JPS6198513A - 切断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 この発明は、内周刃スライサーを使用し、半導体インゴ
ットをウェハに切断する装：＃、特に内周刃ブレード振
れを補正することでウェハの反りを防止する内周刃ブレ
ード振れ補正装置に関するものである。

〔従来技術〕

従来、半導体インゴットを切断するためには、第５及び
第６図に示す様な内周刃スライサーが用いられている。

即ち、薄い台金１２の中央に円形の穴１１１が明けられ
、その内局にダイヤ峰ノド磁粒が電着された磁石を形成
したブレード１２４が、ブレードホルダ−１５外間に取
り付けられている。このブレード１２＆を外周に張り上
げることでブレードに張り剛性が与えられ、ブレードホ
ルダー１５と一体に矢印１６方向に回転する。半導体イ
ンゴット１４は、取り付はヘッド１８に取り付ゆられ、
矢印１７方向く送りをかけることで、クエへに切断され
ていく。

しかし、内周刃ブレード１２４が大口径化するに従い、
ブレード１２の横方向に対する剛性が低下し、クエハ切
断時のブレード振れが発生する。ブレード振れが発生す
ると、ウェハに反りが生じる。

切断されたクエへの反り状態を第４図に示す。

曲線ａはブレード振れ状態、ｂはクエハ反り状態Ｃはウ
ェハ切断径である。この様に切断中のブレード振れ状態
が、転写された形でクエへの反りとなりて表われる。

ウェハに反りが発生すると、被加工物の材料歩留りの低
下、及び後工程の処理プ四セスにおいての性能低下を来
たすという問題があった。

〔技術的問題〕

従りて、この発明にお・いてはクエ／Ｓの反り原因とな
りている切断中のブレード振れ状態を検知し、その情報
をもとくブレード振れを補正することができる切断装置
を提供することにある。

〔技術的手段〕

上記の技術的課題を解決するために、この発明はブレー
ド両側面の対向する位置に取り付けた２個の　エアーノ
ズルとエアーノズルに近接する様設置したブレードの振
れを検出する１個のブレードセンサーを１組としたもの
を半導体インゴットの移動に干渉しない様に２組設置し
てなるものである。ブレードセンサーは、公差検出用上
ンサー（例えば渦電流式）を使用し、ブレード振れ量が
、ある設定値以上になるとエアーノズルを作動させる。

エアーノズルから吹き出すエアー量は、手動パルプにて
流量調節を行なうものである。

〔作用〕

上記の技術的手段は欠の嘩に作用する。ブレードセンサ
ー７．９は、半導体インゴットを切断していない無負荷
伏慢でのブレード回転時の位置を振れの相対的な０点と
する。ブレード振れＫＩ６じて＋方向、一方向の振れを
検知し、設定値以上の振れ量を検知した場合、ブレード
センサーが作動しエアーノズル開閉用電磁弁ＯＳ働き、
振れ方向に対して、振れを補正する例のエアーノズルよ
り圧縮空気がプＶ−ドに吹き付けられる機制御されてい
る。エアーはブレードセンサーが作動する時間内のみ吹
き付けられるもので、ブレード振れが設定値以下になる
とその動作を停止する、 この様に常にクエハ切断時のブレード振れを補正する様
にエアーが吹き付けられブレード振れを防止するととく
より反りのないウェハを得ることが可能となる。

〔実施例〕

第１図から第５図は、この発明の実施例を示すものであ
る。１は内周刃ブレードであって、ブレードホルダー５
に覗り付けられブレード１と一体となり、矢印４方向へ
回転して、半導体インゴット２の移動に伴ないウニＩＳ
が切断されていく。ブレードセンサー７．９はプＶ−ド
１の内周から４＝５朋、検知面からブレード１までの高
さル、　＝５ａｔｍの高さで半導体インゴット２の移動
、に干渉しない様内周刃ブレード中心角θ＝±５００の
線上に取り付けられている。又、エアーノズル６．６’
、８．８’はＡ、　＝　５ｍｍの距離でブレード１をは
さみ込み、この２本を１組として、ブレードセンサー７
．９の近傍へ＝５ｍｒｎの点く取り付けられている。

今、半導体インゴット２を切断中、ブレード１が子方向
く振れ始めブレードセンサー７．９の作動設疋値＋５μ
ｍを越える値になりた時、始めてブレードセンサー罵９
が作動しその信号が制御装置Ｒに入力する。すると制御
装置Ｒはエアーの電磁弁１０を作動させ、エアーノズル
６．８のみから、あらかじめ設定された空気圧２．５１
１／ｊ　　の圧縮空気日がブレードに吹きつけられる。

この空気圧２．５４／ｅｄ　はエアーノズル径を約５Ｎ
隅とした場合、ブレード１の張り剛性をもとく、５μｍ
だけブレード１を振れさせる値として、実験より求めた
値である。振れ量が設定値以下になると、ブレードセン
サー７．９はオフ状態となりエアーの電磁弁１０は、閉
の状態となり圧縮空気１１の吹き付けは停止する。

又、ブレード振れｆ）％−の場合には、プＶ−ドセンサ
ー７，９エアーノズル６＃、８＃が作動し上記と同様な
作用によりブレード振れを防とする。この様な動作を連
続的くくり返すことＫより、ウェハの反り量を、±５μ
島以下におさえることができる。

上述の例は、ブレード振れの補正力としてエアーを用い
振れ止めの効果をもたせたものであるが、振れ止め補正
力としての作動流体として、空気の代りに液体を用いる
ことができる。この場合、更に補正力が大ぎくなり精度
向上の効果が大となる。

またこの作動流体として、切断加工時の研削液を用いる
ことにより異種液の混合によって再利用が不可能になる
という問題も解消される。

〔効果〕

この発明は、次の様な特有の効果を有す。

ｃ里ン　　ウニ４反り原因であるブレード振れを防止で
きるためクエへの平面性が向上し、被加工材料歩留り、
後工穆の製品精度が向上する。

（！Ｉ　非接触において、回転ブレードの橿れを補正さ
せるため、ブレードに損傷を与えることなく回転、精度
を上げることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、この発明の実施例を示す上面図、
及び断面図、第５図は第１図に招けるＡ−Ａ線方向から
みた拡大左備断面図、１１４図は、ブレード振れとウニ
４反り１係を示す図、第５＠存び第６図は従来装置を示
すと面図及び断面図である。 １・・・ブレード、２・−半導体インゴット、６．６’
　、８．Ｅｌ’・・・エアーノズル、７．９・−ブレー
ドセンサー。 第１ｎ Ｊ　２０ 躬３凹

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 薄板状のプレートの周辺に形成した磁石によりワークを
   切断する切断装置において、前記ブレードの側面部に前
   記ブレードの振れを検出する検出装置を、さらに前記ブ
   レードの両側面部の対抗する位置にエアーノズルを設置
   し、ワーク切断中における前記検出装置で検出したブレ
   ードの振れ量が予め設定した値に達したとき、前記エア
   ーノズルの一方からエアーを噴出するように構成したこ
   とを特徴とする切断装置。