述する。
第1図は本発明に係る切断装置の概略斜視図であって、
円環状の内周刃ホルダ1が図示しない切断装置本体に水
平姿勢で回転自在に取付けられる。
円環状の内周刃ホルダ1が図示しない切断装置本体に水
平姿勢で回転自在に取付けられる。
この内周刃ホルダlの内周側には、外周側を内周ホルダ
lで挟持した円環状の内周刃2が張上げて配設されてい
る。この内周刃2は、円環状のステンレススチールの薄
板からなる内周刃本体2aとその内周縁に沿って設けら
れているダイヤモンド刃からなる刃部材2bとからなっ
ている。内周刃2の内周側には切断送り支持台3が配設
されており、これに被切断材4である例えば円柱状のシ
リコンのインゴットをその軸線を水平状態にして取付は
得るようになっている。つまり、内周刃2により被切断
材4がその長さ方向に対して直角に切断されるように、
内周刃2と被切断材4とが位置決めできる。この切断送
り支持台3は内周刃2の遠心方向及び軸方向に独立して
移動可能になっている。
lで挟持した円環状の内周刃2が張上げて配設されてい
る。この内周刃2は、円環状のステンレススチールの薄
板からなる内周刃本体2aとその内周縁に沿って設けら
れているダイヤモンド刃からなる刃部材2bとからなっ
ている。内周刃2の内周側には切断送り支持台3が配設
されており、これに被切断材4である例えば円柱状のシ
リコンのインゴットをその軸線を水平状態にして取付は
得るようになっている。つまり、内周刃2により被切断
材4がその長さ方向に対して直角に切断されるように、
内周刃2と被切断材4とが位置決めできる。この切断送
り支持台3は内周刃2の遠心方向及び軸方向に独立して
移動可能になっている。
これらの移動によ°り被切断材4は白抜き矢印方向に移
動して切断され、また内周刃2の軸方向に移動すること
により切断する薄板の厚さを設定できる。切断送り支持
台3の内周刃2の周方向における一側方あるいは両側方
には、内周刃2と被切断材4とが当接する位置に切削液
を噴出する切削液ノズル5が配設されている。前記内周
刃2の上面側近接箇所の切断箇所近傍には前記内周刃2
の切断箇所近傍の変位を検出する変位センサ6が配設さ
れている。
動して切断され、また内周刃2の軸方向に移動すること
により切断する薄板の厚さを設定できる。切断送り支持
台3の内周刃2の周方向における一側方あるいは両側方
には、内周刃2と被切断材4とが当接する位置に切削液
を噴出する切削液ノズル5が配設されている。前記内周
刃2の上面側近接箇所の切断箇所近傍には前記内周刃2
の切断箇所近傍の変位を検出する変位センサ6が配設さ
れている。
切断送り支持台3の遠心方向への移動は内周刃2の半径
方向に一致する移動であっても、切断送り支持台3を支
持する水平アーム(図示せず)の基端部中心に旋回させ
て略半径方向に大径の円弧を描(ように移動させてもよ
い。また被切断材4を固定しておき、内周刃2をその遠
心方向へ移動させることとしてもよい。
方向に一致する移動であっても、切断送り支持台3を支
持する水平アーム(図示せず)の基端部中心に旋回させ
て略半径方向に大径の円弧を描(ように移動させてもよ
い。また被切断材4を固定しておき、内周刃2をその遠
心方向へ移動させることとしてもよい。
第2図、第3図に示すように、前記内周刃2の下面側の
切断箇所近傍には、前記被切断材4の切断部分と前記内
周刃2の刃部材28部分とのギャップ4aに約0.2〜
2kg/cm”の圧力で空気を吹き込む空気ノズル7が
配設されている。
切断箇所近傍には、前記被切断材4の切断部分と前記内
周刃2の刃部材28部分とのギャップ4aに約0.2〜
2kg/cm”の圧力で空気を吹き込む空気ノズル7が
配設されている。
また、前記変位センサ6は後述する制御部8に前記内周
刃2の変位を信号として送るべく結線され、該制御部8
は前記切断送り支持台3の移動量を制御する送り速度制
御部9に結線され、更に該送り速度制御部9は前記切断
送り支持台3を移動する駆動シリンダ11のロッドの移
動量を制御する圧油流量制御弁lO呻粘結線れている。
刃2の変位を信号として送るべく結線され、該制御部8
は前記切断送り支持台3の移動量を制御する送り速度制
御部9に結線され、更に該送り速度制御部9は前記切断
送り支持台3を移動する駆動シリンダ11のロッドの移
動量を制御する圧油流量制御弁lO呻粘結線れている。
尚、該圧油流量制御弁10の代わりに油圧サーボ弁を使
用してもよい。また、前記内周刃ホルダ1は、該ホルダ
1のプーリ1aと駆動モータ12のブー1月2a間に掛
は渡されたベルト13により、前記駆動モータ12の回
転駆動により回動されるようになっており、前記内周刃
ホルダ1には回転検出器15が設けられており、内周ホ
ルダlに挾持された前記内周刃2が1回転するとパルス
信号を発し、これが前記制御部8に送られるようになっ
ている。
用してもよい。また、前記内周刃ホルダ1は、該ホルダ
1のプーリ1aと駆動モータ12のブー1月2a間に掛
は渡されたベルト13により、前記駆動モータ12の回
転駆動により回動されるようになっており、前記内周刃
ホルダ1には回転検出器15が設けられており、内周ホ
ルダlに挾持された前記内周刃2が1回転するとパルス
信号を発し、これが前記制御部8に送られるようになっ
ている。
しかして、以上の構成により、前記駆動シリンダ11の
駆動にて、前記切断送り支持台3が前記被切断材4を取
付け°た状態で前記内周刃2の遠心方向へ移動されると
共に、前記駆動モータ12の回転駆動により前記内周刃
ホルダlが回動されてこれと一体に前記内周刃2が回動
されて前記切断送り支持台3に取付けられた前記被切断
材4が前記内周刃2の刃部材2bによって薄板状に切断
されるが、この切断の際に前記内周刃2に変位、が生じ
ると下記のようにしてこの内周刃2の変位が補正される
。
駆動にて、前記切断送り支持台3が前記被切断材4を取
付け°た状態で前記内周刃2の遠心方向へ移動されると
共に、前記駆動モータ12の回転駆動により前記内周刃
ホルダlが回動されてこれと一体に前記内周刃2が回動
されて前記切断送り支持台3に取付けられた前記被切断
材4が前記内周刃2の刃部材2bによって薄板状に切断
されるが、この切断の際に前記内周刃2に変位、が生じ
ると下記のようにしてこの内周刃2の変位が補正される
。
即ち、第4図のフローチャートに示すように、前記被切
断材4の切断が開始されると前記内周刃2の変位が前記
変位センサ6で検出され、その出力信号が前記制御部8
に取込まれる。この制御部8は、第5図に示すように、
回転検出器15から送られる内周刃2の1回転パルス信
号aごとに取込んだデータを平均化処理して内周刃2の
変位量を求め、この変位量の大小に応じて遅速に変化す
る切込み速度制御信号を演算し、前記送り速度制御部9
へ出力する。そして、該送り速度制御部9は、入力され
た制御信号に基づいて送り速度を制御すべく、圧油流量
制御弁10を動作させて前記駆動シリンダ11に流れる
油流量を制御して前記切断送り支持台3による被切断材
4の切込み送り速度を変化させる。
断材4の切断が開始されると前記内周刃2の変位が前記
変位センサ6で検出され、その出力信号が前記制御部8
に取込まれる。この制御部8は、第5図に示すように、
回転検出器15から送られる内周刃2の1回転パルス信
号aごとに取込んだデータを平均化処理して内周刃2の
変位量を求め、この変位量の大小に応じて遅速に変化す
る切込み速度制御信号を演算し、前記送り速度制御部9
へ出力する。そして、該送り速度制御部9は、入力され
た制御信号に基づいて送り速度を制御すべく、圧油流量
制御弁10を動作させて前記駆動シリンダ11に流れる
油流量を制御して前記切断送り支持台3による被切断材
4の切込み送り速度を変化させる。
一方、前記空気ノズル7は、被切断材4の薄板(ウェー
ハ)41への切断動作中に常に作動させて空気を前記ギ
ャップ4aに吹込み、該ギャップ4aに侵入する水滴を
吹き飛ばして、薄板41と内周刃2との干渉による内周
刃2の変形を防止している。
ハ)41への切断動作中に常に作動させて空気を前記ギ
ャップ4aに吹込み、該ギャップ4aに侵入する水滴を
吹き飛ばして、薄板41と内周刃2との干渉による内周
刃2の変形を防止している。
かくすることにより、第6図のグラフに示すように、本
発明を適用すると、同図左側に示す本発明を適用しない
場合の内周刃2の変位量に比べて同図右側に示すように
その変位量が極めて小さくなるのである。尚、同図中C
は本発明適用を適用しない場合の内周刃2の変位曲線を
示し、Dは本発明を適用した場合の内周刃2の変位曲線
を示している。
発明を適用すると、同図左側に示す本発明を適用しない
場合の内周刃2の変位量に比べて同図右側に示すように
その変位量が極めて小さくなるのである。尚、同図中C
は本発明適用を適用しない場合の内周刃2の変位曲線を
示し、Dは本発明を適用した場合の内周刃2の変位曲線
を示している。
したがって、上記のように、本発明を適用すると、被切
断材4の切断中に生じる内周刃2の変位(反り)を防止
することができ、切出された薄板41の反り・厚さ・平
行度精度を向上でき歩留りを向上できる。また′、ドレ
ッシング、リテンション等の作業員の介入頻度が減少す
るので、稼動率が向上できると共に、作業上のバラツキ
を減少できる。また、ドレッシング頻度が減少するので
内周刃2の寿命の延長が可能となるのである。
断材4の切断中に生じる内周刃2の変位(反り)を防止
することができ、切出された薄板41の反り・厚さ・平
行度精度を向上でき歩留りを向上できる。また′、ドレ
ッシング、リテンション等の作業員の介入頻度が減少す
るので、稼動率が向上できると共に、作業上のバラツキ
を減少できる。また、ドレッシング頻度が減少するので
内周刃2の寿命の延長が可能となるのである。
第7図は、本発明の他の実施例の説明図であって、この
実施例にあっては、上記実施例における圧油流量制御弁
10の代わりにサーボモータ21を用い、前記駆動シリ
ンダ11の代わりに駆動送りネジ22を用いて、サーボ
モータ21の回転駆動により駆動送りネジ22を回転さ
せて該駆動送りネジ22の回転によって、前記切断送り
支持台3が移動されるようにしたものであって、前記変
位センサ6より前記制御部8に前記内周刃2の変位量の
信号が送られ、該制御部8より前記送り速度制御部9に
制御信号が送られて該送り速度制御部9によって前記サ
ーボモータ21の回転数を制御することにより、前記駆
動送りネジ22の回転数を変化させて切断中の内周刃2
の変位を小さくするように制御する。
実施例にあっては、上記実施例における圧油流量制御弁
10の代わりにサーボモータ21を用い、前記駆動シリ
ンダ11の代わりに駆動送りネジ22を用いて、サーボ
モータ21の回転駆動により駆動送りネジ22を回転さ
せて該駆動送りネジ22の回転によって、前記切断送り
支持台3が移動されるようにしたものであって、前記変
位センサ6より前記制御部8に前記内周刃2の変位量の
信号が送られ、該制御部8より前記送り速度制御部9に
制御信号が送られて該送り速度制御部9によって前記サ
ーボモータ21の回転数を制御することにより、前記駆
動送りネジ22の回転数を変化させて切断中の内周刃2
の変位を小さくするように制御する。
第8図は、本発明の更に他の実施例の説明図であって、
この実施例にあっては、第1図に示す実施例と同様に前
記切断送り支持台3の移動速度を制御して内周刃2の変
位量を小さく制御すると共に、前記制御部8に駆動モー
タ用回転制御部31を結線して、該駆動モータ用回転制
御部31にインバータ32を結線し、前記制御部8の制
御信号により前記駆動モータ用回転制御部31を制御し
、この制御に基づいてインバータ32を制御作動して前
記駆動モータ12の回転数を変化させて前記内周刃2の
変位量を小さくなるように制御する。
この実施例にあっては、第1図に示す実施例と同様に前
記切断送り支持台3の移動速度を制御して内周刃2の変
位量を小さく制御すると共に、前記制御部8に駆動モー
タ用回転制御部31を結線して、該駆動モータ用回転制
御部31にインバータ32を結線し、前記制御部8の制
御信号により前記駆動モータ用回転制御部31を制御し
、この制御に基づいてインバータ32を制御作動して前
記駆動モータ12の回転数を変化させて前記内周刃2の
変位量を小さくなるように制御する。
この実施例においては切断送り支持台3の移動速度を制
御しているが、モータ12の回転数を変位センサによっ
て検出した反りに応じて制御することとしてもよい。
御しているが、モータ12の回転数を変位センサによっ
て検出した反りに応じて制御することとしてもよい。
第9,10図はモータ12又は内周刃20回転速度制御
を行った場合の効果を示すグラフであり、第9図は内周
刃が被切断材(インゴット)側へ変位(正)した場合の
、また第10図は切断片(ウェハ)側へ変位(負)した
場合の例を夫々示し、各図の左側は制御がない場合、右
側は制御がある場合につき内周刃回転数と変位量との関
係を示している。
を行った場合の効果を示すグラフであり、第9図は内周
刃が被切断材(インゴット)側へ変位(正)した場合の
、また第10図は切断片(ウェハ)側へ変位(負)した
場合の例を夫々示し、各図の左側は制御がない場合、右
側は制御がある場合につき内周刃回転数と変位量との関
係を示している。
いずれの場合も本発明の適用により変位が大幅に小さく
なる。
なる。
さて本発明においては空気ノズルからの吹込み圧力を内
周刃検出変位量に応じて偏向することによっても変位量
を抑制することができる。第11.12図はこの実施例
の場合の内周刃の変位量と吹込み圧力との関係を第9,
10図と同要領で示したものである。この場合も本発明
の適用によって変位が大幅に小さ(なる。
周刃検出変位量に応じて偏向することによっても変位量
を抑制することができる。第11.12図はこの実施例
の場合の内周刃の変位量と吹込み圧力との関係を第9,
10図と同要領で示したものである。この場合も本発明
の適用によって変位が大幅に小さ(なる。
本発明にかかる切断方法は、以上のような構成を有し、
作用をなすものであるから、変位センサにより内周刃の
変位を検出し、該変位センサの信号に基づいて制御部に
て前記切断送り支持台及び前記内周刃の相対移動速度又
は内周刃の回転数又は吹込み圧力を制御することにより
、切断中における内周刃の変位を防止して、被切断材か
ら薄板を切出す場合の該薄板の反り・厚さ・平行度精度
を向上できて歩留りが向上し、生産性を高め得る効果を
発揮できる。
作用をなすものであるから、変位センサにより内周刃の
変位を検出し、該変位センサの信号に基づいて制御部に
て前記切断送り支持台及び前記内周刃の相対移動速度又
は内周刃の回転数又は吹込み圧力を制御することにより
、切断中における内周刃の変位を防止して、被切断材か
ら薄板を切出す場合の該薄板の反り・厚さ・平行度精度
を向上できて歩留りが向上し、生産性を高め得る効果を
発揮できる。
第1図は本発明に係る切断方法を実施するための装置の
一実施例の概略斜視図、第2図はその下側から見た要部
の底面図、第3図はその要部の側断面図、第4図は制御
課程を示すフローチャート、第5図は変位センサによる
内周刃の変位量の信号のグラフと内周刃の1回転パルス
信号のグラフ、第6図は本発明適用前の内周刃の変位量
を示す変位曲線と本発明適用時の内周刃の変位量を示す
変位曲線のグラフ、第7図、第8図はそれぞれ他の実施
例の説明図、第9.10,11.12図は他の実施例の
効果を示すグラフ、第13図は従来の切断装置の平面図
である。 2・・・内周刃 3・・・切断送り支持台 6・・・変
位センサ 8・・・制御部 特 許 出願人 住友金属工業株式会社(外3名)代理
人 弁理士 河 野 登 夫第6図 第1図 】b 第7図 第8図 !l(βml インゴIyト便1へIA焚仇 凱@すし 鴇嘩あす 第 図 第 図 1■卸なし 匍〕郡あす 第 図 vN〕鳴竿なし V)1寥あす 第 図
一実施例の概略斜視図、第2図はその下側から見た要部
の底面図、第3図はその要部の側断面図、第4図は制御
課程を示すフローチャート、第5図は変位センサによる
内周刃の変位量の信号のグラフと内周刃の1回転パルス
信号のグラフ、第6図は本発明適用前の内周刃の変位量
を示す変位曲線と本発明適用時の内周刃の変位量を示す
変位曲線のグラフ、第7図、第8図はそれぞれ他の実施
例の説明図、第9.10,11.12図は他の実施例の
効果を示すグラフ、第13図は従来の切断装置の平面図
である。 2・・・内周刃 3・・・切断送り支持台 6・・・変
位センサ 8・・・制御部 特 許 出願人 住友金属工業株式会社(外3名)代理
人 弁理士 河 野 登 夫第6図 第1図 】b 第7図 第8図 !l(βml インゴIyト便1へIA焚仇 凱@すし 鴇嘩あす 第 図 第 図 1■卸なし 匍〕郡あす 第 図 vN〕鳴竿なし V)1寥あす 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、円環状に形成されており、その内周縁に備えている
内周刃を回転させ、切断送り支持台又は前記内周刃の内
周刃遠心方向への相対移動によって切断送り支持台に支
持された被切断材を前記内周刃に当接させて被切断材を
切断する切断方法において、前記内周刃の切断箇所近傍
の1カ所以上に刃の変位を検出する変位センサを設け、
該変位センサの信号に基づき前記切断送り支持台の前記
内周刃の遠心方向への相対移動速度を制御することを特
徴とする切断方法。 2、円環状に形成されており、その内周縁に備えている
内周刃を回転させ、切断送り支持台又は前記内周刃の内
周刃遠心方向への相対移動によって切断送り支持台に支
持された被切断材を前記内周刃に当接させて被切断材を
切断する切断方法において、前記内周刃の切断箇所近傍
の1カ所以上に刃の変位を検出する変位センサを設け、
該変位センサの信号に基づき前記内周刃の回転数を制御
することを特徴とする切断方法。 3、円環状に形成されており、その内周縁に備えている
内周刃を回転させ、切断送り支持台又は前記内周刃の内
周刃遠心方向への相対移動によって切断送り支持台に支
持された被切断材を前記内周刃に当接させて被切断材を
切断する切断方法において、前記内周刃の切断箇所近傍
の1カ所以上に刃の変位を検出する変位センサを設け、
また被切断材と内周刃との間に0.2〜2kg/cm^
2の圧力で気体を吹込むノズルを設け、前記変化センサ
の信号に基づき、前記ノズルからの気体の吹込み圧力を
制御することを特徴とする切断方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28852088A JPH02134212A (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 | 切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28852088A JPH02134212A (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 | 切断方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02134212A true JPH02134212A (ja) | 1990-05-23 |
Family
ID=17731297
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28852088A Pending JPH02134212A (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 | 切断方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02134212A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0349906A (ja) * | 1989-07-17 | 1991-03-04 | Toyo Eitetsuku Kk | スライシング装置 |
JPH03173610A (ja) * | 1989-02-27 | 1991-07-26 | Wacker Chemitronic Ges Elektron Grundstoffe Mbh | 内周刃式ソーを用いてロッド状のワークピースを薄板にスライス切断する方法 |
JPH04138208A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Toyo A Tec Kk | スライシング装置 |
JPH04138209A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Toyo A Tec Kk | スライシング装置 |
JPH04138212A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Toyo A Tec Kk | スライシング装置 |
US5313741A (en) * | 1990-09-14 | 1994-05-24 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Method of and an apparatus for slicing a single crystal ingot using an ID saw slicing machine therein |
EP0633086A1 (en) * | 1992-11-27 | 1995-01-11 | Shin-Etsu Handotai Company Limited | Inner diameter saw slicing machine |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57133634A (en) * | 1981-02-12 | 1982-08-18 | Hitachi Ltd | Crystal cutting device |
JPS6198513A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-16 | 日立金属株式会社 | 切断装置 |
JPH01182011A (ja) * | 1988-01-18 | 1989-07-19 | Mazda Motor Corp | スライシングマシンおよびその制御方法 |
-
1988
- 1988-11-14 JP JP28852088A patent/JPH02134212A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US5313741A (en) * | 1990-09-14 | 1994-05-24 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Method of and an apparatus for slicing a single crystal ingot using an ID saw slicing machine therein |
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JPH04138209A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Toyo A Tec Kk | スライシング装置 |
JPH04138212A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Toyo A Tec Kk | スライシング装置 |
EP0633086A1 (en) * | 1992-11-27 | 1995-01-11 | Shin-Etsu Handotai Company Limited | Inner diameter saw slicing machine |
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